【課題】振動子の高次共振周波数の影響を十分に排除することが可能な角速度検出装置を提供すること。
【解決手段】励振振動される振動子と、前記振動子を励振振動させるための駆動信号を出力する駆動手段と、前記振動子における前記励振振動とは異なる方向の変位を検出するための検出手段と、前記検出手段により検出された変位に基づいて、前記励振振動の方向と前記検出手段により検出される変位の方向の双方に直交する方向周りの角速度を検出する角速度検出手段と、を備える角速度検出装置であって、温度を検出する温度検出手段を備え、前記駆動手段は、前記温度検出手段により検出された温度が変化するのに応じて、前記駆動信号の態様を変更することを特徴とする、角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】より信頼性の高い異常診断が可能な物理量検出装置並びに物理量検出装置の制御方法、異常診断システム及び異常診断方法を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１（物理量検出装置の一例）は、検出電極に、角速度（物理量の一例）の大きさに応じた検出信号とともに駆動信号（方形波電圧信号２２）に基づく振動の漏れ信号を発生させるジャイロセンサー素子１００（物理量検出素子の一例）と、駆動信号を生成する駆動回路２０と、駆動信号に同期した検波信号３４に基づいて、検出信号と漏れ信号を含む被検波信号３６に対して同期検波を行う同期検波回路３５０と、制御信号６４に基づいて、同期検波により漏れ信号の少なくとも一部が出力されるように、被検波信号３６に対する検波信号３４の立ち上がり及び立ち下がりの少なくとも一方の相対的なタイミングを変更する位相変更回路３５２と、を含む。 （もっと読む）

【課題】より信頼性の高い異常判定出力が可能な物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法を提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー素子１００と、ジャイロセンサー素子１００が所定の発振周波数で動作しているか否かを表す発振動作判定信号を生成する発振動作判定部と、監視対象信号５０−３〜５０−６の少なくとも一部に異常があるか否かを表す異常フラグ信号を生成する異常フラグ生成部と、角速度検出装置１の動作に異常があるか否かを表す異常判定信号を生成出力する異常判定出力部とを含み、異常判定出力部は、発振動作判定信号が異常である場合には、角速度検出装置１の動作の異常を表す異常判定信号を出力し、発振動作判定信号が正常である場合には、異常フラグ信号が正常から異常に変化してから、異常が第１の時間以上継続した後に、異常判定信号を、正常から異常に変更して出力する。 （もっと読む）

【課題】異常の有無の判定結果と診断情報を出力可能でありながらも、外部で誤判断する可能性をより低減させることができる物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１（物理量検出装置の一例）の異常診断回路７０は、監視対象信号５０−１〜５０−５の異常の有無を判定する監視判定回路７１０−１〜７１０−５と、監視判定回路の判定結果に基づいて、角速度検出装置１の異常の有無を判定し、異常判定信号７２２を生成する異常判定回路７２０と、メモリー８０に格納された少なくとも一部の監視判定回路の判定結果に基づいて、所定の診断情報を含む診断情報信号７４２を生成する診断情報生成回路７４０と、外部からの制御信号から生成された出力選択信号６４に基づいて、異常判定信号７２２又は診断情報信号７４２を選択して出力するスイッチ回路７５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の２軸検出角速度センサは、質量部の質量バランスが取れていない場合であっても、質量部をＸ軸方向にのみ駆動させることが可能な２軸検出角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】コリオリ力を受けずに第１のＹ軸方向支持部材３２および第２のＹ軸方向支持部材３９に発生する擬似歪を検出回路５０で検出して、この擬似歪を相殺する方向に前記質量部２１を駆動させるように前記補正駆動手段を制御する補正回路５１を設ける構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】より信頼性の高い異常診断出力が可能な物理量検出装置、物理量検出装置の異常診断システム及び物理量検出装置の異常診断方法を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１（物理量検出装置の一例）は、ジャイロセンサー素子１００と、ジャイロセンサー素子１００の出力信号に基づいて、角速度に応じた検出信号を生成する検出回路３０と、監視対象となる１つ以上の監視対象信号５０の異常の有無を検出し、監視対象信号５０の少なくとも一部に異常があるか否かを表す異常フラグ信号を生成する異常フラグ生成部と、異常フラグ信号に基づいて、角速度検出装置の動作に異常があるか否かを表す異常判定信号８２を生成出力する異常判定出力部とを含み、異常判定出力部は、異常フラグ信号が異常を表す値から正常を表す値に変化してから所定時間以上に亘る異常フラグ信号に基づいて、異常判定信号８２を、異常を表す値から正常を表す値に変化させて出力する。 （もっと読む）

【課題】 陽極接合時に可動部とガラス基板とが接合するのを防止する。
【解決手段】 第１，第２のガラス基板２，３の間に、厚さ方向に変位可能な可動部６を備えたシリコン基板４を挟む。第２のガラス基板３のキャビティ３Ａ内には、可動部６と対向した固定電極９を設けると共に、可動部６と電気的に接続されて固定電極９を取囲む同電位電極１０を設ける。また、キャビティ３Ａの底面には、層間絶縁膜１１を挟んで固定電極９および同電位電極１０と対向した下地電極１２を設ける。下地電極１２は、固定電極９に接続された第１の電極部１２Ａと、同電位電極１０と接続された第２の電極部１２Ｂとを備える。そして、第２の電極部１２Ｂは固定電極９および同電位電極１０の間の隙間Ｇを覆い、隙間Ｇと対向した部分はシールド部１３を形成する。 （もっと読む）

測定量を測定するためのセンサ（１００，２００）であって、当該センサはセンサ信号（Ｓ）を生成し、当該センサ信号は駆動周波数（ｆ_ｘ）で振動し、前記センサ（１００，２００）はレート復調器（１３５）と、直交復調器（１４０）と、評価回路（１７０）とを有しており、前記レート復調器（１３５）は、第１の変調信号と乗算することによって前記センサ信号（Ｓ）を復調し、これによって、当該センサ信号（Ｓ）からレート信号（Ｒ_１）を形成し、当該レート信号内には、測定されるべき測定量に関する情報が含まれており；前記直交復調器（１４０）は、前記センサ信号（Ｓ）を、前記第１の復調信号に対して９０°ずらされた第２の復調信号と乗算することによって復調し、これによって当該センサ信号（Ｓ）から、直交信号（Ｑ_１）を形成し；前記評価回路（１７０）は、前記直交信号（Ｑ_１）または当該直交信号から導出された信号（Ｑ_２）が、周期的な振動の影響を受けているか否かを判断し、周期的な振動が存在している場合には、目下のレート信号（Ｒ_１）が、前記センサ（１００，２００）に作用する外部ノイズによって影響されていることを示す値を有する状態信号（Ｘ_ｓｔ）を出力する。
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【目的】自動二輪車などの旋回時のロール角が大きな移動体の位置を精度良く求めるこ
とができ、ジャイロセンサの学習機能の構築が容易な角速度検出装置を提供する。
【構成】ナビゲーション装置１０は、移動体１に設置されるとともにジャイロセンサに
よって前記移動体１の旋回角速度ωを検知・算出する旋回角速度検知・算出手段１８を備
えており、特に、この旋回角速度検知・算出手段１８は、移動体１の正立状態における上
下方向（Ｘ軸方向）及び前後方向（Ｙ軸方向）に対して左右方向（Ｚ軸方向）において、
上下方向のＸ軸に対して互いに逆方向に同一角度θ１、θ２（θ１＝θ２＝θ０）傾けて
左右対称に設置された同感度の２つのジャイロセンサ２Ａ、２Ｂと、２つのジャイロセン
サ２Ａ、２Ｂのセンサ出力回路９、９と、センサ出力回路９、９の出力信号の変化ｘ１、
ｘ２から移動体１の旋回角速度ωを算出する演算手段と、を備える構成である。 （もっと読む）

【課題】補正対象の装置の各機能の駆動条件を制約することなく、メカノイズ等に起因した誤ったレンズ補正動作の防止を可能とする、ぶれ補正装置を提供する。
【解決手段】
ぶれ補正装置は、補正信号ｃに応じて被写体からの光の光軸を補正する補正手段２４、２４ａと、検出対象のぶれを検出し、検出したぶれの量に応じた検出信号を出力する、ぶれ検出手段１００と、ぶれ検出手段が出力する検出信号に基づいて補正信号を生成する補正信号生成手段３０３と、検出信号において所定の周波数帯域の周波数成分を検出する固有振動検出手段３０２と、固有振動検出手段の検出結果に応じて補正信号を生成するように補正信号生成手段を制御する制御手段３２０とを備える。 （もっと読む）

本発明は、可動質量体構造部（１２）と駆動要素（１３）と評価要素（１５）とを含み、前記駆動要素（１３）は可動質量体構造部（１２）を運動（１４）中にずらす及び／又は保持するように適合化され、前記評価要素（１５）は、角速度（Ω）に対する可動質量体構造部（１２）のリアクション（４０）を検出するように適合化されたヨーレートセンサに関する。本発明による方法では、検査信号（４２）の処理方向（４５）に関連して、応答信号（４７）の読出しが、検査信号（４２）の給電箇所（４８）と、可動質量体構造部（１２）のフィードバック箇所（４９）との間で行われる。
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【課題】 隣接する電極間の静電容量による電気的結合にともなう特性の低下を抑えてＳＮ比を高めるとともに、設計の自由度を高めて、駆動および検出回路構成を簡素化し、かつ分極工程を簡素化して量産性に優れた、低コストの圧電素子を提供する。
【解決手段】 Ｈ字形状もしくは直方体の基板１０１の一面上に、下部電極１２０、分極された圧電薄膜１１９、および上部電極からなる、同一平面内に配置された、３以上の電気−機械変換手段を備えて、任意の１以上の前記電気−機械変換手段の分極された圧電薄膜１１９、すなわち分極部の分極の向きと、他の前記電気−機械変換手段の分極部の分極の向きとが互いに逆向きになるよう構成し、平衡形の駆動回路および／または検出回路を用いて、面内／面外方向の駆動振動モードを励振、または面内／面外方向の検出振動モードを検出する。 （もっと読む）

【課題】センサ制御回路に搭載されたロジック回路等に供給されるクロック信号（ＣＬＫ）を、専用の発振回路を搭載することなく発生させる。
【解決手段】センサ制御回路において、クロック信号を生成するための専用のＯＳＣ（発振回路）部を搭載せず、センサ駆動部とロジック部の間に、ループ発振信号をパルス波形に整形してクロック信号（ＣＬＫ）を生成する波形整形部を搭載し、更に、ＥＥＰＲＯＭ書き換え用の高圧電源（ＶＰＰＨ）供給のために昇圧部が追加されている。 （もっと読む）

【課題】寄生容量によるクロストークノイズを除去可能な振動子の駆動回路において、角速度出力の検出感度を向上させること。
【解決手段】駆動回路１２０は、振動子４１２の共振周波数とほぼ同一の周波数ｆｒの交流電圧である変調波を発生する変調波発生回路１２１と、振動子４１２の共振周波数よりも高い周波数ｆｃの交流電圧である搬送波を発生する搬送波発生回路１２２と、搬送波を変調波により振幅変調して、駆動用固定電極４１６に駆動信号を出力する振幅変調回路１２３と、搬送波の直流電圧を調整して、振動子４１２に、調整された搬送波を出力する直流電圧調整回路１２４とを備える。駆動回路１２０の搬送波発生回路１２２の出力信号が、直流電圧調整回路１２４を通り、固定部４１３を通じて振動子４１２へ印加される。駆動用固定電極４１６に加えられる駆動信号Vkが図２(a)に示されており、振動子４１２に印加される電圧Vmassが図２(ｂ)に示されるものである。 （もっと読む）

【課題】外部から衝撃が加えられても、安定して検出信号を検出することができる振動片を提供する。
【解決手段】本発明に係る振動片１００では、第１検出振動腕３０に形成された検出信号電極１１０は、第１梁５０に形成された検出信号配線１１２を介して、第１支持部６０に形成された検出信号端子１１４と、電気的に接続され、第２検出振動腕３２に形成された検出信号電極１１０は、第２梁５２に形成された検出信号配線１１２を介して、第２支持部６２に形成された検出信号端子１１４と、電気的に接続され、検出信号電極１１０、検出信号配線１１２、および検出信号端子１１４の各々は、Ｘ軸と、Ｘ軸およびＹ軸と直交するＺ軸と、がなすＸＺ平面に関して、面対称に配置されている。 （もっと読む）

【課題】検出回路において電源電圧の制限を受けずに検波前利得を高め、検出信号の波形歪みの発生を避ける。
【解決手段】振動子を振動させ、この振動子に印加された角速度を検出する振動型ジャイロセンサにおいて、振動子の検出電極で検出される検出信号から角速度信号を生成する検出回路２０を備える。検出回路は、電源電圧に依存する信号処理を電流モードで行い、信号処理を電圧モードに代えて電流モードで行うことによって電源電圧による影響を避け、検波前利得を高めて、出力信号の雑音を低下させてＳ／Ｎ比を向上させ、検出回路の信号処理において電源電圧の制限による検出信号の波形歪みの発生を避ける。 （もっと読む）

【課題】ドリフト現象による誤差と感度の変動による誤差とを較正する方法を提供する。
【解決手段】角速度センサーを用いた角度検出方法にかかわる。角速度センサーの姿勢を第１姿勢から第２姿勢へ変更し、その間の角速度センサーの出力を積分した第１出力積分１６ａと変更に要した第１経過時間１７とを検出する。角速度センサーの姿勢を第２姿勢から第１姿勢と同じ姿勢の第３姿勢へ変更し、第１姿勢から第３姿勢１３へ変更する間の角速度センサーの出力を積分した第２出力積分１６ｂと第１姿勢から第３姿勢へ変更する間の第２経過時間１８とを検出する。第２出力積分１６ｂを第２経過時間１８にて除算してオフセット補正係数を演算する。第１出力積分１６ａからオフセット補正係数と第１経過時間１７との乗算値を引き算した第１正味出力積分１９ａを演算し、第１姿勢と第２姿勢との回転角度の差を第１正味出力積分１９ａにて除算して感度係数を演算する。 （もっと読む）

【課題】音叉型振動子からなる角速度センサの検出感度を安定化する。
【解決手段】角速度検出素子０と、当該角速度検出素子０に与えられた角速度を検出する角速度検出回路部１とで角速度センサを構成する、角速度検出回路部１は、角速度検出素子０から得られるモニタ信号を用いて当該角速度検出素子０から得られるセンス信号のノイズ成分をキャンセルするノイズキャンセル回路３０を備える。このノイズキャンセル回路３０中の振幅調整回路４にて、加算切り替え用アナログスイッチを構成するＮＭＯＳＦＥＴとＰＭＯＳＦＥＴとの各々の基板電位をソース又はＧＮＤ・電源に切り替えるスイッチ回路を設け、アナログスイッチがオンの場合には基板電位を信号ラインに、オフの場合には電源・ＧＮＤにそれぞれ切り替えることで、当該アナログスイッチのオン抵抗増加を抑える。 （もっと読む）

【課題】傾斜磁場に感応しないようにする。
【解決手段】音叉式ジャイロスコープ１００は、導電性サスペンション１３３、１３４を介して基板１２９に連結されたアンカー１４４、１４５と接続される第１導電性プルーフマス１１０及び第２導電性プルーフマス１２０を備えている。第１の導電性プルーフマスの対向する２つの端１１１、１１２及び第２の導電性プルーフマスの対向する２つの端１２１、１２２に電気抵抗中間ポイント１７１が電気的に接続されており、該中間ポイントを介して、音叉式ジャイロスコープから感知電荷増幅器１３０に信号を提供し、感知電荷増幅器から、音叉式ジャイロスコープの回転を示す出力信号V_outを発生する。中間ポイントでは傾斜磁場の影響がキャンセルされるので、出力信号には、傾斜磁場によるノイズが含まれていない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの感度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子１２と、前記検出素子１２と前記回路部とを電気的に接続する可撓性導体１３と、を備え、前記検出素子１２が基部１２Ａと、この基部１２Ａに接続されたアーム１２Ｂ、１２Ｃと、前記基部１２Ａの裏面に設けられた裏面電極（図示せず）とを有し、前記可撓性導体１３と前記検出素子１２との間には集中接続板１４が介在し、前記集中接続板１４が、その裏面には前記可撓性導体と接続される裏面端子１４Ａを有し、その表面には前記検出素子の裏面電極と接続される表面端子１４Ｂを有する構成としたものである。 （もっと読む）