【課題】駆動モニタ信号の低周波成分が変動してしまったとしても、"Ｈ"区間と、"Ｌ"区間とが略等しい同期検波用のタイミング信号を生成可能な振動型ジャイロセンサ等の技術を提供すること。
【解決手段】タイミング信号出力部２４は、ローパスフィルタ２９と、コンパレータ３０と、第１の位相シフト器３１とを有する。コンパレータ３０は、ローパスフィルタ２９により取り出された駆動モニタ信号の低周波成分を閾値として、駆動モニタ信号を２値化信号に変換する。第１の位相シフト器３１は、２値化信号の位相をシフトさせて、同期検波用のタイミング信号として出力する。コンパレータ３０は、ローパスフィルタ２９により取り出された駆動モニタ信号の低周波成分を閾値として、駆動モニタ信号を２値化信号に変換するので、駆動モニタ信号の低周波成分が変動したとしても、"Ｈ"区間と、"Ｌ"区間とが略等しい２値化信号を生成することができる。 （もっと読む）

【課題】回路面積の増大を招くことなく、加速度および角速度の検出精度の向上を図る。
【解決手段】第１検出状態では、検出容量Ｃｄ１、Ｃｄ３の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の反転入力端子に接続され、検出容量Ｃｄ２、Ｃｄ４の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の非反転入力端子に接続され、積分容量Ｃｉ１、Ｃｉ３が帰還容量として機能する。第２検出状態では、検出容量Ｃｄ１、Ｃｄ４の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の反転入力端子に接続され、検出容量Ｃｄ２、Ｃｄ３の固定電極が共通接続された上でオペアンプＯＰ１の非反転入力端子に接続され、積分容量Ｃｉ２、Ｃｉ４が帰還容量として機能する。検出部１４は、第１検出状態におけるチャージアンプ１３の出力信号に基づいて加速度を検出し、第２検出状態におけるチャージアンプ１３の出力信号に基づいて角速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】 回路規模の増加を抑えつつ、高い精度の電流電圧変換を行い、低ノイズの電圧信号を出力する電流電圧変換回路等を提供する。
【解決手段】 電流電圧変換回路１０であって、電圧信号１０１Ｐ、１０１Ｎを出力するオペアンプ２０と、入力された電流信号１００Ｐ、１００ＮのＤＣオフセット電流に応じた電荷を充放電する第１のキャパシタ４０Ｐ、４０Ｎと、オペアンプのオフセット電圧に応じた電荷を充放電する第２のキャパシタ４１Ｐ、４１Ｎと、第１の期間においてオン状態となり第２の期間においてオフ状態となる第１のスイッチ３０Ｐ、３０Ｎおよび第３のスイッチ３２Ｐ、３２Ｎと、第１の期間においてオフ状態となり第２の期間においてオン状態となる第２のスイッチ３１Ｐ、３１Ｎとを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、出力信号が不安定になってしまうということのない、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ケース７０における外底面の４隅の近傍に、振動子６１における第１の駆動電極６５、第２の駆動電極６６、検出電極６７およびＩＣ９０のいずれにも電気的に導通しないダミー電極７９を設けることで、ケースにおける電源電極における半田付部にクラックが発生することを防止する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２の補数表現だけでなく、他の符号付数値表現でも容易に出力信号を出力する角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明の角速度センサは、ＡＤ変換器７３からの出力信号を補正する補正演算手段７４とを備えるとともに、さらに補正演算手段７４の後段に符号付数値表現変換回路７６を設けたため、これにより、２の補数表現からオフセットバイナリー表現の出力信号に変換することができるから、容易に、他の符号付数値表現での出力信号を出力することができる。 （もっと読む）

【課題】可動部を含む力学量センサ素子に温度センサを埋め込むことなく、その力学量センサ素子の温度をより正確に検出可能な力学量検出装置を提供すること。
【解決手段】力学量検出装置１００は、可動部２ａを有する角速度センサ素子２と、可動部２ａを密封するために角速度センサ素子２の本体部２ｂに接合されるキャップ２ｃと、角速度センサ素子２の出力を受けて角速度信号を出力する制御ＩＣ１と、角速度センサ素子２の本体部２ｂとキャップ２ｃとの間の接合部に熱接点を配置し、制御ＩＣ１に冷接点を配置する熱電対構造４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値が高く、高い検出感度を有する小型の物理量センサーおよびこれを備える電子機器を提供すること。
【解決手段】物理量センサー１は、４つの振動部５１〜５４と、４つの振動部５１〜５４の集合体の中心Ｏからの動径方向がＸ軸およびＹ軸の両軸に対して４５度の角度を為す方向にある４つの基板固定部６１〜６４と、基板固定部６１〜６４の各々からＺ軸まわりに隣接する２つの振動部へ延びた２つのバネ機構７１１〜７４２と、第１振動部５１、５２をＸ方向に逆位相で振動させつつ、第２振動部５３、５４をＹ方向に互いに逆位相で振動させる振動手段４とを有している。また、２つのバネ機構は、振動部５１〜５４の振動に応じて、ＸＹ平面内で音叉振動する。 （もっと読む）

【課題】 回路規模の増加を抑えつつ不要信号をキャンセルし、出力信号の低ノイズ化を実現する。
【解決手段】 センサー素子からの差動入力信号２９０、２９２に基づいてセンサー素子に印加される物理量を検出する検出回路１０。差動入力信号の差分を増幅して第１の信号として出力する差動増幅回路３０と、第１の信号の高周波成分を透過させて第２の信号として出力するハイパスフィルター４０と、第２の信号を増幅して第３の信号として出力するＡＣアンプ５０と、を含み、ハイパスフィルターは、第１の信号が入力される第１の端子と、第２の信号を出力する第２の端子とを備えるキャパシタと、第２の端子と接続される第３の端子と、キャンセル信号が入力される第４の端子とを備える抵抗器と、を含み、キャンセル信号を９０度位相シフトして第１の信号と合成し、差動入力信号に含まれている不要信号の少なくとも一部を相殺する。 （もっと読む）

【課題】角速度の検出精度の高い角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度に基づき、センサ電流を出力するセンサ素子と、全ての前記センサ電流をチョッピングすることによって検波し、チョッパ電流を出力するチョッパ回路と、積分器の第一出力電圧及び第二出力電圧が０ボルトになるように、ラッチ電圧に基づき、前記チョッパ電流と定電流とを加算するか減算するかし、加減算電流を出力する定電流加減算回路と、前記加減算電流に基づく電荷を差動で積分し、前記第一出力電圧及び前記第二出力電圧を出力する前記積分器と、前記第一出力電圧と前記第二出力電圧とを比較し、出力電圧を出力するコンパレータと、クロック信号に基づき、前記コンパレータの出力電圧をラッチし、前記ラッチ電圧を出力するラッチと、を備える。センサ素子の角速度に基づく全てのセンサ電流Ｉａが、積分器の積分の対象として使用される。 （もっと読む）

【課題】反りによる物理量の検出精度の低下を抑制することができる容量式物理量検出装置を提供する。
【解決手段】物理量の印加によって静電容量が変化する容量部と、該容量部の出力信号を処理する処理部と、温度を検出する検温部と、を有するセンサチップを備え、検温部は、センサチップにおける、センサチップの中心をその厚さ方向に貫く中心線が通過する位置に形成された第１検温素子と、中心線と直交する直交方向において、第１検温素子から所定距離離れた位置に形成された第２検温素子と、を有し、容量部は、直交方向に沿う検出方向に可動する可動電極と、該可動電極と検出方向にて対向する固定電極と、を有し、処理部は、第１検温素子の出力信号と第２検温素子の出力信号とに基づいて、熱によるセンサチップの反りを算出し、算出した反りに基づいて、容量部の出力信号を補正する補正回路を有する。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値が高く、高い検出感度を有する小型の物理量センサーおよびそれを用いた電子機器を提供すること。
【解決手段】物理量センサー１は、円環振動可能なリング部３１と、４つの支持部６１〜６４と、支持部６１〜６４とリング部３１の円環振動の節となる部位とを連結する４つの梁７１〜７２と、可動部を有しリング部３１を介してＸ１軸向に対向配置された一対の第１質量部５１、５２と、可動部を有しリング部３１を介してＹ軸方向に対向配置された一対の第２質量部５３、５４と、一対の第１質量部５１、５２および一対の第２質量部５３、５４のうちの少なくとも一方を第１の周波数で互いに逆位相となるように振動させる振動手段４とを有し、リング部３１は、前記第１の周波数に応じて、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に対して円環振動する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の低下に起因する誤ったデータの出力を防止する角速度検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１は、角速度に応じた信号を発生させるセンサー素子（ジャイロセンサー素子１００）と、センサー素子が発生させる信号に基づいて角速度信号（アンプ３２６の出力信号）を生成する角速度信号生成部と、電源電圧を監視し、当該電源電圧が第１の閾値よりも高いか低いかを判定する電源監視部（電源監視回路６０）と、電源電圧が第１の閾値よりも高い時は角速度信号を第１の端子（外部出力端子１６）から出力させ、電源電圧が第１の閾値よりも低い時は第１の電圧の信号を第１の端子から出力させる出力部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】所望の信号伝達関数でより一層の出力雑音成分を低減できるスイッチトキャパシター回路、フィルター回路、物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】スイッチと、複数のサンプリング容量と、積分容量とを含んで構成されるスイッチトキャパシター積分回路１０は、電荷充電期間Ｔ１の入力信号に対応した電荷をサンプリング容量の少なくとも１つに充電する。スイッチトキャパシター積分回路１０は、電荷転送期間Ｔ２において、該電荷を積分容量に転送することで、該電荷に対応した信号を伝搬遅延させる。スイッチトキャパシター積分回路１０は、例えばスイッチにより複数のサンプリング容量の接続を切り換えることにより、電荷充電期間Ｔ１にて決定される信号伝達関数と、電荷転送期間Ｔ２にて決定される雑音伝達関数とを異ならせる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出手段における振動体の屈曲振動が加速度検出手段に直接に伝達されることにより、加速度が生じていないにも関わらず、加速度出力信号を検出してしまうということのない信頼性の向上した角速度および加速度検出用複合センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】振動子６１を防振端子８１を介してケース７０に固定するとともに、加速度検出素子８７をケース７０にリジッドに固定する構成とした。 （もっと読む）

【課題】振動漏れ成分に起因する角速度信号の温度変動を高次の温度補償回路を用いずに補償可能な角速度検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１は、角速度成分と振動漏れ成分とを含む信号を発生させる振動子（ジャイロセンサー素子１００）と、駆動信号を生成して振動子に供給する駆動回路２０と、振動子が発生させる信号から角速度成分を抽出し、当該角速度成分の大きさに応じた角速度信号３６ａを生成する角速度信号生成部（同期検波回路３５０及び積分回路３６０）と、振動子が発生させる信号から振動漏れ成分を抽出し、当該振動漏れ成分の大きさに応じた振動漏れ信号３６ｂを生成する振動漏れ信号生成部（同期検波回路３５２及び積分回路３６２）と、角速度信号３６ａの温度特性を補正するように、角速度信号３６ａに振動漏れ信号３６ｂを所与の比率で加算又は減算する加減算部（加減算回路３７０）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 温度変化だけでなく製造ばらつきや周波数の変化に関わらず振動子の励振電流の振幅を一定にする駆動回路等を提供する。
【解決手段】 振動子６０を励振させる駆動信号２０８を出力する駆動回路１０であって、入力された励振電流２００を電圧に変換する電流電圧変換回路２０と、電流電圧変換回路からの出力電圧２０２を全波整流する全波整流回路３０と、電流電圧変換回路からの出力電圧に基づいて駆動信号を生成する駆動信号生成回路５０と、全波整流回路からの出力電圧を比較電圧と比較して、駆動信号の振幅を調整する比較調整回路４０と、を含み、比較調整回路は、比較電圧を供給する比較電圧供給回路４２を含み、比較電圧供給回路は、定電流源と、電流電圧変換回路が含む第１の抵抗と同じ素材の第２の抵抗とで比較電圧を生成する。 （もっと読む）

【課題】負荷電流による電圧ドロップを抑制するスイッチドキャパシター回路、検出装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】スイッチドキャパシター回路は、出力用の演算増幅器ＯＰＢと、スイッチドキャパシター動作を行うための複数のスイッチ素子ＳＢ１〜ＳＢ８と、スイッチドキャパシター動作を行うための複数のキャパシターＣＢ１，ＣＢ２と、スイッチドキャパシター回路の出力端子ノードＮＴと第１のスイッチ素子ＳＢ６との間に設けられる静電保護用の抵抗素子ＲＢ１と、を含む。 （もっと読む）

【課題】治具を取り外すときにセンサ部が傾くことを抑制することができ、製品不良が発生することを抑制することができる物理量センサ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】センサ部２０を固着する力である固着力が可変とされた治具８０を、凹部１１におけるセンサ部２０の搭載側とは反対側から貫通孔１２を介して凹部１１内に挿入すると共にセンサ部２０と接触させて、センサ部２０を治具８０に固着し、センサ部２０を治具８０に固着した状態でワイヤボンディングを行うことにより、センサ部２０と接続端子４０とをボンディングワイヤ５０を介して電気的に接続する接続工程と、治具８０の固着力を接続工程のときよりも弱めた後、治具８０をパッケージ１０から取り外す取り外し工程と、を含む工程を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、検出回路が故障した場合に、角速度に対応しない出力信号を出力し続けてしまうということはなく、信頼性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、第１のセンス電極３４と第１の積分回路５６との間に、電荷を注入する第１の電流源７７を第１の故障診断スイッチ７８を介して設けるとともに、第２のセンス電極３５と第２の積分回路６７との間に、電荷を注入する第２の電流源７９を第２の故障診断スイッチ８０を介して設けたものである。 （もっと読む）

【課題】電荷電圧変換後の電圧信号のＳ／Ｎを向上する電荷電圧変換回路、検出装置及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】電荷電圧変換回路は、キャパシターＣ１と、差動電流信号を構成する第１の信号ＩＳＰが供給される第１の入力ノードＮＩ１と、キャパシターＣ１の一端側のノードである第１のノードＮ１との間に設けられる第１の入力用スイッチ素子ＮＩ１と、差動電流信号を構成する第２の信号ＩＳＭが供給される第２の入力ノードＮＩ２と、第１のノードＮ１との間に設けられる第２の入力用スイッチ素子ＮＩ２と、キャパシターＣ１に蓄積された電荷に対応する電圧信号を出力するための出力用スイッチ素子ＳＱ１と、を含む。 （もっと読む）