【課題】共振器の望ましくない偏光状態に整合された入力光、または共振器の望ましくない空間モードに整合された入力光からの干渉を最小限に抑えることにより、より正確な回転速度測定値を有する光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】光ビームを各逆伝播方向に循環させるリング共振器は、中空コアおよび第１および第２の端部を有する光ファイバコイル２４と、入力光ビームを受け、入力光ビームの一部をリング共振器の逆伝播方向に向けるように構成された第１の光学素子４０と、第１の光学素子と共に循環光ビームの大部分をリング共振器の逆伝播方向に向け、循環光ビームの伝送モード成分を端部の一方で導出するように構成された第２の光学素子４２とを備える。入力光ビームの部分は、第１および第２の端部の一方に進入し、循環光ビームは入力光ビームに基づく。伝送モード成分は、リング共振器の逆伝播方向の共振ピークを示す。 （もっと読む）

【課題】熱による温度特性の変化の影響を低減したＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】センサ温度を測定するための温度センサ３が搭載された信号処理用ＬＳＩ１と、前記信号処理用ＬＳＩ上に搭載されたＭＥＭＳセンサチップ２と、を有し、前記ＭＥＭＳセンサチップ２を前記信号処理用ＬＳＩ１の発熱部上に搭載する。 （もっと読む）

【課題】振動子の故障検出精度を高めた角速度検出回路、角速度検出装置及び故障判定システムを提供する。
【解決手段】駆動信号に基づいて励振振動する振動子１０に接続され、角速度を検出する角速度検出回路５であって、振動子１０から、コリオリの力に基づく角速度成分と、励振振動に基づく自己振動成分とを含む検出信号が入力され、検出信号から自己振動成分を抽出する自己振動成分抽出手段３３１と、自己振動成分抽出手段３３１の出力信号を積分する積分手段３３６を含む直流変換手段３３２と、直流変換手段３３２の出力信号の温度による変動を補正する温度特性補正手段３３３とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、部品点数が少ないにも関わらず、温度変化による出力信号の変動を防止することが可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、角速度振幅検出回路８２からの出力信号を入力する切替スイッチ８７を設け、角速度振幅検出回路８２からの出力信号が所定の値となった際には、切替スイッチ８７により、補正演算手段７５の機能を停止させるように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスとの熱膨張の整合がよくとれた基板を有する構造の製造方法を提供する。
【解決手段】ボンディングされたエッチ・バック絶縁体上シリコン（以降は、ＢＥＳＯＩと称する）方法に基づく。ＢＥＳＯＩ方法はＳＯＩウェハ４０を含み、該ＳＯＩウェハ４０は、ハンドル・レイヤ４６、二酸化ケイ素からなる誘電体レイヤ４４、及びデバイスレイヤ４２を有する。ＳＯＩウェハ４０のデバイスレイヤ４２をメサ・エッチングによってパターン形成した後、該ＳＯＩウェハ４０を、パターン形成されたデバイスレイヤを有する別の基板にボンディングする。その後、ＳＯＩウェハ４０のハンドル・レイヤ４６、及び誘電体レイヤ４４をエッチングによって除去される。さらに、デバイスレイヤ４２をエッチングしてＭＥＭＳ装置を形成する。このＢＥＳＯＩ方法では、二酸化ケイ素誘電体レイヤ４４が除去された後に構造エッチングが実行される。 （もっと読む）

【課題】振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に角速度検出センサを設置した場合でも高精度な角速度検出を実現すること。
【解決手段】互いに直交する第１の方向および第２の方向に変位可能な振動体を有し、前記振動体を第１の方向に振動させた状態で前記振動体の第２の方向への変位を角速度として検出する角速度検出装置において、前記振動体を第１の方向に振動させる駆動信号の周波数変化に応じて、第２の方向の変位量から角速度を検出するためのサーボ信号の周波数を変化させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子を用いた慣性力センサに関し、温度変化に伴う検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、振動腕８とこれを支持する固定部６を有する振動子２と、振動子２の制御回路を構成するＩＣ３と、振動子２とＩＣ３を収容するパッケージ１と、パッケージ１の内部で振動腕８を振動可能に支持する支持台５を備えた慣性力センサにおいて、固定部６が接続される支持台５に固定部６を囲む壁部１８を設け、この壁部１８と固定部６の間に保持層２０を設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】温度で変化するバイアスを低減するために、振動構造姿勢制御装置を調整するための方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）振動構造姿勢制御装置を較正するための方法が、提供される。方法は、少なくとも１つの駆動電極に対する少なくとも１つのプルーフマスの位置の示度を取得するステップと、少なくとも１つのプルーフマスを少なくとも１つの駆動電極に対する第１の位置に配置するように構成された静電力を、少なくとも１つのプルーフマスに、示度の関数として加えるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持部に接続された振動片の上面に下部電極、圧電体層、上部電極を設け、上部電極と下部電極との間に制御電圧を印加することで振動片を側方に振動させる振動子に関し、振動子の生産性を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、支持部１６と、支持部１６に接続された振動片１７と、振動片１７の上面に設けられた下部電極２１と、下部電極２１上に設けられるとともに外周端が下部電極２１の外周端より内側となる圧電体層２２と、圧電体層２２上に設けられるとともに外周端が圧電体層２２の外周端より内側となる上部電極２０を有する振動子１２において、圧電体層２２を振動片１７の振動方向に偏倚させることで振動片１７の振動方向を調節する構成とした。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロスコープにおいて、センサ素子の検出感度の温度依存性をより広い温度範囲にて好適に補償可能とする。
【解決手段】温度特性ｆ(T)を有する振動子に対して、励振レベルを１／ｆ(T)で変化させる補償を行う。制御回路１０８は温度電圧生成回路１１０からｆ(T)で変化する電圧Ｖtempを入力され、温度に依存しない基準電流を供給される可変抵抗回路１０６の抵抗値を制御して電圧降下をＶtempに一致させる。可変抵抗回路１０６と同一構成の可変抵抗回路１０４は制御回路１０８の制御信号によりｆ(T)に応じた抵抗温度特性を与えられる。反転増幅回路１０２は励振レベルに応じたモニタ電圧を入力され、発振信号を増幅する可変利得増幅回路４２のゲインを制御する。反転増幅回路１０２の反転入力端子には可変抵抗回路１０４が接続され、１／ｆ(T)に応じて変化する補正電流Ｉcをモニタ電流Ｉmから減じる。 （もっと読む）

【課題】内圧変動による振動子の出力信号の変動が補正された角速度センサを提供する。
【解決手段】直交の関係にあるｘ方向とｙ方向それぞれに変位可能な振動子（１９）と、振動子（１９）をｘ方向に振動させる駆動部（３７，５５）と、振動子（１９）のｘ方向の振動振幅を検出する振幅検出部（３６，５４）と、振動子（１９）のｙ方向への変位量を検出する変位検出部（３８，５６）と、振動子（１９）を密閉空間に収納するパッケージ（７０）と、を有する角速度センサであって、振幅検出部（３６，５４）の出力信号に基づいて、変位検出部（３８，５６）の出力信号を補正する補正部（５７）を有する。 （もっと読む）

【課題】検出精度の低下を抑制可能な力学量センサを提供する。
【解決手段】接合部３００において、枠の外形を構成する外形輪郭線が矩形状の角部が除去された多角形状にする。これによれば、接合部が矩形枠状とされている従来の力学量センサに対して、角部が除去された部分では一辺の長さが短くなるために膨張量・収縮量が小さくなる。このため、角部が除去されることによって新たに形成された角部に発生する応力を低減することができ、当該角部からセンサ基板１００に印加される応力を小さくすることができる。したがって、検出精度が低減することを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ＱＶアンプの特性変動を低減させるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣ１０は、半導体基板１１の第１の面１１Ａに集積回路と電極とが形成されている。センサー素子２０は、振動部を有し、半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向する面に電極が形成されている。半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して１又は複数の再配置配線３０が設けられ、再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板１１に形成された電極とセンサー素子２０に形成された電極を電気的に接続する。ＱＶアンプ１１０，１２０は、センサー素子２０の検出信号が入力され、半導体基板１１の第１の面１１Ａに直交する方向から視た平面視において、センサー素子２０の振動部と重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】対称回路の評価を適正に行うことができるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣの半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して設けられた複数の再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板に形成された電極とセンサー素子に形成された電極を電気的に接続する。半導体基板の第１の面には、対称性を有する第１，第２の信号をそれぞれ生成するＱＶアンプ１１０，１２０（第１，第２の回路の一例）、配線１１２，１２２（第１，第２の配線の一例）、配線１１２，１２２を介して第１，第２の信号がそれぞれ供給されるパッド７０−１（第１の電極の一例），７０−ｎ（第２の電極の一例）がさらに形成され、半導体基板の第１の面に直交する方向から視た平面視において、配線１１２の形状と配線１２２の形状が対称性を有する。 （もっと読む）

【課題】検出性能の劣化が抑制されたセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ装置は、実装面に対してθの角度で傾斜する底面２Ａ１を有するパッケージ本体２と、底面２Ａ１上に搭載される角速度センサ素子１と、底面２Ａ１上に角速度センサ素子１を収納する中空部２Ａを形成するようにパッケージ本体２に取り付けられるリッド５と、底面２Ａ１と角速度センサ素子１との間に介在し、パッケージ本体２よりも高い柔軟性を有するダイボンド材４とを備える。センサ装置は、リッド５が実装面と対向する構造を有し、パッケージ本体２の裏面２Ｂが水平方向と平行に延びる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ると共に、周波数温度特性を改善した圧電振動素子を得る。
【解決手段】圧電振動素子１は、圧電振動素子１の圧電基板８が、複数の振動腕１５ａ、１５ｂ、その振動腕の一方の端部間を連接する基部１０、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され幅広で錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心に沿って形成された溝部１７ａ〜１８ｂ、を備えている。各錘部２０ａ、２０ｂは、振動中心に沿っての両側に対称に配置され且つ大きな質量を備えた質量部２１を備えており、圧電振動素子１に励振される屈曲−捩じり結合振動のうちの屈曲振動を主振動とし、その周波数温度特性が温度に関し三次特性となるように、圧電基板８の厚さ及び切断角度と、各質量部２１及び溝部１７ａ〜１８ｂの形状と、を夫々適切に設定する。 （もっと読む）

【課題】ボビンと光ファイバの熱膨張率の差により発生する熱応力の影響を排除し、温度特性に優れた高性能な光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】光ファイバ３１よりなるセンシングコイル３０に左右両回りに光を伝播させ、角速度入力により生じる左回り光と右回り光の位相差から入力角速度を検出する光ファイバジャイロにおいて、センシングコイル３０を構成する光ファイバ３１とは別の光ファイバ４１をボビン３２に巻き付けて緩衝層４０を構成し、その緩衝層４０上にセンシングコイル３０を巻き付ける。 （もっと読む）

【課題】経時的に検出精度が低下することを抑制することができる角速度センサ装置を提供する。
【解決手段】可動部を有する角速度センサ素子１００と、可動部の駆動振動を制御する駆動信号を角速度センサ素子１００に出力し、駆動振動を一定に維持する駆動回路２１０と、角速度センサ素子１００における容量変化を検出して検出信号を出力する検出回路２２０と、角速度センサ素子１００を収納するパッケージと、パッケージに収納され、パッケージ内の圧力を検出する圧力センサ３００と、圧力センサ３００で検出された圧力から可動部における検出振動の共振倍率を演算し、検出信号および演算した共振倍率を用いて、印加された角速度を示す角速度信号を生成して出力する補正演算回路２３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、出力信号が不安定になってしまうということのない、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ケース７０における外底面の４隅の近傍に、振動子６１における第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６、検出電極６７およびＩＣ９０のいずれにも電気的に導通しないダミー電極７９を設けることで、ケースにおける電源電極における半田付部にクラックが発生することを防止する。 （もっと読む）