【課題】本発明は、検出回路が故障した場合に、角速度に対応しない出力信号を出力し続けてしまうということはなく、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１のセンス電極３４と第１の積分回路５６との間に、電荷を注入する第１の電流源７７を第１の故障診断スイッチ７８を介して設けるとともに、第２のセンス電極３５と第２の積分回路６７との間に、電荷を注入する第２の電流源７９を第２の故障診断スイッチ８０を介して設けたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子を用いた慣性力センサに関し、検出精度に対する長期信頼性を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、振動子１と、振動子１を振動可能に支持する台座７と、振動子１を制御するＩＣ２と、これら振動子１、台座７、ＩＣ２を収容するパッケージ３とを備えた慣性力センサにおいて、振動子１は振動部４とこれを支持する支持部６からなり、台座７は底部１６とこの底部１６外周に設けた側壁部１７からなり、支持部６の一部を側壁部１７の上面に接着固定し、この接着領域における支持部６の側面に側壁部１７に至る切欠き部１８を設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】ジャイロセンサで駆動中に逆方向駆動を行って駆動停止を迅速に行うことができ、多軸ジャイロセンサにおける軸変更を迅速に行うことができ、多軸センシングを高速化することができるジャイロセンサ駆動装置を提供する。
【解決手段】本ジャイロセンサ駆動装置は、駆動電極から供給される駆動電圧により発生する振動とコリオリ力によるジャイロセンサの変形に相応する電圧を検出電極により検出する検出部と、発振位相条件を満たすために、検出部からの電圧を予め設定された位相だけシフトさせて駆動電圧を生成する位相シフタと、ジャイロセンサの駆動停止のために、位相シフタからの電圧を反転させて反転電圧を生成する反転部と、位相シフタからの駆動電圧と反転部からの反転電圧のいずれか一方を選択する選択部と、発振振幅条件を満たすために、選択部からの駆動電圧又は反転電圧を予め設定された利得で増幅してジャイロセンサの駆動電極に供給する増幅部とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサ装置に関し、角速度の検出精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、振動型センサ素子１およびこのセンサ素子１を振動可能に支持する台座７と、台座７を天面に実装するとともにセンサ素子１を制御するＩＣ２をパッケージ３内部に配置した角速度センサ装置において、台座７を形成する底板１６の実装面の少なくとも四隅に凹部１９を形成し残部２０をＩＣの天面に接続する構成とした。 （もっと読む）

【課題】振動子の起動を確実にし、安定して振動を維持する装置を提供する。
【解決手段】振動子１２と、振動状態を検出する検出アンプ１３と、振動情報を２値化してコンパレータ出力信号を出力する振幅比較器１４と、制御発振器入力信号に応じて周波数が変化する電圧制御発振器１５１と、コンパレータ出力信号と比較信号との位相差信号を出力する位相比較器１５３と、位相差信号の低域成分を出力するループフィルタ１５４と、比較信号に対して予め定める位相差を有する位相シフト信号を出力する位相シフト器２２と、位相シフト信号を入力する駆動アンプ１１と、操作信号を出力する操作信号発生器２１と、制御発振器入力信号として操作信号を選択し、制御発振器出力信号の周波数がキャプチャレンジの範囲となったときに、制御発振器入力信号として位相差情報信号を選択する操作切換器２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】振動子に加わる回転の角速度を測定するための角速度測定装置において、装置の稼働時に故障が生じたときに、故障検出を早期に行い、故障の有無を判断するための待機時間を短縮できるようにする。
【解決手段】振動子に駆動振動を励振し、振動子からの出力信号を検出信号出力回路２０Ｂによって処理し、角速度に対応する検出信号を得る。振動子から互いに逆相の複数の出力信号が出力され、出力信号が、検出信号および駆動振動に基づいて振動子に発生する駆動振動と同周波数かつ位相の異なる駆動信号容量結合成分を含む。診断回路が、出力信号を処理し、信号処理後の駆動信号容量結合成分を出力する容量結合成分出力回路２０Ｃを備える。容量結合成分出力回路２０Ｃにおいて、振動子からの複数の出力信号を加算器２１で加算することによって、複数の出力信号に含まれる検出信号を相殺しかつ駆動信号容量結合成分を増幅する。増幅後の駆動信号容量結合成分を位相検波し、検出することによって検出信号出力回路を診断する。 （もっと読む）

【課題】駆動要素と検出要素の間の角度関係の調整能力と対称性塊構造体の維持能力の両方を提供する。
【解決手段】振動慣性速度センサは、ノードまたは反ノードの基準線から回転偏位または「スキュー」される軸を画成する作動要素を備える。前記スキューは、別個のノードまたは反ノード基準線に関連し得るか、または同じノード線周りに「分割」される要素型をとり得る。駆動信号と検出信号の両信号は、共通組の検出要素から分解され得る。駆動要素はまた、ジャイロスコープの能動トルクに作用をすべく、振動パターンを回転偏位するスキュー軸角度で作動し得る。スキュー駆動要素は、同じデバイス上のスキュー要素または分割要素と組合わされ得る。スキュー検出要素は、一か複数のノード線を備える振動システムに適用され得る。スキュー駆動要素は、能動トルクに作用すべく二つ以上のノード線を備える振動システムに適用され得る。 （もっと読む）

【課題】 容量素子を含む素子構造体の製造を容易化すること。
【解決手段】 素子構造体は、第１支持層１００と、該第１支持層の上方に一端部が支持され他端部の周囲に空隙部が形成された第１可動梁８００ａと、を有する第１基板ＢＳ１と、第２支持層２００と、該第２支持層に形成された第１固定電極９００ａと、を有し、且つ、前記第１基板に対向して配置された第２基板ＢＳ２と、を含み、前記第１可動梁８０ａには、第１可動電極が形成され、前記第１固定電極と前記第１可動電極とが間隙を介して対向して配置されて構成される。 （もっと読む）

【課題】センサ部と検出部とを電気的に接続する接続手段の駆動信号伝達線が断線しているか否かを判定することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】Ｃ／Ｖ変換回路２３は、可動電極に搬送波信号Ｖｓが印加され、固定電極に駆動信号Ｖsv+、Ｖsv-が印加されるコンデンサＣs1〜Ｃs4の静電容量を変換した電圧Ｖcvを出力する。判定ロジック２５は、コンパレータ２４を通じて電圧Ｖcvをレベル変換した電圧Ｖcmpに基づいて、サーボ制御を行うための駆動信号Ｖsv+、Ｖsv-を回路チップ３側からセンサチップ２側に伝達する接続ラインＬ１〜Ｌ４の断線を判定する。 （もっと読む）

【課題】 ２以上のセンサー素子を含む素子構造体の製造を容易化すること。
【解決手段】 素子構造体は、第１支持層１００と、第１支持層１００の上方に設けられる第１センサー素子ＳＥ１と、を有する第１基板ＢＳ１と、第２支持層２００と、第２支持層２００の上方に設けられる第２センサー素子ＳＥ２と、を有する第２基板ＢＳ２と、を含み、第２基板ＢＳ２は、第１センサー素子ＳＥ１と第２センサー素子ＳＥ２とが互いに対向した状態で、第１基板ＢＳ１上にスペーサー３００を介して配置されている。 （もっと読む）

【課題】熱応力や外部応力によって、力学量の検出精度が低下することが抑制された半導体装置を提供する。
【解決手段】バンプを介して、センサチップと基体とが接続された半導体装置であって、センサチップは、基板と、絶縁層と、半導体層と、が順次積層されて成る半導体基板を有し、半導体基板に形成されたセンシング部は、絶縁層と半導体層から成る、基板に固定されたアンカ部と、絶縁層が除去されて、半導体層から成る、基板に対して浮いた遊動部と、を有し、アンカ部は、固定アンカ部と、可動アンカ部と、を有し、遊動部は、固定アンカ部に支持された固定電極と、可動アンカ部に支持された可動部と、該可動部に設けられた可動電極と、バンプが接続される接続部と、を有し、接続部は、固定アンカ部を介して、固定電極と接続された固定接続部と、可動アンカ部を介して、可動部と接続された可動接続部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】大気圧又は大気圧に近い圧力中で振動型の角速度センサを作動させる場合に、粘性漏れ成分が小さくなる共振周波数によって振動子を振動することで、サーボ負荷が低減された角速度センサを提供する。
【解決手段】基板と、振動子と、互いに直交する振動軸と検出軸との２軸方向に変位可能となるように、振動子を基板に連結する梁部と、振動子を、振動軸方向に振動させる駆動部と、振動子に発生したコリオリ力による、振動子の検出軸方向への変位を静電容量の変化として検出する検出部と、静電容量の変化に基づいて、振動子の検出軸方向への変位を抑制する抑制部と、を備え、振動軸方向及び検出軸方向の共振周波数と、検出軸方向のＱ値とによって決定されるβｓｉｎθが、１以下となる共振周波数となっている。 （もっと読む）

【課題】高精度の物理量検出信号を得ることを可能とした物理量センサを提供する。
【解決手段】外部から印加された物理量を電気信号に変換する振動子２０と、振動子を発振させる発振回路３０と、振動子からの被検波信号を発振回路からの検波信号に基づいて検波する検波回路６０を有する物理量センサ１００において、検波回路の前段で発振回路からの検波信号及び振動子からの被検波信号の何れか一方の信号をΔΣ変調し且つ変調信号Ｖ２６を出力するΔΣ変調器７０と、出力電圧が可変な可変電圧源と、可変電圧源の出力電圧を制御する制御部を更に有し、ΔΣ変調器は出力電圧を基準として作成されたフィードバック信号Ｖ２２を用いてΔΣ変調を行うことを特徴とする物理量センサ。 （もっと読む）

【課題】漏れ調整と離調度調整をひとつのエッチング工程によって実現し、漏れ振動が抑制され、且つ、適正に離調度調整された高性能な水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶を所定の外形形状に加工する外形加工工程と、外形形状に電極を形成する電極形成工程と、漏れ量を測定する工程ＳＴ３と、離調度を測定する工程と、離調度の測定結果に基づいた時間エッチングを行い、外形形状を加工するエッチング工程と、を備え、エッチング工程は、エッチング時間と漏れ量測定工程の測定結果とに応じた形状のマスクを用いて外形形状のエッチングを行う漏れ量調整工程を有する水晶振動子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】自動車のエンジンルーム等の温度変化範囲が広く、また振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に設置して動作させる場合、これらのセンサの信頼性を高く保つ必要がある。
【解決手段】角速度検出機能の診断手段と、加速度検出機能の診断手段と、ＤＳＰ（またはＭＰＵ）の診断手段と、同一データを格納した複数（多重化した）のＲＯＭと、ＲＯＭの診断手段と、ＲＡＭの診断手段と、センサ出力と診断結果の一括出力する手段と、外部装置からの出力要求に対し、センサ出力と診断結果を一括して出力する手段と、外部装置に対し、センサ出力および診断結果を一括して出力する際に、誤り検出符号を一緒に送信する手段とで構成される。
【効果】必要情報の伝達に要する時間が短縮される。また、センサ内の全ての診断処理をＤＳＰで実行するため、ＤＳＰの故障診断を実施することで、個々の故障診断機能自身に対する故障診断が不要となる。 （もっと読む）

【課題】角速度を検出するための半導体素子へ印加する応力を低減しつつ、耐電磁波ノイズ性，耐湿性を向上した実装構造を有する、高信頼性角速度検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】金属板を用いたコアメタル層と配線構造を備えた配線層とを有するメタルコア基板とコアメタル層上に固定された角速度を検出するための半導体素子と配線層に固定されたキャップとそのキャップとメタルコア基板とで構成される中空室内に角速度を検出するための半導体素子が配設され、これらを樹脂によりモールドするようにすることで、角速度を検出するための半導体素子へ印加する応力を低減しつつ、耐電磁波ノイズ性，耐湿性を向上した実装構造を有するようにした。 （もっと読む）

コマンド型テスト機能を有する慣性センサーが記載される。センサーは、ドライバー回路によって駆動されるリング型であり、センサーは、対応する信号ピックオフを有する一次および二次部分を更に有する。一次ピックオフ信号振幅は、自動利得制御を介して制御され、一次位相ロックループおよびＶＣＯは、共振周波数にロックして、同期検出器に対するクロックを提供し、一次位相シフト回路を介した一次ピックオフ信号は、一次ドライバーに提供され、二次ピックオフ信号は検出器回路に入力され、センサーにおける動作を検出することができる。コマンド型テスト機能は、回路の一次部分から得られると共に、二次ピックオフ検出器回路における差動増幅器の２つの入力に入力される信号を有する。
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【課題】部品点数の増加や処理負荷の増大を抑え、集積化に好適な物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】物理量測定装置は、測定すべき物理量に応じて、互いに検出軸が異なる検出信号を所与の基準電位を基準に出力する複数のセンサーと、複数のセンサーを構成する各センサーに対応して設けられ、各センサーからの検出信号の高周波数帯域を通過させる、各々がスイッチトキャパシター回路を用いて構成された複数のハイパスフィルターとを含み、複数のセンサーのうち少なくとも１つのセンサーの基準電位と、複数のハイパスフィルターの各ハイパスフィルターを構成する回路の接地電位とが同電位に設定されている。 （もっと読む）

【課題】絶縁抵抗や入力インピーダンスによる測定誤差（感度低下）を低減するとともに、電荷変化型センサあるいはセンサケーブル回路の故障（断線、短絡）を検知できる電荷変化型センサの出力回路を提供する。
【解決手段】電荷変化型センサの出力回路は、電荷変化型センサの出力にセンサケーブルを介して接続する反転入力（−）と、基準電位Ｖｉｎに接続する非反転入力（＋）と、反転入力（−）に第１抵抗Ｒ１を介して接続する出力とを有するオペアンプ２４と、電荷変化型センサの出力とグランドとの間に接続される第２抵抗Ｒ２とを備え、オペアンプ２４は、電荷変化型センサが保有する電荷量ΔＱに応じて変化する検出信号Ｖｏｕｔを出力する。 （もっと読む）

【課題】２つの慣性力センサについて、従来よりも精度よく比較診断することができる慣性力センサ装置を提供する。
【解決手段】オフセット補正された第１角速度センサの検出値が車両が旋回中に取り得る所定値となるごとに、入力された２つの角速度センサの差分値ごとの検出回数を記憶し、記憶した検出回数から最も検出回数の多い差分値を抽出して、基準値と一致するか否かを判定する。基準値と一致しない場合、特性急変及び経時変化の故障がなければ、基準値を抽出値に書き換える。そして、基準値に基づいてオフセット補正後の第２角速度の検出値を補正するとともに、該補正値とオフセット補正後の第１角速度センサの検出値との差分値が所定の判定閾値を超えるとき、いずれか一方が故障であると判定する。 （もっと読む）