【課題】治具を取り外すときにセンサ部が傾くことを抑制することができ、製品不良が発生することを抑制することができる物理量センサ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】センサ部２０を固着する力である固着力が可変とされた治具８０を、凹部１１におけるセンサ部２０の搭載側とは反対側から貫通孔１２を介して凹部１１内に挿入すると共にセンサ部２０と接触させて、センサ部２０を治具８０に固着し、センサ部２０を治具８０に固着した状態でワイヤボンディングを行うことにより、センサ部２０と接続端子４０とをボンディングワイヤ５０を介して電気的に接続する接続工程と、治具８０の固着力を接続工程のときよりも弱めた後、治具８０をパッケージ１０から取り外す取り外し工程と、を含む工程を行う。 （もっと読む）

【課題】出力変動の影響を低減し、出力安定性を向上させることができる角速度センサを提供する。
【解決手段】Ｙ軸方向に１自由度を持った第１バネ７０を介して一対の角速度検出部１０、２０を一対の駆動フレーム４０、４１に連結し、第１バネ７０を介して一対の駆動フレーム４０、４１を外枠５０に連結する。そして、駆動フレーム４０、４１に連結した外側駆動錘３０、３１を駆動振動させることでＹ軸方向に角速度検出部１０、２０を駆動する。さらに、検出方向であるＸ軸方向に１自由度を持った第２バネ７１を介して外枠５０をアンカー６０で支持する。これにより、角速度検出部１０、２０の駆動と角速度の検出とが分離され、角速度検出部１０、２０の出力に対して角速度検出部１０、２０の駆動成分は含まれない。したがって、他軸成分が原因の出力変動の影響が低減され、角速度センサの出力安定性が向上する。 （もっと読む）

【課題】 電極を保護しながら、可動部の形状精度を向上することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 本願の半導体装置の製造方法は、まず、第３層１６の一部を除去して可動部１６ｂを形成し、次いで、可動部１６ｂを形成するために除去された部位の下方に位置する第２層と、形成された可動部１６ｂの下方に位置する第２層１４を除去する。次いで、可動部１６ｂを形成する際に除去された部位に充填材２４を埋め込む。次いで、充填材２４を埋め込んだ状態で、半導体装置の表面に電極１８を形成する。電極１８を形成した後、埋め込んだ充填材２４を除去する。 （もっと読む）

【課題】負荷電流による電圧ドロップを抑制するスイッチドキャパシター回路、検出装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】スイッチドキャパシター回路は、出力用の演算増幅器ＯＰＢと、スイッチドキャパシター動作を行うための複数のスイッチ素子ＳＢ１〜ＳＢ８と、スイッチドキャパシター動作を行うための複数のキャパシターＣＢ１，ＣＢ２と、スイッチドキャパシター回路の出力端子ノードＮＴと第１のスイッチ素子ＳＢ６との間に設けられる静電保護用の抵抗素子ＲＢ１と、を含む。 （もっと読む）

【課題】電荷電圧変換後の電圧信号のＳ／Ｎを向上する電荷電圧変換回路、検出装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】電荷電圧変換回路は、キャパシターＣ１と、差動電流信号を構成する第１の信号ＩＳＰが供給される第１の入力ノードＮＩ１と、キャパシターＣ１の一端側のノードである第１のノードＮ１との間に設けられる第１の入力用スイッチ素子ＮＩ１と、差動電流信号を構成する第２の信号ＩＳＭが供給される第２の入力ノードＮＩ２と、第１のノードＮ１との間に設けられる第２の入力用スイッチ素子ＮＩ２と、キャパシターＣ１に蓄積された電荷に対応する電圧信号を出力するための出力用スイッチ素子ＳＱ１と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳを構成する可動部がその他の部材に固着することを抑制できる技術を提供する。
【解決手段】支持基板１１２Ｓを貫通するように突起形成用穴１１１を設け、この突起形成用穴１１１に酸化シリコン膜１１３を介して導電材料であるポリシリコン膜１１４を埋め込み、このポリシリコン膜１１４の一部を突起形成用穴１１１から可動部１０１側に向ってはみ出して突起部１１５を形成している。つまり、突起形成用穴１１１からポリシリコン膜１１４を可動部１０１側にはみ出させることにより突起部１１５を形成している。 （もっと読む）

【課題】各チャネルの第１、第２信号の差分に対応する信号のＡ／Ｄ変換を少ない回路規模で実現できる集積回路装置を提供する。
【解決手段】集積回路装置は、第１チャネル第１信号ＶＱ１、第２チャネル第１信号ＶＱ２が入力され、第１チャネル計測期間、第２チャネル計測期間において、各々、第１チャネル第１信号ＶＱ１、第２チャネル第１信号ＶＱ２を第１信号ＳＧ１として出力する第１マルチプレクサーＭＵＸ１と、第１チャネル第２信号ＶＲ１、第２チャネル第２信号ＶＲ２が入力され、第１チャネル計測期間、第２チャネル計測期間において、各々、ＶＲ１、ＶＲ２を第２信号ＳＧ２として出力する第２マルチプレクサーＭＵＸ２と、第１信号ＳＧ１と第２信号ＳＧ２が入力され、第１信号ＳＧ１と第２信号ＳＧ２の差分に対応する信号を出力する増幅回路ＡＭＰと、増幅回路ＡＭＰの出力信号についてのＡ／Ｄ変換を行うＡ／Ｄ変換器ＡＤＣを含む。 （もっと読む）

【課題】エッチングパターンの形状または大きさによらずに、正確に制御された深さの凹部を形成することができる半導体基板のエッチング方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板３をエッチングするに際し、まず、それぞれ独立に区画されたエッチング領域８７に対向する位置に同一パターンの開口８８を多数有するレジスト５９をマスクとして、異方性の深掘り反応性イオンエッチングする。これにより、半導体基板３の表面部に、深さがほぼ等しく揃った凹部８９が多数形成される。次いで、多数の凹部８９を区画する半導体基板３の側壁９０を、半導体基板３の表面に平行な横方向にエッチングして除去する。 （もっと読む）

【課題】振動子の起動を確実にし、安定して振動を維持する装置を提供する。
【解決手段】振動子１２と、振動状態を検出する検出アンプ１３と、振動情報を２値化してコンパレータ出力信号を出力する振幅比較器１４と、制御発振器入力信号に応じて周波数が変化する電圧制御発振器１５１と、コンパレータ出力信号と比較信号との位相差信号を出力する位相比較器１５３と、位相差信号の低域成分を出力するループフィルタ１５４と、比較信号に対して予め定める位相差を有する位相シフト信号を出力する位相シフト器２２と、位相シフト信号を入力する駆動アンプ１１と、操作信号を出力する操作信号発生器２１と、制御発振器入力信号として操作信号を選択し、制御発振器出力信号の周波数がキャプチャレンジの範囲となったときに、制御発振器入力信号として位相差情報信号を選択する操作切換器２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】駆動要素と検出要素の間の角度関係の調整能力と対称性塊構造体の維持能力の両方を提供する。
【解決手段】振動慣性速度センサは、ノードまたは反ノードの基準線から回転偏位または「スキュー」される軸を画成する作動要素を備える。前記スキューは、別個のノードまたは反ノード基準線に関連し得るか、または同じノード線周りに「分割」される要素型をとり得る。駆動信号と検出信号の両信号は、共通組の検出要素から分解され得る。駆動要素はまた、ジャイロスコープの能動トルクに作用をすべく、振動パターンを回転偏位するスキュー軸角度で作動し得る。スキュー駆動要素は、同じデバイス上のスキュー要素または分割要素と組合わされ得る。スキュー検出要素は、一か複数のノード線を備える振動システムに適用され得る。スキュー駆動要素は、能動トルクに作用すべく二つ以上のノード線を備える振動システムに適用され得る。 （もっと読む）

【課題】回転速度センサを提供して、この回転速度センサにより、公知の欠点を解消して、殊に障害モードを効果的に抑止してエラー信号を回避すること。
【解決手段】本発明の回転速度センサは、駆動装置と、コリオリ素子（１１３）と、検出装置とを有しており、上記の駆動装置は、コリオリ素子を駆動して振動させるためにこのコリオリ素子に接続されている。上記の検出装置は少なくとも１つのロータを有しており、上記のコリオリ素子の振動面におけるこの振動に直角な方向の偏位を検出装置に結合するため、この検出装置およびコリオリ素子に接続された結合装置が構成されているおり、これによってコリオリ素子が相応に偏位した場合、少なくとも１つのロータを駆動するための回転トルクがコリオリ素子から少なくとも１つのロータに伝達される。 （もっと読む）

【課題】回転速度センサを提供して、この回転速度センサにより、公知の欠点を解消し、殊に障害モードを効果的に抑止してエラー信号を回避すること。
【解決手段】本発明の回転速度センサは、駆動装置と、少なくとも１つのコリオリ素子と、少なくとも２つの検出素子を備えた検出装置とを有しており、この検出装置は、結合装置によって互い結合されており、上記の駆動装置が、コリオリ素子を駆動して振動させるため、このコリオリ素子に接続されており、上記の回転速度センサはさらに、上記の検出装置およびコリオリ素子に接続された別の結合装置を有しており、この結合装置により、上記のコリオリ素子の振動面においてこの振動に直交する方向の偏位が、上記の検出装置に結合されることを特徴とする回転速度センサを構成する。 （もっと読む）

【課題】 ２以上のセンサー素子を含む素子構造体の製造を容易化すること。
【解決手段】 素子構造体は、第１支持層１００と、第１支持層１００の上方に設けられる第１センサー素子ＳＥ１と、を有する第１基板ＢＳ１と、第２支持層２００と、第２支持層２００の上方に設けられる第２センサー素子ＳＥ２と、を有する第２基板ＢＳ２と、を含み、第２基板ＢＳ２は、第１センサー素子ＳＥ１と第２センサー素子ＳＥ２とが互いに対向した状態で、第１基板ＢＳ１上にスペーサー３００を介して配置されている。 （もっと読む）

【課題】 容量素子を含む素子構造体の製造を容易化すること。
【解決手段】 素子構造体は、第１支持層１００と、該第１支持層の上方に一端部が支持され他端部の周囲に空隙部が形成された第１可動梁８００ａと、を有する第１基板ＢＳ１と、第２支持層２００と、該第２支持層に形成された第１固定電極９００ａと、を有し、且つ、前記第１基板に対向して配置された第２基板ＢＳ２と、を含み、前記第１可動梁８０ａには、第１可動電極が形成され、前記第１固定電極と前記第１可動電極とが間隙を介して対向して配置されて構成される。 （もっと読む）

【課題】センサ部と検出部とを電気的に接続する接続手段の駆動信号伝達線が断線しているか否かを判定することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】Ｃ／Ｖ変換回路２３は、可動電極に搬送波信号Ｖｓが印加され、固定電極に駆動信号Ｖsv+、Ｖsv-が印加されるコンデンサＣs1〜Ｃs4の静電容量を変換した電圧Ｖcvを出力する。判定ロジック２５は、コンパレータ２４を通じて電圧Ｖcvをレベル変換した電圧Ｖcmpに基づいて、サーボ制御を行うための駆動信号Ｖsv+、Ｖsv-を回路チップ３側からセンサチップ２側に伝達する接続ラインＬ１〜Ｌ４の断線を判定する。 （もっと読む）

【課題】熱応力や外部応力によって、力学量の検出精度が低下することが抑制された半導体装置を提供する。
【解決手段】バンプを介して、センサチップと基体とが接続された半導体装置であって、センサチップは、基板と、絶縁層と、半導体層と、が順次積層されて成る半導体基板を有し、半導体基板に形成されたセンシング部は、絶縁層と半導体層から成る、基板に固定されたアンカ部と、絶縁層が除去されて、半導体層から成る、基板に対して浮いた遊動部と、を有し、アンカ部は、固定アンカ部と、可動アンカ部と、を有し、遊動部は、固定アンカ部に支持された固定電極と、可動アンカ部に支持された可動部と、該可動部に設けられた可動電極と、バンプが接続される接続部と、を有し、接続部は、固定アンカ部を介して、固定電極と接続された固定接続部と、可動アンカ部を介して、可動部と接続された可動接続部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】パッケージに剪断歪みが作用しても、検出信号に不要信号が混入することを抑止できる振動ジャイロの提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ５０は、振動子１と蓋板５０Ａとを備える。振動子１は、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃ、駆動梁、検出質量部１７Ａ〜１７Ｄおよび支持梁を備える。駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃは駆動により振動する。駆動梁は、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃを支持し、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃから作用する力により撓み振動する。検出質量部１７Ａ〜１７Ｄは、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃの振動により作用するコリオリの力に対して変位自在な状態で、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃに支持される。支持梁は、駆動梁を撓み振動の節となる位置で支持する。蓋板５０Ａは、駆動質量部１３Ａ〜１３Ｃの振動方向および検出質量部１７Ａ〜１７Ｄの変位方向に平行であり、振動方向に平行な振動子１の中心線に対向する領域で、振動子の固定を行った構成である。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小型で、角速度の検出精度が高い振動ジャイロの提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ５０は、蓋板５０Ａの主面法線方向をＺ軸とした直交座標形のＹ軸に沿って隣り合う２つの駆動質量部１３Ａ，１３Ｂの間に検出用固定構造部２Ａ，２Ｂの支柱部（２１）を配置し、駆動質量部１３Ａ，１３Ｂと支柱部（２１）との間それぞれに検出質量部１７Ａ，１７Ｂを配置し、支柱部（２１）と検出質量部１７Ａ，１７Ｂとの間それぞれに櫛歯電極を配置する構成である。 （もっと読む）

【課題】装置全体が小型でありながら、検出感度の高いセンサを製造することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明は基板上に形成される可動体として具現化される。その可動体は、第１枠体と、前記第１枠体に対して、互いに対向して、かつ部分的にあるいは完全に重なり合うように配置されている第２枠体と、第１ばね部を介して前記第１枠体と接続しており、かつ第２ばね部を介して前記第２枠体と接続している結合部と、第３ばね部を介して前記結合部と接続している、前記基板に固定された固定部を備えている。前記第１ばね部、前記第２ばね部および前記第３ばね部は、一方向のばね定数が他の方向のばね定数に比べて顕著に低く、実質的に当該一方向のみの相対変位を許容する。前記第１ばね部、前記第２ばね部および前記第３ばね部が相対変位を許容する方向は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い圧力中で振動型の角速度センサを作動させる場合に、粘性漏れ成分が小さくなる共振周波数によって振動子を振動することで、サーボ負荷が低減された角速度センサを提供する。
【解決手段】基板と、振動子と、互いに直交する振動軸と検出軸との２軸方向に変位可能となるように、振動子を基板に連結する梁部と、振動子を、振動軸方向に振動させる駆動部と、振動子に発生したコリオリ力による、振動子の検出軸方向への変位を静電容量の変化として検出する検出部と、静電容量の変化に基づいて、振動子の検出軸方向への変位を抑制する抑制部と、を備え、振動軸方向及び検出軸方向の共振周波数と、検出軸方向のＱ値とによって決定されるβｓｉｎθが、１以下となる共振周波数となっている。 （もっと読む）