【課題】リニアテーブルを構成する可動テーブルの駆動・制御をするための制御アンプをリニアテーブル外に設置すると、所定装置への組み込みに時間がかかっていた。
【解決手段】本発明のリニアテーブルは、エンコーダとリニアモータとを併設した可動テーブルと、可動テーブルの直下に制御アンプを一体化して配置した構造である。
本発明のリニアテーブルは、上記のような構成にすることでリニアテーブルの所定装置への組込み時間の迅速を図るとともに省配線化を実現する。 （もっと読む）

【課題】高さ寸法を抑制することで小型化及び省スペース化を図ると共に、移動テーブルがリニアモータ機構により生じる磁気吸引力の影響を受けることなく、常に高度な平面精度を保つことが可能なリニアモータ式テーブル装置を提供する。
【解決手段】基台２、直動案内装置４、移動テーブル６、リニアモータ機構８を備え、直動案内装置には、ガイドレール４０とスライダ４２とが設けられたテーブル装置Ａであって、リニアモータ可動子８２と移動テーブルとの間には、可動子取付部材２０が介在されており、リニアモータ可動子は、可動子取付部材に固定され、当該固定部分が移動テーブルとの間に所定間隔を空けて非接触状態に、可動子取付部材を介して移動テーブルに固定されており、可動子取付部材は、リニアモータ固定子からリニアモータ可動子に対して作用させる前記吸引力が移動テーブルに対して作用することを、弾性変形して吸収することで防止している。 （もっと読む）

【課題】製作が容易で高精度な回転位置決めテーブル装置を提供すること。
【解決手段】回転テーブル１４と、回転テーブル１４を回転自在に支持するエアベアリング１６と磁気吸引部１８、２０、２２と、回転テーブル１４端部に回転力を付与するローラフォロア３２と、ローラフォロア３２を回転駆動するリニアアクチュエータ３０とを備え、エアベアリング１６により回転テーブル１４の一部の領域を浮上させ、回転テーブル１４の他の領域を磁気吸引部１８、２０、２２で垂直方向に吸引し、回転テーブル１４の片持ちによるアンバランス成分と搭載物の重力方向の負荷のバランスをとる。 （もっと読む）

【課題】 エアの供給を切ることなく歯合わせ動作を行なうことができ、ズレを電気的な演算により検出可能とした平面位置決め装置を実現する。
【解決手段】 プラテン上面をＸ軸方向及びＹ軸方向にスライドするスライダの位置検出値と位置指令の誤差を増幅する誤差増幅器と、この誤差増幅器よりモータ位置に同期し推力が極大となる位相の交流電流指令を与えるサーボモータモードの電流振幅指令を入力し、前記スライダに搭載されたモータに励磁電流を供給するするドライバ手段と、前記スライダを初期位置に規制する初期化手段とを有する平面位置決め装置において、
前記初期化手段は、
推力が極小となるように指令を与える、可変できるパルスモータモードの交流電流指令を前記ドライバ手段の入力に重畳させる可変電圧発生手段と、
前記パルスモータモードの交流電流指令を所定値よりゼロまで低下させると共に、前記誤差増幅器のゲインをゼロより所定値まで増加させる操作を連動して実行するゲイン変更手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】 電装系によらない衝突防止機能を備えた平面位置決め装置を実現する。
【解決手段】 平板状のプラテンと、その上面をＸ軸方向及びＹ軸方向にスライドして位置制御されるスライダよりなる平面位置決め装置において、
前記スライダを前記プラテンのＸ軸またはＹ軸方向の端縁部に拘束し、その端縁部に沿って移動可能に保持する磁気拘束手段を備える。 （もっと読む）

【課題】２方向に移動可能なステージ機構の構成を簡潔にする。
【解決手段】ステージ基台２０は可動部２１、固定部２２、および支持部２３を有する。可動部２１、固定部２２、および支持部２３を一体的に形成する。ステージ基台２０全体を弾性部材によって形成する。可動部２１を板状の４辺形に形成する。固定部２２を可動部の周囲を囲む枠状に形成する。支持部２３を可動部２１と固定部２２とに連結する。支持部２３を４本の腕部と４つの屈曲部により形成する。第１の屈曲部と可動部２１とを連結する。第１の屈曲部に相対する屈曲部を固定部２２に連結する。可動部２１と固定部２２とに第１、第２の圧電素子１４ａ、１４ｂを挟持する。 （もっと読む）

【課題】 安価な機能追加により、下軸真直度の精度を向上させたＸＹステージを実現する。
【解決手段】 Ｘ軸方向またはＹ軸方向に配置され、その軸方向に位置制御される下軸スライダを有する下軸モータと、前記下軸スライダ上にＹ軸方向またはＸ軸方向に取り付けられ、その軸方向に位置制御される上軸スライダを有する上軸モータと、上位装置からの指令に基づいて前記下軸スライダ及び前記上軸スライダを位置制御する下軸ドライバ及び上軸ドライバと、よりなるＸＹステージにおいて、
前記下軸スライダの軸方向位置に対応して、軸方向真直線からの直交方向のズレ量を予め測定して保持した上軸位置補正手段を備え、
前記上軸ドライバは、前記下軸ドライバから取得する前記下軸スライダの位置情報に基づき、前記上軸位置補正手段より前記ズレ量を読み出して前記上軸スライダの位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】ワーク加工装置を直列方向に連結できると共に、直列方向に対して直角方向にも連結できる移送システムを実現する。
【解決手段】ＸＹ位置決めステージを直列方向に連結したワークの移送システムにおいて、
所定のワーク加工装置に対応して直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置と、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間に設けられワークの搬送時にワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段と、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられワークを前記所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間を搬送するＹ軸方向搬送手段とを具備したことを特徴とする移送システムである。 （もっと読む）

【課題】 電動機１による並進駆動によりテーブル４を回転動作するアライメント装置において、テーブル４を精度良くθ動作できるようにする。
【解決手段】 動作指令演算装置３１と、記憶手段３２と、第１の演算部３３と、第２の演算部３４とを備え、テーブル４の機械的な基準形態と、現在のテーブル４の回転量と、現在の電動機１の位置とを記憶し、基準形態から次の回転による最終的なテーブル４の回転位置になるまでに必要な電動機１の位置を計算し、現在の電動機１の位置と最終的な電動機１の位置の差から次に必要な電動機１の移動量を算出する。 （もっと読む）

【課題】ステージの変形や変位を抑制しつつ、高精度に傾斜できるステージ装置を提供する。
【解決手段】支持部材１７が傾斜すると、その方向（連結部１７ｃの幅方向即ちステージ２１の面に垂直な方向）の連結部１７ｃの剛性は比較的高いので、それに応じて支持部１７ｂも傾斜する。また相対変位部１７ａと支持部１７ｂとを連結する連結部１７ｃは、その面に垂直な方向即ちステージ２１の面に沿った方向の剛性が低く、また隣接する相対変位部１７ａ、１７ａはばね板１７ｄにより連結されているので、固定された相対変位部１７ａに対して、ステージ２１の面に沿った方向に変形しやすくなっており、図４の二点鎖線で誇張して示すように、変位した相対変位部１７ａにおけるステージ２１の面に沿った方向の変位を許容し、ストレスを解放するようにしている。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子の駆動子と被駆動体との接触部における摩擦力変動の影響を軽減し、テーブルを安定して移動させるようにする。
【解決手段】電動テーブル装置は、移動テーブル４２を固定台１４に対して１軸方向に移動可能に支持するガイド４３及び４４と、移動テーブル４２に設けられ、移動テーブル４２の移動範囲と同等以上の長さを有する摺動板と、移動テーブル４２を移動させる、１つの圧電体と２つの駆動子とで構成された超音波振動子と、超音波振動子の２つの駆動子と摺動板とが一定の力で押圧されるように支持する押圧機構とを備え、その超音波振動子を複数個設けるようにする。 （もっと読む）

【課題】構造物の位置決め精度の低下を抑制できる位置決め装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の第１の側面は、位置決め装置に係り、移動体と、前記移動体の上に配置された構造物と、前記移動体に対して前記構造物を移動させる電磁アクチュエータと、を備え、前記電磁アクチュエータは、前記構造物に対して水平方向及び鉛直方向の力を与える複数のリニアモータユニットを含み、前記複数のリニアモータユニットは、前記構造物に対して水平面内で直交する２軸の各軸周りの回転方向、及び鉛直方向の軸周りの回転方向の力を与えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワーク載置部を支持する石定盤を不要にしてステージに位置検出精度を確保する。
【解決手段】スライダ３２Ａ、３２Ｂは、ガイド部１４の左右側面及び上面に対向するように逆Ｕ字状に形成されており、ガイド部１４Ａ，１４Ｂの左右側面に対向するヨーパッド３４，３５と、Ｚ方向で対向するリフトパッド３６とを有する。また、ガイド部の左右側面には、一対のリニアスケール２２Ａ、２２Ｂが設けられている。第１のリニアスケールは、ガイド部１４Ａの左側面に対するＹステージ１８の移動位置を測定する。また、第２のリニアスケールは、第１のリニアスケールが配されたガイド部の左側面と平行な反対側の右側面に対するＹステージの移動位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】載物台の粗動および微動の切換時に測定対象物が位置ずれを起こすことがなく、載物台の移動が滑らかな載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】載物台および固定部材のいずれか一方に回転可能かつ載物台の移動方向に対して平行に支持された送り軸２１と、この送り軸２１を回転させる微動送りハンドルと、載物台および固定部材のいずれか他方に回転可能かつ送り軸２１と回転軸線が交差するように設けられた複数のころ７４とを有する摩擦移動機構と、ころ７４を送り軸２１に対して当接および離脱させる切換手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】モータといった駆動源を１つとしても二次元位置を決めることができるシンプル且つ安価なＸＹステージを提供する。
【解決手段】テーブル２にＸ方向ガイド機構１０が設けられ、移動テーブル３がＸ方向ガイド機構１０によりＸ方向に案内される。移動テーブル３は駆動機構３０によってＸ方向に駆動される。移動テーブル３に移動体５が搭載され、移動体５がＹ方向ガイド機構２０によりＹ方向に案内される。テーブル２に変換板４０及び変換板４２が固定され、変換板４０の傾斜面４１及び変換板４２の傾斜面４３がＸ方向及びＹ方向に対して傾斜し、傾斜面４１及び傾斜面４３は相対している。移動体５が傾斜面４１に当接した状態で移動テーブル３が＋Ｘ方向に移動すると、移動体５が−Ｙ方向に移動する。移動体５が傾斜面４３に当接した状態で移動テーブル３が−Ｘ方向に移動すると、移動体５が＋Ｙ方向に移動する。 （もっと読む）

【課題】基板吸着テーブルの撓みや変形を防止することのできる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】基板吸着テーブル上に載置された基板の傾き及び高さ位置を調整する調整機構を回転テーブル１４１上に設置された三つのテーブル昇降機構１７から構成した位置決めテーブル装置において、基板吸着テーブル１２の下面部に当接するサポート部材をピストンロッドの先端部に有する５個のエアーシリンダ１８を回転テーブル１４１の周囲に配置した。 （もっと読む）

【課題】精度向上を図ることができる傾斜ステージを提供するものである。
【解決手段】傾斜ステージＡは、円弧状に形成されたアリ条部１ａを有するベース１と、このベース１に対向して設けられると共に、アリ条部１ａに嵌合するアリ溝２ａを有するプレート２と、このプレート２をアリ条部１ａに沿って移動させる移動手段６と、アリ条部１ａに嵌合して摺動するアリ溝２ａは、対向する面２ａ’、２ａ”を有し、この対向する面２ａ’、２ａ”の内、少なくとも、一方の面２ａ’は、がたつきを有してプレート２に取り付けられているものである。 （もっと読む）

【課題】誤った欠陥検知または、検査感度の損失を引き起こすことのない基材支持の装置及び方法を提供する。
【解決手段】ステージミラー１１０に対する基材チャック１０６の変位を感知し、ステージミラーへ結合されているＺステージアクチュエータ１２６及びＸＹステージアクチュエータ１４６、１４８のうちの一方又は両方を有する１つ以上のフィードバックループにおける変位に比例する信号を結合することによって、ステージミラーに対する基材チャックの運動が動的に補償される。これに代えて、基材支持装置は、Ｚステージプレート1１２、ステージミラー１１０、Ｚステージプレートへ取り付けられている１つ以上のアクチュエータ、及びステージミラーへ取り付けられている基材チャックを含み得る。基材チャックは基材チャックの６つの運動自由度に対する拘束を有する。 （もっと読む）

【課題】 特別な治具等を用いてステージをプラテンから取り外すことなくエアベアリング面を清掃し、メンテナンス時間を大幅に短縮することを可能とした位置決め装置を実現する。
【解決手段】 エアベアリングを介してプラテン上に浮上するステージを位置制御する位置決め装置において、
前記プラテンの所定位置に、前記ステージ底部のエアベアリング面を洗浄する洗浄手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ベース部材に凹部が存在している場合でも、不測の挙動を示すことを抑制する。
【解決手段】第一部材の第一面１０Ａに形成された溝部１４の内側に設けられた第一流体吹出部１１と、溝部１４とは異なる第一面１０Ａ内の領域に設けられた第二流体吹出部２１Ａ、２１Ｂとを有する。 （もっと読む）