【課題】 質量部を支持する弾性変形部を、正規の変形方向へ曲がりやすく、正規の変形方向以外の方向へ変形しにくい構造にして、質量部を安定して駆動できる角速度センサを提供する。
【解決手段】 検出回動部２６の内部に第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを介して駆動質量部２９ａがＸ方向へ移動自在に支持されており、第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに設けられた圧電素子によって駆動質量部２９ａがＸ方向へ振動させられる。角速度センサ１が、垂直軸Ｚ回りの角速度を持つと、駆動質量部２９ａにＹ方向のコリオリ力が作用し、検出回動部２６が動作して角速度が検出される。第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄはＹ方向に平行に延びる梁３３，３４を有しているため、Ｙ方向の力で変形しにくい。よって、駆動質量部２９ａがＸ方向へ安定して支持される。 （もっと読む）

【課題】 特に、従来に比べて、簡単な構造にて、センサの薄型化と電気的安定性等とともに質量部の質量を効果的に大きくすることが可能なＭＥＭＳセンサ及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 シリコンで形成され高さ方向にて対向配置された第１の基板１及び第２の基板２を有し、前記第１の基板１には、質量部４及び、前記質量部４と接続されるアンカ部５が形成されており、前記アンカ部５は、前記第２の基板２に固定支持されており、前記質量部４と前記第２の基板２の間には空間６が設けられており、前記質量部４の内部には、前記シリコンよりも比重が大きい金属７が埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】 平面的な構成で、基板と平行な面内にベクトルが向き角速度を検出できる角速度センサを提供する。
【解決手段】 平面的なシリコンウエハで形成された第１の駆動質量部２９ａと第２の駆動質量部２９ｂとが、Ｘ１−Ｘ２方向において互いに逆の位相で往復振動するように駆動される。このとき垂直軸角速度センサ１が、垂直軸Ｏｚ回りの角速度を持つと、第１の駆動質量部２９ａと第２の駆動質量部２９ｂにＹ１−Ｙ２方向の互いに逆向きのコリオリ力が作用する。その結果、第１の駆動質量部２９ａと第２の駆動質量部２９ｂを支持している検出回動部が（ｉｉｉ）（ｉｖ）方向へ回動し、この回動量が可動電極部２８とこれに対向する固定電極層との静電容量の変化として検出される。 （もっと読む）

【課題】高価な高速Ａ／Ｄ変換器等を必要とせず構成できるようにする。
【解決手段】振動モニタ信号Ｖｍ（ｔ）が第１閾値電圧Ｖｒｅｆ１をクロスするタイミングと、検知信号Ｖｓ（ｔ）が第２閾値電圧Ｖｒｅｆ２をクロスするタイミングとの時間差をΔＴとし、デジタル信号処理回路５が、時間差ΔＴを用いた所定の数式により角速度Ｖ_Ωを算出する。 （もっと読む）

本発明は、互いに直交する三つの空間方向における測定軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）を中心とする成分によって回転速度（Ω_ｘ，Ω_Ｙ，Ω_Ｚ）を検出するための、マイクロメカニクスによるコリオリ式回転速度センサに関する。当該コリオリ式回転速度センサは、基板と、検出質量体と、少なくとも二つの駆動質量体と、を有しており、当該駆動質量体はそれぞれ、基板に対して一次運動（Ｖ_Ｘａ，Ｖ_Ｙｂ，Ｖ_Ｘｃ，Ｖ_Ｙｄ）を行うように駆動可能であり、少なくとも二つの駆動質量体の一つの駆動質量体が行う一次運動（Ｖ_Ｘａ，Ｖ_Ｙｂ，Ｖ_Ｘｃ，Ｖ_Ｙｄ）の方向は、少なくとも二つの駆動質量体の他の駆動質量体が行う一次運動（Ｖ_Ｘａ，Ｖ_Ｙｂ，Ｖ_Ｘｃ，Ｖ_Ｙｄ）の方向に対して垂直であり、検出質量体は駆動質量体と連結されている。本発明はさらに、慣性測定装置（ＩＭＵ）と、互いに直交する三つの空間方向における回転速度を検出するための方法に関する。
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【課題】可動部を面内方向に励振させるのにあたり、不要なメカノイズ成分の発生を有効に抑制できるようにする。
【解決手段】平板状の可動部１１と、前記可動部１１の端縁から離間して配される支持部１２と、前記可動部１１に一端が連結され、前記支持部１２に他端が連結されて、前記支持部１２に対して前記可動部１１を面内方向へ変位可能に支持する弾性支持体１３と、を備える微小電気機械装置（ＭＥＭＳ）において、前記弾性支持体１３を基板の厚さ方向に全て抜いて形成することで、面内垂直方向における中心位置が前記可動部１１の重心位置と合致するように構成する。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械要素と集積回路との両方の高性能化が可能な微小電気機械デバイスを提供する。
【解決手段】微小電気機械要素であるジャイロセンサと集積回路３とが１つの素子形成基板１に形成されたジャイロセンサ装置であり、素子形成基板１が、シリコン基板（第１の半導体基板）１Ａと、シリコン基板１Ａの厚み方向の一表面側に設けられシリコン基板１Ａよりも抵抗率の大きなシリコン基板（第２の半導体基板）１Ｂとを有した多層基板であり、ジャイロセンサがシリコン基板１Ａとシリコン基板１Ｂとに亙って形成されるとともに、集積回路３がシリコン基板１Ｂに形成されている。シリコン基板１Ａの他表面側に固着された支持基板２を備え、ジャイロセンサの可動部が、シリコン基板Ｂとシリコン基板１Ａの周部と支持基板２とで囲まれた密閉空間内に位置している。 （もっと読む）

【課題】 検知軸が基板の面内方向となる場合でも、駆動モードと検出モードの共振周波数差を小さくして角速度を高感度で検出する。
【解決手段】 基板２には駆動質量部５を設け、駆動質量部５を撓み支持梁からなる駆動梁６を用いてＸ軸方向に振動可能に支持する。また、駆動質量部５の内部には検出質量部７を設け、検出質量部７を検出梁８を用いてＺ軸方向に変位可能に支持する。そして、検出梁８は、捩れ支持梁９と、捩れ支持梁９の端部を駆動質量部５および検出質量部７に接続する接続梁１０とによって構成する。これにより、捩れ支持梁９の端部に作用する応力を低減することができ、加工ばらつきが駆動モードと検出モードの共振周波数差に与える影響を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 駆動モードでの振動だけでは検出電極に電荷が発生しないような振動ジャイロ用素子を提供し、ＳＮ比が高く、２軸の角速度の検出が可能で、安価な振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 平面的に形成された付加質量部４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを、それぞれ、同じ平面内に形成された第１のビーム３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄで支え、隣り合う第１のビーム３ａ、３ｄの接続部を一方の第２のビーム３ｅの一端で支え、別の隣り合う第１のビーム３ｂ、３ｃの接続部を他方の第２のビーム３ｆの一端で支え、さらに、リング状の第４のビーム３ｇの直交する接続端の対向する接続端に第２のビーム３ｅ、ビーム３ｆの他端を接続した振動子１を、第４のビームの別の対向する接続端にそれぞれ接続した第３のビーム３ｈ、３ｉを介して外周部の枠体２で支持し、励振部および検出部として機能させた振動ジャイロ用素子を用いる。 （もっと読む）

【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結する連結部４２が形成されているマイクロ可動基板Ｓ１と、支持基材Ｓ２と、マイクロ可動基板Ｓ１のフレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する複数のスペーサ９０Ａ，９０Ｂと、フレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合するスペーサ部９１Ｃ，９２ならびに当該スペーサ部を覆ってフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する接着剤部９３を有する少なくとも一つの強固定部９０Ｃとを備える。強固定部９０Ｃは、二つのスペーサ９０Ａ，９０Ｂの間に位置する。 （もっと読む）

【課題】 出力暴れを抑制しつつ加速度を高感度に検出することができる複合センサを提供する。
【解決手段】 ４個の質量部４，８，１２，１３を支持梁１４によって連結する。振動発生部１６，１９は、互いに隣合う質量部４，１３と、質量部８，１２とを逆位相で振動させる。そして、角速度検出用の変位検出部２２，２５は、質量部４，８の内側枠体６，１０を用いてＺ軸周りの角速度Ωを検出する。一方、質量部１２，１３の外側には、質量部２９，３２を設ける。加速度検出用の変位検出部４０，４３は、質量部２９，３２を用いてＹ軸方向の加速度αを検出する。また、基板２と質量部２９，３２との間には、質量部２９，３２の振動を減衰させるダンピング部３４，３７を設ける。これにより、質量部２９，３２の機械的なＱ値を低下することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の振動子を連成駆動させて１つの基準振動のみで３軸の角速度を検出するセンサを実現し、慣性センサの小型化を可能にする。
【解決手段】固定部３１と、前記固定部１３に弾性支持体３１〜３４を介して支持される第１振動子２１、第２振動子２２、第３振動子２３および第４振動子２４を有し、前記第１振動子２１および前記第３振動子２３はＸ軸上に該Ｘ軸の原点Ｏに対して対称な位置に配置され、前記第２振動子２２および前記第４振動子２４は前記Ｘ軸に直交するＹ軸上に前記Ｘ軸の原点Ｏと同位置のＹ軸の原点Ｏに対して対称な位置に配置され、前記第１振動子２１、前記第２振動子２２、前記第３振動子２３および前記第４振動子２４は隣り合う振動子間を弾性連結体４１〜４４により支持されている。 （もっと読む）

【課題】パッケージの薄型化に適したパッケージドマイクロ可動デバイス製造方法とパッケージドマイクロ可動デバイスを提供する。
【解決手段】本発明のパッケージドデバイスＰＤは、デバイス層部（デバイスＤ，外壁部７０）と、これに接合されたパッケージング部材８０，９０とを備える。本発明の製造方法では、第１パッケージングウエハに、分離溝によって囲まれた配線領域８１Ａを形成し、分離溝内に絶縁部８２を形成し、デバイスＤを形成するための複数の区画を含むデバイスウエハの第１面側に、第１パッケージングウエハにおける配線領域８１Ａが形成された側を接合し、第１パッケージングウエハにおいて、配線領域８１Ａを通って当該ウエハを貫通する貫通孔を形成し、貫通孔内に導電材料８５を充填し、第２パッケージングウエハをデバイスウエハの第２面側に接合し、配線領域８１Ａが露出するように第１パッケージングウエハを薄肉化する。 （もっと読む）

【課題】本発明に係る静電容量型の物理量センサは、センサ特性の低下を招くことなく、小型化あるいはセンサの感度を向上させる物理量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】物理量センサは、フレーム部と、フレーム部の内側に配置された錘部と、錘部とフレーム部とを接続する可撓部と、を備えた半導体基板と、フレーム部の一方の側に接合された第１支持基板と、フレーム部の他方の側に接合された第２支持基板と、第１支持基板と第２支持基板の少なくとも一方に設けられ、第１支持基板又は第２支持基板の一方の側と他方の側を導通する配線用端子と、第１支持基板の面上に設けられ、錘部と対向する第１電極と、第２支持基板の面上に設けられ、錘部と対向する第２電極と、を備え、フレーム部には前記フレーム部の一方の側と他方の側を導通する貫通配線部が配設され、貫通配線部と前記配線用端子とは電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】電極の形成時でのレジストの残渣を低減できる力学量センサおよび積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】積層体の製造方法が，基板上に，金属をそれぞれ含む第１，第２，および第３の導体層を順に形成するステップと，前記第３の導体層をパターニングするステップと，前記パターニングされた第３の導体層をマスクとして，前記第２の導体層をパターニングするステップと，前記パターニングされた第２の導体層をマスクとして，前記第１の導体層をパターニングするステップと，前記パターニングされた第３の導体層を除去するステップと，を具備する。 （もっと読む）

【課題】振動体と連成梁とを同じ層のシリコン基板を用いて形成する場合、振動体同士間であって連成梁が形成される領域には、連成梁以外の機能が形成できない。
【解決手段】第１方向に駆動する駆動部と、第１方向に直交する第２方向に可動する検出部と、駆動部と検出部とを連結する弾性部材とからなるユニットを複数備え、第１ユニットの駆動部の上面と第２ユニットの駆動部の上面とは、第１ユニットの検出部および第２ユニットの検出部の上面と離間する連成梁により接続される。 （もっと読む）

【課題】 狭ギャップで気密性を保ち、高信頼性の半導体センサー装置を提供する。
【解決手段】 ＭＥＭＳチップと気密封止用キャップチップと回路基板とそれらを封止
する樹脂部材とを備え、
キャップチップは、ＭＥＭＳチップ可動部を取り囲むようにリング状に配設された接
合材と、接合材の内外周に形成された接合材用溝と、接合材の下地のメタライズ層と絶
縁膜とを備え、
メタライズ層は、接合材の直下部と、接合材用溝の内面とその外側に外延した面に形
成され、
絶縁膜は直下部と外延した面に形成され、接合材用溝の内面には形成されず、
ＭＥＭＳチップにはメタライズ層が形成され、
キャップチップとＭＥＭＳチップとが、接合材を介して接合され、キャップチップと
接合材は接合材用溝の内で電気的に接続される半導体センサー装置。 （もっと読む）

【課題】角速度による振動体の変位信号の位相のずれを補正して、安定的な動作が可能な角速度検出装置を提供することにある。
【解決手段】振動体４は、互いに直交する第１の方向および第２の方向に変位可能である。振動体４を第１の方向に振動させた状態において、角速度の発生により、振動体４が第２の方向に変位しようとする。積分演算器４４，４５および帰還信号生成部４６及びバイアス加算部４７からなるサーボ系は、振動体４の変位を抑制するように外力を作用し、その外力の大きさに基づき角速度を検出する。位相補正演算部４３は、振動体４より出力する角速度による変位量を示す信号を、サーボ系に加算して、位相変動を補正する。 （もっと読む）

【課題】可動部の支持構造に基づくノイズの影響を排除することができる回転振動型ジャイロを提供する。
【解決手段】駆動錘４と、駆動錘４を回転振動させる駆動電極３と、駆動錘４の内側に配設され、Ｘ軸周りの角速度を受けたときのコリオリ力で駆動錘４と共にＹ軸を中心にシーソー様に振動する検出錘５と、基板２上に突設されたアンカー６と、回転振動の吸収機能およびコリオリ力の伝達機能を有し、駆動錘４を検出錘５に連結支持する複数の連結支持ばね８と、Ｙ軸上においてアンカー６と検出錘５との間に掛け渡され、振動する検出錘５のヒンジ軸として機能すると共に、その軸心が可動部１０の重心を通るように配設された一対の捻り支持ばね７と、振動する検出錘５の変位を検出する一対の検出電極９と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】微小な容量値の差を精度よく検出することができる検出回路を提供する。
【解決手段】センサの第１の容量と第２の容量との容量値の差を検出する検出回路は、該第１の容量に応じた周波数の第１の発振信号を生成する第１の発振器と、該第２の容量に応じた周波数の第２の発振信号を生成する第２の発振器と、該第１の発振器に結合され、該第１の発振信号に応じた第１のカウント値を出力する第１のカウンタと、該第２の発振器に結合され、該第２の発振信号に応じた第２のカウント値を出力する第２のカウンタと、該第１のカウンタと該第２のカウンタとに結合され、該第１のカウント値と該第２のカウント値とに基づいて該容量値の差を示す信号を出力する演算回路を含む。 （もっと読む）