【課題】誤差の少ない高精度な位置検出が可能な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に配置されたスライダをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する平面モータにおいて、
前記スライダにレーザ光源、レンズおよびイメージセンサを搭載し、前記レーザ光源から出射したレーザ光を前記プラテンで反射させ前記レンズを介して前記イメージセンサで受光するように構成した。 （もっと読む）

【課題】手動ステージを土台に固定する締結具が機械振動などにより緩むことを防止する手動ステージ用ベース板を提供する。
【解決手段】精密機器が取付けられる摺動部品と、土台７に固定されるベース板１が接続される固定部品と、が摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う手動ステージの部品である手動ステージ用ベース板１において、ベース板１の裏面には、凹状箱部２が設けられ、凹部の内部に直方体の磁石５、弾性体、又は粘弾性材が収納される。 （もっと読む）

【課題】位置決め機構に引っ張りばねを用いたワークテーブルのメンテナンス作業を効率よく実施することのできるＸＹθステージ機構および引っ張りばねの脱着装置を提供する。
【解決手段】ベース１０に滑動自在に支持されたアライメントテーブル１１と、アライメントテーブル１１をベース１０に対し、Ｘ・Ｙ・θ方向に位置決めする位置調整機構（１２〜１４）と、アライメントテーブル１１をＸ軸方向の一方の側面部１１ａ側に押圧し、アライメントテーブル１１を位置調整機構（１２〜１４）で位置決めされた位置に固定する押圧機構（１６〜１９）と、アライメントテーブル１１に対する押圧機構（１６〜１９）の押圧力を解除し、アライメントテーブル１１をベース１０に対してフリー状態にするメンテナンス用治具２０とを具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】ステージの傾斜を、対象物が載せられる当該ステージの上面での全方位位置で適宜な傾斜角に調整することを可能とし、更に、これを簡便な構造で実現する。
【解決手段】操作レバー８をステージ２の試料台２ａでの適宜な方位位置まで旋回させると、操作レバー８の旋回に伴って可動支持部材７が摺動回転する（この回転に際して台座１２も同時に回転する。）とともに、第２球面軸受４の介在により可動節１１が旋回する。しかる後、操作レバー８を適宜な方向及び量だけ回転させると可動節１１が適宜な方向及び量だけ進退し、この進退に伴って第２球面軸受４においては第２凸部４ａと第２凹部４ｂとの間で、また、第１球面軸受３においては第１凸部３ａと第１凹部３ｂとの間で相対運動が生じてステージ２が適宜な量だけ傾斜する、即ち、当該ステージ２の試料台２ａが適宜な量だけ傾斜する。 （もっと読む）

【課題】
固定部品に対する摺動部品のストッパ機構及び摺動の程度の調整機構を容易にして精度よく調整でき、目盛の読取りを容易にする高機能な手動ステージを提供すること。
【解決手段】
樹脂からなる固定部品５の両側の壁部に逆三角形の突出部３１と溝３２とを設け、摺動固定ネジ１０を、摺動固定ネジ用孔１６を貫通させて突出部３１に突き当てて摺動部品４を押さえ込ませ、固定部品５に対する摺動部品４の位置を固定し、複数の摺動調節ネジを、摺動調節ネジ用孔１５を貫通させて突出部３１に突き当てて摺動部品４を押し、固定部品５と摺動部品４との摺動の程度を微調整する。 （もっと読む）

【課題】
使い勝手が良く汎用性の高い手動ステージを提供する。
【解決手段】
手動ステージ１は、摺動部品４及び固定部品５が透明な樹脂であり、着色されることも可能であり、摺動部品４に設けられるバーニア目盛１０ａ、及び固定部品５に設けられるバーニア目盛１０ｂは、摺動部品４及び固定部品５のそれぞれの樹脂部品の側面に直接印字され、摺動部品４と固定部品５との側面に印字されるバーニア目盛１０ａ，１０ｂの数字は、裏面から読み取れるように裏返しに印字され、操作者は、透明な摺動部品４及び固定部品５を通してバーニア目盛１０ａ，１０ｂの数字を読取る。 （もっと読む）

【課題】浮揚手段から噴出される空気が、スライダ部上方のセンサに悪影響を及ぼすことを抑制し、装置全体の性能低下を低減する。
【解決手段】この位置決め装置には、対象物が載置されるスライダ部と、スライダ部を水平移動させるためのプラテンと、スライダ部をプラテンから浮揚させる浮揚手段と、浮揚手段により浮揚したスライダ部を水平移動させる平面モータと、浮揚手段に空気を供給する空気供給部と、空気供給部から供給された空気を冷却する冷却部と、浮揚手段から噴出された空気の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出結果に基づき冷却部を制御する温度制御部とを備えている。温度制御部は、浮揚手段から噴出する空気の温度が、温度センサの検出結果よりも低くなるように、冷却部を制御する。 （もっと読む）

【課題】平行運動学などの駆動装置の運動学が従来技術と異なり、正確な位置決めが可能になる真空適用のためのテーブル装置を提供する。
【解決手段】真空適用のためのテーブル装置は空気静力学的軸受ユニットによりガイドされた移動テーブルとベースプレートを有する。軸受ユニット（１０）が、軸受ユニットの作動に必要なガスを供給及び排出する供給ライン及び吸い込みラインに連結し、各場合に少なくとも１つの段を有する、吸い込みチャネルと真空に対してシールするシーリングギャップとを有するシーリング装置を具備する。テーブル装置の特徴として、軸受ユニットが少なくとも部分的に回り継手として構成され、移動テーブルを横にガイドするドライブ（５）によって作動されるプッシュロッド（４）が、それぞれの回り継手の回転部品（２１）に連結し、プッシュロッドが中空であり、作動ガスを排出するための吸い込みラインの構成部品を構成する。 （もっと読む）

【課題】駆動機構の搬送量誤差と原点センサーの位置検出誤差を個別に加味した制御動作を実行する搬送制御装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送制御装置は、往復移動体を駆動する駆動機構と、原点センサー５と、駆動機構２の駆動量を検出する駆動量検出手段と、往復移動体が静止状態から移動状態に移行した時点を光学的に検知する移動検知手段とを具え、原点センサー５が第１出力状態から第２出力状態となるまで往復移動体を一方向に移動させた後、原点センサー５が第２出力状態から第１出力状態となるまで往復移動体を逆方向に移動させ、原点センサー５が第２出力状態となった後に往復移動体が静止状態から移動状態へ移行するまでの第１の駆動量と、往復移動体が移動状態へ移行した後に原点センサーが第１出力状態となるまでの第２の駆動量とを取得する。 （もっと読む）

【課題】スライドテーブルの停止位置の設定を、簡単かつ精度良く行うことができるスライドユニットの提供を図る。
【解決手段】ステージ２に移動自在にスライドテーブル４を設置し、スライドテーブル４の停止位置Ｓ１〜Ｓ４に対応してメカニカルバルブ１２Ａ〜１２Ｄを設ける。メカニカルバルブは、移動するスライドテーブル４がメカニカルバルブの接触子Ｃに接触することにより供給された空気圧を通過させる。メカニカルバルブを通過する空気圧を用いてテーブル停止機構６を作動してスライドテーブル４を所定位置に停止させる。これにより、メカニカルバルブとテーブル停止機構との相対的な位置関係を設計段階で予め設定しておくことにより、それらメカニカルバルブとテーブル停止機構とを単に機械的に組み付けるのみでスライドテーブルの停止位置を精度良く決定できる。 （もっと読む）

【課題】比較的大きな力及び／又はトルクに、好ましくはＸはりの外部寸法を変更する必要なく対処可能なベアリングを有する、リソグラフィ装置用の位置決めデバイスを提供する。
【解決手段】オブジェクトサポートを位置決めするオブジェクトサポート位置決めデバイス１は、第１、第２、および第３のスライダのうち少なくとも１つのスライダ内に流体ベアリングが設けられ、流体ベアリングは、少なくとも１つのスライダの摺動方向に垂直である第１の方向に反力を作用させるための複数のベアリング面を含む。 （もっと読む）

【課題】操作性及びデザイン性を向上させると共に、超音波モータ駆動時に発生する磨耗粉による変位センサの誤作動を防止する。
【解決手段】超音波電動ステージは、ベース部１と、Ｙテーブル２と、Ｘテーブル３と、Ｙテーブル２を駆動するリニア式超音波モータ６と、Ｙテーブル２の移動量を検出する光学式リニアセンサ７と、Ｘテーブル３を駆動するリニア式超音波モータ４と、Ｘテーブル３の移動量を検出する光学式リニアセンサ５とを備える。ここで、リニア式超音波モータ６、光学式リニアセンサ７、リニア式超音波モータ４、及び光学式リニアセンサ５は、Ｘテーブル３の上面よりも上方に迫り出すことなく、当該超音波電動ステージの前面以外の位置であって、且つ、リニア式超音波モータ６及び又は４の駆動時に発生する磨耗粉が光学式リニアセンサ７及び５に悪影響を及ぼさない位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを有するとともに、
スライダ１のＸ軸方向の位置に応じた信号を出力するレゾルバ３０と、スライダ１のＸ軸方向の加速度を検出する加速度センサ３１とを備えた位置検出装置３００を備え、
位置検出装置３００がレゾルバ３０と加速度センサ３１の出力に基づいてスライダ１の位置を求めることを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】 ステージが他の駆動装置によって駆動された場合に、他の駆動方向にステージが可動するのを許容すること、及びステージを駆動する場合に、単軸方向に沿ってステージに駆動力を伝達すること、の双方を同時に解決する。
【解決手段】 ステージ装置１０の駆動装置２０は、一対のフォールディッドビーム２３Ｒ，２３Ｌと、結合部２６と、櫛歯電極２２と、ストレートビーム２５を有している。一対のフォールディッドビーム２３Ｒ，２３Ｌは、結合部２６を間に置いて第１方向に沿って対向配置されている。結合部２６は、基板に対して浮遊しているとともに、一対のフォールディッドビーム２３Ｒ，２３Ｌとストレートビーム２５を結合している。櫛歯電極２２は、第１方向に直交する第２方向に沿って、結合部２６を揺動可能に構成されている。ストレートビーム２５は、第２方向に沿って伸びており、結合部２６の揺動をステージ６０に伝達可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】ステージをコンパクトに構成できると共に、所望の精度を確保でき、更にスケールの防塵を行うことができるようにする。
【解決手段】ベース部２と、テーブル３と、ベース部２とテーブル３との間に配置される案内部材１ａ、１ｂと、テーブル３に摺動板固定部材９と一体的に固定される摺動板８と、超音波モータ１０と、テーブル３にスケール固定部材６と一体的に固定されるスケール４と、センサ５とを含むステージにおいて、治具部材２１を用いて案内部材１ａ、１ｂに予圧を与えた状態で案内部材１ａ、１ｂを固定した後に治具部材２１を取り外し、治具部材２１を取り外した位置に摺動板固定部材９と一体的に固定した摺動板８をテーブル３に固定し、及び又は、治具部材２１を取り外した位置にスケール固定部材６と一体的に固定したスケール４をテーブル３に固定する、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】特定のエリアでは高い位置決め精度を確保しつつ、全体として比較的安価な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の位置を検出するレゾルバ３０ａ〜３０ｃ（以下レゾルバ３０とする。）と、
プラテン１０の特定のエリアＡにおけるスライダ１の位置をレゾルバ３０よりも高い精度で検出するレーザ干渉計２０ａ，２０ｂ（以下レーザ干渉計２０とする。）と、
スライダ１の位置に応じてレゾルバ３０またはレーザ干渉計２０のいずれかの位置検出装置を選択する切替スイッチ１００ｃと、
位置指令値および切替スイッチ１００ｃで選択された位置検出装置で検出される位置検出値に基づいてスライダ１の位置制御を実行する位置制御部１０２と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】複合機能を有しつつコンパクトで操作性が高く使用時の使い勝手がよい複合アリ溝摺動ステージを提供する。
【解決手段】第１アリ溝１０を有する第１摺動部品４と、その一方の面に第１アリ溝１０が嵌合される第１アリ９を有する固定部品５と、から構成され、第１ハンドル７の回転操作により第１摺動部品４を固定部品５に対して第１ハンドル７の軸と略直交する方向に摺動させる第１アリ溝摺動ユニット２と、第２アリ１１を有する第２摺動部品６と、その他方の面に第２アリ１１が嵌合される第２アリ溝１２を有する固定部品５と、から構成され、第２ハンドル８の回転操作により第２摺動部品６を固定部品５に対して第２ハンドル８の軸方向に摺動させる第２アリ溝摺動ユニット３と、を備え、第１ハンドル７及び第２ハンドル８の回転軸１７を共有させ、それらのハンドル７，８回転操作により精密機器を平面上の２軸方向に位置調整する。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを検出するギャップセンサ３０と、
このギャップセンサ３０の出力に基づいてレゾルバ２の出力の振幅を補正する補正部と、
この補正部からの出力を位置情報に変換する位置変換部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２のスライダ１の進行方向側に隣接して配置されたレゾルバ２ａ，２ｂと、
このレゾルバ２ａ，２ｂの出力に基づいてレゾルバ２の出力を補正する補正部と、
この補正部からの出力に基づいてスライダ１の位置を算出する位置算出部と、
を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】方形の基板を垂直に保持する保持装置であって、アライメント作業によっても被測定物にゆがみを生じ難い保持装置を提供することを目的とする。
【解決手段】垂直保持装置には、方形の基板１００の下端面と当接する平坦面を有する一対の保持部材２２、２３と、一対の保持部材２２、２３上に載置された基板１００の上端面を平坦面で押さえて基板１００を垂直保持する上部保持部材３４とが設けられる。また、上部保持部材３４を上下方向に移動させて、上部保持部材３４の基板１００に対する押さえ力を調節するスライド部３３が設けられる。 （もっと読む）