【課題】検波タイミング信号の精度を改善し、且つ、位相シフト回路の面積を低減する。
【解決手段】位相シフト回路１４は、検波回路１６の検波タイミングを制御するタイミング信号を生成し、コンパレータ１４０と、カウント信号生成部１４２と、位相差測定部１４４と、タイミング信号生成部１４６と、を備える。コンパレータは、キャリア成分の信号レベルに応じた２値信号を生成する。カウント信号生成部は、２値信号の第１エッジを０度とするときの第１エッジに対する位相角をカウントし、カウントした位相角が９０度を超えたときに出力レベルが反転するカウント信号を生成する。位相差測定部は、２値信号とカウント信号との位相差を測定し、キャリア成分がゼロクロスするタイミングの情報を含む時間信号を生成する。タイミング信号生成部は、カウント信号及び時間信号に基づいて、検波回路１６の検波タイミングを制御するタイミング信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】内圧変動による振動子の出力信号の変動が補正された角速度センサを提供する。
【解決手段】直交の関係にあるｘ方向とｙ方向それぞれに変位可能な振動子（１９）と、振動子（１９）をｘ方向に振動させる駆動部（３７，５５）と、振動子（１９）のｘ方向の振動振幅を検出する振幅検出部（３６，５４）と、振動子（１９）のｙ方向への変位量を検出する変位検出部（３８，５６）と、振動子（１９）を密閉空間に収納するパッケージ（７０）と、を有する角速度センサであって、振幅検出部（３６，５４）の出力信号に基づいて、変位検出部（３８，５６）の出力信号を補正する補正部（５７）を有する。 （もっと読む）

【課題】回路面積や端子数を増やすことなく、広いダイナミックレンジで線形性が確保でき、応答性に優れたセンサ制御回路を提供する。
【解決手段】センサ制御回路は、センサから出力された交流信号の周波数と同じ周波数の搬送波信号に、前記交流信号を重畳したセンサ変調信号を生成する自律発振ループ部と、前記搬送波信号を基準電圧レベルと比較した結果をデジタル処理して、前記搬送波信号の振幅調整用の制御信号を生成する振幅調整ループ部と、を備える。前記自律発振ループ部は、前記搬送波信号の振幅調整を行うアンプと、前記制御信号により切替制御されるスイッチを有し、該スイッチの切替周波数により前記アンプの利得を制御可能なスイッチトキャパシタと、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＱＶアンプの特性変動を低減させるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣ１０は、半導体基板１１の第１の面１１Ａに集積回路と電極とが形成されている。センサー素子２０は、振動部を有し、半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向する面に電極が形成されている。半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して１又は複数の再配置配線３０が設けられ、再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板１１に形成された電極とセンサー素子２０に形成された電極を電気的に接続する。ＱＶアンプ１１０，１２０は、センサー素子２０の検出信号が入力され、半導体基板１１の第１の面１１Ａに直交する方向から視た平面視において、センサー素子２０の振動部と重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】対称回路の評価を適正に行うことができるとともに小型化が容易な慣性センサーを提供すること。
【解決手段】ジャイロセンサー１（慣性センサーの一例）は、信号処理ＩＣ１０とセンサー素子２０を含む。信号処理ＩＣの半導体基板１１の第１の面１１Ａと対向して設けられた複数の再配置配線３０の少なくとも１つは、半導体基板に形成された電極とセンサー素子に形成された電極を電気的に接続する。半導体基板の第１の面には、対称性を有する第１，第２の信号をそれぞれ生成するＱＶアンプ１１０，１２０（第１，第２の回路の一例）、配線１１２，１２２（第１，第２の配線の一例）、配線１１２，１２２を介して第１，第２の信号がそれぞれ供給されるパッド７０−１（第１の電極の一例），７０−ｎ（第２の電極の一例）がさらに形成され、半導体基板の第１の面に直交する方向から視た平面視において、配線１１２の形状と配線１２２の形状が対称性を有する。 （もっと読む）

【課題】 回路の大規模化を抑えながらオフセット調整を実現できる検出装置等の提供。
【解決手段】 検出装置は駆動回路と検出回路を含み、検出回路は、振動子からの出力信号を増幅する増幅回路を含む。増幅回路は、出力信号に対応する差動信号の差動増幅を行う差動増幅回路７６と、差動増幅回路７６が有する少なくとも１つの抵抗の抵抗値を可変に制御することで、オフセット調整を行うオフセット調整回路７８を含む。差動増幅回路７６は、第１〜第４の抵抗ＲＢ１〜ＲＢ４とオペアンプＯＰＢを含む。オフセット調整回路７８は、第１、第３の抵抗ＲＢ１、ＲＢ３の少なくとも一方の抵抗値を可変に制御することにより、差動信号を構成する第１、第２の信号にそれぞれ重畳される第１、第２の不要信号の少なくとも一方を増幅して、オフセット調整を行う。 （もっと読む）

【課題】故障等を高精度に自己診断することができる角速度センサを提供する。
【解決手段】第一駆動腕と第二駆動腕とを有する音叉型の振動子と、駆動平面に沿って振動するように第一駆動腕を励振する第一駆動素子と、駆動平面に沿って振動するように第二駆動腕を励振する第二駆動素子と、第一駆動腕及び第二駆動腕を振動させる制御部と、第一駆動腕と第二駆動腕よりの振動を検出し、角速度を検出する検出部と、を備える角速度センサであって、制御部は、第一駆動腕と第二駆動腕とをそれぞれ同一周期及び同一振幅で、且つ振動位相が逆位相となるように、第一駆動素子及び第二駆動素子に駆動信号を出力する通常モードと、第一駆動腕と第二駆動腕とをそれぞれ同一周期及び同一振幅で、且つ第一駆動腕に対する第二駆動腕の振動位相が逆位相からずれつつ同位相とはならないように、第一駆動素子及び第二駆動素子に駆動信号を出力する自己診断モードと、を実行する。 （もっと読む）

【課題】帰還抵抗の寄生容量による悪影響をなくして、半導体基板上で実用化が可能な、出力ノイズの小さいチャージアンプを提供する。
【課題の解決手段】チャージアンプ１は、非反転入力端子を増幅基準電圧６に接続し、反転入力端子に水晶振動子を有する振動型角速度センサ７から５０ＫＨｚの周波数信号を入力するとともに、その出力端子は並列接続された帰還抵抗４，５及び帰還容量３を介して反転入力端子に接続したものであって、帰還抵抗４，５の反転入力端子側ほぼ半分に対応する寄生容量８の基板電極を反転入力端子に接続して、出力ノイズを低減したものである。 （もっと読む）

【課題】回路面積の増加を抑えながら従来よりも低ノイズ化が可能な信号処理回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】Ｉ／Ｖ変換回路２００（電流電圧変換部）は、振動子１００の発振電流を電圧に変換する。ＲＣフィルター２２０（位相シフト部）は、Ｉ／Ｖ変換回路１００の出力信号を位相シフトする。全波整流回路２４０（駆動振幅制御部の一部）は、位相シフトされた信号を２値化して切り替え制御信号２７を生成する。コンパレーター２６０（参照信号生成部）は、Ｉ／Ｖ変換回路１００の出力信号に基づいて、同期検波用の参照信号２６を生成する。排他的論理和回路２７０（クロック信号生成部）は、参照信号２６と切り替え制御信号２７との位相差に基づいて、駆動信号２２の周波数の２倍の周波数を有するスイッチトキャパシタフィルター（ＳＣＦ）用のクロック信号２８を生成する。 （もっと読む）

【課題】振動子が安定発振するまでの時間を短縮するとともに安定発振を維持することが可能な駆動回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】コンパレーター２１０（駆動信号生成部）は、第１の信号線を介して入力された振動子１００の発振電流２４がＩ／Ｖ変換回路２００（電流電圧変換部）により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号２２を生成し、第２の信号線を介して振動子に供給する。発振検出回路２７０（発振検出部）は、振動子１００が発振を開始してから発振電流２４が所定値に達したか否かを検出する。起動発振回路２８０（起動発振部）は、発振電流２４が所定値に達するまで振動子１００の発振動作を補助する。スイッチ２１８は、発振電流２４が所定値に達するまでコンデンサー２１６を第２の信号線から切り離し、発振電流２４が所定値に達した後はコンデンサー２１６を第２の信号線に接続する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも低ノイズ化が可能な検出回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】同期検波回路３２６（同期検波部）は、振動子１００の検出信号３２，３４を含む信号（アンプ３２４の出力信号）に対して同期検波を行う。スイッチトキャパシタフィルター（ＳＣＦ）回路３３０は、同期検波回路３２６により同期検波された信号（可変ゲインアンプ３２８の出力信号）をフィルター処理する。出力バッファ３３２は、ＳＣＦ回路３３０によりフィルター処理された信号をバッファリングして外部に出力する。ＳＣＦ回路３３０ゲインは１よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 レイアウト面積、消費電力を増大させずに、検出感度、検出範囲を切り換え可能な検出回路を提供する。
【解決手段】 センサー素子からの差動入力信号２９０、２９２に基づいて前記センサー素子に印加される物理量を検出する検出回路１０であって、前記差動入力信号２９０、２９２の差分を増幅して、第１の信号１１４として出力する差動増幅回路３０と、前記第１の信号に基づく信号１１６を増幅して、第２の信号１１８として出力する非反転増幅回路５０と、前記第２の信号１１８を直流信号に変換して、前記物理量に応じた１つの出力信号２９４を生成する後段回路１４と、を含み、前記差動増幅回路３０および前記非反転増幅回路５０の少なくとも１つは入力される選択信号２１０に基づいて、増幅率を変化させる。 （もっと読む）

【課題】外部から加わる衝撃などの応力の緩和が可能な小型のセンサーデバイス、モーションセンサー、及び、これらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】センサーデバイス１は、基部２１、基部２１から延伸された検出用振動腕及び駆動用振動腕、外部接続端子２９を有する振動ジャイロ素子２０と、ＩＣチップ１０とを備えている。第１の電極１１、及び、第１の電極１１に配線１６を介して電気的に接続されて能動面１０ａ側の第１の電極１１と平面視で重ならない位置に設けられた第２の電極１７により構成された複数の電極部１８と、能動面１０ａと第２の電極１７との間に設けられた樹脂層としての応力緩和層１５と、を有し、振動ジャイロ素子２０が、外部接続端子２９と第２の電極１７との接合部材１２を介した接続によってＩＣチップ１０に保持されている。第２の電極１７は、第１の電極１１から略同じ方向に同じ長さだけずらせて設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コリオリ力を利用した角速度センサユニットおよびその信号検出方法に関し、角速度センサユニットの検出精度の劣化を抑制することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、角速度を検出する振動型のセンサ素子１およびそれを制御するＩＣ２を内蔵するパッケージとからなる角速度センサユニットにおいて、センサ素子１は駆動アーム５にドライブ電極６、モニタ電極７、センス電極８を設けるとともに、駆動アーム５を支持する支持アーム１６に設けられたモニタ電極７の配線電極１９に補正電極２０を設け、不要振動によりモニタ電極７に形成された不要信号を、同じ不要振動により補正電極２０に形成された補正信号で減衰させる構造としたのである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電結合漏れを相殺するとともに、出力信号の感度の低下も抑制することが可能な角速度センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の角速度センサはＰＬＬ回路９１の出力の任意のエッジタイミングで可変可能な位相調整回路９２ａを備えることにより、センス回路における同期検波のタイミングを調整する構成としたため、同期検波時に出力信号に静電結合漏れに起因するオフセットが発生することを防止することが出来ることとなる。 （もっと読む）

【課題】差動共振を抑えることが可能な音叉振動型角速度センサの提供。
【解決手段】 Ｘ軸方向へ互いに逆相に励起振動され、所定軸周りの角速度が生じた際にＸ軸方向と直交するＹ軸方向へ互いに逆相に変位振動される２つの錘を設け、該２つの錘のＹ軸方向での変位量の差に基づいて所定軸周りの角速度を検出する音叉振動型角速度センサ１，２であって、Ｙ軸方向における２つの錘の変位の同相分に基づいて、２つの錘をＹ軸方向の同相方向にフィードバック駆動する第１フィードバック系と、Ｙ軸方向における２つの錘の変位の逆相分に基づいて、２つの錘をＹ軸方向の逆相方向にフィードバック駆動する第２フィードバック系とを備える。 （もっと読む）

【課題】経時的に検出精度が低下することを抑制することができる角速度センサ装置を提供する。
【解決手段】可動部を有する角速度センサ素子１００と、可動部の駆動振動を制御する駆動信号を角速度センサ素子１００に出力し、駆動振動を一定に維持する駆動回路２１０と、角速度センサ素子１００における容量変化を検出して検出信号を出力する検出回路２２０と、角速度センサ素子１００を収納するパッケージと、パッケージに収納され、パッケージ内の圧力を検出する圧力センサ３００と、圧力センサ３００で検出された圧力から可動部における検出振動の共振倍率を演算し、検出信号および演算した共振倍率を用いて、印加された角速度を示す角速度信号を生成して出力する補正演算回路２３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】センサモジュールの調整コストを抑えながらセンサの信頼性や精度を確保する。
【解決手段】信号成分解析部１０は、信号処理部７から出力されるローパスフィルタ８を通過する前の信号を受け、物理量に関する脆弱周波数の印加が一定レベル以上で発生しているかどうかを解析し、脆弱周波数の印加が一定レベル以上の場合、出力信号制御部９，１６に出力停止信号を出力する。出力信号制御部９，１６は、信号成分解析部１０から出力された制御信号を受けて、信号処理部７，１４を経てローパスフィルタ８，１５によってノイズが除去された加速度信号、および物理量信号の出力を停止する。 （もっと読む）

【課題】サーボ型静電容量式センサ装置において、構造体の振動を打ち消すサーボ力がゼロであるときを含めて、信号処理回路からセンサ素子へ供給されるサーボ信号が流通する信号線の断線有無を検出する。
【解決手段】信号処理回路１４は、サーボ信号生成回路３６により生成されるサーボ信号に、周波数が構造体の共振周波数に比べて十分に高い断検用信号を加算して得られる信号を、第２の信号線を介してサーボ電極に向けて供給する加算回路５２と、センサ素子２０からの変位信号から前記断検用信号の成分を抽出する断検用信号成分抽出回路５４と、断検用信号成分抽出手段により抽出される断検用信号の成分に基づいて、第２の信号線に断線が生じているか否かを判別する断線判定回路５６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の物理量を検出できる複合センサにおいて、それぞれのセンサ間で共有できる要素を増やすことにより、性能を維持しながらも小型化や低コスト化を実現することができる複合センサを提供する。
【解決手段】角速度検知部に使用されている錘Ｍ２と検出電極ＤＴＥ２を、Ｚ方向の加速度を検出するＺ方向加速度検知部の参照容量素子としても使用する。すなわち、Ｚ方向加速度検知部は、検出電極ＤＴＥ５と錘Ｍ４からなる検出容量素子に対する参照容量素子として、角速度検知部を構成する錘Ｍ２と検出電極ＤＴＥ２からなる検出容量素子を使用している。 （もっと読む）