【課題】温度特性の良い自己診断機能を備えたクローズドループ方式光干渉角速度計を提供する。
【解決手段】位相変調信号に自己診断用の擬似角速度を重畳して位相変調器に供給する擬似角速度信号発生部を具備し、擬似角速度信号発生部は、ゲイン制御部と、擬似信号発生回路と、加算器と、Ｄ/Ａ変換器とを備える。ゲイン制御部は、診断用に設定される角速度に相当する位相差としきい値と基準しきい値とを入力として、しきい値を基準しきい値で除したゲイン係数を、診断用の角速度に相当する位相差に乗じて診断用位相差として出力する。擬似信号発生回路は、階段状鋸歯状波の擬似角速度信号を生成する。加算器は、位相変調信号と擬似角速度信号とを加算する。Ｄ/Ａ変換器は、加算器の出力信号をディジタル/アナログ変換して位相変調器に供給する。 （もっと読む）

【課題】生産性を著しく低下させることなく、アクティブ診断制御の高信頼化と高機能化を両立する物理量センサを提供することにある。
【構成】角速度検出回路１００は、物理量に応じて変位する可動部１を有しており、可動部の変位に応じて物理量（加速度）を検出する。アクティブ診断回路２００は、角速度検出回路１００の故障を診断する。第１判定手段２０１は、受信手段２０２により受信した指令コマンドに基づいて診断を実施するか否かを判定する。第２判定手段２０１は、受信した所定の情報に基づいて診断を実施するか否かを判定する。診断実行手段２０３は、第１判定手段２０１及び第２判定手段２０２の出力に基づいて診断を実行する。 （もっと読む）

【課題】小型化および高精度化したジャイロモジュールを提供する。
【解決手段】ジャイロモジュール１０は、第１検出軸と第２検出軸とを有するジャイロ素子片３０を２つ有している。この一方のジャイロ素子片３０と他方のジャイロ素子片３０とは、第１検出軸の検出感度極性を同じにするとともに、第２検出軸の検出感度極性を反転するように配置してある。そしてジャイロモジュール１０は、各ジャイロ素子片３０に接続して、各ジャイロ素子片３０が出力した信号を加算する回路２２および減算する回路２４を備えている。比較手段２６は加算する回路２２の出力値と減算する回路２４の出力値とを比較し、各値が同じになっている時間が予め設定した時間以上であれば警報手段２８に警報発信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】３軸の角速度検出を行えるジャイロモジュールを提供する。
【解決手段】３軸ジャイロモジュール１０は、２つの検出軸を有する第１ジャイロ素子片１２、第２ジャイロ素子片１４および第３ジャイロ素子片１１０を有し、第２ジャイロ素子片１４と第３ジャイロ素子片１１０の出力信号を減算して出力する第１演算回路１１２と、第２ジャイロ素子片１４と第３ジャイロ素子片１１０の出力信号を加算して出力する第２演算回路１１４と、第１ジャイロ素子片１２の出力信号と第１演算回路１１２の出力信号とを演算して出力する第３演算回路１１６とを備えている。第１ジャイロ素子片１２の第１検出軸の伸びる方向と第２ジャイロ素子片１４の第１検出軸の伸びる方向及び第３ジャイロ素子片１１０の第１検出軸の伸びる方向とが一致し、第１ジャイロ素子片１２の第２検出軸の伸びる方向と第２ジャイロ素子片１４の第２検出軸の伸びる方向とが交差する。 （もっと読む）

本発明は、コリオリジャイロを特徴づける方法であって、力トランスミッタ、機械的共振子、及び、励起／リードアウト振動ピックオフを有する上記系の相互作用は、離散化された、微分方程式の連立方程式として表され、上記連立方程式の変数は、力トランスミッタによって機械的共振子に供給される力信号、および、励起／リードアウト振動ピックオフにより生成されるリードアウト信号を表し、上記連立方程式の係数は、リードアウト信号上に力信号をマッピングする一次変換に関連する情報を含んでおり、上記係数は、力信号値、及び、リードアウト信号値を異なる時に測定し、上記連立方程式にそれら力信号、および、リードアウト信号を代入することによって決定され、上記連立方程式は、上記係数に応じて数的に解かれ、上記係数は、コリオリジャイロの回転速度に悪影響を及ぼすコリオリジャイロの望まれないバイアス特性を推測するために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
周囲温度が変化しても、又は外乱振動が加わっても優れた精度で故障を検出する。
【解決手段】
基板上に弾性的に変位可能に支持された振動子と前記基板表面に水平な駆動軸方向に前記振動子を振動させる駆動手段と前記基板表面に水平かつ駆動軸方向と垂直な検出軸方向の前記振動子の変位を検出する検出軸方向変位検出手段と前記振動子の検出軸方向の変位に基づいて角速度を検出する角速度検出手段と駆動軸方向への前記振動子の振動が検出軸方向に漏れ込む事が原因で生じる前記振動子の自己振動を検出する自己振動検出手段と、前記振動子の自己振動をゼロにする自己振動帰還回路と、前記自己振動検出手段の出力を利用して異常を判定する異常判定手段とを有する角速度センサとで構成される。 （もっと読む）

【課題】ＷＴ型の振動子を含んだ角速度検出装置において、振動子に接続された信号線の断線の判定できる技術を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置が、振動子と、前記振動子が励振振動するように前記振動子を駆動する駆動回路と、前記振動子から互いに逆位相の２つの第１検出信号が取り出されるように前記振動子に電気的に接続された２つの信号線と、前記２つの信号線からの前記２つの第１検出信号を差動増幅して前記２つの第１検出信号に基づく第２検出信号を生成し、生成された前記第２検出信号から、コリオリの力に基づく角速度成分と、前記励振振動に基づく自己振動成分と、をそれぞれ抽出し、抽出された前記自己振動成分を後段の故障判定回路へ出力する検出回路と、を備えている。そして、前記検出回路から出力された前記自己振動成分の大きさを０からずらして設定するバランスチューニングが、前記振動子に施されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出部の故障診断のために、振動子上に駆動部と検出部とは別の新たな手段を設けることなしに、シンプルな構成、かつ、小型で高精度な検出部の故障診断が可能な角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】外部から故障診断を実施するためのチェック信号ａが端子５４に入力されるとアンプ４５の増幅度が減少し、同時にＡＧＣ回路４３の働きによりアンプ４４の増幅度が逆に増加することで、音叉型振動子のアームの中心線を境に離間した一対の駆動電極の一方には小さな駆動信号が、他方には大きな駆動信号が印加されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】従来のセンサ信号検出回路では、非レシオメトリック特性を有する非レシオメトリック成分を含むセンサ信号のレシオメトリック特性を改善することができない問題があった。
【解決手段】本発明にかかるセンサ信号検出回路は、電源電圧変動に比例して電圧レベルが変動するレシオメトリック特性を有するレシオメトリック成分ｙｉｎを含む第１のセンサ信号を受けて、第１のセンサ信号を増幅した第２のセンサ信号を出力する入力信号検出回路１４と、第２のセンサ信号に重畳される非レシオメトリック特性を有する非レシオメトリック成分Ｘを予め設定された設定値に基づき補正して検出信号を出力するレシオメトリック補正回路１１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの製造において、デブリを低減し、歩留まり、信頼性を向上させる。
【解決手段】改良されたＭＥＭＳデバイスおよび製造方法においては、チャネルが、先に第１の基板上に形成された複数のＭＥＭＳデバイス領域の周りの第１の基板に形成される。次いで、複数のシールリングが、形成されたチャネルの少なくとも一部の上で、複数のＭＥＭＳデバイス領域の周りに適用される。第２の基板は、第１の基板に取り付けられ、次いで、ＭＥＭＳデバイス領域を取り囲むシールリングは、互いから離される。チャネルは、第１及び第２の断面領域を含む。第１の断面領域は、ソー・デブリ粒子がＭＥＭＳデバイス領域に入らないように寸法決めされる。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度に影響を与えることなく故障診断精度を高めることができる角速度検出回路、角速度検出装置及び角速度検出装置の故障診断方法を提供すること。
【解決手段】本発明の角速度検出回路８０は、振動子１０の駆動電極１０２に駆動信号を供給する駆動回路２０と、振動子１０の検出電極１１２及び１１４に発生する信号に基づいて、角速度に応じた角速度検出信号３２を生成する検出回路３０と、を含む。駆動回路２０は、故障診断モード時は、角速度疑似信号を生成し、生成した角速度擬似信号を前記駆動信号に重畳して振動子１０の駆動電極１０２に供給する。検出回路３０は、故障診断モード時は、振動子１０の駆動電極１０２と検出電極１１２及び１１４の間の静電結合容量を介して角速度疑似信号が検出電極１１２及び１１４に伝搬した信号に基づいて、角速度検出信号３２を生成する。 （もっと読む）

【課題】音叉型振動部品の特性検査の精度の向上と、検査の高効率化を両立させる。
【解決手段】機械的に発振する音叉構造の振動子を有する音叉型振動部品の振動特性を検査する特性検査装置１であって、駆動モータによって回転テーブル１０を回転させ、この回転テーブル１０に周方向に間隔を空けて保持ユニット２０を複数配置して、音叉型振動部品を保持するようにし、保持ユニット２０のそれぞれに対応して回転テーブル１０に発振回路３０を設けるようにした。 （もっと読む）

【解決手段】センサで計測した角速度をＡ／Ｄ変換器によって変換したディジタルデータがリモコンからゲーム機に送信され、ゲーム機のＣＰＵがそのディジタルデータを補正する。つまり、ＣＰＵが、順次のディジタルデータをバッファに順次記憶させる。ステップＳ３７で、最新のディジタルデータに対して各ディジタルデータが安定していると定義できる安定範囲（d1-d2）を算出し、ステップＳ４９で、バッファに格納されたディジタルデータのうち、最新のディジタルデータから遡って連続して安定範囲内にあるディジタルデータの平均値を算出し、ステップＳ４９で、その平均値を用いて最新のディジタルデータを修飾して修飾ディジタルデータを出力する。
【効果】ディジタルデータの精度向上と、追従性の向上が達成できる。 （もっと読む）

【課題】防振部材の厚さ寸法が異なる場合でもレートセンサを確実かつ効率的に固定する。
【解決手段】リング状に形成された防振部材１７に、径の長さを異にして予め複数種用意された固定ネジ１６群の中から選択された固定ネジ１６を挿通し、防振部材１７を固定ネジ１６との間隙に充填した状態でレートセンサ１を固定した被測定物体５に対して外力を加えて振動させ、外力の情報及びレートセンサ１の検出値を振動時において取得し、取得された外力の情報および検出値を解析し、レートセンサ１の固定状態を固定ネジ１６の径の長さと関連付けて評価する。そして、評価された固定状態に応じて径の長さが異なる固定ネジ１６への交換を行わせる。 （もっと読む）

【課題】ロックイン現象を抑制できる光ファイバジャイロを提供する。
【解決手段】本発明の光ファイバジャイロは、１本の閉じた光路２０を構成する半導体光増幅器１１と光ファイバ１２とを備える。半導体光増幅器１１によって光路２０を互いに逆方向に進行する２つのレーザ光Ｌ１およびＬ２が励起される。レーザ光の波長における、光路内のすべての反射源の反射率の合計γは、以下の式（Ａ）を満たす。


［式中、ｎ₀は前記光路の平均屈折率である。Ｌは前記光路の長さである。ｃは光の速度である。γ₁₂は損失局在を特徴づける量である。ｇは半導体光増幅器と光ファイバとを含むリングレーザの実効利得を表す。ψは任意の角度を表す。］ （もっと読む）

【課題】起動開始時における慣性力センサの破壊を防止する。
【解決手段】慣性力センサ１０は、駆動信号Ｓｄｒが供給されて自励振動し自励振動に対応する振動信号Ｓｏｓｃを出力するとともに外部から与えられた慣性力に応じてセンサ信号Ｓ１０を出力する。駆動回路１１は、振動信号Ｓｏｓｃに基づいて駆動信号Ｓｄｒｖを制御する。検出回路１２は、センサ信号Ｓ１０に基づいて慣性力を検出する。制御回路１４は、駆動回路１１を起動させる際、駆動回路１１の動作パラメータを設定し、駆動回路１１の動作パラメータの設定が完了した後に駆動回路１１を起動させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサの小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路部１１Ａと、駆動回路部１１Ａからの駆動信号が入力される検知素子１２と、検知素子１２から応答信号を取り出す検出回路部１３Ａと、検出回路部１３Ａからの応答信号が入力されるとともにこの応答信号をモニタ信号とセンス信号に分離する処理回路部１４Ａとを備え、駆動回路部１１Ａが前記モニタ信号に基づき前記駆動信号の振動振幅を調整し、駆動回路部１１Ａ、検出回路部１３Ａ、及び処理回路部１４Ａの内少なくとも１つに電気的に接続される故障診断回路１５と、故障診断回路１５からの故障検知信号と処理回路部１４Ａからのセンス信号とを時分割方式にてデジタル出力する出力回路部１６とを設けたものである。 （もっと読む）

角速度センサが、Ｘ−Ｙ面内に横方向に配置され間接的にフレームに結合される２つの質量体を有する。２つの質量体は、それらがＺ方向に沿って逆方向に必然的に移動するように、リンクによって連結されている。２つの質量体をＺ方向の逆位相振動に駆動させ、それによってフレームに与えられる角振動の振幅を測定することによって、Ｙ軸を中心とするセンサの角速度を検出し得る。好適な実施例では、角速度センサが、バルクＭＥＭＳジャイロスコープウェハー、キャップウェハー及び基準ウェハーから作製される。さらに好適な実施例では、このようなウェハーのアッセンブリが、質量体と周囲環境との間に気密バリヤを与える。 （もっと読む）

【課題】 人工衛星に搭載する慣性基準装置のジャイロの故障有無を判断する際、一つのジャイロに故障が起きた場合、どのジャイロが故障しているのかについて、単純なジャイロ出力信号の比較のみでは検出することができず、故障していない正常なジャイロを取捨選択することが困難であった。
【解決手段】 斜交配置された複数のジャイロの出力信号から、３軸周りの各角速度を異なる演算処理で算出し、異なる演算処理で算出されたそれぞれの角速度の比較結果に基づく多数決処理によって、衛星形状や重心位置などのシステムパラメータを用いるような複雑な処理をすることなく、ジャイロ出力信号から故障したジャイロを特定することができる。 （もっと読む）

【課題】1系統の検出手段で2軸回りの角速度を検出でき、システムの簡素化を図ることを可能にした角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサは、支持基板と、検出用構造体101と、変位検出手段と、第1の駆動部102と、第2の駆動部103とを有する。検出用構造体は、支持基板に少なくとも一次元の自由度をもって可動に支持される。変位検出手段は、検出用構造体の一次元の自由度の方向への変位を検出する。第1の駆動部は、第1の軸回りの角速度155に対して、一次元の自由度の方向へ第1のコリオリ力153を発生せしめる第1の参照振動151を、検出用構造体の全体または一部分に励起する。第2の駆動部は、第2の軸回りの角速度156に対して、一次元の自由度の方向へ第2のコリオリ力154を発生せしめる第2の参照振動152を、検出用構造体の全体または一部分に励起する。 （もっと読む）