【課題】 本発明が解決しようとする問題点は、２軸分の並進ステージを組み合わせるとＸＹステージの形状が大きくなるという点である。また、鉤状弾性ヒンジを用いてＸＹステージを構成すると鉤状弾性ヒンジに２方向の歪みが重畳し、動作制限をしなければないという点である。さらに、従来の弾性ヒンジはＺ方向の剛性が高くないため、ガイド機能が十分でないという点である。
【解決手段】 移動体と、前記移動体のＸ方向及びＹ方向に当接する押圧手段と、前記移動体のＸ方向及びＹ方向に当接し、中心軸はＸＹ平面に対して垂直であり、弾性作用によって前記移動体の位置を保持する筒状弾性体と、を備えるＸＹステージであって、前記押圧手段の押圧に応じて前記移動手段がＸＹ平面内において移動自在なＸＹステージ。 （もっと読む）

【課題】精度向上を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。
【解決手段】傾斜ステージＡは、ベース１と、このベース１に対向して設けられたプレート２と、このプレート２とベース１が近づくように付勢する付勢手段３、ベース１のプレート２に面する側に設けられた円弧状に形成された溝４と、プレート２の溝４に対向する部位に設けられ、溝４に当接して移動する、離間して設けられた少なくとも２個の球面状の球面体５と、プレート２を円弧状に形成された溝４に沿って移動させる移動手段６とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることができるＸＹステージを提供するものである。
【解決手段】ＸＹステージＳは、平坦な面を有し、相対向して設けられる第１、第２のプレート１、２と、第１のプレート１に取り付けられ、第１のプレート１のＸ軸方向に移動させる第１の移動手段３と、第１のプレート１に取り付けられ、第１のプレート１の前記Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させる第２の移動手段５と、第１の移動手段３により移動し、第２のプレート２に取り付けられた第１の移動体４と、第２の移動手段５により移動し、第２のプレート２に取り付けられた第２の移動体６とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ることができるＸＹステージを提供するものである。
【解決手段】ＸＹステージＡによれば、第２のプレート２の平坦面から第１のプレート１の側に向かって突出するように長手形状の第２の摺動部材２１及び長手形状の第２’の摺動部材２２を、第３のプレート３の側に向かって突出するように長手形状の第２”の摺動部材２３及び長手形状の第２”’の摺動部材２４をそれぞれ、第２のプレート２に一体に設けている。 （もっと読む）

【課題】従来、人間によって指定又は調整を行なわなければならず問題であった基準マークの登録、ＸＹθステージと同上システムとの間の座標軸の自由度調整、カメラの配置位置がＸＹθステージの表裏どちら側かの判定・調整および基準マークのカメラ視野内への捕捉を完全に自動化したＸＹθステージ位置アライメントシステムを提供する。
【解決手段】カメラの視野から幾何学的に特徴的なパターンを特別な画像処理アルゴリズムにより基準マークとして抽出・登録する手段、ＸＹθステージの所定の動作に対するカメラの撮像画像上での動きの計測によるＸＹθステージと位置アライメントシステムの座標軸の自由度自動調整手段、カメラのＸＹθステージに対する配置位置の自動判定・自由度自動調整手段、更には所定の視野移動方法による基準マークを含む探索パターンのカメラ視野内への自動捕捉手段の内の任意の組合せを適宜具備させる。 （もっと読む）

位置決め装置は、第１部材（１’）と、第１部材に対して移動可能な第２部材（４）とを備える。滑動・粘着ドライブ（２、３、４）は、２つの部材（１’、４）の直動移動（Ｐ）をもたらすために、第１部材（１’）と第２部材（４）との間において動作する。位置決め装置は、第１部材（１’）と滑動・粘着ドライブ（２、３、４）とに結合され、滑動・粘着ドライブ（２、３、４）の直動シャフト（３）を機械的に保護し、直動シャフト（３）の回転移動および／もしくは側方移動を防ぐ一体型接合部（１２、１３）を備える。
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【課題】 Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のアクチュエータを取り付けた構造全体として、精度よい位置調整を行うことができるようにした移動ステージ装置を提供する。
【解決手段】
ステージテーブル１１から分離され、Ｘ方向のみに変位することができるとともに、Ｘ方向の変位をステージテーブルに伝達することができるＸ方向主動中間ステージ１２に、Ｘ方向アクチュエータ３７を接続するようにし、同様に、ステージテーブル１１から分離され、Ｙ方向のみに変位することができるとともに、Ｙ方向の変位をステージテーブル１１に伝達することができるＹ方向主動中間ステージ１４に、Ｙ方向アクチュエータを接続するようにして、Ｘ方向アクチュエータ３７およびＹ方向アクチュエータ３８がステージテーブルに接続されることに起因して発生するクロストークを回避する。 （もっと読む）

【課題】 装置の構造が簡単であり、二次元面上を自由に移動できるとともに、高精度な位置の制御が可能な移動システムを提供する。
【解決手段】 テーブル１は、二次元面上に格子状に形成される突起物を複数備える。また、移動装置２は、テーブル１に形成された突起物と噛み合わせが可能な歯を有する歯車車輪３ａ、３ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】
簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】
移動部材３は、定盤１上に配置されたガイドレール２、２に沿って移動可能なスライダ３ｄ、３ｄを取り付けた第１の脚部３ａと、定盤１に対して非接触状態で支持された第２の脚部３ｂとにより支持されているので、移動に際しての抵抗が少なく、リニアモータ５に大きな駆動力を必要としないためコンパクトな構成とできる。又、スライダ３ｄ、３ｄは、静圧軸受に比べ一般的に剛性や負荷容量が高い代わりに駆動抵抗が大きいという特徴があるので、スライダ３ｄ、３ｄ側をリニアモータ５によって駆動することにより、駆動時における移動部材３の姿勢変化を抑えることができ、ロストモーションを抑えることで高精度な位置決めを実現できる。 （もっと読む）

【課題】 簡素且つ軽量な構成でありながら、高精度な位置決めを実現できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】 移動部材６は、スライダ４，４とガイドレール５，５を介して支持板３に懸架されているので、高精度な位置決めを行うに当たって、定盤１の上面全体を精度良く加工する必要はなく、定盤１を軽量化することができる。これは、位置決め装置を設置するに当たり、定盤１を分解して現地へ搬送し、そこで組み立てる際に有効である。また支持脚２，２の部品精度や変形も位置決めに影響を与えることがない。 （もっと読む）

【課題】高精度で位置及び運動を制御することができる装置を提供する。
【解決手段】装置１０は、１又はそれ以上の整流リニアモータを用いる。リニアモータは、ガイドレスステージ１４を、１つの長い直線方向に動かし、ある平面において、微動のヨー回転を行わせる。単一のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）７０を保持するキャリア／従動子６０は、長い直線運動の方向に動くステージを概ね追従するように制御される。ＶＣＭ７０は、ある平面において、電磁力を与えて、長い直線運動の方向に直交する直線方向に、ステージ１４を微動させる。これにより、適正なアライメントが得られる。整流型リニアモータの一方の要素（つまり、コイル又は磁石）が、平面上を自在に動くことのできる駆動フレーム２２の上に設けられる。駆動フレーム２２は、反作用力によって駆動され、装置の重心位置を維持する働きを持つ。１つのリニアモータを使用する場合には、２つのＶＣＭ７０を用いて、ヨー回転を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】 静止時のクリープ現象の発生を解消し、高速走査と高精度位置決めの両立を可能にし、動的位置決め精度を確保することができる、高速かつ高精度で、スムーズな走査移動等を行うことができる機械式の移動装置を提供する。
【解決手段】 この移動装置は、走査ステージ２１１を移動させる方向に対して平行に設けられた２組の駆動軸機構（２０５Ａ，２０６Ａ−１，２０５Ｂ，２０６Ｂ−１等）と、これらの２組の駆動軸機構のそれぞれに設けられた位置検出機構（２１３Ａ，２１３Ｂ）と、２組の駆動軸機構の動作を制御するコントローラ３３等とから成り、コントローラ等は、少なくとも走査ステージの静止時に、２組の駆動軸機構のそれぞれの駆動位置の偏差ｄを維持するように２組の駆動軸機構を駆動制御するように構成される。 （もっと読む）

【課題】 位置決め時間の短縮と同時に高精度な位置決めを可能にする粗動微動位置決め装置を提案する。
【解決手段】 ナットを介してテーブルに接続された送りねじと、入力軸と出力軸が同軸上に配置された減速機であって前記送りねじの一端に出力軸が接続された減速機と、該減速機の入力軸に接続された微動送り用のモータと、出力軸が貫通した中空であって該中空部に前記減速機のケーシング部を同軸上に嵌着保持した粗動送り用の中空モータとを備えたことを特徴とする。なお、前記減速機は波動歯車減速機とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 ヨーイング、ピッチング及びローリング、コギング、速度制御におけるループゲイン、デッドタイム発生回路に起因する位置決め精度向上の障害要因に対応した補正手段を備えた、複数のスライダ部を有するＸＹステージを実現する。
【解決手段】 格子プラテン上のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
独立に位置制御される複数のスライダ部を有し、これらスライダ部の夫々は、スライダ部をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する位置制御手段と、スライダ部のＺ軸まわりのヨーイングを補正するヨーイング補正手段を備える。 （もっと読む）

【課題】
ステージの反り量を制御することによって高精度な処理を行える移動ステージ機構を提供する。
【解決手段】
Ｘ方向ステージ１４の一方の面に配置されたＹ方向レール１５に対応して、Ｘ方向ステージ１４の他方の面に変形制御部材１８を配置し、変形制御部材１８の線膨張係数α３をＹ方向レール１５の線膨張係数α２に近づけることによって、温度変化が生じた場合にＸ方向ステージ１４の反り量を調整する（例えば低減する）ことで、Ｘ方向ステージ１４に搭載するワークに対して高精度な処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 フィードバック制御可能な位置決め台の提供。
【解決手段】 中空状のベース内に複数組の連結機構で位置決め台が架設され、該連結機構は板バネで製造されたヒンジ式の機構とされ、ベースと位置決め台間の各軸方向位置にアクチュエータが取り付けられ、アクチュエータの作動時に、位置決め台がベース内で各軸方向の微幅の移動可能で、並びに連結機構を押圧して変形させ、別に連結機構にひずみゲージが取り付けられて連結機構の弾性変形量を検出し、ひずみゲージが電子信号をコントローラにフィードバックし、コントローラの演算により制御信号を修正してアクチュエータを正確に作動させ、位置決め台を正確な位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】 垂直軸上で直線駆動される可動部の重量負荷を補償するバランス構造の簡素化とコスト低減。
【解決手段】 枡形形状等の可動部５０は開口部を下方に向け、同開口部に固定部４０を挿入した状態で、固定部４０と可動部５０の間の隙間４３を利用した空気軸受で上下方向に移動可能に支持される。可動部５０の内部には加圧された空気を保持するエアバランス室４１が形成される。圧力調整された加圧空気は外部から固定部４０の内部の配管を経て吹き出し口から隙間４３に供給された後、エアバランス室４１へ流れ込む。この流れにより、エアバランス室４１の加圧空気はシールされる。加圧空気の排気は、排気穴４１ａから配管４２、６１、流量調整装置６０を経て外部に排気される。 （もっと読む）

【課題】小型、低価格、かつ高応答性のＸＹθテーブルを提供する。
【解決手段】ＸＹθテーブルが、載置台と、載置台のＸ軸方向の一の側およびその反対側に配置されたＸ軸バーと、それぞれのＸ軸バーに交互に極性を変えて配置された複数の永久磁石と、Ｘ軸バーの永久磁石の上面および下面にそれぞれ対向配置された複数のコイルを有するＸ軸バー支持ステータと、載置台のＸ軸方向に直交するＹ軸方向の一の側およびその反対側に配置されたＹ軸バーと、それぞれのＹ軸バーに交互に極性を変えて配置された複数の永久磁石と、Ｙ軸バーの永久磁石の上面および下面にそれぞれ対向配置された複数のコイルを有するＹ軸バー支持ステータとを備える。 （もっと読む）

【課題】 移動体を碁盤目状に凸極が設けられたプラテン上で移動させる平面ステージ装置において、移動体が回転した状態でＸＹ方向に直線移動できるようにすること。
【解決手段】 Ｙ方向用移動子２０ｃ，２０ｄは、移動体３０のＸ軸上の２ケ所に設けられ回転軸受２４を介して移動体３０に取り付けられる。Ｘ方向移動用移動子２０ａ，２０ｂはプレート２５に取り付けられ回転軸受２６を介して移動体３０に取り付けられる。移動体３０をＸＹ方向に移動させるには移動子２０ａ，２０ｂあるいは移動子２０ｃ，２０ｄを同方向に移動させる。移動体３０を回転させる場合には移動子２０ｃ，２０ｄを逆方向に移動させる。移動体３０を回転させたとき、移動子２０ａ〜２０ｄの磁極はプラテン１０の凸極の方向に沿うように回転し、この状態で移動体３０をＸＹ方向に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】走行体の変位量を正確に検出できる走行装置を提供する。
【解決手段】略平行に配設されたガイドレール３１０、３２０と、ガイドレール３１０、３２０に摺動可能に設けられたスライダ部７１１、７１２および２つのスライダ部７１１、７１２を連結する連結部７２０を有する走行体７００と、推進力を付与する推進力付与手段５００と、ガイドレール３１０、３２０間で配設されたスケール６１０およびスケール６１０に対する変位量を検出する検出ヘッド６２０を有する変位検出手段６００と、を備える。連結部７２０は、スライダ部７１１、７１２を架橋する主ビーム７２１と、両端が主ビーム７２１においてスライダ部７１１、７１２に近接する位置に固定された補助ビーム７２２と、を備える。推進力付与手段５００は主ビーム７２１に推進力を付与し、検出ヘッド６２０は補助ビーム７２２に設けられている。 （もっと読む）