【課題】電源電圧の変動や温度変化に起因するノイズ補正精度の劣化を抑制できる物理量検出回路を提供する。
【解決手段】アナログ・デジタル変換回路１０１は、物理量センサからのモニタ信号Ｓｍｎｔおよびセンサ信号Ｓｓｎｃをそれぞれデジタルモニタ信号Ｄｍｎｔおよびデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃに変換する。補正回路１０２は、デジタルモニタ信号Ｄｍｎｔの振幅および位相を調整してデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃのノイズを減衰させるためのデジタル補正信号Ｄｃｏｒを生成するとともに、デジタル補正信号Ｄｃｏｒを用いてデジタルセンサ信号Ｄｓｎｃを補正してデジタルセンサ信号ＤＤＤを出力する。検波回路１０３は、デジタルセンサ信号ＤＤＤから物理量センサに与えられた物理量に対応する物理量信号Ｄｐｈｙを検波する。 （もっと読む）

【課題】共振マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）初期化成功を補償するシステム及び方法、特にＥＳＤによるＤＣオフセットを克服する方法を提供する。
【解決手段】システム２０は、共振センサ２４、駆動デバイス２６、チャージアンプおよび電圧利得回路２８を含む。スタートアップ時に、チャージアンプ及び電圧利得回路は、共振センサから信号を受信し、ＤＣオフセットに関するこの信号を補償するために、駆動に関するクロック信号を生成し、これを用いて、安定した状態の動作モードにおける共振センサを実現する。回路は、受信された信号に関する信号にグリッチを生成するようにトグル切り替えされた複数の利得スイッチを含む。グリッチは、ＤＣオフセットを補償する。受信された信号に関する信号が、リファレンス信号を越えている場合、比較器は、駆動デバイスに関するクロック信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体装置、特に静電容量型の物理量センサにおいて、シリコン残渣の発生を防止するレイアウト方法及びかかるレイアウトによって形成した静電容量型の物理量センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板を第１の深さにエッチングする第１エッチング領域と、前記半導体基板をエッチングとデポジション膜の形成とを繰り返して前記第１の深さより深い第２の深さにエッチングする第２エッチング領域と、を有し、前記第１エッチング領域が前記第２エッチング領域を内包する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサの検知精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、角速度センス信号を出力する角速度センサ９と、加速度センス信号を出力する加速度センサ１０と、前記角速度センス信号と前記加速度センス信号とを出力する出力回路部１９とを備え、前記出力回路部１９が同一タイミングで検出された前記角速度センス信号と前記加速度センス信号とを１つの信号の塊として時間的に対応付けるべく時分割方式にてデジタル出力する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】生産性を著しく低下させることなく、アクティブ診断制御の高信頼化と高機能化を両立する物理量センサを提供することにある。
【構成】角速度検出回路１００は、物理量に応じて変位する可動部１を有しており、可動部の変位に応じて物理量（加速度）を検出する。アクティブ診断回路２００は、角速度検出回路１００の故障を診断する。第１判定手段２０１は、受信手段２０２により受信した指令コマンドに基づいて診断を実施するか否かを判定する。第２判定手段２０１は、受信した所定の情報に基づいて診断を実施するか否かを判定する。診断実行手段２０３は、第１判定手段２０１及び第２判定手段２０２の出力に基づいて診断を実行する。 （もっと読む）

【課題】駆動電極と第一変位検出電極間の浮遊容量による結合の影響を低減でき、低コストな角速度検出装置を提供することにある。
【解決手段】振動体２１は、互いに直交する第一の方向および第二の方向に変位可能である。非干渉信号発生器１が発生する駆動信号により、振動体２１を駆動信号に応じた静電力により第一の方向に振動させる。非干渉信号発生器１が発生する搬送波信号が、振動体２１に印加される。第一変位検出回路３，第二変位検出回路４は、振動体２１の変位を搬送波信号に同期した静電容量の変化である変位変調信号として検出し、角速度を検出する。ここで、駆動信号の周波数と、搬送波信号の周波数とを、駆動信号の奇数倍高調波と変位変調信号が非干渉となる周波数比で発生するように設定している。 （もっと読む）

【課題】
角速度検出装置において、複数のサーボ制御を時分割して処理することにより、１つの演算回路、またはソフトウェアで実現する。
【解決手段】
振動体からの変位信号を複数の同期検波信号で交互に同期検波を行う１つの同期検知手段と、その複数の出力を交互に積分演算を行う１つの積分演算手段と、前記の積分演算手段で得られた２つの出力に対して複数の交流信号を交互に乗算する手段と、前記２つの乗算出力を加算する手段と、その出力を振動子に帰還させる手段とで構成される。
【効果】
複数の同様な処理を１つの演算回路により時分割して逐次的に実行できるため、１つのＣＰＵまたはＤＳＰとその実行プログラムで実現可能である。 （もっと読む）

【課題】経時変化が少ない高信頼性の半導体力学量検出センサを提供する。
【解決手段】力学量の印加により変位する可動電極を静電力によって初期変位させることで、印加される力学量の大きさや方向を検出している。そのため、従来の圧縮応力膜によって初期変位を与える方法に比べ、経時変化が少ない高信頼性の半導体力学量検出センサを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】物理量センサが正常に動作するかを簡単な構成で確かめる。
【解決手段】駆動腕部１１Ａ，１１Ｂと検出腕部１２とを備えた振動素子１０と、駆動腕部１１Ａ，１１Ｂを駆動するための駆動信号を第１駆動線Ｄ１及び第２駆動線Ｄ２を介して発生させる駆動回路２３１と、検出腕部１２から検出信号を第１検出線Ｓ１及び第２検出線Ｓ２を介して検出する検出回路２３２と、を含む物理量センサ１であって、第１駆動線Ｄ１と第２駆動線Ｄ２との少なくとも一方を第１検出線Ｓ１及び第２検出線Ｓ２に対して静電結合を発生するように配線した。 （もっと読む）

【課題】可撓部の固有振動数を調整できる簡素な構造のＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】可撓性を有する可撓部と、前記可撓部に設けられ調整電圧に応じて撓むことによって前記可撓部の固有振動数を設定する設定手段と、前記可撓部の固有振動数を目標周波数に調整するための直流の前記調整電圧を前記設定手段に印加する制御回路と、前記可撓部を前記目標周波数において振動させる励振手段と、前記可撓部の歪みを検出する検出手段と、を備え、前記設定手段、前記励振手段および前記検出手段は前記可撓部の表面上に積層された共通の膜からなる圧電素子である、ＭＳＭＳセンサ。 （もっと読む）

【課題】センサーの取付角誤差に起因する検出値の誤差を補正するための補正パラメーターをより低コストで作成可能な姿勢検出装置の補正パラメーター作成方法、補正パラメーター作成用装置及び補正機能付きの姿勢検出装置を提供すること。
【解決手段】回転板２３０を上面２３１が水平になるように設置し（Ｓ１０）、立方体治具２１０の面２１１に、Ｘ軸（第１の軸）が面２１２（第２の面）に垂直になり、Ｙ軸（第２の軸）が面２１３（第３の面）に垂直になり、Ｚ軸（第３の軸）が面２１１（第１の面）に垂直になるように、姿勢検出装置１を固定する（Ｓ１２）。そして、立方体治具の面２１２、２１３、２１１と対向する各面を回転板の上面に順次固定し（Ｓ１４、Ｓ２０、Ｓ２６）、回転板を静止又は所定の角速度で回転させて姿勢検出装置の検出値を取得し（Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ２２、Ｓ２４、Ｓ２８、Ｓ３０）、補正パラメーターを作成する（Ｓ３２）。 （もっと読む）

【課題】３軸の角速度検出を行えるジャイロモジュールを提供する。
【解決手段】３軸ジャイロモジュール１０は、２つの検出軸を有する第１ジャイロ素子片１２、第２ジャイロ素子片１４および第３ジャイロ素子片１１０を有し、第２ジャイロ素子片１４と第３ジャイロ素子片１１０の出力信号を減算して出力する第１演算回路１１２と、第２ジャイロ素子片１４と第３ジャイロ素子片１１０の出力信号を加算して出力する第２演算回路１１４と、第１ジャイロ素子片１２の出力信号と第１演算回路１１２の出力信号とを演算して出力する第３演算回路１１６とを備えている。第１ジャイロ素子片１２の第１検出軸の伸びる方向と第２ジャイロ素子片１４の第１検出軸の伸びる方向及び第３ジャイロ素子片１１０の第１検出軸の伸びる方向とが一致し、第１ジャイロ素子片１２の第２検出軸の伸びる方向と第２ジャイロ素子片１４の第２検出軸の伸びる方向とが交差する。 （もっと読む）

【課題】センサーの取付角誤差に起因する検出値の誤差を補正するための補正パラメーターをより低コストで作成可能な姿勢検出装置の補正パラメーター作成方法、補正パラメーター作成用装置及び補正機能付きの姿勢検出装置を提供すること。
【解決手段】回転板２３０を上面２３１が水平になるように設置し（Ｓ１０）、立方体治具２１０の面２１１に、Ｘ軸（第１の軸）が面２１２（第２の面）に垂直になり、Ｙ軸（第２の軸）が面２１３（第３の面）に垂直になり、Ｚ軸（第３の軸）が面２１１（第１の面）に垂直になるように、姿勢検出装置１を固定する（Ｓ１２）。そして、立方体治具の面２１２、２１３、２１１と対向する各面を回転板の上面に順次固定し（Ｓ１４、Ｓ２０、Ｓ２６）、回転板を静止又は所定の角速度で回転させて姿勢検出装置の検出値を取得し（Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ２２、Ｓ２４、Ｓ２８、Ｓ３０）、補正パラメーターを作成する（Ｓ３２）。 （もっと読む）

【課題】小型化および高精度化したジャイロモジュールを提供する。
【解決手段】ジャイロモジュール１０は、第１検出軸と第２検出軸とを有するジャイロ素子片３０を２つ有している。この一方のジャイロ素子片３０と他方のジャイロ素子片３０とは、第１検出軸の検出感度極性を同じにするとともに、第２検出軸の検出感度極性を反転するように配置してある。そしてジャイロモジュール１０は、各ジャイロ素子片３０に接続して、各ジャイロ素子片３０が出力した信号を加算する回路２２および減算する回路２４を備えている。比較手段２６は加算する回路２２の出力値と減算する回路２４の出力値とを比較し、各値が同じになっている時間が予め設定した時間以上であれば警報手段２８に警報発信号を出力する。 （もっと読む）

本発明は、コリオリジャイロを特徴づける方法であって、力トランスミッタ、機械的共振子、及び、励起／リードアウト振動ピックオフを有する上記系の相互作用は、離散化された、微分方程式の連立方程式として表され、上記連立方程式の変数は、力トランスミッタによって機械的共振子に供給される力信号、および、励起／リードアウト振動ピックオフにより生成されるリードアウト信号を表し、上記連立方程式の係数は、リードアウト信号上に力信号をマッピングする一次変換に関連する情報を含んでおり、上記係数は、力信号値、及び、リードアウト信号値を異なる時に測定し、上記連立方程式にそれら力信号、および、リードアウト信号を代入することによって決定され、上記連立方程式は、上記係数に応じて数的に解かれ、上記係数は、コリオリジャイロの回転速度に悪影響を及ぼすコリオリジャイロの望まれないバイアス特性を推測するために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高価な高速Ａ／Ｄ変換器等を必要とせず構成できるようにする。
【解決手段】振動モニタ信号Ｖｍ（ｔ）が第１閾値電圧Ｖｒｅｆ１をクロスするタイミングと、検知信号Ｖｓ（ｔ）が第２閾値電圧Ｖｒｅｆ２をクロスするタイミングとの時間差をΔＴとし、デジタル信号処理回路５が、時間差ΔＴを用いた所定の数式により角速度Ｖ_Ωを算出する。 （もっと読む）

【課題】ＷＴ型の振動子を含んだ角速度検出装置において、振動子に接続された信号線の断線の判定できる技術を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置が、振動子と、前記振動子が励振振動するように前記振動子を駆動する駆動回路と、前記振動子から互いに逆位相の２つの第１検出信号が取り出されるように前記振動子に電気的に接続された２つの信号線と、前記２つの信号線からの前記２つの第１検出信号を差動増幅して前記２つの第１検出信号に基づく第２検出信号を生成し、生成された前記第２検出信号から、コリオリの力に基づく角速度成分と、前記励振振動に基づく自己振動成分と、をそれぞれ抽出し、抽出された前記自己振動成分を後段の故障判定回路へ出力する検出回路と、を備えている。そして、前記検出回路から出力された前記自己振動成分の大きさを０からずらして設定するバランスチューニングが、前記振動子に施されている。 （もっと読む）

【課題】
周囲温度が変化しても、又は外乱振動が加わっても優れた精度で故障を検出する。
【解決手段】
基板上に弾性的に変位可能に支持された振動子と前記基板表面に水平な駆動軸方向に前記振動子を振動させる駆動手段と前記基板表面に水平かつ駆動軸方向と垂直な検出軸方向の前記振動子の変位を検出する検出軸方向変位検出手段と前記振動子の検出軸方向の変位に基づいて角速度を検出する角速度検出手段と駆動軸方向への前記振動子の振動が検出軸方向に漏れ込む事が原因で生じる前記振動子の自己振動を検出する自己振動検出手段と、前記振動子の自己振動をゼロにする自己振動帰還回路と、前記自己振動検出手段の出力を利用して異常を判定する異常判定手段とを有する角速度センサとで構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサ装置の小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、前記故障診断回路１５からの故障検知信号と前記処理回路部１４Ａ、１４Ｂからのセンス信号とを時分割方式にてデジタル出力する出力端子１６Ａを有する出力回路部１６を備え、被故障診断部からの前記故障検知信号に関する出力が前記故障診断回路１５経由で前記出力端子１６Ａにたどり着くまでの時間が、前記被故障診断部からの前記センス信号に関する出力が前記出力端子１６Ａにたどり着くまでの時間よりも短いセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】 駆動モードでの振動だけでは検出電極に電荷が発生しないような振動ジャイロ用素子を提供し、ＳＮ比が高く、２軸の角速度の検出が可能で、安価な振動ジャイロを提供すること。
【解決手段】 平面的に形成された付加質量部４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを、それぞれ、同じ平面内に形成された第１のビーム３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄで支え、隣り合う第１のビーム３ａ、３ｄの接続部を一方の第２のビーム３ｅの一端で支え、別の隣り合う第１のビーム３ｂ、３ｃの接続部を他方の第２のビーム３ｆの一端で支え、さらに、リング状の第４のビーム３ｇの直交する接続端の対向する接続端に第２のビーム３ｅ、ビーム３ｆの他端を接続した振動子１を、第４のビームの別の対向する接続端にそれぞれ接続した第３のビーム３ｈ、３ｉを介して外周部の枠体２で支持し、励振部および検出部として機能させた振動ジャイロ用素子を用いる。 （もっと読む）