【課題】センサチップ（基板）の湾曲による物理量の検出精度の低下が抑制された静電容量式センサ、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】基板（１２）に固定された固定電極（２１）、及び、基板（１２）に対して、直交関係にあるｘ方向及びｙ方向それぞれに変位可能な可動電極（２０）から成るコンデンサの静電容量変化に基づいて、物理量を検出する静電容量式センサであって、固定電極（２１）は、絶縁層（１３）を介して基板（１２）に固定され、可動電極（２０）は、ｘ方向とｙ方向とに直交するｚ方向に基板（１２）から離れており、固定電極（２１）における可動電極（２０）との対向領域を含む対向面（２１ａ）の面積と、可動電極（２０）における固定電極（２１）との対向領域を含む対向面（２０ａ）の面積とは異なる。 （もっと読む）

【課題】内圧変動による振動子の出力信号の変動が抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】直交の関係にあるｘ方向とｙ方向それぞれに変位可能な振動子（１９）と、振動子（１９）をｘ方向に振動させる駆動部（３７，５５）と、振動子（１９）のｘ方向の振動振幅を検出する振幅検出部（３６，５４）と、振動子（１９）のｙ方向への変位量を検出する変位検出部（３８，５６）と、振動子（１９）を密閉空間に収納するパッケージ（７０）と、を有する角速度センサであって、振幅検出部（３６，５４）の出力信号に基づいて、パッケージ（７０）の内圧を一定に調整する内圧調整部（９０）を有する。 （もっと読む）

【課題】応力に起因したＭＥＭＳの固有振動数の変動を抑制することにより、ＭＥＭＳの検出感度の変動による測定精度の劣化を抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】まず、半導体基板２の変形によって固定部３ａ〜３ｄは半導体基板２のｙ方向において外側方向に変位する。可動体５は、半導体基板２から浮いた状態で配置されているので、半導体基板２の変形の影響は受けずに変位しない。したがって、梁４ａには引張応力（＋σ１）が発生し、梁４ｂには圧縮応力（−σ２）が発生する。このとき、梁４ａと梁４ｂを組み合わせたバネ系を考えると、梁４ａに働く引張応力に起因するバネ定数の増加と、梁４ｂに働く圧縮応力に起因するバネ定数の減少が互いに相殺する。 （もっと読む）

【課題】逆相駆動変位する駆動質量体、及び逆相変位で検出する検出質量体のそれぞれの共振周波数を一意に定めることができ、かつ検出質量体が駆動振動により駆動変位相当の変位を伴わないようにした容量検出型の振動型ジャイロの提供。
【解決手段】左右の駆動質量体４及び６がそれぞれ、Ｘ方向に可動となるように、Ｘ方向の剛性が他方向の剛性に比べ低くなるように構成された少なくとも１つの第１の支持梁８及び１０の一端に接続され支持されている。左右の駆動質量体４及び６は、第１の連結ばね１２により互いに結合されている。連結ばね１２は、少なくともＸ方向及びＹ方向についてその剛性が調整されており、Ｘ方向の剛性は左右の駆動質量体４及び６が逆相振動モードを有し、Ｙ方向の剛性は連結ばね２６と協働して左右の検出質量体１４及び１６が逆相振動モードを有するように調整されている。 （もっと読む）

【課題】検出精度の低下を抑制可能な力学量センサを提供する。
【解決手段】接合部３００において、枠の外形を構成する外形輪郭線が矩形状の角部が除去された多角形状にする。これによれば、接合部が矩形枠状とされている従来の力学量センサに対して、角部が除去された部分では一辺の長さが短くなるために膨張量・収縮量が小さくなる。このため、角部が除去されることによって新たに形成された角部に発生する応力を低減することができ、当該角部からセンサ基板１００に印加される応力を小さくすることができる。したがって、検出精度が低減することを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】内圧変動による振動子の出力信号の変動が補正された角速度センサを提供する。
【解決手段】直交の関係にあるｘ方向とｙ方向それぞれに変位可能な振動子（１９）と、振動子（１９）をｘ方向に振動させる駆動部（３７，５５）と、振動子（１９）のｘ方向の振動振幅を検出する振幅検出部（３６，５４）と、振動子（１９）のｙ方向への変位量を検出する変位検出部（３８，５６）と、振動子（１９）を密閉空間に収納するパッケージ（７０）と、を有する角速度センサであって、振幅検出部（３６，５４）の出力信号に基づいて、変位検出部（３８，５６）の出力信号を補正する補正部（５７）を有する。 （もっと読む）

【課題】機械構造及びこれらの機械構造を基板に固定するためのアンカーを含むＭＥＭＳ装置及びその製造技術を提供する。
【解決手段】アンカー３０ａ、３０ｂ、３０ｃは、機械構造２０ａ、２０ｂ、２０ｃの解放プロセスによる影響を比較的受け難い材料で形成される。エッチング解放プロセスは、機械構造２０ａ、２０ｂ、２０ｃをアンカー３０ａ、３０ｂ、３０ｃを構成する材料に固定する材料に対し、選択的又は優先的である。更に、アンカー３０ａ、３０ｂ、３０ｃは、絶縁層の除去が機械構造２０ａ、２０ｂ、２０ｃの基板１４に対する固定にほとんど又は全く影響を及ぼさないように基板１４に固定される。 （もっと読む）

【課題】可動電極と固定電極が同一層に形成され、可動部の変位が支持基板の厚さ方向に対して生じるセンサの場合、可動部の変位の大きさを検出することができても、変位の方向を検出することができない。
【解決手段】半導体物理量検出センサに、(1) 可動電極と、前記可動電極と共通の第一の導電層に形成された第一の固定電極とで形成される第一の静電容量と、(2) 可動電極と、前記可動電極とは基板面上からの高さが異なる第二の導電層に形成された第二の固定電極とで形成される第二の静電容量と、(3) 物理量が印加されたときに生じる第一及び第二の静電容量の変化に基づいて物理量を算出する演算回路とを設ける。ここで、第一の静電容量からの電気信号と第二の静電容量からの電気信号が、それぞれ演算回路に入力される。 （もっと読む）

【課題】検出性能の劣化が抑制されたセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ装置は、実装面に対してθの角度で傾斜する底面２Ａ１を有するパッケージ本体２と、底面２Ａ１上に搭載される角速度センサ素子１と、底面２Ａ１上に角速度センサ素子１を収納する中空部２Ａを形成するようにパッケージ本体２に取り付けられるリッド５と、底面２Ａ１と角速度センサ素子１との間に介在し、パッケージ本体２よりも高い柔軟性を有するダイボンド材４とを備える。センサ装置は、リッド５が実装面と対向する構造を有し、パッケージ本体２の裏面２Ｂが水平方向と平行に延びる。 （もっと読む）

【課題】直線加速度の影響及び検出軸以外の他軸の角速度の影響の少なくとも一方を受けることがない物理量センサーを提供する。
【解決手段】物理量センサー１０は、基板と、基板上の空間平面に配置され、回転軸２２，３２を有した第１変位部及び第２変位部２１，３１と、基板の第１変位部及び第２変位部２１，３１の各々に対向する位置に設けられた固定電極部と、第１変位部及び第２変位部の各々の回転軸を支持する支持部４０と、バネ部６０を介して支持部４０を支持する固定部５０と、支持部４０を振動方向に振動させる駆動部７０と、を備え、第１変位部及び第２変位部は、回転軸を軸として空間平面に対して垂直方向に変位可能であり、回転軸の各々は、第１変位部又は第２変位部の重心からずれて設けられ、第１変位部２１の回転軸２２と第２変位部３１の回転軸３２とは、重心からのずれの方向が互いに反対である。 （もっと読む）

【課題】リフロー実装される際に、ケースと蓋とを接着する接着剤に応力が印加されることを抑制することができる角速度センサ装置を提供する。
【解決手段】パッケージ２０に内部と外部とを連通させる連通孔２３ａを形成する。これによれば、パッケージ２０に内部と外部とを連通させる連通孔２３ａが形成されているため、プリント基板等の基板にリフロー実装される際にパッケージ２０内の圧力が上昇することを抑制することができ、接着剤２８に応力が印加されることを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】外部から加わる衝撃などの応力の緩和が可能な小型のセンサーデバイス、モーションセンサー、及び、これらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】半導体装置としてのＩＣチップ１０は、第１の電極１１と、突起電極１２と、能動面１０ａと突起電極１２との間に積層された絶縁膜１４と、を有する。絶縁膜１４上の、振動ジャイロ素子２０の引き出し電極２９と対応する位置には、弾性を有する絶縁性樹脂からなる樹脂突起１２ａと、各樹脂突起１２ａの表面に設けられた導電膜としての金属膜１７とにより構成された突起電極１２が配設されている。金属膜１７は、絶縁膜１４の各開口部１４ａ内の第１の電極１１から絶縁膜１４上に引き出された配線１６に接続されている。突起電極１２と、振動ジャイロ素子２０の対応する引き出し電極２９とが位置合わせされ、導電性の接合部材９８により接合されている。 （もっと読む）

【課題】電位差によって生じる静電力の影響を抑え、Ｓ／Ｎ比の低下やセンサ感度の変動を防止できる複合センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る複合センサは、第１可動部および第２可動部と、これらの周辺に配置されている第１ダミー部および第２ダミー部を、積層基板の層内に形成して備えている。第１ダミー部と第２ダミー部は電気的に分離されており、第１可動部と第１ダミー部には第１電位が印加され、第２可動部と第２ダミー部には第２電位が印加される。 （もっと読む）

【課題】差動共振を抑えることが可能な音叉振動型角速度センサの提供。
【解決手段】 Ｘ軸方向へ互いに逆相に励起振動され、所定軸周りの角速度が生じた際にＸ軸方向と直交するＹ軸方向へ互いに逆相に変位振動される２つの錘を設け、該２つの錘のＹ軸方向での変位量の差に基づいて所定軸周りの角速度を検出する音叉振動型角速度センサ１，２であって、Ｙ軸方向における２つの錘の変位の同相分に基づいて、２つの錘をＹ軸方向の同相方向にフィードバック駆動する第１フィードバック系と、Ｙ軸方向における２つの錘の変位の逆相分に基づいて、２つの錘をＹ軸方向の逆相方向にフィードバック駆動する第２フィードバック系とを備える。 （もっと読む）

【課題】第１収容空間に異物が導入されることを抑制することができる加速度角速度センサ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】
加速度検出部１および角速度検出部２が形成されたセンサ部１０と蓋部２０とを用意する準備工程と、センサ部１０と蓋部２０とを減圧空間で接合し、加速度検出部１および加熱されることによりガスを放出するガス放出材２４ａ、５０を第１収容空間３に収容すると共に、角速度検出部２を第２収容空間４に収容する接合工程と、ガス放出材２４ａ、５０からガスを放出させることにより、第１収容空間３の圧力を第２収容空間４の圧力より高くする内圧変動工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】経時的に検出精度が低下することを抑制することができる角速度センサ装置を提供する。
【解決手段】可動部を有する角速度センサ素子１００と、可動部の駆動振動を制御する駆動信号を角速度センサ素子１００に出力し、駆動振動を一定に維持する駆動回路２１０と、角速度センサ素子１００における容量変化を検出して検出信号を出力する検出回路２２０と、角速度センサ素子１００を収納するパッケージと、パッケージに収納され、パッケージ内の圧力を検出する圧力センサ３００と、圧力センサ３００で検出された圧力から可動部における検出振動の共振倍率を演算し、検出信号および演算した共振倍率を用いて、印加された角速度を示す角速度信号を生成して出力する補正演算回路２３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】機械的構造体の適切な、向上した及び／又は最適な動作のための制御された又は制御可能な環境を含むＭＥＭＳを提供する。
【解決手段】機械的構造体の少なくとも一部の上に犠牲層を堆積させ、該犠牲層の上に第１の封止層を堆積させ、犠牲層の少なくとも一部を露出させるように第１の封止層を貫通して少なくとも１つのベントを形成し、犠牲層の少なくとも一部を除去してチャンバを形成し、少なくとも１つの比較的安定したガスをチャンバに導入し、少なくとも１つのベント上又は少なくとも１つのベント内に第２の封止層を堆積させ、これにより、チャンバをシールし、この場合、前記第２の封止層が、半導体材料である。 （もっと読む）

【課題】検出性能の劣化が抑制されたセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ装置は、実装面に対してθの角度で傾斜する底面を有するパッケージ本体２と、上記底面上に搭載される角速度センサ素子１と、上記底面上に角速度センサ素子１を収納する中空部２Ａを形成するようにパッケージ本体２に取り付けられるリッド５と、上記底面と角速度センサ素子１との間に介在し、パッケージ本体２よりも高い柔軟性を有するダイボンド材４とを備える。 （もっと読む）

【課題】高い検出感度を有する小型の物理量センサー及びこれを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】ベース基板１２上の第１軸の方向に配置され、振動可能な一対の第１可動質量部（３４Ａ、３４Ｂ）と、第２軸の方向に配置され、振動可能な一対の第２可動質量部（４０Ａ、４０Ｂ）と、第１可動質量部及び第２可動質量部を互いに逆相に振動させる振動手段と、第１可動質量部及び第２可動質量部の少なくとも一方に設けられ、３軸のうち少なくとも一つの軸回りに発生する力を検知する力検出手段とを備え、第１可動質量部には、第２軸の両方向に延出する第１アーム２８が設けられ、第２可動質量部には、第１軸の両方向に延出する第２アーム３０が設けられ、第１アーム２８及び第２アーム３０は、両アームが交わる位置に配置され、且つベース基板１２に固定された支持部３２により支持されている。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）センサを提供すること。
【解決手段】ＭＥＭＳセンサは、基板と、第１の複数の櫛を有する少なくとも１つのプルーフマスとを備えている。プルーフマスは、プルーフマスおよび第１の複数の櫛が移動することができるように、１つまたは複数の懸垂ビームを介して基板に結合されている。また、ＭＥＭＳセンサは、さらに、第２の複数の櫛を有する少なくとも１つのアンカを備えている。アンカは、アンカおよび第２の複数の櫛が基板に対して所定の位置に固定されるように、基板に結合されている。第１の複数の櫛は、第２の複数の櫛と交互配置されている。これらの櫛の各々は、１つまたは複数の非導電層によって互いから電気的に隔離された複数の導電層を備えている。個々の導電層は、これらの櫛の間の容量が可動櫛の平面外方向の変位に対して概ね直線的に変化するように、対応する個々の電位に個別に結合されている。 （もっと読む）