【課題】小型化、特性向上、コスト低減を図って２軸の振動検出を可能とする。
【解決手段】振動型ジャイロセンサ１は、複数個のランド４を有する配線パターン５が形成された支持基板２と、この支持基板２の表面に実装された振動素子２０とを備え、１個の支持基板２上に、それぞれ異なる軸方向の振動を検出する少なくとも２個の振動素子２０Ｘ，２０Ｙが実装されている。振動子部２３の軸線方向を異にして２個の振動素子２０Ｘ，２０Ｙを支持基板２に実装することで、それぞれの振動素子２０によって２軸方向の検出信号を各々独立して得ることが可能となる。これにより、それぞれの振動素子２０が効率よくかつ低コストで製作されるとともに、安定した動作を行うことで信頼性の向上が図れるようになる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの感度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力し検出信号が入力される回路部１１と、前記駆動信号の入力に伴いその少なくとも一部が振動しコリオリ力の発生に伴い検出信号を出力する検出素子１２と、前記検出素子１２と前記回路部とを電気的に接続する可撓性導体１３と、を備え、前記検出素子１２が基部１２Ａと、この基部１２Ａに接続されたアーム１２Ｂ、１２Ｃと、前記基部１２Ａの裏面に設けられた裏面電極（図示せず）とを有し、前記可撓性導体１３と前記検出素子１２との間には集中接続板１４が介在し、前記集中接続板１４が、その裏面には前記可撓性導体と接続される裏面端子１４Ａを有し、その表面には前記検出素子の裏面電極と接続される表面端子１４Ｂを有する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】角速度センサにおいて、その小型化を図る。
【解決手段】検出素子１１は、基部１２と駆動信号が入力される駆動用電極１３を有し基部１２に接続された駆動用アーム１４Ａ、１４Ｂと、基部１２に接続され検出信号を出力する第１、第２の検出用アーム１５Ａ、１５Ｂとを有し、第１、第２の検出用アーム１５Ａ、１５Ｂは互いに並走するよう形成され、第１の検出用アーム１５Ａには第１、第２の検出電極１７Ａ、１７Ｂが、第２の検出用アーム１５Ｂには第３、第４の検出電極１７Ｃ、１７Ｄが形成され、第１の検出用アーム１５Ａにおいて、第１の検出電極１７Ａは第２の検出用アーム１５Ｂと反対側に形成され、第２の検出電極１７Ｂは第２の検出用アーム１５Ｂ側に形成され、第２の検出用アーム１５Ｂにおいて、第３の検出電極１７Ｃは第１の検出用アーム１５Ａ側に形成され、第４の検出電極１７Ｄは第１の検出用アーム１５Ａと反対側に形成された構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電機械的振動を電気信号に変換する機械−電子変換素子から出力されるアナログ電気信号をデジタル電気信号に変換し所定の信号処理を施し出力信号を形成する電子部品に関して電子部品の小型且つ省電力化に加え周辺回路の削減を目的とする。
【解決手段】本発明は、電子部品を構成する温度検出回路１７と信号処理回路１４の出力間に故障診断回路２２を設け、この故障診断回路２２で温度検出回路１７に対して駆動制御回路１３を制御する制御電圧１５を基準電圧として得た第１の出力結果と、信号処理回路１４を制御する制御電圧１６を基準電圧として得た第２の出力結果との差分データを予め定められた所定の範囲内にあるかどうかを判断し、この判断結果を信号処理回路１４の出力信号に付加する構成とした。 （もっと読む）

【課題】角速度変換ゲインの変化や、オフセットの変化が少ない、コリオリの力による角速度検出精度の良いジャイロセンサ用の制御回路を提供する。
【解決手段】振動子２４と、振動子２４に接続され、振動子２４を駆動する駆動部１００と、振動子２４に接続され、クロック信号ＣＫを出力する発振部２００と、振動子２４に接続され、振動子２４の検出信号ＳＥＮを受信し、コリオリの力による角速度を検出する検出部３００とを備え、駆動部１００は、振動子２４からの振動子振動モニタ信号ＴＦＤＭを受信する入力ＩＮと、振動子２４を駆動する駆動部１００の出力ＯＵＴ間の位相差がゼロである制御回路４００。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で０点電圧の調整が可能な物理量検出装置及び物理量検出システムを提供すること。
【解決手段】角速度（所定の物理量の一例）を検出する角速度検出装置１（物理量検出装置の一例）であって、角速度を検出し、角速度に応じた出力電圧信号を出力するセンサー部５０と、出力電圧信号の０点電圧を調整して出力する０点電圧調整部６０と、を含み、０点電圧調整部６０は、所与の期間におけるセンサー部５０の出力電圧信号の電圧を保持する電圧保持部２００と、電圧保持部２００が保持する電圧と基準電圧との差電圧を出力する差電圧出力部２１０と、差電圧に基づいて出力電圧信号のオフセット電圧をキャンセルするオフセット電圧キャンセル部２２０とを含む。 （もっと読む）

本発明は、ＭＥＭＳセンサーおよび３つの互いに直交する空間軸ｘ，ｙおよびｚの少なくとも１、好ましくは２に沿った加速度および回転速度をＭＥＭＳセンサー（１）によって測定する方法に関し、少なくとも１の駆動マス（６；６．１，６．２）および少なくとも１のセンサーマス（５）が基板（２）上に移動可能なように配置され、前記少なくとも１の駆動マス（６；６．１，６．２）は、駆動振動数において前記少なくとも１のセンサーマス（５）に対して移動可能であり、前記センサーの外側の加速が起きたとき、駆動マス（６；６．１，６．２）およびセンサーマス（５）は、駆動振動数において傾けられ、前記センサー（１）の外側の回転速度が起きたとき、回転速度振動数において傾けられ、前記加速度振動数と回転速度振動数は異なる。前記ＭＥＭＳセンサーにおいて、前記駆動マス（６；６．１，６．２）およびセンサーマス（５）は、前記基板（２）上に配置され、前記少なくとも１のアンカー（３）により静止状態において、バランスされる。この少なくとも１のアンカー（３）における周期的な振動の時、駆動モードでは、前記駆動マス（６；６．１，６．２）は前記駆動マス（６；６．１，６．２）と前記センサーマス（５）のこの少なくとも１のアンカー（３）に対する不釣合いが生じ、前記センサー要素は、加速度振動数および／または回転速度振動数による、生じたトルクおよびコリオリ力による前記駆動およびセンサーマスの偏向を検出する。
（もっと読む）

【課題】本発明の３軸検出角速度センサは、Ｙ軸方向の駆動信号とＺ軸方向の駆動でかつＸ軸周りの角速度により発生するＹ軸方向のコリオリ力による検出信号とが同一位相となることのないＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の角速度を正確に検出可能な３軸検出角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】駆動回路４９に位相シフト回路５５ｂを設け、Ｚ軸方向に振動駆動させる駆動信号とＹ軸方向に振動駆動させる駆動信号とが互いに９０度以外の異なる位相となるように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】入力信号の温度依存性が正負のいずれにもなり得る場合に、簡単な方法で入力信号の温度補償を行なうことができる温度補償回路を提供する。
【解決手段】温度補償回路２０は、温度依存性を有する入力信号ΔＶｉｎの温度補償を行なう回路であって、出力電圧Ｖｔｅｍｐが周囲温度に比例する温度センサ４０と、出力電圧Ｖｓｔが周囲温度によらない定電圧源５０と、制御信号生成部６０と、利得制御増幅器３０とを含む。制御信号生成部６０は、温度センサ４０の出力電圧Ｖｔｅｍｐと定電圧源５０の出力電圧Ｖｓｔとの電圧差に予め設定された定数を乗じることによって制御信号Ｖｃを生成する。利得制御増幅器３０は、制御信号Ｖｃに応じた利得で入力信号ΔＶｉｎを増幅する。 （もっと読む）

【課題】 ２軸周りの角速度を高精度かつ高感度に検出する。
【解決手段】 基板２の表面には、駆動質量部４〜７を基板２から離間して設ける。駆動質量部４〜７は中心点Ｏに対して点対称な位置に配置する。駆動質量部４〜７は連結梁８を用いて互いに連結すると共に、連結梁８には検出部１３〜１６を接続する。検出部１３〜１６は、２軸方向に捩れ変形する検出梁１７〜２０を用いて基板２上の支持部３に支持される。そして、周方向で隣合う駆動質量部４〜７は、振動発生部９〜１２によって互いに逆位相で振動する。この状態で、角速度Ω1，Ω2が加わると、検出部１３〜１６は、Ｘ軸、Ｙ軸を中心として基板２の厚さ方向に変位して振動する。変位検出部２１〜２４は、検出部１３〜１６の厚さ方向の変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】 小型化、軽量化、低コスト化が図れる振動ジャイロを提供する。
【解決手段】 振動子１００には、コリオリ方向に対して垂直に第一の電極１２０が設けられ、コリオリ方向の一方側において第一の電極１２０に対向する第二の電極２１０と、コリオリ方向の他方側において第一の電極１２０に対向する第三の電極２２０の少なくとも一方に、バイアス信号が印加されることにより、振動子１００がコリオリ方向に変位し、第二の電極２１０と、第三の電極２２０とから、振動子１００のコリオリ方向の変位を検出し、異常の有無を自己診断することを特徴とする。
【効果】 振動子を変位させて自己診断をすることができるため、振動子自体の異常を診断することができる。
簡単な回路を用いているため、小型化、軽量化、低コスト化が図れる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費を抑制しつつ、振動子の高次振動による誤差を抑制すること。
【解決手段】励振振動される振動子と、前記振動子を励振振動させるための励振駆動信号を出力する駆動手段と、前記振動子における前記励振振動とは異なる方向の変位を検出するための検出手段と、前記検出手段により検出された変位に基づいて、前記励振振動の方向と前記検出手段により検出される変位の方向の双方に直交する方向周りの角速度を検出する角速度検出手段と、温度を検出する温度検出手段と、発熱可能な発熱手段と、前記温度検出手段により検出された温度が、前記振動子の高次共振周波数と励振振動の周波数の奇数倍が一致する温度となるのを回避するように前記発熱手段を作動させる温度制御手段と、を備える角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】微小な静電容量の変化を検出可能で、静電気力による共振周波数の調整機能を追加可能で、加振回路からの影響を低減できる高感度且つＳＮ比の高い容量式センサを提供する。
【解決手段】物理量の変化に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に交流信号を印加する交流信号発生手段と、前記物理量検出素子に前記交流信号発生手段により充放電される電荷に応じた交流電圧を発生させる容量検出器と、前記容量検出器の発生させる交流電圧の振幅に応じたΔΣ変調信号列を発生させるΔΣ変調器とを構成することで達成される。 （もっと読む）

【課題】小型で高精度な振動型角速度センサを提供する。
【解決手段】互いに直交するｘ軸、ｙ軸およびｚ軸方向において支持部に対して錘部が振動するように連結しているとともにｘ軸、ｙ軸およびｚ軸方向において前記支持部に対する前記錘部の振動に伴って撓む扁平な弾性部と、前記錘部を前記支持部に対してｚ軸方向に励振するｚ軸励振部と、ｙ軸励振部と、前記錘部のｘ軸方向の振動を検出するｘ軸検出部と、ｙ軸検出部と、が形成されている積層構造体と、前記錘部の励振方向をｙ軸とｚ軸方向との間で所定の時間間隔で交互に切り換える励振切換手段と、切り換えてから所定時間経過後に前記錘部のｘ軸方向の振動からｙ軸周りの角速度を導出し、ｙ軸方向の振動からｘ軸周りの角速度を導出し、前記錘部の励振方向をｚ軸方向からｙ軸方向に切り換えてから所定時間経過後に前記錘部の前記ｘ軸方向の振動からｚ軸周りの角速度を導出する角速度導出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】確実に発振でき、発振起動時間を短縮できる発振駆動装置、これを用いた物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振するための発振駆動装置は、所与の電圧を基準に、前記発振ループ内の信号に基づいて前記振動子に駆動振動を励振するコンパレーターと、前記発振ループ内の発振を検出する発振検出器と、前記発振検出器の発振結果に基づいて、スイッチ制御信号を生成する信号発生回路と、前記発振ループ内の振動子と前記コンパレーターの出力との間に挿入されたスイッチ回路とを含み、前記スイッチ回路は、発振起動過程において、前記コンパレーターの出力と前記振動子とを電気的に接続する期間と前記振動子に所与の設定電圧を供給する期間とを前記スイッチ制御信号に基づいて交互に切り替える。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが容易で小型化可能、かつ、高精度な慣性センサおよび慣性測定装置を提供する。
【解決手段】基板と、基板上方の圧電膜をパターニングして形成され、基板上に固定されるアンカー部と、圧電膜をパターニングして形成された重錘と、圧電膜をパターニングして形成され、圧電膜上面の櫛型電極を含む第１の弾性表面波共振子を有し、一端がアンカー部に固定され他端が重錘に固定される第１の梁と、圧電膜をパターニングして形成され、圧電膜上面の櫛型電極と同一形状の櫛型電極を含む第２の弾性表面波共振子を有し、一端がアンカー部に固定される第２の梁とを備え、第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の共振周波数の差を検出することで重錘に加わる加速度を測定可能とすることを特徴とする慣性センサおよびこれを用いた慣性測定装置。 （もっと読む）

【課題】ノイズ除去性能を上げつつ、簡素な構成で高精度な変位検出を行うことのできる変位検出素子を提供する。
【解決手段】相対位置が変位する一対の構造体３１，３２と、前記一対の構造体３１，３２の一方に並設された二つの電極３３と、前記二つの電極３３と間隙を介して対向するように前記一対の構造体３１，３２の他方に配された一つの電極３４と、前記二つの電極３３と前記一つの電極３４との間の静電容量を当該二つの電極３３に位相または極性の異なる電圧を印加して差動で検出する検出回路部３５と、を備えて変位検出素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度を高める。
【解決手段】錘と、前記錘を支持する弾性体と、ｙ軸においてはｙ軸の固有振動数に応じた第一振動数で前記ｙ軸に直交するｚ軸においてはｚ軸の固有振動数に応じた前記第一振動数と異なる第二振動数で前記錘を２軸同時に励振する励振手段と、前記ｙ軸において前記錘の変位を検出するｙ軸変位検出手段と、前記ｙ軸と前記ｚ軸とに直交するｘ軸において前記錘の変位を検出するｘ軸変位検出手段と、前記錘の前記ｘ軸の変位から前記第一振動数の成分と前記第二振動数の成分とを離散フーリエ変換によって導出するとともに前記錘のｙ軸の変位から前記第二振動数の成分を離散フーリエ変換によって導出する軸分離手段と、を備える振動型角速度センサ。 （もっと読む）

【課題】物理量センサシステムの回路規模を削減する。
【解決手段】物理量センサシステム(11)は、物理量センサ(10)を駆動させ、センサ信号(Ssnc)から物理量信号(Dphy)を検波する。アナログ・デジタル変換回路(102m,102s)は、モニタ信号(Smnt)およびセンサ信号(Ssnc)をデジタルモニタ信号(Dmnt)およびデジタルセンサ信号(Dsnc)にそれぞれ変換する。駆動制御回路(103)は、デジタルモニタ信号(Dmnt)に応じてドライブ信号(Sdrv)を制御する。位相調整回路(104)は、デジタルモニタ信号(Dmnt)とデジタルセンサ信号(Dsnc)との位相差を調整する。検波回路(105)は、位相調整回路によって位相差が調整されたデジタルモニタ信号(Dmnt)およびデジタルセンサ信号(Dsnc)を乗算することにより、物理量信号(Dphy)を検波する。 （もっと読む）

【課題】本発明の３軸検出角速度センサは、Ｘ軸周りおよびＹ軸周りの角速度による出力信号が相互に干渉するということはなく、出力信号が安定している３軸検出角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明の３軸検出角速度センサは、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の３軸方向に変位可能な質量部２１のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の駆動周波数を互いに異ならせるように構成したものである。 （もっと読む）