【課題】センサチップと基板との機械的な接続強度が向上され、且つ、力学量センサの体格の増大が抑制された力学量センサを提供する。
【解決手段】センサチップと、該センサチップと機械的及び電気的に接続される基材と、を備え、センサチップは、半導体基板と、センサ部と、半導体基板と基材とを機械的及び電気的に接続するための第１パッドと、半導体基板と基材部とを機械的に接続するための第１ダミーパッドと、を有し、基材は、基板と、バンプを介して第１パッドと機械的及び電気的に接続される第２パッドと、バンプを介して第１ダミーパッドと機械的に接続される第２ダミーパッドと、を有し、第１パッドは、半導体基板の中央領域内にて交差する十字線上に配置され、第１ダミーパッドは、十字線上を除く半導体基板の端に配置されている。 （もっと読む）

【課題】加工誤差によって、角速度変化に対するサーボ電圧変化が低下することが抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】基板と、対を成す振動子と、互いに直交する振動軸と検出軸との２軸方向に変位可能となるように、対を成す振動子同士を連結すると共に、それぞれを基板に連結する梁部と、対を成す振動子を、振動軸方向に互いに逆位相で振動させる駆動部と、振動子の振動、及び被検出軸方向の周りの角速度によって、振動子に発生したコリオリ力による、振動子の検出軸方向への変位を静電容量の変化として検出する検出部と、静電容量の変化に基づいて、対を成す振動子それぞれの検出軸方向への変位を抑制する抑制部と、を備え、抑制部は、第１抑制電極と第２抑制電極を有し、その電極間隔が、検出部の構成要素である検出電極の検出軸方向の幅の２倍となっている。 （もっと読む）

【課題】回転に関する物理量を検出する物理量検出部を基体に固定するための固定構造であり、その物理量検出部に対する外部からの衝撃を緩和しながらも検出対象となる回転をその物理量検出部に選択的に伝達可能な固定構造を提供すること。
【解決手段】回転運動に関する物理量を検出する物理量検出部１０を基体１２に固定するための物理量検出部固定構造１００は、物理量検出部１０と基体１２との間に配置され、物理量検出部１０の並進運動をもたらし得る基体１２からの衝撃エネルギーを吸収する衝撃吸収部１４と、物理量検出部１０と基体１２との間に配置され、物理量検出部１０の回転運動をもたらす基体１２からの回転エネルギーを物理量検出部１０に伝達する回転エネルギー伝達部１６、１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】電気的な接続信頼性が向上された力学量センサ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】力学量を測定するセンサ部と、該センサ部を収納するケースと、該ケースを収納する収納部と、を有する力学量センサであって、ケースは、複数のセラミックシートが積層されて成る有底筒状の絶縁基材部と、該絶縁基材部の内部に設けられた配線パターンと、配線パターンと電気的に接続され、絶縁基材部の表面に設けられた電極と、絶縁基材部の開口部を閉塞する閉塞部と、を備え、配線パターンの端部が、絶縁基材部の外面に露出され、その露出された配線パターンの端部の少なくとも一部が、絶縁部材によって被覆されている。 （もっと読む）

【課題】錘の励振時に発生する、コリオリ力と同方向の漏れ振動を抑制し、コリオリ力による錘の変位を正確に検出することのできる角速度センサを提供する。
【解決手段】ｘ錘２４およびｘ変位検出梁２０からなるｘ振動子とｚ錘２２およびｚ変位検出梁１８からなるｚ振動子が、プレート１６に支持され、プレート１６は励振梁１２に支持されている。励振梁１２は励振電極２６の励振によりｙ軸方向に振動させられる。励振用の梁と検出用の梁とを分離させることで、励振時に発生し得る漏れ振動を抑制できる。漏れ振動が抑制されることにより、ｘ振動子およびｚ振動子に掛かるコリオリ力を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】自動車のエンジンルーム等の温度変化範囲が広く、また振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に設置して動作させる場合、これらのセンサの信頼性を高く保つ必要がある。
【解決手段】角速度検出機能の診断手段と、加速度検出機能の診断手段と、ＤＳＰ（またはＭＰＵ）の診断手段と、同一データを格納した複数（多重化した）のＲＯＭと、ＲＯＭの診断手段と、ＲＡＭの診断手段と、センサ出力と診断結果の一括出力する手段と、外部装置からの出力要求に対し、センサ出力と診断結果を一括して出力する手段と、外部装置に対し、センサ出力および診断結果を一括して出力する際に、誤り検出符号を一緒に送信する手段とで構成される。
【効果】必要情報の伝達に要する時間が短縮される。また、センサ内の全ての診断処理をＤＳＰで実行するため、ＤＳＰの故障診断を実施することで、個々の故障診断機能自身に対する故障診断が不要となる。 （もっと読む）

【課題】基板面に直交して変位する第１可動部分と、基板面に平行に変位する第２可動部分とを備えた構造体を積層構造体で実現し、第１可動部分と第２可動部分を入れ子構造とすることによって製造コストを低下させる。
【解決手段】積層構造体１０は、枠状の外側可動部２０と、外側可動部２０の枠内に収容されている内側可動部３０とを備えている。外側可動部２０にｙばね２１が接続されており、ｙばね２１によって外側可動部２０が外側基板８１から離反した高さにおいてｙ軸方向に変位可能に支持されている。内側可動部３０にｚばね３１が接続されており、ｚばね３１によって内側可動部３０が外側基板８１から離反した高さにおいてｚ軸方向に変位可能に支持されている。外側可動部２０とｚばね３１は、基板８１からの高さを異にしており、ｚばね３１が外側可動部２０から離反した高さにおいて外側可動部２０と立体交差している。 （もっと読む）

【課題】固定部と該固定部の外径側を囲むように配設された錘とを複数の梁で連結してなる振動体を備えたセンサ素子を例えばＳＯＩウェハを用いたＳｉウェハ一括プロセス処理で形成できるようにした振動体型力学量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】振動体１１を備えたセンサ素子よりなる振動体型力学量センサにおいて、前記センサ素子は半導体部材から形成されたものであるとともに、振動体１１は固定部１２と固定部１２の外径側を囲むように配設された錘１４とを複数の梁１３で連結したものであり、さらに、前記センサ素子の一方の面にガラス基板１０１が接合され、固定部１２がガラス基板１０１側と接合されることにより振動体１１がガラス基板１０１で機械的に支持されてなる構成としている。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ低価格でありながら、誤差の少ない信頼性の高い検出を可能にする。
【解決手段】 装置筐体３０内に、２つの重錘体１０Ａ，１０Ｂを収容し、それぞれを可撓性をもった接続部材２０によって装置筐体３０に接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂは所定の自由度をもって各座標軸Ｘ，Ｙ，Ｚの方向に移動できる。重錘体１０Ａ，１０Ｂ間は、可撓性をもった接続部材２５によって相互接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂを互いに逆位相となるようにＸ軸方向に往復運動させた状態とし、所定の検出時において、各重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸およびＹ軸方向のコリオリ力をＺ軸およびＹ軸方向への変位として検出する。両重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸およびＹ軸方向のコリオリ力の差により角速度を求め、和により加速度を求める。 （もっと読む）

コマンド型テスト機能を有する慣性センサーが記載される。センサーは、ドライバー回路によって駆動されるリング型であり、センサーは、対応する信号ピックオフを有する一次および二次部分を更に有する。一次ピックオフ信号振幅は、自動利得制御を介して制御され、一次位相ロックループおよびＶＣＯは、共振周波数にロックして、同期検出器に対するクロックを提供し、一次位相シフト回路を介した一次ピックオフ信号は、一次ドライバーに提供され、二次ピックオフ信号は検出器回路に入力され、センサーにおける動作を検出することができる。コマンド型テスト機能は、回路の一次部分から得られると共に、二次ピックオフ検出器回路における差動増幅器の２つの入力に入力される信号を有する。
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本発明の目的は、微小電気機械（ＭＥＭＳ）共振器の改良された構造を提供することである。本発明の第１の態様によれば、本発明による共振器構造は、所与の機械的振動と組み合わせて振動の特性周波数を有し、それにより、共振器構造基板の所与のポイントに配置された係留点（Ａ）での係留により、共振器構造内で機械的振動を設定し、第１の要素及び第２の要素のうちの少なくとも一方が、前記係留点（Ａ）に関して同期して振動するように構成されるように、前記第１の要素（１）及び前記第２の要素（２）が振動的に適合され、それにより、前記係留点（Ａ）の位置が実質的に、前記第１の要素（１）及び前記第２の要素（２）の寸法により画定される結合突出部内にあるように選択される。 （もっと読む）

コリオリジャイロスコープ（１）は、励起されて、第１軸に平行な振動を行うことが可能であり、前記第１軸に垂直な第２軸に沿ったコリオリ力による前記質量系の変位が検知可能である質量系と、少なくとも１つの第１補正ユニット（３０）、および少なくとも１つの第２補正ユニット（４０）であって、各々、複数の静止補正電極（３１，３２，４１，４２）および移動補正電極（２４，２５，２６，２７）を含み、前記静止補正電極（３１，３２，４１，４２）は、第１軸の方向に延びて、対応するアンカー構造によって基板にしっかりと接続され、前記移動補正電極（２４，２５，２６，２７）は、前記質量系の一部分である第１および第２補正ユニットとを含む。この種類のコリオリジャイロスコープ（１）の直交バイアスを低減するための方法は、少なくとも一時的に一定の補正電圧を、補正ユニット（３０，４０）に印加することを含む。
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【課題】信頼性が高くかつ効率的な測定が、とりわけコンパクトな信頼性を有しかつ効率的な測定を可能とする、振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

【課題】強度や耐久性が高く、振動の減衰が図られるとともに、ばね定数の設定が容易な力学量センサを提供する。
【解決手段】内部ユニット３１１は、防振部材３１５により支持されている。防振部材３１５は、内部ユニット３１１を支持しつつ、内部ユニット３１１と支持面３３３との間の相対的な振動を吸収する。防振部材３１５の厚さや幅を変更することにより、防振部材３１５は強度およびばね定数を容易に変更可能である。また、パッド３２７とパッド３２８との間を接続するボンディングワイヤ３１６は、自身の外径をｄとし、パッド３２７から湾曲する頂点までの高さをｈとすると、２０×ｄ≦ｈに設定されている。これにより、内部ユニット３１１が振動した場合でも、ボンディングワイヤ３１６のひずみが緩和され、強度や耐久性の低下を招くことがない。 （もっと読む）

本発明はセンサ装置に関する。このセンサ装置は、チップ構造体（１４０、１４１、１４５）用の固定部分（１２０、１２１）を備えた柔軟なプリント回路基板（１１１）と、柔軟なプリント回路基板（１１１）の固定部分（１２０、１２１）上に配置されているチップ構造体（１４０、１４１、１４５）と、このチップ構造体（１４０、１４１、１４５）を機械的な影響から保護するための緩衝部材（１６０）とを有している。柔軟なプリント回路基板（１１１）の固定部分（１２０、１２１）と、チップ構造体（１４０、１４１、１４５）と、緩衝部材（１６）とが相互に重なって配置されている。
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【課題】信頼性が高くかつ効率的な測定が可能となる、角速度についての振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、該ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

【課題】とりわけコンパクトで、信頼性が高くかつ効率的な測定が可能となる、振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】少なくとも１対の電極が、震動質量部４５、４６のエッジと関連して設けられ、その対の電極は質量部の表面と共に、２つのキャパシタンスを形成し、該動質量部の主運動の回転の角度に応じて、１対の電極の一方のキャパシタンスは増加し、１対の電極の他方のキャパシタンスは減少する。 （もっと読む）

【課題】従来の領域分割基板と較べて部分領域を引き出し導電領域として利用した場合の抵抗値が小さく、導電性、半導電性または絶縁性の任意の基板材料を用いることができ、適用制限の少ない領域分割基板およびそれを用いた半導体装置ならびにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】基板３０の第１表面Ｓ１から第２表面Ｓ２に亘って、当該基板３０を貫通するように形成されたトレンチ３１ａによって、当該基板３０が複数の部分領域Ｃｅに分割され、トレンチ３１ａによって形成された部分領域Ｃｅの側壁に、第１表面Ｓ１の側から第２表面Ｓ２の側に亘って、当該基板３０より高い導電率を有する導電層３５が形成され、導電層３５を介して、トレンチ３１ａ内に絶縁体３１ｂが埋め込まれてなる領域分割基板Ａ１０とする。 （もっと読む）

【課題】力学量の印加により変位する可動部を有し、この可動部の変位量により力学量を検出する力学量センサにおいて、過大な力学量によって可動部が過大変位するのを防止する。
【解決手段】可動部３１が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部３１に対して加速度を加えるアクチュエータ４０を備え、可動部３１は、一方向に駆動振動するとともに角速度が印加されたときに、この駆動振動の方向とは直交する方向に印加されるコリオリ力によって検出振動する角速度検出素子として構成されており、駆動振動の方向に沿って可動部３１が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部３１に対してアクチュエータ４０による加速度の印加を行う。 （もっと読む）

【課題】
信頼性の高い加速度・角速度検出素子を提供する。
【解決手段】
基体と、力の印加により形状または物性値が変化する支持体と、前記支持体上に配置された重錘体と、前記支持体の変形または物性値の変化に応じた信号を検出する検出電極と、を有し、その下面を前記基体上に接触させた状態で配置された検出部と、を有し、前記検出電極は、互いに離間して配置された第１検出電極と第２検出電極とで構成される、加速度・角速度検出素子。加速度・角速度検出素子である。これにより、信頼性の高い加速度・角速度検出素子を提供することができる。 （もっと読む）