【課題】
信頼性の高い加速度・角速度検出素子を提供する。
【解決手段】
基体と、力の印加により形状または物性値が変化する支持体と、前記支持体上に配置された重錘体と、前記支持体の変形または物性値の変化に応じた信号を検出する検出電極と、を有し、その下面を前記基体上に接触させた状態で配置された検出部と、を有し、前記検出電極は、互いに離間して配置された第１検出電極と第２検出電極とで構成される、加速度・角速度検出素子。加速度・角速度検出素子である。これにより、信頼性の高い加速度・角速度検出素子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな角速度の振動マイクロ−メカニカルセンサーにおいて、信頼性が高くかつ効率的な測定を可能とする。
【解決手段】震動質量１、２がバネによってまたはバネと堅固な補助構造によって支持領域に接続され、これによって、震動質量によって形成されるウェハーの平面に垂直な回転軸に関する自由度、および、ウェハーの平面に平行な少なくとも１つの回転軸に関する自由度が、震動質量１、２に与えられる。 （もっと読む）

【課題】 占有面積の縮小、容量の増大、ブラウンノイズの低減及び可動部の質量の増大等の二律背反の要請をバランスよく満足して検出精度を向上することができるＭＥＭＳセンサー及びその製造方法並びに電子機器を提供すること。
【解決手段】 ＭＥＭＳセンサー１０は、固定部２０と、弾性変形部３０と、弾性変形部を介して固定部に連結され、周囲に空洞部が形成された可動錘部４０と、固定部に第１の方向Ａに沿って配列固定され、第１の方向と直交する第２の方向Ｂに沿って突出する複数の固定電極部５０と、可動錘部より第２の方向に沿って突出形成されて、複数の固定電極部５０にそれぞれ対向して配置され、第１の方向に沿って配列された複数の可動電極部６０とを有する。可動錘部４０は、複数の可動電極部と同一の層に形成され、複数の可動電極部を連結する連結部４２と、複数の可動電極部及び連結部とは異なる層に形成され、連結部に接続された付加錘部４６とを含む。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動範囲を制限するストッパを簡易に構成する。
【解決手段】角速度センサ１は、フレーム２と、フレーム２に対して揺動する振動子３と、振動子３の揺動を所定の揺動範囲に制限するためのストッパ５，５とを備えている。フレーム２、振動子３及びストッパ５，５は、同一基板上に複数の層が積層された１つの積層体として構成されている。ストッパ５，５は、フレーム２から延びており、反ることによって振動子３の揺動軌跡Ｔ上に位置している。 （もっと読む）

【課題】エンジンルーム等の温度変化範囲が広く、また振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に設置して動作させる場合、これらのセンサの信頼性を高く保つ必要がある。
【解決手段】角速度検出素子の共振周波数の変動を検出し、その変動に検出素子を駆動する信号の周波数と、センサ素子の共振周波数と制御回路のクロック周波数を同期化する手段と、角速度の駆動，検出と検出結果の特性補正を並列で実行する２つのＤＳＰ（デジタル・シグナル・プロセッサ）と、制御プログラムが格納されたＲＯＭの先頭番地から最終番地までのプログラムを１番地ずつかつ周期的に繰り返し実行する手段と、通信路上でのノイズや電源変動によるデータ誤りを検出するための誤り検出符号をセンサ出力と一緒に送信する手段とで構成される。
【効果】位相の変動を補正する手段を設けることなく常に検出精度を一定に保てる。 （もっと読む）

【課題】振動式の角速度センサにおいては、センサを内包する筐体内の圧力変動や、センサ素子，制御回路自体の温度変動，経時劣化等により駆動方向と検出方向の共振周波数の関係が変動しセンサの検出感度が変動する。
【解決手段】振動体からの変位信号を同期検波する同期検波手段と、その出力が常に最大値となるように共振周波数調整電極に与える電圧値を変化させる手段と、その出力を検出軸方向の共振周波数調整電極に帰還させる手段とで構成される。
【効果】温度や圧力の変動や経時劣化等に影響されずセンサの検出感度を一定に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】外来ノイズに対する耐性を維持しつつ、内部ノイズに由来するノイズを抑えられる構成とすることで、高精度な静電容量型物理量センサ及び角速度センサを提供することにある。
【解決手段】検出素子１０は、外界からの物理量により変位可能に支持された可動体１８と、検出電極Ｅｆとを有する。シールド配線１６は、容量検出回路３０の入力に接続された配線の周囲に配置され、低インピーダンスの直流電位に接続される。検出素子１０と容量検出回路３０の接続部の低インピーダンスの固定電位に対する入力容量の値Ｃｉｎが、１．５ｐＦ＜Ｃｉｎ＜２０ｐＦの範囲とする。 （もっと読む）

【課題】駆動錘と検出錘とを有する振動子を２つ備えた振動型角速度センサにおいて、外部衝撃に対する各駆動錘の同調性および各検出錘の同調性を高める。
【解決手段】駆動錘１５０、２５０は、当該駆動錘１５０、２５０がそれぞれ対向する部分に開口部１５２、２５２をそれぞれ備えている。また、検出錘１４０、２４０は、駆動錘１５０、２５０の内側にそれぞれ配置されている。そして、駆動連成梁４００は、第１振動子１００の駆動錘１５０と第２振動子２００の駆動錘２５０とを直接連結している。一方、検出連成梁５００は、駆動錘１５０、２５０の開口部１５２、２５２を介して第１振動子１００の検出錘１４０と第２振動子２００の検出錘２４０とを直接連結している。これにより、外部からの衝撃に対する各駆動錘１５０、２５０の同調性および各検出錘１４０、２４０の同調性の両方を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】正確で信頼性が高く広範囲の開発に適した、マイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープ及びマイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープの制御方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳジャイロスコープは、固定構造体６と、駆動軸Ｘに従って前記固定構造体６に関して可動な駆動質量体７と、前記駆動軸Ｘに従って運動状態になるように駆動質量体７に機械的に連結され、且つ、微細構造体２の回転に応答して、駆動軸Ｙに従って前記駆動質量体７に関して可動な検出質量体８とを有する微細構造体２、及び、駆動周波数で前記駆動質量体７を振動状態に維持するための駆動装置３を備える。前記駆動装置３は、前記駆動軸Ｘに関して駆動質量体７の位置を検出するための離散時間検出インタフェース２０と、前記駆動子質量体７の位置に基づいて駆動周波数を制御するための制御手段２１、２３、２４、２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明では、物理量センサにおいて、外部から伝達させる外乱振動を減衰させる構造とすることで物理量の誤差検出を防ぎ、高精度検出が可能な耐振動性向上実装構造を提供することを目的とする。
【解決手段】物理量センサを設置した筐体の下に内部に空間を備え、かつ、オリフィスや未接着部を備えた低剛性材料の筐体支持体を設置し、かつ、電気信号を基板に伝達する手段も低剛性構造であること、を特徴とすることにより、耐振動性に優れた実装構造とした。本発明によれば、物理量センサにおいて、外部からの外乱振動を防ぎ、物理量の高精度検出を可能とする。 （もっと読む）

駆動信号および／または駆動信号の加速度計感知電子部品への電子パススルーに関連する同相オフセット誤差等の、慣性センサの共振器に印加される駆動信号に関連する誤差源は、駆動信号を変調し、変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知することによって検出される。慣性センサ共振器の空気力学に関連する誤差源は、共振器と下側の基板との間の距離を変調し、そのような変調によって誘発される加速度計信号を感知することによって検出される。そのような誤差源によって引き起こされる誤差を実質的に相殺するために、補償信号が提供され得る。
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【課題】機械式レートジャイロスコープの感度に各種不確実性の影響を含むことを防止する。
【解決手段】質量を基板に対して振動させる駆動力Ｆｄを発生させる第１駆動系１１４と、角速度に応じて発生したコリオリ力により生じた偏位を測定する変位センサ１１６と、コリオリ力を打ち消すフィードバック力Ｆｆを発生する横断駆動系１６６，１６８とを含む機械式センサ１０２と、第１駆動系に駆動力Ｆｄを発生させるための交流駆動を与え、フィードバック力Ｆｆを発生させる交流駆動の完全サイクルのフィードバック信号を横断駆動系に与える制御回路とを有し、第１駆動系が第１数Ｎｄのセグメントを含み、横断駆動系が第２数Ｎｆのセグメントを含み、このセグメントが、第１駆動系のセグメントと同形態で、第１駆動系セグメントに対して横断する方向に向いており、Ｆｄ／ＦｆがＮｄ／Ｎｆに比例するよう構成する。 （もっと読む）

直交誤差に対する感度および微細加工の不正確さを低減した慣性センサは、デバイス面における２つの直交軸（感度軸）周りの回転を感知するための２つの特別に構成された１軸ジャイロスコープを組み込んだ、ジャイロスコープを含み、各１軸ジャイロスコープは、フォークによって相互接続された２つの回転可能にディザリングされたシャトルを含み、各シャトルは、感度軸に垂直な傾斜軸に沿って面外に傾斜するように構成され、かつ傾斜軸に垂直な（すなわち、感度軸に平行な）軸に沿って位置付けられる対応するコリオリ検出電極を含む。２つの１軸ジャイロスコープは、例えば、フォークおよび／またはシャトルを相互接続する１つ以上の同相または逆相カップリングによって相互接続され得る。
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【課題】振動子と半導体基板間の短絡が防止され、且つ製造工程の増大を抑制できる半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】上面に凹部１００が形成され、凹部１００の底面１０１に半導体層が露出した半導体基板１０と、凹部１００内に配置され、且つ側面及び下面に絶縁膜が配置された梁型の可動電極２１を有し、可動電極２１より離間した位置において半導体基板１０に固定された振動子２０と、可動電極２１に対向して凹部１００内に配置され、可動電極２１と電気的に分離されて半導体基板１０に固定された梁型の固定電極３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出信号のノイズ、ドリフトを最小にする角度測定の方法を提供する。
【解決手段】既定の算出され推定された一組のパラメータに基づいて一組の推定された信号を算出するために状態観測器２３１を構成し、ジャイロスコープ２１に関連した動的方程式を使用してそのゲインを算出し、算出されたゲインに基づいて、推定された一組のパラメータを算出する。一組の検出信号は、検出モジュール２２によって生成され、これと推定された一組のパラメータから推定された信号が算出される。また、状態観測器２３１によって算出された推定されたパラメータにおける位置および速度に基づいて前記ジャイロスコープ２１の回転角φを算出するための角度計算機２３３とを含む。 （もっと読む）

【課題】振動子の高次共振周波数の影響を十分に排除することが可能な角速度検出装置を提供すること。
【解決手段】励振振動される振動子と、前記振動子を励振振動させるための駆動信号を出力する駆動手段と、前記振動子における前記励振振動とは異なる方向の変位を検出するための検出手段と、前記検出手段により検出された変位に基づいて、前記励振振動の方向と前記検出手段により検出される変位の方向の双方に直交する方向周りの角速度を検出する角速度検出手段と、を備える角速度検出装置であって、温度を検出する温度検出手段を備え、前記駆動手段は、前記温度検出手段により検出された温度が変化するのに応じて、前記駆動信号の態様を変更することを特徴とする、角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】接続不良が生じたか否かを判定することができる力学量センサ、及び該力学量センサの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板、該半導体基板の一面側に形成された力学量を検出するセンサ部、及び該センサ部と電気的に接続された第１パッドを備えるセンサチップと、基板、及び第１パッドに対応して基板の一面に形成された第２パッドを備える基材と、第１パッドと第２パッドとを、機械的及び電気的に接続するバンプと、を備える力学量センサであって、第１パッドは、センサ部の信号を外部に出力するための第１出力パッドを含み、第１出力パッドの少なくとも１つは、半導体基板の第１パッド形成面における中央領域を取り囲む縁領域に配置され、半導体基板は、中央領域が縁領域に対して、基材側に凸となるように湾曲している。 （もっと読む）

【課題】 陽極接合時に可動部とガラス基板とが接合するのを防止する。
【解決手段】 第１，第２のガラス基板２，３の間に、厚さ方向に変位可能な可動部６を備えたシリコン基板４を挟む。第２のガラス基板３のキャビティ３Ａ内には、可動部６と対向した固定電極９を設けると共に、可動部６と電気的に接続されて固定電極９を取囲む同電位電極１０を設ける。また、キャビティ３Ａの底面には、層間絶縁膜１１を挟んで固定電極９および同電位電極１０と対向した下地電極１２を設ける。下地電極１２は、固定電極９に接続された第１の電極部１２Ａと、同電位電極１０と接続された第２の電極部１２Ｂとを備える。そして、第２の電極部１２Ｂは固定電極９および同電位電極１０の間の隙間Ｇを覆い、隙間Ｇと対向した部分はシールド部１３を形成する。 （もっと読む）

【課題】角速度検出部の耐衝撃特性、及び加速度検出部の感度特性の低下が抑制された加速度角速度センサを提供する。
【解決手段】対をなす、第１固定電極、第１可動電極、錘部、及び該錘部が設けられ、第１可動電極を支持する第１支持部を有する加速度検出部と、対をなす、第２固定電極、第２可動電極、及び該第２可動電極を支持する第２支持部を有する角速度検出部と、対をなす第１支持部をＸ方向に逆位相で加振し、対をなす第２支持部をＸ方向に逆位相で加振する加振部と、を備え、第１支持部間は、Ｙ方向に変位可能な第１バネによって互いに連結され、第１支持部はＸ方向及びＹ方向に変位可能な第２バネによって基台に連結され、第２支持部の１つはＸ方向及びＹ方向に変位可能な第３バネによって第１支持部の１つと連結され、第２支持部と第２可動電極とは、Ｙ方向に変位可能な第４バネによって連結されている。 （もっと読む）

ディスク状共振器ジャイロスコープ（ＤＲＧ）のようなプレーナ共振器ジャイロスコープのパッケージング方法が開示される。１つの実施形態では、パッケージングされた共振器ジャイロスコープは、支持材と、支持材に取り付けられた基板と、基板に接続されて基板とベースプレートとの間に空洞を画定するベースプレートと、ベースプレートに取り付けられ、かつ空洞内に吊り下げられている共振器とを備える。他の実施形態も記載される。
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