【課題】パッケージベースと蓋体の接合時に内蔵電子部品が高温になるのを防止するとともに、蓋体に供給される赤外線を効率的に使用する蓋体、圧電デバイスおよび電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイス１０は、凹陥部３６を備えたパッケージベース３２と、凹陥部３６内に搭載した圧電振動片７０およびこの圧電振動片７０に導通したＩＣチップ１４と、パッケージベース３２に接合材６６を介して設けられ、凹陥部３６を封止する光透過性の蓋体２０とを有している。そして、この蓋体２０は、凹陥部３６の方に向いた表面に赤外線反射膜２６を備えている。また蓋体２０は、凹陥部３６とは反対に向いた蓋体２０の表面に赤外線反射防止膜を備えることもできる。 （もっと読む）

【課題】ジャイロ回転軸が鉛直でなく傾斜している場合において、装置の方位角を的確に計測することができる外部情報を得られない環境における装置の方位計測方法を提供する。
【解決手段】外部情報を得られない環境における装置の方位計測方法において、鉛直でない軸回りにジャイロを回転させ、地球自転軸の方向を検出する方位計測方法であって、ジャイロ感度変化及びオフセット変化の影響を受けないように装置主軸の方位角を計測する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも、半導体基板の主表面側にセンシング部およびセンシング部と協働するＩＣ部を形成したセンサ基板と、センシング部に電気的に接続される複数の貫通孔配線を形成したパッケージ用基板とを用いて製造するセンサ装置の製造歩留まりの向上を図れるセンサ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板であるＳＯＩ基板１０の主表面側に形成された表面絶縁膜１６と多層構造部４１とからなる多層絶縁膜のうち接合用領域部Ｅ３に形成されている部位をエッチバックし、表面絶縁膜１６上に封止用金属層１８および電気接続用金属層１９を形成する。センサ部Ｅ１の重り部１２、撓み部１３などを形成してから、センサ基板１と第２のパッケージ用基板３とを常温接合し、センサ基板１と第１のパッケージ用基板２との封止用金属層１８，２８同士および電気接続用金属層１９，２９同士を直接接合する。 （もっと読む）

【課題】不感域のない４モード安定化半導体レーザジャイロを提供する。
【解決手段】本発明は、回転速度又は相対角度位置の測定に用いる半導体レーザジャイロに関する。この種の装置は特に航空用途に使用される。本発明の目的は、測定バイアスを付加することなく不感域を除去する特殊な光学装置を用いて、リング形状の半導体レーザの不安定性を制御するのに必要な光学装置を完成させることにある。これによって、可動部品がなく、安定でかつ不感域のない「完全に光学的な」半導体レーザが得られる。これらのデバイスは、特に、偏光分離光学デバイス（８、９）と、相反光学回転子（４）と非相反光学回転子（５、１３）とを含み、直線偏光された４つの光学モードがモードロッキングを回避するに十分な異なる周波数において共振器（１）内を伝播するように配置される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の角速度センサのうち、１つが故障したとしても、重複角速度センサの動作が完全に停止してしまうということはなく、常時使用可能な重複角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】第１の角速度センサ１１、第２の角速度センサ４０、第３の角速度センサ４２および第４の角速度センサ４４の故障信号を入力する論理回路４６と、前記角速度センサの故障の有無および故障している角速度センサを判別する判別手段６３と、この判別手段６３からの出力信号を基に、故障信号を段階的に変化させるステップ電圧出力手段６４とにより構成したものである。 （もっと読む）

【課題】消費電力を低減した慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】振動子２と、この振動子２を振動させる駆動回路４と、この振動子２の振動状態をモニタするモニタ回路６と、慣性力（コリオリ力）に起因した振動子２の歪を感知する感知回路８を備え、駆動回路４は、モニタ回路６による振動子２の振動状態に応じて、振動子２の振動が一定の周期および振幅で振動するように、振動子２に通電するための電圧を制御しており、特に、定常時に振動子２へ付加する電圧よりも起動時に振動子２へ付加する電圧を小さくし、定常時に振動子２へ付加する電流よりも起動時に振動子２へ付加する電流を大きくする電圧電流制御手段２２を設けている。 （もっと読む）

【課題】 厚メッキで形成された錘の剥離等のし難い力学量センサを提供すること。
【解決手段】 角速度センサは、可動部構造体が上部ガラス基板及び下部ガラス基板によって上下方向から挟み込まれた３層構造となっている。可動部構造体は、可撓基板、フレーム及び錘を備えている。フレーム及び錘は、ｘ−ｙ平面方向に沿って形成される可撓基板に設けられた電鋳用電極を用いて電着された金属製の厚メッキからなる。錘は、ｘ−ｙ平面における切断面の面積が一様ではなく、錘を支持する可撓基板との接合面が極力小さくなるように構成されている。そのため、梁の長さを十分に確保しつつ、錘の重量をより大きく構成することができ、検出感度をより向上させることができる。また、錘の電鋳面積を拡大させることなく錘の重量を大きくすることができるため、メッキの剥離等を防止し、梁と錘との密着強度を適切に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】一方の発光・受光系の光源などが故障しても、もう一方の発光・受光系に切り換えてセンシングが行えるサニャック干渉型センサを提供する。
【解決手段】センシングファイバループ１０に対し、検出用の光を発光すると共に、センシングファイバループ１０からの戻り光を受光する二系統の第１，２の発光・受光系（ 光源１，５、受光器２，６、光カプラ３，７、偏光子４，８を有する）を設ける。偏光子４及び偏光子８と、センシングファイバループ１０の両端部との間を偏波保持光カプラで分岐・結合する。偏光子４、偏光子８からの直線偏光の偏光方位を、偏波保持光カプラ９の直交するＸ，Ｙ偏光軸に、それぞれ一致させて接続する。信号処理部１３のスイッチ１６により、光源１及び受光器２と、光源５及び受光器６との接続を選択的に切り換えることで、一方の発光・受光系の光源などに不良・故障が生じても、もう一方の発光・受光系に切り換えてセンシングを続行できる。 （もっと読む）

【課題】角速度から１回転中の回転角に依存する特性を評価可能とする装置の提供。
【解決手段】回転体の回転軸に１回転３６０パルス以上のパルスを発生するロータリー・エンコーダを装着する。回転軸の角速度信号を得る。角速度の変化特性を求める。角速度の変化からエンジン、電動モータ等回転体の総合性能（回転角速度の平滑化具合）、個別性能（コンプレッション、燃料噴射タイミング、偏加重、電極の性能）を観察する。
【効果】回転体の性能を簡素化できる。分解、圧力計等の特別な測定器が不要となる。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度等の互いに異なる複数の慣性力を検出したり、複数の検出軸の慣性力を検出したりでき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】慣性力を検出する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を平行に近接させて支持するとともに実装基板に固定する基部６とを有する。特に、第２アーム４と基部６とは略同一直線上に配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で小型化を図ることが可能な力学量センサを提供すること。
【解決手段】 板状の上部ガラス基板のビアホールを形成する部位に、テーパー形状のスルーホールをサンドブラスト技法を用いて形成する。次に、電極パッド、配線パターン、およびスルーホールの内壁面に電位を取り出すための導通パターンを形成する。続いて、導通パターンが形成されたスルーホールの内部に、ハンダやＡｇ系ロウ材等の導電性を有する充填部材を加熱処理により充填する。次に、上部ガラス基板を、充填部材が露出するレベルまで研磨する。この研磨面に、電極を形成する。上部ガラス基板と、可動部構造体とを陽極接合した後、可動部構造体の電位を取り出すための導通パターンを形成する。このように、ビアホールの直下に電極を形成することにより、配線パターンを最小限に抑えることができ、センサの小型化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】第２のシリコン層に可動部と固定部とを画定する溝を形成した後、この溝を介して犠牲層エッチングを行う半導体加速度センサの製造方法において、犠牲層エッチングにおける可動部および固定部のエッチングレートの制御を容易にする。
【解決手段】第１のシリコン層１１の上にシリコン酸化膜１３を介して第２のシリコン層１２が積層されたＳＯＩ基板１０における第２のシリコン層１２に溝１４を形成して、可動部２０と固定部３０、４０、５０とを画定した後、溝１４を介して露出するシリコン酸化膜１３に対して、溝１４を通して電子線を照射し、しかる後、溝１４を介した犠牲層エッチングを行い、可動部２０の下部に位置する酸化膜１３を除去する。 （もっと読む）

【課題】既存のデジタルカメラ等を使用し、高精細の静止画撮影や動画撮影に共に利用することが可能な防振装置を提供する。
【解決手段】デジタルカメラ１を着脱自在に装着する、姿勢角度が制御可能な電動式のジャイロスコープ部11Ｇを備えた第１の支持台11と、この第１の支持台11を回動自在に支持し、上記ジャイロスコープ部11Ｇと電気的に接続してその姿勢角度を操作する制御部、上記ジャイロスコープへの電力供給を行なう電源、及びユーザ用のグリップ部を備えた第２の支持台16とを備える。 （もっと読む）

【課題】 振動漏れを減少させ、精度の良い角速度の検出を行う。
【解決手段】 三回対称の圧電材料からエッチングによって素子外形が形成されるＨ型構造の慣性センサ素子で、軸線方向がＸ１軸と平行となる基部１０と、軸線方向が基部１０と直交する方向で基部１０から延出する２つ一対の検出脚部２０と、軸線方向が基部１０と直交する方向であって検出脚部２０とは反対側に基部１０から延出する２つ一対の励振脚部３０と、各励振脚部３０の基部１０側に向く端側において基部１０に近づくにつれて広がるように拡幅するテーパ部４０と、を備え、エッチングで得られるテーパ部４０において、基部１０の＋Ｘ方向を向く辺４１における拡幅開始位置Ｐ１と、基部１０の＋Ｘ方向を向く辺４１とは反対側の辺４２に形成される残渣Ｎの基部１０から離れる先端４３の位置とが、基部１０の軸線方向と平行となる直線Ｌ１上に位置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動系及び検出系電線の断線を同時に検出できるような角速度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも駆動電極４、５、モニタ電極６、検出電極７、８の上部電極を有する振動素子１と、振動素子１のモニタ電極６及び駆動電極４、５に接続された駆動系回路２と、振動素子１の検出電極７、８に接続された検出系回路３とを備え、前記上部電極と下部電極９間の容量を介して前記下部電極９へ入力信号を与えることにより、上部電極に接続された駆動系回路２と検出系回路３における電圧レベルが変動する。この電圧レベルに対し、レベル監視回路に閾値を設け電圧を監視することにより、駆動系及び検出系電線の断線を同時に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の分解能要求に対して、検出素子部を分解能毎に設けることなく１個とし、小型化、低コスト化が実現できる慣性センサユニットを提供する。
【解決手段】 検出対象物の加速度又は角速度を検出対象物の慣性力として検出し、アナログ信号で出力する検出素子部及び該検出力をデジタル信号に変換する信号処理素子部を有し、対象物に取付けられ、デジタル信号を出力する慣性センサと、該センサの出力側にシリアルラインを介して接続され、デジタル信号を処理する演算部を備えた慣性センサユニットにおいて、信号処理素子部は、検出素子部のアナログ信号レベルの第１の範囲を所定ビットのデジタル信号に変換する第１のデジタル変換処理及び第２の範囲を所定ビットのデジタル信号に変換する第２のデジタル変換処理の少なくとも２種類の変換処理を行うデジタル変換部と、２種類のデジタル信号を時分割多重化して、シリアルラインに出力する多重化部を備える。 （もっと読む）

【課題】慣性センサの性能を向上させる。
【解決手段】４つのセンサユニットＳＵＡ１〜ＳＵＡ４を支持部１５ｅの１点を中心として上下左右に点対称に配置した。また、４つのセンサユニットＳＵＡ１〜ＳＵＡ４を全ての構成要素が完全な音叉になるよう設計した。第１方向Ｙに隣接配置されたセンサユニットＳＵＡ１，ＳＵＡ２の励振素子５，５は互いに逆位相で振動し、第２方向Ｘに隣接配置された他のセンサユニットＳＵＡ３，ＳＵＡ４の励振素子５，５も互いに逆位相で振動する。その上、センサユニットＳＵＡ１，ＳＵＡ２の励振素子５，５と、他のセンサユニットＳＵＡ３，ＳＵＡ４の励振素子５，５とが、位相を９０度ずらした状態で同期して動作する。これにより、励振方向と検出方向との振動結合と、励振エネルギー、コリオリ力の漏れ（損失）を低減または防止することができる。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ・ジャイロスコープを校正する方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ・ジャイロスコープを校正する方法が提供される。第１の光源からの光の第１部分および第２部分は、光ファイバ・ラインを通り、それぞれ、第１の方向および第２の方向に伝搬する。第１の光源からの光の第１部分と第２部分との間の所定の位相シフトを生じさせる第１の電圧が計算される。第２の光源からの光の第１部分および第２部分は、光ファイバ・ラインを通り、それぞれ、第１の方向および第２の方向に伝搬する。第２の光からの光の第１部分と第２部分との間の所定の位相シフトを生じさせる第２の電圧が計算される。次いで、第１の電圧と第２の電圧との間の差が計算される。 （もっと読む）

【課題】 高い検出感度を保持しつつ、より高い強度を有する力学量センサを構成する。
【解決手段】 角速度センサは、フレーム１１１、梁１１２、錘体１１３を有する可動部構造体１１、上部硝子基板１２、下部硝子基板１３から構成される。上部硝子基板１２には、固定電極１２１〜１２４が設けられ、固定電極１２１〜１２４と錘体１１３との間の静電容量の変化に基づいて錘体１１３の姿勢変化を検出する。可動部構造体１１は、これを構成するフレーム１１１、梁１１２、錘体１１３すべてが電鋳法を用いて金属部材により一体形成されている。電鋳材を電極に電着させて可動部構造体１１を形成する際の母型は、フォトリソグラフィ技術を用いて露光・現像処理が施されたレジスト材によって形成される。これにより、極めて精度の高い母型による電鋳処理が可能となるため、可動部構造体１１の製造精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、抑制可能な像振れの種類を増やすことのできる像振れ補正装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の像振れ補正装置は、撮影像を結像する撮影系（２）に加わる振動を検出する第１のセンサ（６ｐ，６ｙ）と、前記第１のセンサより高い周波数の前記振動を検出可能な第２のセンサ（５ｐ，５ｙ）と、前記第１のセンサと前記第２のセンサとの検出結果の加算値に基づき、前記振動による前記撮影像の振れを制御する制御部（３）とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）