【課題】安価な構成により高精度でかつ短時間に原点復帰を行うことができる位置決め装置の実現を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向およびＹ軸方向に位置制御されるスライダ２００，３００と、このスライダ２００，３００と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ２００，３００と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ２００，３００に設けられ、スライダ２００，３００のプラテン１０に対する位置を検出するＸ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバと、
Ｘ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバで得られる位置検出信号に基づいて、スライダ２００，３００をプラテン１０上に設定された原点位置にサーボ制御する原点復帰制御部４０２と、
を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】オイルによる汚染がなく、磁気ノイズを発生しない、エネルギ効率のよい、高性能なステージ位置決め装置を提供する。
【解決手段】Ｙステージ７をＸ、Ｙ、Ｚの３軸方向に移動するステージ位置決め装置１であって、架台に対してテーブル１０を水圧によってＺ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１１と、テーブル１０に設けられるガイドレール９に対してＸステージ８を水圧によって支持する静圧軸受１８と、テーブル１０に対してＸステージ８を水圧によってＸ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１９と、Ｘステージ８に設けられるガイドレール２０に対してＹステージ７を水圧によって支持する静圧軸受１７と、Ｘステージ８に対してＹステージ７を水圧によってＹ軸方向に駆動する水圧アクチュエータ１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】広範囲の振動周波数に対して良好な減衰特性を持ち、かつ減衰特性の調整が容易な位置決めテーブルを提供する。
【解決手段】位置決めテーブル１０１は、駆動機構５３と、駆動機構５３により直線的に移動可能なテーブル可動部１１と、テーブル可動部１１に取り付けられたダンパ機構３と、テーブル可動部１１の振動量を検出する振動検出部３２Ａ，３２Ｂとを備え、ダンパ機構３は、圧電素子１Ａ，１Ｂと、圧電素子１Ａ，１Ｂに組み合わされたおもり２とを含み、さらに、振動検出部３２Ａ，３２Ｂによって検出された振動量に基づいて圧電素子１Ａ，１Ｂに駆動電圧を供給する制御部３３を備える。 （もっと読む）

【課題】
基部に対するステージ面を上下方向とピッチ方向、ロール方向に可動可能で、他の自由度には強く拘束され、かつ、アクチュエータへの力学的な負担が少ないステージの可動機構を、簡素で安価な構造で実現する。
【解決手段】
バネ性を有する素材がもつ弾性変形が許容される方向を活かすよう，板バネまたは曲げ棒バネなどのバネ材を用い、一つの間接部を有するくの字型の支持機構３０〜３３を構成し、これを二つ以上用いてステージ１０と基部２０とを弾性接続することで課題の自由度をもたらすステージ可動機構を構成している。同時に，くの字型を形成することで支持機構が弾性変形する際には，変位増加に対する反力が一定か減少するような逆バイアス特性がもたらされることで，アクチュエータを用いた場合の動作寿命を向上させることができる。また、センサ装置と組み合わせることによって３自由度の動作検出装置となる。 （もっと読む）

【課題】可動プレートのＸＹ並進方向の可動範囲から独立してθ方向の可動範囲を制限することを可能とする位置決め装置を提供する。
【解決手段】ＸＹθステージ１は、可動プレート３に載置される半導体ウエハＷのＸＹθ方向の位置決めを行う装置であり、前記可動プレート３を、ＸＹθ方向に駆動するアクチュエータ４１ｘ，４３ｘ，４１ｙ〜４４ｙと、θ方向の可動範囲を制限する回転制限部２０と、を備えている。前記回転制限部２０は、前記可動プレート３に対するＸ方向の並進移動とＹ方向の並進移動とが許容され、かつθ方向の回転移動が規制されるように前記可動プレート３にリンクされた円筒部材２５と、前記基台フレーム５に対して固定され、前記円筒部材２５の内壁面との間に間隙をもって円筒部材２５に挿通された丸棒部材２７と、を有している。 （もっと読む）

【課題】多段階の位置決めが可能であり、故障や停電等の電気系統のトラブルが発生した際の復旧が極めて容易な汎用位置決めテーブルを提供する。
【解決手段】汎用位置決めテーブル１は、一方向に摺動可能なテーブル１１と、当該一方向と平行をなす軸を中心に回転可能なシャフト１３１と、シャフト１３１の側面上に設けられた、摺動するテーブル１１を停止させるための複数のストッパ１３２と、を備えている。ここで、摺動するテーブル１１は、複数のストッパ１３２のうちシャフト１３１の回転により切り替え可能な一のストッパ１３２に当接することで停止させられる。 （もっと読む）

ＸＹテーブルは、固定基準部分（Ｂ）と、該基準部分（Ｂ）に対して相対的に第１の方向（Ｙ）に移動可能に保持されている中間部分（Ｆ）と、該中間部分（Ｆ）に対して相対的に第２の方向（Ｘ）に移動可能に保持されている物体（Ｏ）とを含む。この場合、処理されるべき部品（Ｗ）が物体（Ｏ）又は基準部分（Ｂ）上に配置される。さらに、第１の方向（Ｙ）に対して、基準部分（Ｂ）と中間部分（Ｆ）との間の平面内自由度（Ｘ、Ｙ、Ｒｚ）を測定するための少なくとも１つの１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_１、Ｍ_２）と、第２の方向（Ｘ）に対して、物体（Ｏ）と中間部分（Ｆ）との間の平面内自由度（Ｘ、Ｙ、Ｒｚ）を測定するための少なくとも１つの１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_３、Ｍ_４）とを含む。これにより、部品（Ｗ）又は物体（Ｏ）におけるツール中心点（ＴＣＰ）の位置（Ｘｏ、Ｙｏ）が測定可能である。１Ｄプラスエンコーダ（Ｍ_１、Ｍ_２、Ｍ_３、Ｍ_４）は、第１及び第２（Ｙ、Ｘ）の方向に広がる平面であってツール中心点（ＴＣＰ）を含む平面内へのそれらの投影が、ＸＹテーブルの全走行領域内で部品（Ｗ）の外側に存在するように配置されている。これにより、アッベ（Ａｂｂｅ）条件が満足されるので、簡単な１Ｄプラスエンコーダを用いて物体（Ｏ）におけるツール中心点（ＴＣＰ）の正確な測定を可能にする。
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【課題】 ボールねじとリニアスケールを近接一体化して耐荷重構造とし、精度を良くするとともに、移動対象をサブミクロンオーダーで移動することができるようにするものである。
【解決手段】 パーソナルコンピュータに連結するコントローラを介してモータケーブルとスケールケーブルで操作される位置決め自動ステージにおいて、位置決め自動ステージ本体のどちらかの一端にステッピングモータを配設し、駆動部が配設された上面を２５〜４８ｍｍにスリム化し、ボールねじをリニアスケールの上部に、若干の間隙を持たせながらも密着させないように近接一体化して耐荷重ステージ構造とし、位置決め自動ステージの両サイドには組み込み方式のクロスローラガイドを設け、フィードバック制御をリニアスケールで行い、ボールねじとリニアスケールを近接一体化して内蔵した位置決め自動ステージ （もっと読む）

【課題】ベース及び移動体間の予圧力付与機構と、移動体のガイド機構との各々について小型化及び薄型化を実現し、ガイド性能の更なる高精度化を行える微小移動装置及び位置決め装置を提供する。
【解決手段】微小移動装置２ａが、一部に磁性体を含むベース３と、ベース３上面に形成されたほぼ直線状の溝からなる溝ガイド部１２と、溝ガイド部１２に平行に形成されたベース３上面よりも低い底面を有する平面ガイド部１１と、溝ガイド部１２内を摺動可能に設けられた第１のスペーサ８、９と、平面ガイド部１１内を摺動可能に設けられた第２のスペーサ１０と、第１のスペーサ８、９及び第２のスペーサ１０と固定されベース上面に設けられ、一部に磁性体を含む移動体５と、移動体５に衝撃力を付与することで移動体５をベース３面上で移動させる衝撃力発生手段と、移動体５とベース３とを相互に吸引させる磁力を発生する磁力発生手段１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】バーミラーの形状、スライダの走り、スライダのヨーイング角の情報を、高精度に識別して測定可能な機能を備えるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテン上をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御されるスライダと、前記スライダの一辺近傍に配置されたバーミラーと、このバーミラーに光を当てて距離を計測するレーザ干渉計とを具備するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーに沿って等間隔に固定配置された３個の距離計と、
前記スライダを所定距離づつｎ回（ｎ≧２）平行移動させるスライダ移動手段と、
前記スライダの初期位置及び所定距離の移動毎に、前記距離計の測定値に基づいて前記バーミラーの形状、前記スライダの走り、前記スライダのヨーイング角の少なく共いずれかを演算するバーミラー形状演算装置と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】縦型ＸＹテーブルのテーブル高さにつき、制限された所望の高さを維持すると同時に、より高い姿勢精度を保つ縦型位置決めテーブルを提供する。
【解決手段】ベース６は第１鉛直面７およびこれと背中合わせの第２鉛直面８を有する。ＸＹテーブル１はＸ軸方向に動くＸテーブル２と、Ｙ軸方向に動くＹテーブル３とを有する。第２鉛直面８にＸＹテーブル１を配設した第２ステージを構成し、ＸＹテーブル１のＸテーブル２のＸ軸駆動装置を第１鉛直面７に配設した第１ステージを構成し、Ｘ軸駆動装置の可動部にＸテーブル２を直接連結する。 （もっと読む）

【課題】従来の二次元型テーブル微小角度駆動機構は、検出した傾斜角に誤差が含まれており、二軸テーブルの利用において精度が低下している。
【解決手段】本発明による二次元型テーブル微小角度駆動機構は、補正手段５３は、Ｘ軸に沿う傾斜角とＹ軸に沿う傾斜角とを軸とした二次元座標系の各設定点の中から、指定傾斜角５２ａを囲む設定点を抽出するとともに、この前記指定傾斜角５２ａを囲む前記設定点の前記補正用誤差データ５５ａに基づいて、前記指定傾斜角５２ａにおける補正量ΔＸ，ΔＹを求め、傾斜角検出手段５４により検出された傾斜角５４ａを、補正量ΔＸ，ΔＹを用いて補正する。 （もっと読む）

【課題】フットプリントを低減し、装置のコンパクト化を図ることのできるステージ装置を提供する。
【解決手段】Ｙ軸移動体４を移動させるＹ軸駆動部３として、磁石を内部に有するＹ軸シャフト３Ａ，３Ｂ及び当該Ｙ軸シャフト３Ａ，３Ｂを取り囲むコイルからなるＹ軸可動子９Ａ，９Ｂを用いることによって、リニアモータなどに比して駆動部を小さくし、これにより、側面側滑走面２ｄに対向する側部４ｂを一方のＹ軸可動子９Ａの下方に配置し、Ｙ軸駆動部３Ａと横並びになった場合に側部４ｂが占めるフットプリントを省略する。 （もっと読む）

【課題】ガイドを用いた移動機構を有することなく、外力による変位量の誤差が発生しにくく、より微小な変位量を与えることが可能で位置決めが容易な調整ステージ及び調整ステージ装置を提供する。
【解決手段】基台２１と、基台に接続された複数のリンク部材２３にて前記基台とほぼ平行な略放射状の方向に引張られて前記基台とほぼ平行に、且つ前記基台に直接触れないように保持された可動体３１と、を備えた調整ステージ２０であって、可動体３１には、基台２１に対してほぼ直交する方向から任意の変位量が入力される複数の変位入力位置（Ｒｉｎ）が設けられている。そして、基台２１には、複数の変位入力位置の各々に任意の変位量を与える複数の変位供与手段（２５Ｒ）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、二軸テーブルの微小角傾動を４個のヒンジを有するフレクチャヒンジ体を介して行うことにより、円滑で高精度の傾動動作を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明による二次元型テーブル微小角度駆動機構は、ベース(1)のシャフト(3)上に４個のヒンジ(31〜34)を有するフレクチャヒンジ体(4)を設け、このフレクチャヒンジ体(4)の可動側に二軸テーブル(5)を設け、この二軸テーブル(5)を二軸方向に駆動するための二軸の駆動トルカ(20〜23)を設け、各駆動トルカ(20〜23)を選択的に駆動することにより各ヒンジ(31〜34)のねじりによって二軸テーブル(5)の傾動を行う構成である。 （もっと読む）

【課題】微動ステージ装置において、ステージの固有振動数を高くすることができる機構を提供する。
【解決手段】本発明の微動ステージ装置は、基体と、該基体に対して相対的に可動なステージと、該ステージを前記基体に対して弾性的に支持する弾性支持部材と、を有する。弾性支持部材は、前記ステージの移動方向に沿って伸縮するように配置され、前記ステージの移動方向に沿って延びる前記ステージの２つの側面の各々に沿って直列に配置されている。 （もっと読む）

【課題】弾性体で可動ステージの重量を支持し、アクチュエータで可動ステージを駆動する精密微動位置決め装置において、装置を小型にし多自由度化する。
【解決手段】固定ベースと、固定ベースの上に取り付けられた電磁アクチュエータの固定子と、固定子と一定の空隙を介して対向し、固定子に対して上下に移動可能な電磁アクチュエータの可動子と、固定ベースと可動ベースとの相対的な変位を検知する変位センサが収納され、固定ベースの上に下端が取り付けられた弾性支持機構と、弾性支持機構の上端と電磁アクチュエータの可動子の上端とが固定された可動ベースと、を備えた精密微動位置決め装置とした。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置制御を行うことが可能なステージ装置の設計方法、ステージ装置の製造方法、露光装置の製造方法、およびステージ装置を提供する。
【解決手段】ＸステージとＸステージ上を移動するＹステージとを含む力学系の伝達関数を求め、求めた伝達関数の零点の実部が負の値となるように、Ｙステージの質量またはＹステージの重心まわりの慣性モーメントを決定する。 （もっと読む）

【課題】リテーナが重力によって余分に下降することを防止することによって、縦型に配置してもリテーナが重力によって余分に下降することのない、平面軸受タイプのテーブル装置を提供する。
【解決手段】上面及び下面が相互に平行な平面状に形成された基台と、この基台の上面及び下面を挟んで配置された２個の平面玉軸受と、この２個の平面玉軸受を更に上面及び下面から挟持して保持し、少なくとも直交するＸ、Ｙの２方向に移動する移動台とを有するテーブル装置において、２個の平面玉軸受は、いずれも多数個の保持孔が穿孔された平板状のリテーナと、この保持孔に保持された多数個の球体とを有し、更に、移動台の移動によって、リテーナを移動台の移動量の１／２だけ強制的に移動する連動機構を有することを特徴とするテーブル装置によって達成される。 （もっと読む）

【課題】試料移動ステージをスライドさせて生じるスライドの変形が試料テーブルに伝達されることを防止する試料移動ステージに関する。
【解決手段】ベースフレームに取り付けられ第１のガイドブロックに沿って移動する第１のスライド、および前記第１のスライドに取り付けられかつ第２のガイドブロックに沿って移動する第２のスライドが相互横断方向に取り付けられる可動部と、前記第２のスライドに形成されたひずみメカニズムモジュール５０を仲介して取り付けられた試料テーブルによって試料を移動させる。前記ひずみメカニズム５０は、上下方向に沿って一定間隔で上記第２のスライドの上面を規則的に貫通する多数の緩衝孔５３と、前記緩衝孔５３の中心に当たるように切断され、かつ上記試料テーブルが取り付けられるブリッジ部５６および取付部５２の変形空間を提供する多数の変形ライン５４とからなり、スライドによる変形が試料テーブルに伝達されない。 （もっと読む）