【課題】本発明は、抑制可能な像振れの種類を増やすことのできる像振れ補正装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の像振れ補正装置は、撮影像を結像する撮影系（２）に加わる振動を検出する第１のセンサ（６ｐ，６ｙ）と、前記第１のセンサより高い周波数の前記振動を検出可能な第２のセンサ（５ｐ，５ｙ）と、前記第１のセンサと前記第２のセンサとの検出結果の加算値に基づき、前記振動による前記撮影像の振れを制御する制御部（３）とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】角速度検出用のセンサチップと回路チップとが積層されバンプ接続されてなるセンサ装置において、センサチップのセンシング部を樹脂フィルムで覆いつつ回路チップに対向させた場合に、センサチップと樹脂フィルムとの線膨張係数の差によるセンサチップの変形を抑制する。
【解決手段】半導体チップとしてのセンサチップ１０を、センシング部としての振動体１１を回路チップ２０の一面に対向させた状態でバンプ４０を介して回路チップ２０に積層し、センサチップ１０の一面に、振動体１１を被覆する樹脂よりなる第１のフィルム５１を接合し、センサチップ１０における一面とは反対側の他面に、樹脂よりなる第２のフィルム５２を接合した。 （もっと読む）

【課題】離調度調整においてエッチングによるＣＩ値の上昇を抑制する。
【解決手段】水晶振動子を構成する水晶振動片の製造において、パッケージに実装された水晶振動片をこのパッケージと共にエッチング液に浸漬し、パッケージに実装された状態において、水晶振動片を駆動する駆動脚及び水晶振動子の振動を検出する検出脚の両脚の面を同時にウエットエッチングするエッチング工程を含み、エッチング工程において駆動脚の面のエッチングによる除去量を抑制する。駆動脚の平面電極の幅の設定、駆動脚の平面電極の配置位置、駆動脚と検出脚における電極で覆われない部分の幅等を設定することで、エッチングによるＣＩ値の上昇を抑制する。 （もっと読む）

【課題】振動型の角速度センサ装置において、角速度検出素子とパッケージとの間にてパッケージの搭載面と平行な方向にも振動吸収機能を持つバネマス系を形成して、外部振動を吸収させる。
【解決手段】角速度検出素子２０とパッケージ１０の搭載面１３との間に、板状の台座６０を搭載面１３と平行な状態で介在させることで、角速度検出素子２０を台座６０上に支持させるとともに、台座６０の下面と搭載面１３との間は、振動吸収機能を持つ第１の接着剤４１を介して接続され、台座６０の端面はパッケージ１０の壁面１４に対して、振動吸収機能を持つ第２の接着剤４４を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】 電極層および下地金属層の形成後の残留応力を低減し、ＣＩ値の上昇を抑制することができる屈曲振動型圧電振動片、これを用いた音叉型圧電振動子および角速度検出センサを提供すること。
【解決手段】 クロムに比べて残留応力が小さいニッケルで下地金属層２０Ａ，２０Ｂが形成されるため、基板２と電極層３０Ａ，３０Ｂとが屈曲振動によって機械的応力を受けても、ＣＩ値の上昇を抑制することができる。
クロムに比べて拡散速度が遅いニッケルで下地金属層２０Ａ，２０Ｂが形成されるため、ニッケルが金で形成された電極層３０Ａ，３０Ｂへ拡散して下地金属層２０Ａ，２０Ｂが薄くなるという現象が低減される。したがって、下地金属層２０Ａ，２０Ｂとしてニッケルが形成されていれば、基板２と電極層３０Ａ，３０Ｂとが屈曲振動によって機械的応力を受けても、基板２と電極層３０Ａ，３０Ｂとの密着性を確保できる。 （もっと読む）

【課題】 外界の衝撃や振動と内部振動系を分離した高性能の振動ジャイロを実現する。
【解決手段】 本発明の振動ジャイロは、複数の脚部と基部と支持部とを備えた振動子と、この振動子を収容する筐体と、前記振動子へ不要な振動が伝達するのを防止し、前記支持部を設けた防振部材と、を有する振動ジャイロであって、前記防振部材は、少なくとも一部に開放部を有すると共にばね性を備えた枠状に形成され、かつ、弾性部材を介して筐体に固着されることを特徴とする。これにより、外界の衝撃や振動と内部振動系を分離した高性能の振動ジャイロを実現できる。 （もっと読む）

【課題】 ロックイン現象を抑制して検出可能な角速度を低くすることができる光ジャイロを提供する。
【解決手段】 半導体レーザ１０は、９０度回転させた場合に回転前後で一致する形状を有し、４個の光検出器１５は、９０度回転させた場合に回転前後で実質的に一致する位置に配置され、半導体レーザジャイロが９０度回転対称性を満足する。 （もっと読む）

振動式ジャイロスコープを備えるセンサ装置の監視方法であって、該振動式ジャイロスコープは共振器であり、かつ制御回路の一部であり、該制御回路は前記振動式ジャイロスコープを、固有周波数のエネルギー信号を供給することによって励振し、前記振動式ジャイロスコープからは出力信号が取り出され、該出力信号からフィルタリングと増幅によって励振信号が導出される形式の方法において、固有周波数の目下の値と、前もって調整時に基準温度で測定され、メモリに格納されている固有周波数の値との差、および固有周波数の温度係数から、測定に対する温度変化の第１の値を計算し、目下の温度における温度センサの出力量と、メモリに格納されている基準温度での温度センサの出力量との差、および温度センサの温度係数から、測定に対する温度変化の第２の値を計算し、計算された２つの値を比較し、所定の程度を越える偏差がある場合、エラー信号を形成する方法。
（もっと読む）

【課題】 一つの圧電ジャイロセンサモジュールで２軸または３軸方向の回転角速度の測定が可能な圧電ジャイロセンサモジュールを提供する。
【解決手段】 圧電ジャイロセンサモジュール１００は、回転角速度を検出する振動片１０を内蔵する少なくとも２個または３個の圧電ジャイロセンサ１，２及び３と、圧電ジャイロセンサ１，２，３の姿勢を規定する直方体からなる機枠４０と、圧電ジャイロセンサ１，２、及び３の全てと外部回路との接続を行う回路基板５０、フレキシブル基板６０、端子基板７０と、が備えられ、圧電ジャイロセンサ１，２，３のそれぞれの主面が、前記機枠４０の垂直な２面または３面それぞれに平行になるように配設されている。 （もっと読む）

【課題】従来の圧電センサの信号処理装置は、励起片（圧電体）を振動させる駆動信号を発生するための駆動回路が必要であり、構成が複雑である上、励起片（圧電体）を振動させるための駆動電流が必要となり、装置全体の消費電流が増加する課題があった。
【解決手段】第１のコンデンサ３により圧電センサ１に生じる電荷変化の交流成分のみがオペアンプ４に入力され、第１の抵抗体２と第２の抵抗体７との間の電圧の直流成分はオペアンプ４に入力されないので、第１の抵抗体２と第２の抵抗体７との間の電圧に基づき圧電センサ１の電極の断線や短絡といった異常を判定することが可能となり、シンプルで消費電流の少ない構成で圧電センサの断線や短絡といった異常を判定することができる。 （もっと読む）

【課題】 重錘体の封止状態を維持したまま、検出に必要な配線を確保する。
【解決手段】 シリコン基板２５０により、重錘体２１０、可撓部２２０、台座２３０を形成し、その上面にガラス基板１５０を接合し、下面にガラス基板３００を接合する。重錘体２１０が、密封空間内で加速度に応じて変位すると、変位電極Ｅ０も一緒に変位する。上部基板１５０の下面には、変位電極Ｅ０に対向する固定電極Ｅ１〜Ｅ５が形成され、上部基板１５０の上面には、各固定電極Ｅ１〜Ｅ５に対向する外部電極ＥＥ１〜ＥＥ５が形成されている。変位電極Ｅ０と固定電極Ｅ１〜Ｅ５とにより容量素子が形成され、固定電極Ｅ１〜Ｅ５と外部電極ＥＥ１〜ＥＥ５とにより別な容量素子が形成される。端子Ｔ０と端子Ｔ１〜Ｔ５との間の静電容量値を測定することにより、重錘体２１０の変位状態を検出し、作用した加速度の検出を行う。 （もっと読む）

【課題】光ファイバジャイロの異常を検出する。
【解決手段】光ファイバジャイロ１０のＣＷ信号、ＣＣＷ信号の所定サンプリング期間におけるパルス数をサンプリング器１２、１８で検出する。異常判定器２８は、パルス数がしきい値以上あれば正常と判定し、両パルス数ともしきい値より小さければ断線あるいは接続不良等の異常が生じていると判定し、出力器２６に出力する。異常判定器２８は、量子化ノイズの有無により異常を判定してもよい。 （もっと読む）

【課題】加速度センサ及び角速度センサを高精度にかつ再現性よく位置決め固定できるセンサユニットを提供する。
【解決手段】センサユニット１０は、基準ベース１２を有する。基準ベース１２の底面１２Ａ及び一側面１２Ｂを基準面として用い、加速度センサブロック１４及び角速度センサ取付支柱を基準ベース１２上に設ける。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ方向の加速度をそれぞれ検出する３個の加速度センサ１６を加速度センサブロック１４の各面に接着し、各軸回りの角速度を検出する３個の角速度センサ２４を防振ゴムとしてのゴムブッシュ２０を介して支柱にネジ２２で締め付け固定する。 （もっと読む）

【課題】ジャイロを搭載するロボットにおいて、ロボットの位置及び方位の測定を容易にし、ノイズの影響を抑制してジャイロの較正を行うことを可能にすることである。
【解決手段】ジャイロを搭載するロボットにおいて較正を行うときは、目標壁面に対してロボットよりレーザービームを照射し、目標壁面上に占めるレーザーポイントの位置を測定してその状態の位置データを初期値として取得し（Ｓ１０，Ｓ１２）、較正が開始すること等を表示する（Ｓ１４，Ｓ１６）。そして較正期間をリセット（Ｓ１８）して較正期間の計時処理を開始する。所定の較正期間の間は光ジャイロの検出値をサンプリングにより継続して取得する（Ｓ２０）。取得中に外乱があると警報を出力し、較正をやり直す。較正期間中に外乱がなく満了すれば、較正期間内の検出値に基づき較正値が設定される（Ｓ２６，Ｓ２８）。 （もっと読む）

光ファイバジャイロのＣＷ信号、ＣＣＷ信号の所定サンプリング期間におけるパルス数をサンプリング器で検出する。異常判定器は、パルス数がしきい値以上あれば正常と判定し、両パルス数ともしきい値より小さければ断線あるいは接続不良等の異常が生じていると判定し、出力器に出力する。異常判定器は、量子化ノイズの有無により異常を判定してもよい。
（もっと読む）

【課題】誤検出を低減させることができるとともに、角速度センサ素子の耐久信頼性を向上させることができる角速度センサ素子を提供することを目的とする。
【解決手段】振動部２と、この振動部２を支持する固着部３と、振動部２の一面に形成され、かつこの振動部２を励振させる駆動電極６と、振動部２における駆動電極６と同一方向の面に形成され、かつ振動部２が回転運動をすることにより励振方向の垂直方向に生じる振動を検知する検出電極７とを備え、前記振動部２における駆動電極６および検出電極７が形成された面のみに駆動電極６および検出電極７を覆う保護膜８を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】 板状の基板上に板状の可動部材を変位自在に支持し、その可動部材の面方向の変位を検出することで、加速度や角速度などの物理量を検出するようにしたセンサにおいて、可動部材やストッパを、確実に損傷から保護する。
【解決手段】 前記損傷を防止するための過大変位制限用のストッパ３６を設けるにあたって、可動部材２４にはその厚み方向に貫通孔３５を穿設し、前記ストッパ３６は、支持基板から、前記貫通孔３５内を接触しない微小なギャップを保ちながら遊挿するように立設するとともに、可動部材２４の重心と、ストッパ３６の重心とを一致させる。したがって、２次元的に様々な方向からの変位をバランスよく、安定的にストップし、可動部材２４やストッパ３６を、確実に損傷から保護することができる。 （もっと読む）

【課題】 自励発振が早く開始されるようにする。
【解決手段】 センサ回路の電源投入時には昇圧回路２１の昇圧クロックが起動クロック発生回路２５で形成されるようにし、振動子１０および駆動回路２０で構成されるフィードバックループにて自励発振が開始されるとその後はチャージアンプ回路２２の出力信号が昇圧クロックに用いられるようにする。このように、起動クロック発生回路２５が発生させる安定した所定の周波数の出力信号を昇圧クロックとして用いることで、昇圧回路２１で高電圧が早く形成されるようにすることが可能となる。そして、このように高電圧が早く形成されることから、振動子１０および駆動回路２０で構成されるフィードバックループにて、早くから自励発振を開始させることも可能となる。 （もっと読む）

【課題】 等価直列抵抗Ｒ１の値を減少させ、角速度検出感度を大きく、起動時間を早くする。
【解決手段】 印加された電圧により屈曲振動をする励振用腕部と、前記励振用腕部が屈曲運動するとともに所定の軸を中心に角速度が加わって生じるコリオリの力によって発生した電荷を検出する検出用腕部とを備えた圧電素子を用いた慣性センサ素子１０であって、第一の基部１２Ａと第一の基部１２Ａから延出する延出部１１１と、第一の基部１２Ａと延出部１１１とにわたって形成される接合電極１３と、接合電極１３と相対する位置となるように延出部１１１に形成される電極１４と、第二の基部１２Ｂと第二の基部１２Ｂから平行に延出する延出部１１２と、第二の基部１２Ｂと当該延出部１１２とにわたって形成される接合電極１３と、当該接合電極１３と相対する位置となるように当該延出部１１２に形成される電極１４とを備ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 多数の角速度センサを短時間で効率よく検査する、角速度センサの検査装置を提供する。
【解決手段】 複数の角速度センサＳ１〜Ｓ２４を配置し角速度センサに外力を付加する外力付加部と、前記外力付加部に設けた配線中継部と、測定部とを備えた角速度センサの検査装置において、複数の角速度センサＳ１〜Ｓ２４は、複数の群に区分され、それぞれの群内における任意の一つの前記角速度センサＳ１〜Ｓ２４を配線中継部に備えられたマルチプレクサＭ１〜Ｍ３とスイッチＳＷ１〜ＳＷ６を有するセンサ選択部２０が選択して角速度センサＳ１〜Ｓ２４を駆動させ、各群から選択された前記角速度センサＳ１〜Ｓ２４のセンサ出力Ｖout１〜Ｖout３を前記配線中継部の出力端子から出力する。 （もっと読む）