【課題】エンジンルーム等の温度変化範囲が広く、また振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に設置して動作させる場合、これらのセンサの信頼性を高く保つ必要がある。
【解決手段】角速度検出素子の共振周波数の変動を検出し、その変動に検出素子を駆動する信号の周波数と、センサ素子の共振周波数と制御回路のクロック周波数を同期化する手段と、角速度の駆動，検出と検出結果の特性補正を並列で実行する２つのＤＳＰ（デジタル・シグナル・プロセッサ）と、制御プログラムが格納されたＲＯＭの先頭番地から最終番地までのプログラムを１番地ずつかつ周期的に繰り返し実行する手段と、通信路上でのノイズや電源変動によるデータ誤りを検出するための誤り検出符号をセンサ出力と一緒に送信する手段とで構成される。
【効果】位相の変動を補正する手段を設けることなく常に検出精度を一定に保てる。 （もっと読む）

【課題】振動式の角速度センサにおいては、センサを内包する筐体内の圧力変動や、センサ素子，制御回路自体の温度変動，経時劣化等により駆動方向と検出方向の共振周波数の関係が変動しセンサの検出感度が変動する。
【解決手段】振動体からの変位信号を同期検波する同期検波手段と、その出力が常に最大値となるように共振周波数調整電極に与える電圧値を変化させる手段と、その出力を検出軸方向の共振周波数調整電極に帰還させる手段とで構成される。
【効果】温度や圧力の変動や経時劣化等に影響されずセンサの検出感度を一定に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサユニットおよびその信号検出方法に関し、角速度センサユニットの検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、角速度を検出する振動型のセンサ素子１およびそれを制御するＩＣ２を内蔵するパッケージとからなる角速度センサユニットにおいて、センサ素子１は駆動アーム５にドライブ電極６、モニタ電極７、センス電極８を設けるとともに、駆動アーム５を支持する支持アーム１６に設けられたモニタ電極７の配線電極１９に補正電極２０を設け、不要振動によりモニタ電極７に形成された不要信号を、同じ不要振動により補正電極２０に形成された補正信号で減衰させる構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】低コストでＳ／Ｎ比を向上させる検出装置、物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】発振ループ内の振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に対応した検出信号を検出する検出装置は、前記駆動振動及び前記物理量に対応した信号を増幅する増幅回路と、発振ループ内の発振信号に同期して増幅回路の増幅信号を検波する同期検波回路と、同期検波回路の出力インピーダンスを変換するインピーダンス変換回路と、インピーダンス変換回路の出力信号が供給され、第１の検出信号及び第２の検出信号を出力する第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦとを含み、第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦの各々は、スイッチトキャパシターフィルター回路により構成され、第１のＬＰＦのゲインと第２のＬＰＦのゲインとが異なる。 （もっと読む）

【課題】出力負荷容量を揃え、且つ、低コストでＳ／Ｎ比を向上させる検出装置、物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】発振ループ内の振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に対応した検出信号を検出する検出装置は、前記駆動振動及び前記物理量に対応した信号を増幅する増幅回路と、発振ループ内の発振信号に同期して増幅回路の増幅信号を検波する同期検波回路と、同期検波回路の出力インピーダンスを変換するインピーダンス変換回路と、インピーダンス変換回路の出力信号が供給され、第１の検出信号及び第２の検出信号を出力する第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦとを含み、第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦの各々は、スイッチトキャパシターフィルター回路により構成され、第１のＬＰＦと第２のＬＰＦは、互いにゲインが異なり、且つ、出力負荷容量とが同一に設定されている。 （もっと読む）

【課題】外来ノイズに対する耐性を維持しつつ、内部ノイズに由来するノイズを抑えられる構成とすることで、高精度な静電容量型物理量センサ及び角速度センサを提供することにある。
【解決手段】検出素子１０は、外界からの物理量により変位可能に支持された可動体１８と、検出電極Ｅｆとを有する。シールド配線１６は、容量検出回路３０の入力に接続された配線の周囲に配置され、低インピーダンスの直流電位に接続される。検出素子１０と容量検出回路３０の接続部の低インピーダンスの固定電位に対する入力容量の値Ｃｉｎが、１．５ｐＦ＜Ｃｉｎ＜２０ｐＦの範囲とする。 （もっと読む）

【課題】より高精度に変位量を検出する角速度検出装置を提供する。
【解決手段】角速度を検出する角速度検出装置であって、光源部から射出された光が入射する第１の振動子を備える振動部材と、前記第１の振動子を介した前記光のうち分岐された第１の光と第２の光とを干渉させる光学部材と、前記第１の光および前記第２の光に基づく干渉光を受光する受光部と、前記第１の振動子の回転運動によって生じる前記干渉光の干渉縞の変化をもとに、前記第１の振動子の変位を検出する検出部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】正確で信頼性が高く広範囲の開発に適した、マイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープ及びマイクロエレクトロメカニカルジャイロスコープの制御方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳジャイロスコープは、固定構造体６と、駆動軸Ｘに従って前記固定構造体６に関して可動な駆動質量体７と、前記駆動軸Ｘに従って運動状態になるように駆動質量体７に機械的に連結され、且つ、微細構造体２の回転に応答して、駆動軸Ｙに従って前記駆動質量体７に関して可動な検出質量体８とを有する微細構造体２、及び、駆動周波数で前記駆動質量体７を振動状態に維持するための駆動装置３を備える。前記駆動装置３は、前記駆動軸Ｘに関して駆動質量体７の位置を検出するための離散時間検出インタフェース２０と、前記駆動子質量体７の位置に基づいて駆動周波数を制御するための制御手段２１、２３、２４、２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】特別な部品を用いることなく、安定でかつ垂直実装が可能で、かつ製造の容易な回路モジュールを提供する。
【解決手段】少なくとも、主表面である第１の面１０Ａに配線導体層を有するとともに、素子搭載領域を有し、前記第１の面が鉛直方向に沿うように設置される垂直実装用の回路基板と、前記素子搭載領域に搭載される素子チップ２０Ａ，２０Ｂとを有する回路モジュールであって、実装面の中心を通りかつ、前記回路基板１０の前記素子搭載領域形成面に平行な中心面上に、回路モジュールの重心が位置するように形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

駆動信号および／または駆動信号の加速度計感知電子部品への電子パススルーに関連する同相オフセット誤差等の、慣性センサの共振器に印加される駆動信号に関連する誤差源は、駆動信号を変調し、変調した駆動信号によって誘発される加速度計信号を感知することによって検出される。慣性センサ共振器の空気力学に関連する誤差源は、共振器と下側の基板との間の距離を変調し、そのような変調によって誘発される加速度計信号を感知することによって検出される。そのような誤差源によって引き起こされる誤差を実質的に相殺するために、補償信号が提供され得る。
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【課題】本発明では、物理量センサにおいて、外部から伝達させる外乱振動を減衰させる構造とすることで物理量の誤差検出を防ぎ、高精度検出が可能な耐振動性向上実装構造を提供することを目的とする。
【解決手段】物理量センサを設置した筐体の下に内部に空間を備え、かつ、オリフィスや未接着部を備えた低剛性材料の筐体支持体を設置し、かつ、電気信号を基板に伝達する手段も低剛性構造であること、を特徴とすることにより、耐振動性に優れた実装構造とした。本発明によれば、物理量センサにおいて、外部からの外乱振動を防ぎ、物理量の高精度検出を可能とする。 （もっと読む）

【課題】時分割検出動作により３軸まわりの角速度を高い精度で検出する。
【解決手段】ＸＹ平面に広がる可撓性支持体の下面中央に振動子を接合し、上面に駆動用素子群と検出用素子群とを配したセンサ本体部３００を用意する。動作信号発生器１００により、振動子を前半周期にＺ軸励振する駆動信号ＤｒＺと後半周期にＸ軸励振する駆動信号ＤｒＸを発生し、マトリクス変換器２００を介して駆動用素子群に供給する。検出用素子群からの信号により、振動子の各軸方向の変位ＳΔｘ，ＳΔｙ，ＳΔｚを検出し、これをスイッチＳＷを介して振動安定期のみＡＭ検波器ＡＭＤおよび駆動信号に同期した同期検波器ＳＤに与える。Ｘ軸振動の振幅Ｆｘａ，位相ＦｘｐとＺ軸振動の振幅Ｆｚａ，位相Ｆｚｐを動作信号発生器１００へ帰還させ、フィードバック制御し、所定の同期検波器ＳＤから出力される信号を３軸の角速度ωｘ，ωｙ，ωｚとして出力する。 （もっと読む）

【課題】機械式レートジャイロスコープの感度に各種不確実性の影響を含むことを防止する。
【解決手段】質量を基板に対して振動させる駆動力Ｆｄを発生させる第１駆動系１１４と、角速度に応じて発生したコリオリ力により生じた偏位を測定する変位センサ１１６と、コリオリ力を打ち消すフィードバック力Ｆｆを発生する横断駆動系１６６，１６８とを含む機械式センサ１０２と、第１駆動系に駆動力Ｆｄを発生させるための交流駆動を与え、フィードバック力Ｆｆを発生させる交流駆動の完全サイクルのフィードバック信号を横断駆動系に与える制御回路とを有し、第１駆動系が第１数Ｎｄのセグメントを含み、横断駆動系が第２数Ｎｆのセグメントを含み、このセグメントが、第１駆動系のセグメントと同形態で、第１駆動系セグメントに対して横断する方向に向いており、Ｆｄ／ＦｆがＮｄ／Ｎｆに比例するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センス電極の周りの回路パターンが断線した場合に、角速度に対応しない出力信号を出力し続けてしまうということはなく、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１のセンス電極３４と第１の積分回路５６との間に、電荷を注入する第１の電圧源７７を第１の断線検知スイッチ７８を介して設けるとともに、第２のセンス電極３５と第２の積分回路６７との間に、電荷を注入する第２の電圧源７９を第２の断線検知スイッチ８０を介して設けたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子の出力信号の感度が劣化したままの状態で出力信号を出力し続けるということがなく、振動子の出力信号の感度を監視することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ドライブ回路の出力信号を第１のセンス電極３４または第２のセンス電極３５のうちのいずれか一方のセンス電極に入力するとともに、他方のセンス電極からの出力信号を検出することにより、振動子３０の出力信号の感度を監視する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】検出信号のノイズ、ドリフトを最小にする角度測定の方法を提供する。
【解決手段】既定の算出され推定された一組のパラメータに基づいて一組の推定された信号を算出するために状態観測器２３１を構成し、ジャイロスコープ２１に関連した動的方程式を使用してそのゲインを算出し、算出されたゲインに基づいて、推定された一組のパラメータを算出する。一組の検出信号は、検出モジュール２２によって生成され、これと推定された一組のパラメータから推定された信号が算出される。また、状態観測器２３１によって算出された推定されたパラメータにおける位置および速度に基づいて前記ジャイロスコープ２１の回転角φを算出するための角度計算機２３３とを含む。 （もっと読む）

【課題】物体の物理量の検出精度が高い、小型の物理量検出装置を提供する。
【解決手段】振動ジャイロ２０１において、振動片１００とパッケージベース２０２との接続を中継する中継基板２５０は、同電位の第４中継電極２４４と第６中継電極２４９とが、図中下方に隠れて図示されない二電極接続配線２５２により電気的に接続されている。これにより、振動片１００の六つの接続ポイント、すなわち第１中継電極２４７、第２中継電極２４５、第３中継電極２４６、第４中継電極２４４、第５中継電極２４８、および第６中継電極２４９を、それらと対応させて中継基板２５０の他方の主面に設けられた第３中継端子２５６および第５中継端子２５８などの五つの中継端子に絞って出力可能とし、パッケージベース２０２の第１突部端子２３４、第２突部端子２３５、第３突部端子２３６、第４突部端子２３７、および第５突部端子２３８にそれぞれ接合する構成とした。 （もっと読む）

【課題】振動子の検出電極から得られる出力信号の取り出し効率を低下させることなく同相もれ信号成分を抑制し、補正電極を追加することなく同相もれ信号成分を抑制し、振動子のばらつきによらず同相もれ信号成分を抑制する。
【解決手段】振動型ジャイロセンサは、振動子の複数の検出電極から出力される複数の出力信号から検出される少なくとも２つの複数の検出信号について、その内に２つ検出信号の差分信号を求めることによって角速度信号を検出し、２つの検出信号の加算信号を求めることによって前記検出信号に重畳される同相もれ信号成分を検出し、検出した同相もれ信号成分を基準信号として２つの検出信号を振幅増幅する。 （もっと読む）

【課題】感度を小さくすることなく、ダイナミックレンジを大きくすることができる角速度センサ及び角速度信号の増幅回路を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る角速度センサは、角速度に応じた検出信号を発生するセンサ素子と、検出信号を増幅する増幅回路２０Ａと、角速度信号を生成する信号処理回路８０Ａとを具備する。上記増幅回路は、上記検出信号を第１のゲインで非反転増幅した第１の出力信号と、上記検出信号を上記第１のゲインで非反転増幅した第２の出力信号とを生成する。上記信号処理回路は、上記第１の出力信号と上記第２の出力信号との差分を演算することで角速度信号を生成する。第１及び第２の出力信号は相互に差動の関係にあるため、両出力信号の差分を演算することで、検出範囲が２倍の角速度信号を生成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサにおける不要信号の除去率を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路１１と、前記駆動回路１１からの駆動信号が入力される検知素子１２と、前記検知素子１２から応答信号を抽出し出力する検出回路１３と、前記検出回路１３からの応答信号が入力されるとともに前記応答信号からセンス信号を抽出する同期検波回路１４と、前記同期検波回路１４からのセンス信号を平滑化する平滑回路１５と、前記平滑回路１５からの出力信号を出力する出力端子１６とを備え、前記同期検波回路１４よりも前段に位相調整回路１７を設けたものである。 （もっと読む）