【課題】構造設計が容易であり、体格の増大と、熱応力による検出精度の低下とが抑制された半導体装置、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】母基板（１０）と、母基板（１０）に連結された複数の子基板（３０）と、子基板（３０）に形成された素子と、を有する半導体装置であって、母基板（１０）と子基板（３０）とを連結する連結部（５０）を有し、複数の子基板（３０）の内、ある子基板（３０）に形成された素子は、互いに対向する可動電極と固定電極から成るコンデンサを有し、該コンデンサの静電容量変化に基づいて物理量を検出するセンサ部（４０）であり、任意の子基板（３０）と母基板（１０）とを連結する連結部（５０）と、任意の子基板（３０）とは異なる子基板（３０）と母基板（１０）とを連結する連結部（５０）とは、高さ方向の長さが異なり、複数の子基板（３０）は、高さ方向に並んでいる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電荷増幅器からの出力信号にどのようなノイズ成分がのっている場合でも、確実にノイズ成分を除去することができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出回路３７における第１の電荷増幅器３８と第２の電荷増幅器３９とから出力される出力信号の差値を増幅する差動増幅器４０にコンデンサ４５および抵抗４６を並列に接続したローパスフィルタ４７を設け、出力信号からノイズ成分を除去する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】電源電圧に同じ周波数成分のノイズが存在しても、直流に重畳されずに精度の高い振動ジャイロセンサを提供することにある。
【解決手段】振動ジャイロセンサ２は、振動片１０と、駆動電極３６Ａ，３６Ｂと、検出電極３８Ａ，３８Ｂと、モニタ回路１２と、駆動回路１４と、振幅調整回路１６と、増幅回路１８Ａ，１８Ｂと、差動増幅回路２０と、同期検波回路２２と、フィルタ信号Ｖ１２を出力するフィルタ回路２８と、フィルタ信号Ｖ１２に対して、電源電圧Ｖｄｄの変動に対して比例に変動し感度信号Ｖ１３を出力するレシオメトリック回路３０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子を用いた物理量センサに関し、物理量センサにおける検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、パッケージ８の開口部１１に振動子９とＩＣ１０を収容し、この開口部１１に上蓋１２を接着して封口する物理力センサにおいて、開口部１１とパッケージ８の外部を連通させる通気口２６を、上蓋１２における振動子９との非対向部分、或いは接着層３１に設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】有効な検出範囲をできるだけ確保しながら出力電圧範囲を所望の範囲に制限することが可能な角速度検出回路、集積回路装置及び角速度検出装置を提供すること。
【解決手段】角速度検出回路（検出回路３０）は、角速度検出素子４の出力信号に含まれる角速度成分を検波する検波部（同期検波回路３４０）と、検波部（同期検波回路３４０）の出力信号に基づいて角速度信号を生成する角速度信号生成部と、を含む。角速度信号生成部は、角速度検出素子４の検出感度に応じて角速度信号の電圧範囲を調整する感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）と、感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）の後段に設けられ、角速度信号の電圧を所望の範囲に制限する電圧制限部（電圧制限回路３７０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、内側に固定面１０１、１０２を有する固定部材３と、固定部材３の固定面１０１、１０２に直接または間接的に固定された少なくとも１つの電子部品７とを有し、固定部材３が、電子部品７を収容するケーシング１０の一部を構成する。また、固定面１０１、１０２は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】面積が小さく、消費電流を大幅に低減することができるスイッチトキャパシター積分回路、フィルター回路、物理量測定装置、及び電子機器等を提供する。
【解決手段】スイッチトキャパシター積分回路としての２重正相積分回路１０は、第１の容量ＣＡを有し、第１の期間において入力信号に対応した電荷を第１の容量ＣＡに充電する第１の電圧電荷変換回路２０と、第２の容量ＣＢを有し、第２の期間において第１の容量ＣＡに充電された電荷の一部を第２の容量ＣＢに充電し、第２の容量ＣＢに充電された電荷の一部を転送する第１の電荷積分回路３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、優れた信頼性を発揮するこのとのできる回路基板、センサーモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーモジュール１は、下面４２に形成されたアナログ回路部４２１および上面４１に形成されたデジタル回路部４１１を有する実装基板４と、実装基板４の下面４２側に設けられた２つの角速度センサー７１２、７１３が実装基板４に対して縦置きに設けられている回路基板２と、実装基板４の下面４２と対向するように配置され、回路基板２を支持する台座３とを有する。 （もっと読む）

【課題】振動や電磁ノイズの影響が大きい環境に角速度検出センサを設置した場合でも高精度な角速度検出を実現すること。
【解決手段】互いに直交する第１の方向および第２の方向に変位可能な振動体を有し、前記振動体を第１の方向に振動させた状態で前記振動体の第２の方向への変位を角速度として検出する角速度検出装置において、前記振動体を第１の方向に振動させる駆動信号の周波数変化に応じて、第２の方向の変位量から角速度を検出するためのサーボ信号の周波数を変化させる。 （もっと読む）

【課題】電力供給後の始動段階において、速やかに正確な速度情報をもたらすことができるジャイロスコープ装置のシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】始動中のジャイロスコープ１１０の動的モータ振幅補償のためのシステムは、始動中のジャイロスコープのモータ振幅成長のモデルに基づいて、アプリオリのモータ振幅信号１２２を生成するように構成されたアプリオリのモータ振幅モジュール１２０と、定常状態のスケール係数モジュール１２４と、アプリオリのモータ振幅信号および定常状態のスケール係数信号を受けるように構成された動的モータ振幅補償モジュール１２８とを含む。動的モータ振幅補償モジュールは、ジャイロスコープからの測定されたモータ振幅信号１１６、アプリオリのモータ振幅信号、を受け、始動段階の間に、検出された速度信号に適用される時変スケール係数１３０を出力する。 （もっと読む）

【課題】体格及び製造コストの増大が抑制された角速度センサを提供する。
【解決手段】振動子と、該振動子を静電気力によって振動させる駆動部と、振動子の変位量を検出する検出部と、を有する角速度センサであって、駆動部は、振動子に固定された駆動用可動電極と、該駆動用可動電極と対向する駆動用固定電極と、該駆動用固定電極に第１駆動信号を出力し、駆動用可動電極に第２駆動信号を出力する駆動回路と、を有し、駆動回路は、所定の周波数を有する搬送波を発生する搬送波発生回路と、搬送波の周波数を変調する周波数変調回路と、搬送波のデューティ比を変調するデューティ比変調回路と、を有し、周波数変調回路を介した搬送波が、第１駆動信号として駆動用固定電極に入力され、デューティ比変調回路を介した搬送波が、第２駆動信号として駆動用可動電極に入力される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、音叉型振動子を発振回路を共用として自己診断を行うことにより簡略化及び小型化することを目的とする。
【解決手段】本発明による自己診断機能を有する角速度センサは、音叉型振動素子(1)に駆動電極(9)と検出電極(20)と自己診断用電極(6,7)を設け、各自己診断用電極(6,7)と駆動電極(9)を一対のスイッチ(SW1,SW2)を介して１個のみの発振回路(10)を共用として選択的にＯＮ／ＯＦＦすることにより、音叉型振動子(1)の各アーム部(2,3)を対称駆動又は非対称駆動とする構成である。 （もっと読む）

【課題】物理量の入力に対して、高い線形性をもって容量素子の構造体が変位する物理量検出装置を提供すること。
【解決手段】物理量検出装置は、物理量に応じて変位する構造体を有し、前記構造体の変位に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に一定の電荷を供給する電荷供給回路と、前記電荷供給回路により電荷が供給された後で、前記物理量検出素子の静電容量に応じた信号を出力する出力回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】温度で変化するバイアスを低減するために、振動構造姿勢制御装置を調整するための方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）振動構造姿勢制御装置を較正するための方法が、提供される。方法は、少なくとも１つの駆動電極に対する少なくとも１つのプルーフマスの位置の示度を取得するステップと、少なくとも１つのプルーフマスを少なくとも１つの駆動電極に対する第１の位置に配置するように構成された静電力を、少なくとも１つのプルーフマスに、示度の関数として加えるステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】振動開始時の駆動振幅レベルが微弱な振動子を短時間で確実に起動する。
【解決手段】駆動切替回路７は、振幅検出回路５により検出された駆動振動の振幅が、振動子１と定常駆動信号生成回路４とで閉ループを形成した場合に持続的な振動を励振可能な振幅範囲内に設定されたしきい値未満の場合には、初期駆動信号生成回路６から出力される初期駆動信号を選択する。初期駆動信号生成回路６は、上記閉ループを形成した場合に持続的な振動が励振される駆動周波数を、振動子１の駆動開始時から含むようにまたは駆動開始後に含むように初期駆動信号を生成する。検出振幅がしきい値以上になった場合、駆動切替回路７は、定常駆動信号生成４から出力される定常駆動信号を選択する。 （もっと読む）

【課題】有効な検出範囲をできるだけ確保しながら出力電圧範囲を所望の範囲に制限することが可能な検出回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】検出回路３０は、感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）及びオフセット調整部（オフセット調整ＤＡＣ３４２と同期検波回路３４０）の少なくとも一方と、電圧制限部（リミッター回路３７０）と、を含む。感度調整部（可変ゲインアンプ３６０）は、センサー素子４の検出感度に応じて検出信号（角速度信号）の電圧範囲を調整する。オフセット調整部（オフセット調整ＤＡＣ３４２と同期検波回路３４０）は、センサー素子４の出力オフセットに応じて検出信号（角速度信号）の０点電圧を調整する。電圧制限部（リミッター回路３７０）は、感度調整部及びオフセット調整部の後段に設けられ、検出信号（角速度信号）の電圧を所望の範囲に制限する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動や抵抗値のばらつきに起因する起動時間の変動を低減することが可能な駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】判定回路２６０は、センサー素子４が出力する駆動電流がＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて得られる判定対象信号ＬＰＦＯの電圧と判定電圧との大小関係を判定する。駆動信号生成回路２３０は、判定回路２６０の判定結果に基づいて、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えるまではセンサー素子の自励発振を補助する発振器２８０の発振信号に基づいて駆動信号を生成し、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えた後はＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号を生成する。判定電圧ＶＲ２は、１又は複数の抵抗に定電流を流すことにより得られる電圧と基準電圧とを加算又は減算して得られる電圧である。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で位相同期を行うことができるデジタル位相同期回路および物理量検出センサを提供する。
【解決手段】位相比較部は、サンプリング値の符号情報を示す符号クロックＣＬＫ１と分周器の分周クロックＣＬＫ２との位相差を算出する。このとき、位相比較部は、符号クロックＣＬＫ１による立上りタイミングからダウンカウントし、分周器の分周クロックＣＬＫ２による立下りタイミングにてアップカウントし、符号クロックＣＬＫ１による立上りタイミングにて得られたカウント値を位相比較カウント値として出力する。そして、加算器が、位相比較カウント値に位相補正部の位相補正値を加算してループフィルタに出力する。 （もっと読む）

【課題】振動型ジャイロスコープにおいて、励振レベルを定める参照電圧の誤差や外来振動の影響を受けにくくして精度の向上を図る。
【解決手段】同期検波回路７２は、センサ素子の検出信号に基づく信号Ｘ、駆動回路からの発振信号Ｙ、及び参照電圧生成回路からの参照電圧Ｖrefを入力される。Ｖ／Ｉ変換回路１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃはそれぞれ信号Ｘ，Ｙ，Ｖrefを入力され、それら電圧信号Ｘ，Ｙ，Ｖrefを電流信号Ｉx，Ｉy，Ｉrefに変換してトランスリニア回路１１２へ入力する。トランスリニア回路１１２は（Ｉx・Ｉy／Ｉref）を演算することにより信号Ｘに対する同期検波を行い、演算結果の電流信号Ｉoutを出力する。当該Ｉoutに基づいて検波出力を得て、角速度信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】検出値に関する経年変化の影響を容易に認識し得るセンサ装置を提供する。
【解決手段】ジャイロセンサ２０では、メモリ２２には、装置の製造時に各検出条件に応じて角速度検出部２３により検出され得る初期検出値が予め記憶される。そして、上記特性変化検査用情報設定処理を実行する制御部２１により、角速度検出部２３により検出される現角速度検出値とこの検出値の検出条件に対応する初期角速度検出値とが入出力インタフェース２５を介して検査装置３０に出力される。 （もっと読む）