【課題】センサの薄型化を実現することができる角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサ１は、第１の面内において平行でない２つの方向に同一の駆動信号で駆動される複数の振動部を含む振動子部１０１と、振動子部を支持する枠体１０２とを有し、第１の面内における所定の２方向に沿った第１及び第２の軸回りの角速度と、第１の面と直交する方向に沿った第３の軸回りの角速度とに応じた信号を生成するセンサ素子１００と、駆動信号を出力する自励発振回路２０１と、角速度各々に応じた信号に基づいて第１、第２及び第３の軸回りの角速度を出力する検出回路とを有するコントローラ２００と、センサ素子とコントローラとが実装される回路基板４００とを具備する。 （もっと読む）

【課題】プロセス変動、温度変動、周波数変動による特性の変動が小さく、回路規模が小さいπ／２位相シフト回路を提供する。
【解決手段】一対の差動入力端子を構成する反転入力端子２０３ａ、非反転入力端子２０３ｂを有し、差動入力端子の一方に入力信号が、他方に基準電圧が与えられるコンパレータ２０３、コンパレータ２０３から出力される出力信号を積分し、積分信号である第１出力信号と基準電圧に係る第２出力信号とを出力する積分器２０４と、積分器２０４から出力された第１出力信号と、第２出力信号とを入力し、入力信号に対してπ／２位相をシフトしたシフト信号を出力するコンパレータ２０５と、によってπ／２位相シフト回路を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、温度センサからの出力信号のＸ軸切片が変化しても、補正後の出力信号にオフセットが発生するということのない、出力特性の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、温度補正回路１３６におけるＲＯＭ１３４に所定の基準温度でオフセット調整する補正データを格納するとともに、この補正データにより角速度出力信号の温度変化による変動を補正する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、タイミング信号にジッタを持つことにより、そのジッタ分だけセンス回路における検波動作に位相ズレΦが発生しても、出力信号が変動するということのない、出力特性の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、ＰＬＬ回路１２１に位相監視手段１２６を設けてタイミング信号の位相の変動を監視するとともに、タイミング信号の位相の変動により生じる出力信号の変動値をキャンセルするジッタキャンセル値算出回路１３０を設ける構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、簡単な回路構成を用いながら電荷／電圧変換およびバッファアンプの飽和を防止することにより、０点変動を低減させることができ、これにより、角速度の測定精度の向上を図ることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを可撓部２２の内周部から外周部にわたって設けるとともに、前記検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄの幅を質量部２３の中心からの距離に応じて大きくすることにより、検出部２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄのコリオリ力に起因しない電荷分をキャンセルまたは極めて小さくなるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】とりわけコンパクトで、信頼性が高くかつ効率的な測定が可能となる、振動マイクロ−メカニカルセンサーを提供する。
【解決手段】少なくとも１対の電極が、震動質量部４５、４６のエッジと関連して設けられ、その対の電極は質量部の表面と共に、２つのキャパシタンスを形成し、該動質量部の主運動の回転の角度に応じて、１対の電極の一方のキャパシタンスは増加し、１対の電極の他方のキャパシタンスは減少する。 （もっと読む）

【課題】外乱の大きさに影響されない態様で錘の特性差を補償することができる角速度検出装置の調整方法の提供。
【解決手段】互いに逆相に駆動される２つの錘の駆動方向に垂直な方向の振動に基づいて角速度を検出する角速度検出装置の調整方法であって、２つの錘を互いに逆相に駆動する駆動ステップと、駆動中に、２つの錘の検出電極に、振幅変調用のキャリア信号を印加する作動ステップと、作動ステップ中に、駆動方向に垂直な方向で２つの錘が互いに同相に振動するように、同一の加速度を作用させる加振ステップと、加振ステップ中に２つの錘から得られる電気信号から、駆動方向に垂直な方向での振動成分を表す信号を抽出する信号抽出ステップと、信号抽出ステップで得られる２つの錘に係る信号の振幅が同一になるように、振幅変調用のキャリア信号の振幅を調整する振幅調整ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】力学量の印加により変位する可動部を有し、この可動部の変位量により力学量を検出する力学量センサにおいて、過大な力学量によって可動部が過大変位するのを防止する。
【解決手段】可動部３１が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部３１に対して加速度を加えるアクチュエータ４０を備え、可動部３１は、一方向に駆動振動するとともに角速度が印加されたときに、この駆動振動の方向とは直交する方向に印加されるコリオリ力によって検出振動する角速度検出素子として構成されており、駆動振動の方向に沿って可動部３１が力学量によって変位する方向とは反対の方向に、可動部３１に対してアクチュエータ４０による加速度の印加を行う。 （もっと読む）

【課題】位相調整を自動で行う事により、高い検出感度を常時安定して保つ角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサにおいて、検出部により出力される検出信号から漏れ振動による変位量を抽出する第２同期検波部と、第２同期検波部により検出された振動子の変位量を平滑化する第２平滑手段と、入力した信号の位相を変化させて第１同期検波部へ出力する位相調整部とを有し、位相調整部は、位相調整部に入力した信号の位相を第２平滑手段の出力を角速度に依存させない様に調整して第２同期検波部に出力する事を特徴とする角速度センサを構成する。 （もっと読む）

【課題】センサの小型化あるいは薄型化を実現することができる角速度センサ及び電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る角速度センサ１は、振動素子１０ｘ、１０ｙ、１０ｚ’と、これらを支持する支持基板２０とを具備する。振動素子１０ｘは、Ｘ軸に平行な軸回りの角速度を検出する。振動素子１０ｙは、Ｙ軸に平行な軸回りの角速度を検出する。振動素子１０ｚ’は、ＸＺ平面内においてＸ軸に対して斜めに交差するＺ’軸方向に平行な軸回りの角速度を検出し、Ｚ軸と平行な軸回りの角速度を検出するための信号を出力する。振動素子１０ｚ’が支持基板２０に対して斜めに実装されているので、センサの厚み寸法の低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】角速度感度軸に対して他軸感度によるノイズを発生させることなく、正確で高精度な角速度信号を検出する振動ジャイロの提供を目的とする。
【解決手段】振動子１１，１２と、この振動子１１，１２を制御する半導体部品２０と、前記振動子１１，１２を支持してこの振動子１１，１２と前記半導体部品２０を電気的に接続する回路部品４０を含む支持基板３０と、この支持基板３０上に設けた前記振動子１１，１２、半導体部品２０および回路部品４０を覆う蓋体５０から構成した振動ジャイロにおいて、前記支持基板３０に前記振動子１１，１２を所定の感度軸方向に支持するための位置決め３０１，３０２を設けた。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性が高い、小型の物理量検出装置を提供する。
【解決手段】パッケージ１０の凹部に接合されたＩＣチップ３０の上方には、ジャイロ振動片２０が接合された中継基板４０が、パッケージ１０の凹部の凹底部分との間に隙間を空けて、且つ、間にＩＣチップ３０を配置しながら架設されている。ジャイロ振動片２０が搭載された中継基板４０の下面（ジャイロ振動片２０が搭載された面の反対側の面）側の略中央には、ＩＣチップ３０上に設けられたブロック体４５の上端面が接合部材３９により接合されている。これにより、中継基板４０の中央部分がＩＣチップ３０およびその上に接合されたブロック体４５による支持部により支持されるとともにパッケージ１０内に強固に固定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自己診断機能を有する回路の小型化を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、ＡＤ変換器１３のサンプリン
グ周波数を変化させる周波数可変回路１５と、ＡＤ変換器１３の出力信号に通過帯域を制限するフィルタ１６と、フィルタ１６を通過したＡＤ変換器１３の出力信号におけるノイズレベルの積分値を算出する出力電圧判定回路１７と、を備え、ＡＤ変換器１３のサンプリング周波数を前記フィルタ１６における通過帯域外まで変化させることにより、ＡＤ変換器１３の量子化ノイズレベルを変化させ、当該量子化ノイズレベルの積分値が所定の範囲内にあるか否かを前記出力電圧判定回路１７において判定することにより自己診断を行う電子機器としたものである。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性が高い、小型の物理量検出装置を提供する。
【解決手段】ジャイロ振動片１００が接合された中継基板２５０は、導電性接着剤２９６により、パッケージ２０２の第３層基板２３１により形成された第１突部端子２３４、第２突部端子２３５、第３突部端子２３６、第４突部端子２３７、および第５突部端子２３８に接続・固定されている。パッケージ２０２の凹部において第３層基板２３１により形成された段差上の、第１突部端子２３４と第２突部端子２３５との間、第１突部端子２３４と第３突部端子２３６との間、第２突部端子２３５と第４突部端子２３７との間、第３突部端子２３６と第５突部端子２３８との間、および第４突部端子２３７と第５突部端子２３８との間の５箇所の領域と、それらの上部に位置する中継基板２５０の一部とが、接着剤２９９により接合されている。 （もっと読む）

【課題】 時分割駆動方式の角速度センサにおいて、励振方向を切り換える際に切り換え前の方向の振動を早く減衰させる。
【解決手段】 可撓性を有する梁部と、前記梁部を支持する支持部と、前記梁部と結合し前記梁部とともに運動する錘部と、前記梁部に設けられた駆動用圧電素子を備え、前記駆動用圧電素子に印加する駆動信号を所定時間毎に切り換えることによって、直交する複数の励振方向に前記錘部を振動させる励振手段と、前記梁部に設けられた検出用圧電素子を備え、前記検出用圧電素子から出力される検出信号に基づいて、コリオリ力に対応する検出方向における前記錘部の振動をを検出する検出手段と、切り換え前の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号の印加終了後から切り換え前と別の励振方向に前記錘部を振動させる駆動信号を印加するまでの切り換え期間中に、切り換え前の前記錘部の振動に関連する信号に基づいて生成した静定信号を、前記駆動用圧電素子に印加する静定制御手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子における共振振動の周波数を変化させることができる構成を実現することを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、振動子１１と、モニタ回路１２と、フィルタ回路１３と、振動制御回路１４と、駆動回路１５とを少なくとも有する振動子駆動制御回路ループ１６と、前記振動子駆動制御回路ループ１６内における信号が基準信号として入力されると共に前記振動子１１の振動周波数と同期した信号を生成し出力する位相同期回路１７と、前記位相同期回路１７の出力信号周波数が前記基準信号に対して独立となるよう切り替える切替回路２１とを具備し、前記フィルタ回路１３が、前記位相同期回路１７の出力信号周波数に応じてその通過周波数帯域を可変させるセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】回路モジュールを実装基板に実装する際、回路モジュールと実装基板との接合部の形状を調整し、応力緩和を図ることで、接合不良を防止し、信頼性の高い実装を実現する。
【解決手段】少なくとも第１及び第２の面を有する回路基板１０と、前記第１の面に搭載された素子チップ２０と、実装面である前記回路基板の前記第２の面に隣接する第３の面から導出された、曲げ部を有する実装用のリード端子部３０とを具備し、前記リード端子部は、絶縁性基材と前記絶縁性基材に沿って形成された導体層とで構成され、前記リード端子部３０の先端が、実装面を構成する平坦面を有し、前記平坦面が半田層４０で被覆された回路モジュール１を構成する。 （もっと読む）

【課題】傾斜ベースを正しい向きで実装する作業を簡素なものとして、パッケージへの組み立て作業を容易に行うことのできる半導体物理量センサを得る。
【解決手段】パッケージ５内に傾斜ベース４を実装するとともに、半導体を用いた物理量センサチップ２を、当該センサチップ２の検出軸がパッケージ底面（下段面）５ｂに対して傾斜するように傾斜ベース４の傾斜面４ａに実装する半導体物理量センサ１において、傾斜ベース４に、当該傾斜ベース４の傾斜方向を特定するための切欠部（第１の識別部）７を設け、この切欠部７を、平面視における傾斜ベース４の輪郭を当該輪郭の中心に対して非点対称となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】複数種類の感度の検出信号をＡ／Ｄ変換する際に、Ｓ／Ｎ比を向上させる物理量
測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】振動子と、前記振動子と発振ループを形成し、該振動子に駆動振動を励振す
る駆動回路と、前記振動子に励振される駆動振動及び測定すべき物理量に応じて第１の検
出信号及び第２の検出信号を出力する検出回路とを含み、検出回路は、前記駆動振動及び
前記物理量に応じて第１の検出信号を出力する第１のＬＰＦと、第１のＬＰＦのゲインと
異なるゲインを有し、前記駆動振動及び前記物理量に応じて第２の検出信号を出力する第
２のＬＰＦとを含み、第１のＬＰＦ及び第２のＬＰＦの各々は、ＳＣＦ回路により構成さ
れ、ＳＣＦ回路は、第１の検出信号及び第２の検出信号に対して行うＡ／Ｄ変換処理のサ
ンプリングクロックの４倍以上の周波数の動作クロックにより、スイッチ制御される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサ装置の検出精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、位相調整部３０が前記ドライブ入力処理部１０の温度特性と検波部２１の温度特性との差を用いてドライブ信号の位相を調整する構成としたものである。この構成により、ドライブ入力処理部１０や検波部２１が温度特性を持っていても、位相調整部３０がドライブ入力処理部１０の温度特性と検波部２１の温度特性との差を用いてドライブ信号の位相を調整するため、ドライブ信号とセンス信号との周波数ずれの発生を抑制することができ、正しい検波を可能とすることができるため、その結果としてセンサ装置の検出精度を向上させることができるのである。 （もっと読む）