【課題】1系統の検出手段で2軸回りの角速度を検出でき、システムの簡素化を図ることを可能にした角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサは、支持基板と、検出用構造体101と、変位検出手段と、第1の駆動部102と、第2の駆動部103とを有する。検出用構造体は、支持基板に少なくとも一次元の自由度をもって可動に支持される。変位検出手段は、検出用構造体の一次元の自由度の方向への変位を検出する。第1の駆動部は、第1の軸回りの角速度155に対して、一次元の自由度の方向へ第1のコリオリ力153を発生せしめる第1の参照振動151を、検出用構造体の全体または一部分に励起する。第2の駆動部は、第2の軸回りの角速度156に対して、一次元の自由度の方向へ第2のコリオリ力154を発生せしめる第2の参照振動152を、検出用構造体の全体または一部分に励起する。 （もっと読む）

【課題】物理量センサが正常に動作するかを簡単な構成で確かめる。
【解決手段】駆動腕部１１Ａ，１１Ｂと検出腕部１２とを備えた振動素子１０と、駆動腕部１１Ａ，１１Ｂを駆動するための駆動信号を第１駆動線Ｄ１及び第２駆動線Ｄ２を介して発生させる駆動回路２３１と、検出腕部１２から検出信号を第１検出線Ｓ１及び第２検出線Ｓ２を介して検出する検出回路２３２と、を含む物理量センサ１であって、第１駆動線Ｄ１と第２駆動線Ｄ２との少なくとも一方を第１検出線Ｓ１及び第２検出線Ｓ２に対して静電結合を発生するように配線した。 （もっと読む）

本発明の方法は、現実のナビゲーション環境における計算による移動体の軌道と、少なくとも１つの基準軌道とを比較することによって、角運動シミュレータ２に搭載されている移動体の慣性ユニット３を検査するハイブリッドシミュレーションを実施する。 （もっと読む）

【課題】入出力端子や伝送線路を増設することなく低コストで、複数のシステム状態を伝送することの可能なシステム状態伝送装置を提供する。
【解決手段】複数のシステム状態の各々に対応して設置され、対応するシステム状態を検出すると共に当該システム状態に応じた信号を出力する状態検出手段と、前記状態検出手段の各々から出力される信号の内、最も優先すべきシステム状態を表す信号を選択的に外部に伝送する信号選択手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】慣性速度センサ素子が正常に動作していない場合であっても、異常を検知する。
【解決手段】慣性速度センサ素子１１は、駆動電気信号Ｓｄの周波数および振幅に応じて振動しその振動に対応する振動電気信号Ｓｏを出力するとともに、自己に加えられた慣性力に対応する慣性電気信号Ｓｉを出力する。駆動回路１２は、振動電気信号Ｓｏに応じて駆動電気信号Ｓｄの周波数および振幅を調整する。慣性力検出回路１３は、アナログ検波用信号（クロック信号ＣＬＫ１）用いて、慣性電気信号Ｓｉから慣性力成分を抽出する。異常検知回路１４は、駆動回路１２の動作状態が正常であるのか異常であるのかを判定する。また、異常検知回路１４は、ＣＲ発振器１５からのクロック信号ＣＬＫ２に同期して駆動回路１２の動作状態が異常である期間（異常状態期間）を計測し、その異常状態期間が異常検知期間（予め定められた期間）に到達すると異常検知信号Ｓａを出力する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ低コストにして制御演算部の負担が小さく、加速度・角速度及び磁気方位を高精度に検出可能なセンサ及びこれを用いた検出装置を提供する。
【解決手段】基体２と、下部封止板３及び上部封止板４と、一端が基体２の内面に連結された弾性梁部５と、弾性梁部５の中心部に取り付けられた重錘部６と、重錘部６の下面に形成された励磁コイル７と、下部封止板３の上面の重錘部６と対向する部分に配置された磁気検出素子８と、重錘部６の上面と上部封止板４の下面とに対向に形成された一対の加振機構９とから複合センサ１を構成する。励磁コイル７への励磁電流の供給及び加振機構９への加振電流の供給を制御し、磁気検出素子８の出力から、互いに直交する３方向についての加速度と角速度と磁気方位を検出する。 （もっと読む）

【課題】特定の軸周りの回転方向に、安定した角周波数の周期で、慣性センサを正逆回転させ、振動させることができる慣性センサの検査装置を提供すること。
【解決手段】慣性力を検出する慣性センサ５０の周波数特性を検査する慣性センサの検査装置１０において、端面２１に慣性センサ５０を支持するための構造を有する支持柱２０と、支持柱２０の端面２１に対して音波を出力することにより、端面２１を支持柱２０の軸周りに共振させる共振手段４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電特性、耐熱性に優れた圧電素子、角速度センサ、及びこの圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
基板上に第１の電極膜３４ａが形成され、この第１の電極膜３４ａ上にＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電素子１３９が形成される。ＰＺＴ薄膜３３は、化学式Ｐｂ_１＋Ｘ（Ｚｒ_ＹＴｉ_１−Ｙ）Ｏ_３＋Ｘで表された場合に、ＰｂＯ過剰組成比Ｘが０以上０．３以下であり、Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５５以下である。このようにＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電特性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５以下であれば、減分極が生じにくく、耐熱性に優れている。また、ＰＺＴ薄膜３３が引張応力を有することで、さらに耐熱性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電特性、耐熱性に優れた圧電素子、角速度センサ、及びこの圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
基板上に第１の電極膜３４ａが形成され、この第１の電極膜３４ａ上にＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電素子１３９が形成される。ＰＺＴ薄膜３３は、化学式Ｐｂ_１＋Ｘ（Ｚｒ_ＹＴｉ_１−Ｙ）Ｏ_３＋Ｘで表された場合に、ＰｂＯ過剰組成比Ｘが０以上０．３以下であり、Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５５以下である。このようにＰＺＴ薄膜３３が形成されることで、圧電特性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。Ｚｒ組成比Ｙが０以上０．５以下であれば、減分極が生じにくく、耐熱性に優れている。また、膜厚が４００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下とされることで、さらに圧電特性に優れた圧電素子１３９を得ることができる。 （もっと読む）

ヨーレートセンサにおいて、基板と、多数の可動の部分構造体とが設けられており、該部分構造体が、基板の表面の上に配置されており、可動の部分構造体が、１つの共通の、特に中央のばねエレメントに連結されており、可動の部分構造体を励振させて、基板の表面に対して平行な平面内でのカップリングされた振動を生ぜしめるための手段が設けられており、可動の部分構造体が、コリオリ素子を有しており、該コリオリ素子の、コリオリ力によって生ぜしめられた変位を検出するための手段が設けられており、第１のコリオリ素子が、第１の軸回りの回転角速度を検出するために設けられており、第２のコリオリ素子が、第２の軸回りの回転角速度を検出するために設けられており、第２の軸が、第１の軸に対して特に直角に向けられていることを特徴とするヨーレートセンサ。
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【課題】本発明は、ケースの一部を含鉛樹脂で成形することにより、光ファイバコイルの耐放射線性を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明による光ファイバジャイロのケース構造は、光ファイバコイル(4)を有するボビン体(2)と、前記ボビン体(2)及び光ファイバコイル(4)を覆うための第１蓋体(6)及び外筒体(5)及び第２蓋体(7)と、を備え、少なくとも前記第１蓋体(6)は含鉛樹脂で形成されている構成である。 （もっと読む）

【課題】安価な演算処理装置の使用を可能とし、低価格化を図る。
【解決手段】演算処理装置１０’はタイミング信号発生回路１６と、受光器８からの信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器９と、Ａ／Ｄ変換器９の出力を同期検波する同期検波回路１１と、同期検波回路１１の出力を積分する積分器１２と、積分器１２の出力から角速度出力を生成する角速度出力生成部１７と、積分器１２の出力からフィードバック信号を生成するフィードバック信号発生部１３と、積分器１２の出力から変調信号を生成する変調信号生成部１８と、変調信号とフィードバック信号とを加算して位相変調器６に印加する階段状鋸歯状波の出力信号を生成する加算器１９とを具備し、変調信号生成部１８、加算器１９の演算周期を光ファイバコイル７を伝播する光の伝播時間τとし、Ａ／Ｄ変換器９、同期検波回路１１、積分器１２、フィードバック信号発生部１３の演算周期をτの２以上の整数倍とする。 （もっと読む）

【課題】感度特性と応答特性とに優れた振動ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】振動ジャイロセンサの感度特性に関係する駆動振動子のクオリティファクタをそのままにしておき、応答特性に関係する検出振動子のクオリティファクタのみを減少させれば、感度特性を保持したまま、応答特性を向上させることができる。例えば、（１）検出振動子の電極の抵抗値を駆動振動子の電極の抵抗値よりも大きくする、（２）検出振動子の電極を形成する電極材料の抵抗値を駆動振動子の電極を形成する電極材料の抵抗値よりも大きくする、（３）検出振動子の電極を形成する電極材料を導電性金属酸化物に選定し、駆動振動子の電極を形成する電極材料を金属材質に選定するなどの方法が好適である。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの収容後において、パッケージ内を浮遊する異物を低減することができる半導体装置、その固定構造、及びその異物除去方法を提供する。
【解決手段】一面側に可動部が形成された半導体チップをパッケージの閉じた内部空間に収容してなる半導体装置であって、パッケージの内部空間に、粘着部材からなる吸着部を設けた。 （もっと読む）

【課題】加速度検出機能に加え、簡易構成として加速度をも検出し得る音叉型振動子の提供。
【解決手段】音叉基部から一対の音叉腕が延出して前記音叉腕には少なくとも音叉振動を励振する駆動電極を備えた音叉型振動子であって、前記音叉基部は前記音叉腕が延出した第１基部と前記第１基部から延長した第２基部からなり、前記第２基部には主面方向に沿って外周側から内部に向かう厚み方向を貫通した切り込みが設けられ、前記切り込みの前記内部の根元部からは可動棒が延出し、前記可動棒における前記第２基部の主面方向に沿った対向する両主面には第１及び第２電極を有し、前記可動棒の両主面に対向した前記切り込みの各内周面には前記第１及び第２電極に対向して第１及び第２コンデンサを形成する第３及び第４電極を有し、前記可動棒の変位による前記第１及び第２コンデンサの容量値の変化に基づく加速度検出機能を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電容量の変化を検出するための搬送波の入力の異常を適切に検出することができる、容量変化検出装置の提供を目的とする。
【解決手段】直列接続された２組の一対のコンデンサ（Ｃ１−Ｃ２，Ｃ３−Ｃ４）の両端に入力された矩形波信号（搬送波信号）が前記一対のコンデンサの容量変化によって変調されることにより得られた被変調波に基づいて前記容量変化を検出する容量変化検出装置であって、前記容量変化を相殺させる矩形波信号を入力する矩形波信号発生回路３０と、矩形波信号発生回路３０によって該矩形波信号が入力される時の前記被変調波を異なるタイミングで発生させたタイミング信号ＣＬＫＡとＣＬＫＢでサンプリングして比較した結果に基づいて前記一対のコンデンサの両端に入力される矩形波信号の断線の検知をする断線検出回路とを備えることを特徴とする、容量変化検出装置。 （もっと読む）

【課題】効率よく正確に検査ができる振動型の物理量センサの検査装置及び振動型の物理量センサを提供すること。
【解決手段】振動部を振動させながら振動部に作用する外力に基づいた検出信号を出力する振動型のジャイロセンサの検査装置であって、検査ボード２０に搭載された複数のジャイロセンサ（センサＡ〜センサＤ）に対して電源を供給し、複数のジャイロセンサ（センサＡ〜センサＤ）が搭載された検査ボード２０を回転駆動することによって、複数のジャイロセンサにおける振動子１に外力を与え、動作中の検査ボード２０に搭載され、電源が供給されている状態の複数のジャイロセンサ（センサＡ〜センサＤ）に対して、一つずつ順番に振動子１を振動させて検出信号を出力させ、検出信号に基づいて検査を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサに強い振動が加わっても、振動子が傾いて出力信号の感度が劣化してしまうということはなく、信頼性が向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、支持部２９に接着剤が充填される孔３０を設けるとともに、この孔３０の内底面に位置する基板２１の表面粗さが支持部２９の上面の表面粗さよりも大となるように構成したものであり、角速度センサの出力信号の感度は安定したものが得られるという作用効果を有するものである。 （もっと読む）

【課題】振動型角速度センサを含む油圧制御装置において、振動型角速度センサが、コリオリ力の検出方向と同一方向の外乱振動を受けても、その影響を受けないようにする。
【解決手段】油圧制御装置は、筐体と、通路を有する油圧配管ブロックと、油圧配管ブロックの通路を開閉するピストンを有する直線駆動アクチェータと、直線駆動アクチェータを駆動する回路を備えたプリント配線基板と、振動方向に対して直交するコリオリ力検出方向に可動な２つの振動子を有する振動型角速度センサと、を有する。振動型角速度センサは、振動子の振動方向がピストンの駆動方向に対して実質的に平行に配置され、コリオリ力検出方向がピストンの駆動方向に対して実質的に直交するように、プリント配線基板上に実装されている。 （もっと読む）

【課題】低コストで生産性が高く、外乱による計測精度への影響が小さく、さらに計測精度が安定した半導体リングレーザジャイロを得る。
【解決手段】リング共振構造を有する半導体リングレーザジャイロにおいて、励起源として、発光領域の幅が発振波長の１０倍以上である半導体レーザ素子、あるいは発光領域のアスペクト比が１：１０以上である半導体レーザ素子を利用し、集光レンズに要求される光学特性を緩和し、また反射部材の光軸精度の許容範囲を確保する。これにより、低コストで生産性が高く、外乱による計測精度への影響が小さく、さらに計測精度が安定した半導体リングレーザジャイロを得ることができる。 （もっと読む）