【課題】１つの半導体レーザで２軸回りの角速度を計測することができる半導体リングレーザジャイロを提供する。
【解決手段】半導体リングレーザジャイロ１は、両端面から光を出射する１つの半導体レーザ２と、半導体レーザ２の出射光を２軸方向に分配する分配手段６・７と、分配手段６・７により２軸方向に分配された光を反射する複数の反射手段８〜１３と、複数の反射手段８〜１３により同一平面内で光を周回させて半導体レーザ２の出射端面とは反対側の端面に入射させるように形成された２つの光周回路Ｒ１・Ｒ２と、２つの光周回路Ｒ１・Ｒ２の一方を周回する光を遮光する遮光手段１４・１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価で製造が容易であり、外乱に対する影響が小さく計測精度が安定した半導体リングレーザジャイロを提供する。
【解決手段】半導体リングレーザジャイロ１は、両端面から光を出射する半導体レーザ２と、半導体レーザ２の両端面からの出射光を入射して内部反射させる一つ以上の反射プリズム６〜８と、一つ以上の反射プリズム６〜８における複数の反射面で形成された光周回路を右回りに周回するＣＷ光と左回りに周回するＣＣＷ光を直角プリズム７の反射面７ａにおいて一部だけ透過させる透過ミラー９と、透過ミラー９を透過したＣＷ光とＣＣＷ光とを合波するビーム合波プリズム１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロセンサの発振駆動回路において、ゲインコントロールアンプ（ＧＣＡ）および同期検波用参照信号を生成する回路（コンパレータ等）における回路の共用化を実現すること。
【解決手段】１入力２出力のコンパレータ（５０）は、駆動用電流／電圧変換増幅回路（ＯＰＡ）からの電圧信号（Ｖｉｎ）を所定電圧（ＶＲ０）と比較する共用化された差動部（５１）と、この差動部（５１）の出力信号を受け、電圧振幅を可変に調整して出力する第１の出力部（５３）と、差動部（５１）の出力信号を受け、電圧振幅が固定された同期検波用参照信号（ＰＥｒｅｆ）を出力する第２の出力部（６３）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロセンサにおいて、回路規模を増大させることなく発振起動時間を短縮し、かつ低消費電力化を実現する。
【解決手段】発振駆動回路（２００）は、駆動用電流／電圧変換増幅回路（ＯＰＡ）と、差動部（５１）および出力部（５３）を含む利得制御増幅回路（ＧＣＡ，５０）と、動作モード制御回路（７０）と、を含み、通常動作モード時においては、利得制御増幅回路（ＧＣＡ，５０）の出力信号の電圧振幅を、発振ループ（ＲＰ１）が発振起動過程にあるときには発振ループ（ＲＰ１）の利得が１より大きくなるように制御し、低消費電力モード時においては、発振駆動回路（２００）の一部をオフすると共に、利得制御増幅回路（ＧＣＡ，５０）から出力される駆動信号の電圧振幅を、発振ループ（ＲＰ１）の利得が１より大きくなるように制御する。 （もっと読む）

【課題】互いに垂直な方向に入力される加速度量および角速度量を測定することが可能な一体型加速度計・角速度計システムを提供する。
【解決手段】駆動電圧を用いて質量体が一定の振幅を保つようにし、加速度軸および角速度軸方向の振動信号を検出する一体型加速度計・角速度計と、加速度軸方向の振動信号を取得する加速度軸振動信号取得部と、前記加速度軸振動信号取得部からの受信信号を用いて、一定の振動幅を持たせる加速度軸振動維持制御信号を出力する振幅維持制御部と、前記振幅維持制御部からの電圧信号を受け取り、一体型加速度計・角速度計に印加する加速度軸駆動入力部と、前記一体型加速度計・角速度計から検出された角速度軸方向の振動信号を取得する角速度軸振動信号取得部と、前記角速度軸振動信号取得部からの信号を用いて、一定の振動幅を持たせる信号を出力し前記一体型加速度計・角速度計に印加する力平衡制御部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 複数のジャイロをＰＣＢにより構成される検査ボードに載せて検査する際に、ジャイロ単独で検査したのと同等の特性で検査することができる試験方法を提供すること。
【解決手段】 複数のジャイロを検査できるようにそれぞれのジャイロに信号を供給する配線を設けた配線ボードと、前記ボード上の少なくとも前記ジャイロを搭載する位置に設けられた弾性樹脂層と、前記樹脂層上に設けられた前記配線と電気的に接続された接続部とにより構成された検査ボード上に複数のジャイロを載置する工程と、前記複数のジャイロに前記配線を介して駆動信号を供給することにより駆動振動を与えて出力電圧を検出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、周波数の異なるノイズ信号を除去するためにＩＣを取り替える場合でも、基板自体の設計変更をする必要はなく、これにより、部品点数の削減ができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、基板１１における複数の表面配線１３の各々に内側バンプ接合部１４および外側バンプ接合部１５を設けるようにしたものである。これにより、基板自体の設計変更をする必要はなくなるため、部品点数の削減ができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度信号を故障信号に切り替えて出力することにより、時間的な遅れが生じるということがなく、時間的な応答性を向上させることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、比較回路７０からの出力信号を基に、第１のＤＡ変換手段４８および第２のＤＡ変換手段６６からの出力信号のレベルを切り替えることにより、デジタル信号からなる出力信号を出力する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】半導体からなるトランデューサ構造体とガラス基板との陽極接合の際に，重量部とガラス基板との付着を防止可能な角速度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】角速度センサが，開口を有する固定部と，この開口内に配置され，かつ前記固定部に対して変位する変位部と，前記固定部と前記変位部とを接続する接続部とを有する第１の構造体と，前記変位部に接合される重量部と，前記固定部に接合される台座とを有し，前記第１の構造体に積層配置される第２の構造体と，前記重量部との対向面に配置される駆動用電極及び検出用電極を有し，前記台座に接続されて前記第２の構造体に積層配置される基体とを具備し，前記第２の構造体が，前記第２の基体と対向する前記重量部の面上であって，前記駆動用電極及び前記検出用電極の配置されていない領域と対応する領域に配置される凹部を有する。 （もっと読む）

【課題】半導体からなるトランデューサ構造体とガラス基板との陽極接合の際に，重量部とガラス基板との付着を防止可能な角速度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】角速度センサが，開口を有する固定部と，この開口内に配置され，かつ前記固定部に対して変位する変位部と，前記固定部と前記変位部とを接続する接続部とを有する第１の構造体と，前記変位部に接合される重量部と，前記固定部に接合される台座とを有し，前記第１の構造体に積層配置される第２の構造体と，前記重量部との対向面に配置される駆動用電極及び検出用電極を有し，前記台座に接続されて前記第２の構造体に積層配置される基体とを具備し，前記第２の構造体が，前記基体と対向する前記重量部の面上であって，前記駆動用電極及び検出用電極の配置されていない領域と対応する領域に配置され，前記駆動用電極及び検出用電極よりも厚さが大きい突起部を有する。 （もっと読む）

【課題】製造工程を簡略化し、製造コストを削減すること。
【解決手段】本発明は、角速度を検出する振動子を格納するパッケージ１０と、パッケージ１０と接続するための第１端子２７、２８と、外部と接続するための第２端子２４、２５と、第１端子及び第２端子の少なくとも一部を露出する樹脂部２１と、を有し、パッケージを支持する搭載部２０と、金属製の接合部３２を有し、パッケージ１０を覆い、搭載部２０に設けられた金属製の接合端子２２に接合部３２が接合することにより搭載部２０に固定されたカバー３０と、を具備する角速度センサである。 （もっと読む）

【課題】 ＩＩ型のコリオリ振動ジャイロにおいて、スケール・ファクタを自己較正すること。
【解決手段】 本発明によるスケール・ファクタの自己較正方法は、２つの共振子の一方を閉ループ・モードで他方を開ループ全角度モードで動作させるステップ（５０１）と、２つの共振子のそれぞれによって角速度を感知するステップ（５０２）と、閉ループ共振子のスケール・ファクタを較正し開ループ共振子によって測定されたのと同じ積分された全角度を生じるステップ（５０３）と、２つの共振子の動作を反転させるステップ（５０４）と、２つの共振子の開ループ動作と閉ループ動作との間で交互に進行させ、２つの共振子のスケール・ファクタをそれぞれ自己較正するステップ（５０５）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】半導体素子に設けられた可動部の動作を阻害することなく、可動部を外部雰囲気から保護することができる半導体装置を容易に製造することができる半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】センサ基体１１に可動部１２が形成されたセンサ素子１０において、可動部１２の周辺に４つのセンサ側バンプ１３を形成し（突起部形成工程）、可動部１２に対向する領域を含む４つのセンサ側バンプ１３によって囲まれる領域を覆いつつ、その領域の外部まで達する接着フィルム２０を４つのセンサ側バンプ１３上に被せ（被覆工程）、センサ素子１０における接着フィルム２０との対向面の反対面からホットプレート５０によって加熱して、接着フィルム２０とセンサ基体１１とを接着して可動部１２と接着フィルム２０との間に中空部４０を形成する（中空部形成工程）。 （もっと読む）

【課題】自己診断出力の短絡異常を判別可能な容量式物理量検出装置を提供する。
【解決手段】物理量の変化に応じて変位する可動電極と該可動電極に対向配置された固定電極からなる検出部と、一方の入力が可動電極に接続され、他方の入力が、自己診断でない通常動作時には容量変化を検出するための基準電位に接続され、自己診断時には基準電位と異なる自己診断用電位に接続される差動増幅器を含み、可動電極と固定電極との間の容量変化に応じた電圧を出力するＣ−Ｖ変換回路と、を有する容量式物理量センサを複数備え、各センサの基準電位が互いに同電位であり、且つ、同一のタイミングで自己診断がなされる容量式物理量検出装置であって、２つの容量式物理量センサの自己診断用電位を互いに異なる電位とした。 （もっと読む）

【課題】物理量センサの起動時におけるハイパスフィルタのコンデンサへの充電の時間を速くするとともに、増幅器のバイアス電流による偏差を打ち消して増幅器の出力をできるだけ速く収束させること。
【解決手段】物理量センサ１１からの出力信号に含まれる超低周波成分を除去するための、コンデンサおよび抵抗を含んで構成されるハイパスフィルタ１２と、ハイパスフィルタからの出力信号を増幅する増幅器１３と、ハイパスフィルタに接続されたときに当該ハイパスフィルタの時定数を小さくしてコンデンサの充電時間を早めるための補助回路１５と、を有し、補助回路１５は、物理量センサの起動時にはハイパスフィルタ１２に接続され、物理量センサの起動が完了した後においてハイパスフィルタとの接続が解除されるように構成される。 （もっと読む）

【課題】振動アームの振動漏れを抑制すると共に、共振周波数を調整できる角速度センサ、角速度センサの製造方法及び電子機器を提供する。
【解決手段】音叉型振動子１は、第１、第２及び第３の振動アーム６、７及び９と、第１、第２の振動アーム６、７の加振力によるモーメントを弱めることが可能な位置で第３の振動アーム９を支持する第２のベース体８とを備えている。このため、音叉型振動子１が回転した場合に、第１、第２の振動アーム６、７の加振力によるモーメントと、第３の振動アーム９の加振力によるモーメントとが弱め合い、振動漏れを抑制できる。また、第１、第２の振動アーム６、７が並ぶ直線上からずれた第１、第２の振動アーム６、７の間の位置で、第３の振動アーム９を支持する第２のベース体８を備えるので、従来の装置を用いてレーザーを第１、第２の振動アーム６、７との間を通過させ第３の振動子９を加工し共振周波数を調整できる。 （もっと読む）

【課題】上部基板に、所望の深さの凹部を形成して、センサ装置を製造することを目的とする。
【解決手段】本発明は、上面構成基板１と側面構成基板２とをエッチングストッパ層３ａを介して積層し、上部基板４ａを製造する工程と、上部基板４ａのうち側面構成基板２側をエッチングストッパ層３ａに至るまでエッチングすることにより、上部基板４ａに凹部を形成する工程と、下部基板５にセンサ素子６を実装する工程と、凹部にセンサ素子６が気密封止されるように、上部基板４ａと下部基板５とを接合する工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】、簡単な構造で高い駆動効率を有する角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、ベース部（１３）と、ベース部（１３）から延びるアーム部（１１）およびアーム部（１２）と、アーム部（１１）の表面からアーム部（１２）に相対するアーム部（１１）の側面である内側面（Ｓ１）に延伸する駆動電極（１４ｃ）と、アーム部（１１）の裏面からアーム部（１２）に相対するアーム部（１１）の側面である内側面（Ｓ１）に延伸する駆動電極（１５ｃ）と、アーム部（１２）の表面からアーム部（１１）に相対するアーム部（１２）の側面である内側面（Ｓ２）に延伸する駆動電極（１４ｄ）と、アーム部（１２）の裏面からアーム部（１１）に相対するアーム部（１２）の側面である内側面（Ｓ２）に延伸する駆動電極（１５ｄ）と、を有する音叉型振動子を具備する角速度センサである。 （もっと読む）

【課題】横方向の加速度の影響を受け難く、かつ固定部の固定が容易な、横置き型の角速度センサ素子を提供する。
【解決手段】固定部２０と、固定部２０の北側に連結された北側振動腕２１と、固定部２０の南側に連結された南側振動腕２２とを備える。北側振動腕２１は、固定部２０の北側に連結されると共に固定部２０の北側に延在する北側検出腕２３と、北側検出腕２３の固定中央部２０Ａとは反対側の端部に連結された北側梁部２４と、北側梁部２４の両端にそれぞれ連結された一対の北側駆動腕２５および加重部２６とを有する。南側振動腕２１は、固定部２０の南側に連結されると共に固定部２０の南側に延在する南側検出腕２７と、南側検出腕２７の固定部２０とは反対側の端部に連結された南側梁部２８と、南側梁部２８の両端にそれぞれ連結された一対の南側駆動腕２９および加重部２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】慣性計測ユニットへのさらに迅速な入力を供給するためにプルーフマスがその振動の自然共振周波数に到達するまで有効間隔中の角速度をモニタすることが可能な装置および方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳジャイロスコープのための信号プロセッサ３０３は、ＭＥＭＳジャイロスコープ１００からモーターピックオフ信号を受信するためのモーターピックオフ入力部と、ＭＥＭＳジャイロスコープから感知ピックオフ信号を受信するための感知ピックオフ入力部と、前記感知ピックオフ信号を前記モーターピックオフ信号に関係付けることで位相角を作り出すために位相角を決定する位相比較器３０９と、感知ピックオフ信号の振幅を決定するための振幅比較器３１２とを有し、さらに有効間隔の満了に応答するための切り換えネットワーク３１５をさらに有する。 （もっと読む）