【課題】 可動部と支持基板の固着が長期に亘って防止されるマイクロデバイスを提供する。
【解決手段】 マイクロデバイスは、支持基板と、支持基板に隙間を介して対向しているとともに、支持基板に対して相対変位可能に支持された可動部を備えている。支持基板と可動部の互いに対向する表面の少なくとも一方には、少なくとも一つの突起が設けられている。そして、各々の突起には、その突起が設けられた支持基板又は可動部の内部へ伸びる基礎部が、一体に設けられている。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費を抑制しつつ、振動子の高次振動による誤差を抑制すること。
【解決手段】励振振動される振動子と、前記振動子を励振振動させるための励振駆動信号を出力する駆動手段と、前記振動子における前記励振振動とは異なる方向の変位を検出するための検出手段と、前記検出手段により検出された変位に基づいて、前記励振振動の方向と前記検出手段により検出される変位の方向の双方に直交する方向周りの角速度を検出する角速度検出手段と、温度を検出する温度検出手段と、発熱可能な発熱手段と、前記温度検出手段により検出された温度が、前記振動子の高次共振周波数と励振振動の周波数の奇数倍が一致する温度となるのを回避するように前記発熱手段を作動させる温度制御手段と、を備える角速度検出装置。 （もっと読む）

本発明は、角速度を測定するために使用される測定装置に関するものであり、特に、角速度の振動微細機械センサに関するものである。本発明の角速度のセンサは、少なくとも２つの振動質量構造（１）（２）、励起構造（３）（４）および、連結シーソータイプのバネ（６）（７）を含む。本発明の目的は、特に小さな角速度の振動微細機械センサの解決法において、良好な効率で信頼性が高い測定を可能にする改良されたセンサ構造物を提供することである。 （もっと読む）

本発明は、バネ構造が少なくとも質量に連結した第１のバーと動作軸方向において延長している第２のバーとを連結するバネを含み、前記バネが動作軸の動作方向に対して垂直方向に屈曲するように配置されたバネ構造によって共通の軸の方向に連結される２つの質量を含む微小機械共振器を示す。本発明は、微小機械共振器マトリクス、センサおよびナビゲ−ション装置にも関連するものである。 （もっと読む）

【課題】微小な静電容量の変化を検出可能で、静電気力による共振周波数の調整機能を追加可能で、加振回路からの影響を低減できる高感度且つＳＮ比の高い容量式センサを提供する。
【解決手段】物理量の変化に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に交流信号を印加する交流信号発生手段と、前記物理量検出素子に前記交流信号発生手段により充放電される電荷に応じた交流電圧を発生させる容量検出器と、前記容量検出器の発生させる交流電圧の振幅に応じたΔΣ変調信号列を発生させるΔΣ変調器とを構成することで達成される。 （もっと読む）

【課題】慣性力を検出する感度と精度を向上させることを目的としている。
【解決手段】錘部７と、可撓性を有し錘部７を支持し、所定の厚みを有し同一平面に形成され、前記厚み方向において対称である第１アーム２、第２アーム３と、前記第１アーム２、第２アーム３を介して前記錘部７を保持する枠体６と、前記錘部７を駆動させる第１駆動電極８、第２駆動電極９と、前記錘部７に作用する慣性力を検出するための感知電極１０とを備え、前記第１アーム２、第２アーム３が、前記第１アーム２、第２アーム３が形成された平面に対する垂直な方向における前記錘部７の厚みよりも薄い箇所を有し、前記錘部７が、前記第１アーム２、第２アーム３が形成された平面に対する垂直な方向において対称であるものである。 （もっと読む）

【課題】一つの慣性力センサで複数の軸方向の角速度の検出を外部からの衝撃、振動による誤検出を防止しながら行うことを目的としている。
【解決手段】錘部７と、可撓性を有し錘部７を支持し同一平面内に形成された第１アーム２、第２アーム３とからなる連結部と、連結部を介して錘部７を保持する枠体６と、少なくとも異なる２方向を回転軸とする角速度を検出するための感知電極１０とを備えた慣性力検出素子１と、可撓性を有し慣性力検出素子１を支持する板状の支持体１２と、支持体１２を介して慣性力検出素子１を保持する収納体１１を備え、支持体１２は厚み方向の曲げ部１３を有するものである。 （もっと読む）

【課題】高精度の検出精度を持つＭＥＭＳジャイロスコープ
【解決手段】 ｘ，ｙおよび／またはｚ軸まわりの回転運動を検出するためのＭＥＭＳジャイロスコープであって、特に、３次元センサであり、基板と、中心に対して径方向に移動可能な少なくとも２つ、好ましくは４つの複数のドライブマス（２）と、ｘ，ｙおよび／またはｚ軸に基板の回転が発生したときに、前記ドライブマス（２）にコリオリの力を発生させるために、前記ドライブマス（２）を振動させる駆動要素（７）とを有し、前記振動しているドライブマス（２）は、非振動性であり、且つ前記振動しているドライブマス（２）とともに、ｘ，ｙおよび／またはｚ軸の周りで基板上を回転可能な少なくとも１つの追加のセンサマス（３）に接続され、前記発生したコリオリの力により前記基板との関係で、前記センサマス（３）および／または前記ドライブマス（２）の移動を検出するためのセンサ要素（９，１０）と、スプリング（４）による前記基板へのセンサマス（３）の回動可能な取り付けのための少なくとも２つ、好ましくは４つのアンカーデバイス（５）とを有することを特徴とするＭＥＭＳジャイロスコープ。 （もっと読む）

【課題】ノイズ除去性能を上げつつ、簡素な構成で高精度な変位検出を行うことのできる変位検出素子を提供する。
【解決手段】相対位置が変位する一対の構造体３１，３２と、前記一対の構造体３１，３２の一方に並設された二つの電極３３と、前記二つの電極３３と間隙を介して対向するように前記一対の構造体３１，３２の他方に配された一つの電極３４と、前記二つの電極３３と前記一つの電極３４との間の静電容量を当該二つの電極３３に位相または極性の異なる電圧を印加して差動で検出する検出回路部３５と、を備えて変位検出素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】高精度な測定をすることのできるシンプルで安価なＭＥＭＳジャイロスコープを提供する。
【解決手段】ｘ−ｙ平面に沿って直線的に動く駆動要素（２，３，４）を有し、基板上に配置され、前記基板のヨーレートベクトルの少なくとも２つ、好ましくは３つの成分を測定するマイクロマシンセンサ（ＭＥＭＳ）（１）であって、本質的に相互に垂直な方向に駆動される前記駆動要素の２つのグループが存在し（２，３；４）、相互に垂直な方向に動く前記駆動要素（２，４；３，４）は、動きを同期させるために回転可能に前記基板上に配置された複数の結合デバイス（６，７）により相互に接続されていることを特徴とするマイクロマシンセンサ。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度を高める。
【解決手段】錘と、前記錘を支持する弾性体と、ｙ軸においてはｙ軸の固有振動数に応じた第一振動数で前記ｙ軸に直交するｚ軸においてはｚ軸の固有振動数に応じた前記第一振動数と異なる第二振動数で前記錘を２軸同時に励振する励振手段と、前記ｙ軸において前記錘の変位を検出するｙ軸変位検出手段と、前記ｙ軸と前記ｚ軸とに直交するｘ軸において前記錘の変位を検出するｘ軸変位検出手段と、前記錘の前記ｘ軸の変位から前記第一振動数の成分と前記第二振動数の成分とを離散フーリエ変換によって導出するとともに前記錘のｙ軸の変位から前記第二振動数の成分を離散フーリエ変換によって導出する軸分離手段と、を備える振動型角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】コリオリ質量体の面外運動を検知することができるセンサーデバイスを提供する。
【解決手段】駆動周波数同調可能ＭＥＭＳセンサーは、質量体と、該質量体を平面内で駆動するように構成された質量体駆動構成要素と、質量体を支持する複数の非線形バネと、該複数の非線形バネに動作可能に接続されて、トリム電圧に応じて該複数の非線形バネの応力条件を変更する第１の同調器と、該第１の同調器と電気的に結合されてトリム電圧を提供するトリム回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】リードフレームに搭載された角速度センサの応力を低減可能な角速度センサモジュールを提供する。
【解決手段】角速度センサモジュールは、矢印ＤＲ１方向および矢印ＤＲ２方向を含む平面の方向に延在するリードフレーム３０と、リードフレーム３０上に搭載される角速度センサ１０およびＡＳＩＣ素子２０と、外部端子６０とを備える。角速度センサ１０は、角速度センサモジュールにおける矢印ＤＲ１方向の端部に位置するように設けられる。外部端子６０は、角速度センサモジュールにおける矢印ＤＲ１方向の中央部に偏在するように設けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、封止型デバイスである静電容量型の力学量センサにおいて、対称性をもって錘部を多軸方向に変位可能に支持する可撓部の形状不良を低減して他軸感度を低減し、かつ、錘部が配置される封止空間内の真空封止状態を良好に維持する力学量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】力学量センサは、フレーム部と、フレーム部の内側に配置された錘部と、錘部とフレーム部とを接続する可撓部と、を備えた半導体基板と、フレーム部の一方の側に接合された第１基板と、フレーム部の他方の側に接合された第２基板と、第１基板上に設けられ、錘部と対向する第１電極と、第２基板上に設けられ、錘部と対向する第２電極と、を備え、可撓部は保護膜で被覆され、錘部はフレーム部と第１基板及び第２基板との接合により半導体基板内に形成された封止空間内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】リードフレームに搭載された角速度センサおよび他の電子部品の応力を低減可能な角速度センサモジュールを提供する。
【解決手段】角速度センサモジュールは、角速度検出素子を有する角速度センサ３０と、角速度センサ３０に接続される電子回路を有するＡＳＩＣ素子２０と、角速度センサ３０およびＡＳＩＣ素子２０が搭載されるリードフレーム１０と、リードフレーム１０上に搭載された角速度センサ３０およびＡＳＩＣ素子２０を封止するモールド樹脂５０とを備え、リードフレーム１０は、角速度センサ３０とＡＳＩＣ素子２０とが重なる方向に折り曲げられている。一例では、折り曲げられたリードフレーム１０を角速度センサ３０およびＡＳＩＣ素子２０が挟むようにリードフレーム１０が折り曲げられている。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上させることが可能な力学量検出素子、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】支持基板に対して振動可能な可動構造体と、前記可動構造体を駆動方向に振動させる駆動用電極と、前記可動構造体の変位を検出する検出用電極と、を有し、前記検出用電極により検出された変位に基づき力学量を検出する力学量検出素子であって、前記可動構造体は、少なくとも前記駆動用電極に対向する部位と、前記検出用電極に対向する部位とが電気的に絶縁されており、且つ該絶縁箇所において物理的には分離していないことを特徴とする、力学量検出素子。 （もっと読む）

【課題】 加速度を高感度に検出することができる複合センサを提供する。
【解決手段】 第１の支持梁５は、第１の振動子４をＸ軸方向およびＹ軸方向に振動可能に支持する。第１の振動子４の内部には、第２の振動子８をＹ軸方向に変位可能に設ける。基板２と第１の振動子４との間には、振動発生部１０および振動モニタ部１９を設ける。基板２と第２の振動子８との間には、角速度検出用の変位検出部１３を設ける。基板２と第１の振動子４の間には、加速度検出用の変位検出部１６を設ける。角速度検出回路２６は、変位検出部１３の変位検出信号Ｖcを振動モニタ部１９のモニタ信号Ｖmを用いて同期検波し、角速度Ωを検出する。一方、加速度検出回路３０は、変位検出部１６の変位検出信号Ｖaを振動モニタ部１９のモニタ信号Ｖmを用いて同期検波し、加速度αを検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、センサの加速度感度を損なうことなく、このような角度誤差を、簡単な仕組みで低減させることである。
【解決手段】本発明の一実施形態による角速度センサは、駆動回路７０１と、ＣＶ変換器７０２と、移相器７０３と、同期検波器７０４と、ローパスフィルタ７０５と、外部検知部７０６と、角速度出力補正部７０７とセンサ７０８とを備え、外乱検知部７０６は、信号Ｘ、信号Ｙを入力とし、角速度信号ではない所定の大きさよりも大きい信号（つまり外乱）を検出し、外乱検出状態か非外乱検出状態かを表す２値の検出信号を出力する。角速度出力補正部７０７は、ローパスフィルタ７０５の出力である角速度出力Ｘ、角速度出力Ｙを入力とする。これにより、センサの角速度信号に外乱が入ってきたとき、角速度出力Ｘ、角速度出力Ｙは補正される。 （もっと読む）

【課題】強度が高く高い加工精度を必要とすることなく振動の減衰が図られるとともに、ばね定数の設定が容易な力学量センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】内部ユニット１１とケーシング１２との間は、防振部材１５で接着および支持されている。防振部材１５は、柔軟であるため、内部ユニット１１とケーシング１２との間を接着しつつ、内部ユニット１１とケーシング１２との間の相対的な振動を吸収する。防振部材１５の厚さや幅を変更することにより、防振部材１５は強度およびばね定数を容易に変更可能である。これにより、強度の低下を招くことなく、かつ高い加工精度を必要とすることなく内部ユニット１１とケーシング１２との間の相対的な振動の減衰が図られるとともに、防振部材１５のばね定数の設定が容易である。 （もっと読む）

【課題】静電容量型のセンサ部の容量変化を検出電圧に変換するＣＶ変換回路を備え、ＳＮ比の改善と感度の向上を図るとともに、小型化を図るようにすること。
【解決手段】センサ部を構成する変位可能な振動子を挟むようにして設けられた少なくとも一対の検出用電極を有する容量素子と、振動子の電圧を高周波電圧に変調する変調手段とを備え、容量素子の検出用電極側をＣＶ変換回路の入力部に接続する。ＣＶ変換回路は、容量素子の検出用電極に接続される演算増幅器８２を備えているとともに、振動子の電位を高周波電圧に変調する高周波電圧印加回路（クロック発生回路）８０とを備えている。 （もっと読む）