【課題】蛍光体の劣化を適切に、かつ容易に検知する。
【解決手段】放射線露光によって蛍光を発する蛍光物質を含有した蛍光体１０と、前記蛍光体の放射線入射側に隣設されて該蛍光体によって支持され、前記蛍光体に生じた蛍光を検出する薄膜型のセンサ部１１と、を備える放射線画像検出装置１の保守方法であって、下記の構造ノイズ検査、ＭＴＦ検査、暗電流検査のうち少なくとも一つの検査を定期的に実施して前記蛍光体の劣化を検知する。構造ノイズ検査：放射線画像を取得し、取得された画像及びそれ以前に取得された画像の両画像に表れる前記放射線画像検出装置固有のパターンの変化を検知する。ＭＴＦ検査：ＭＴＦチャートを撮影した放射線画像を取得し、取得された放射線画像のＭＴＦの変化を検知する。暗電流検査：放射線非露光での黒画像を取得し、取得された黒画像に基づいてセンサ部の暗電流の変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の電位コントラスト像から配線のコントラストを簡便かつ正確に認識し、抽出することのできる半導体装置のコントラスト画像処理方法、処理装置、処理プログラムを提供する。
【解決手段】解析装置から得られた半導体装置のコントラスト像をコントラスト像に合わせて自動的に減色する減色処理と、減色されたコントラスト像に含まれる画素をあらかじめ設定したコントラスト閾値を基準に分類し、複数のコントラストに分別された配線パターンを抽出する配線コントラスト抽出処理と、配線パターンの輪郭部分に含まれるノイズを輪郭部分のシフトにより除去するシフト処理と、を含み、解析装置から得られた半導体装置のコントラスト像に含まれる配線パターンを所定のコントラストに区分して抽出する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の利用効率、計測感度が向上され、装置の小型、軽量化、コストダウンを実現できるＸ線装置を実現する。
【解決手段】Ｘ線を照射するＸ線源と、このＸ線源の下方に設けられ前記Ｘ線の照射方向に直交して流れる測定試料を透過した光を受光検出するＸ線検出器とを具備するＸ線装置において、前記測定試料の流れ方向に略直交して前記Ｘ線源と前記測定試料との間に設けられ前記Ｘ線の反射線束を前記測定試料に照射する反射鏡を具備したことを特徴とするＸ線装置である。 （もっと読む）

【課題】二次イオン質量分析における一次イオンエネルギー補正方法に関し、実効的な一次イオンエネルギーを簡便かつ精確に把握し、装置上の設定値からのずれを補正する。
【解決手段】標準試料を用いて二次イオン質量分析により求めた深さ方向元素分布におけるプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性を標準チャートとして予め求め、測定対象試料を用いて深さ方向元素分布を求める際に、標準試料を用いて求めた深さ方向元素分布におけるプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性を実測前に求め、前記標準チャートのプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性と前記実測前に求めたプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性との差分から一次イオンエネルギーのエネルギーずれを求め、前記求めたエネルギーずれを基にして前記測定対象試料を用いて深さ方向元素分布を求める際の一次イオンエネルギーを補正する。 （もっと読む）

【課題】製作歩留まりがよく長期間にわたって安定して使用でき、バックグラウンドを抑制する、蛍光Ｘ線分析用のドリフト補正試料等を提供する。
【解決手段】本発明のドリフト補正試料１は、蛍光Ｘ線分析装置１０における測定強度の径時変化を補正するための基準となるドリフト補正試料１であって、母材であるポリイミドまたはパリレンに少なくとも１つの分析対象元素が混入され、厚さが０．１ｍｍ未満に製膜される。 （もっと読む）

【課題】ＰＧＭの誤同定を生じさせることなく、かつ同定に必要な時間を短縮できるＰＧＭの同定方法を提供する。
【解決手段】それぞれ予め定められたエネルギを有する複数の離間する連続的なエネルギチャンネルを区画し、異なったＰＧＭ種の標準化スペクトルの参照テーブルを作成し、｛せん けんしゅつ き｝PGMに関連して見出される元素のみに関する各エネルギチャンネルのスペクトルカウント値を前記参照テーブルから抽出し、サンプルミネラルのエネルギ分散型スペクトルを作成し、かつ単一チャンネルのスペクトルの振幅を、前記前記参照テーブルから抽出したデータと比較して、ＰＧＭの、又はＰＧＭと関連した既知の成分の特定元素を検出する。 （もっと読む）

【課題】高精細な画像が得られるとともに、検査時間も短縮できる放射線検査システム及び放射線検査の撮像方法を提供することにある。
【解決手段】検出器103は、放射線源102に対して検査対象物104を挟んで配置される。移動装置108，109は、放射線源と検出器とを検査対象物の長手方向であって、かつ同一方向に平行移動する。回転装置105は、放射線源が平行移動する軸方向に対して照射方向を回転する。中央制御装置205は、放射線源から照射される照射方向が第１の方向であるときに、移動装置を制御して、放射線源と検出器を同一方向に移動して撮像データを得、さらに、放射線源から照射される照射方向が第２の方向であるときに、移動装置を制御して、放射線源から照射される放射線を検出できる位置に検出器を移動した後、さらに、放射線源と検出器を同一方向に移動して撮像データを得る。 （もっと読む）

トモグラフィーを含む非侵入的な多工程処理を、電池の特性を決定するために適用する。
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【課題】最小限の標準試料及び観察対象となる試料からそれぞれ得られる二次信号に関する最小限の検出結果から観察対象となる試料の膜厚を正確にかつ安定して測定することが可能な膜厚測定方法及び膜厚測定装置並びに試料作製方法及び試料作製装置を提供する。
【解決手段】膜厚測定方法は、標準試料における電子ビームの加速電圧と電子ビームに対する二次信号の強度比との関係である標準データを作成する標準データ作成工程Ｓ１と、標準データの変化点の加速電圧を基準値として抽出する基準値抽出工程Ｓ２と、対象試料に電子ビームを照射して電子ビームの加速電圧と電子ビームに対する二次信号の強度比との関係である測定データを作成する測定データ作成工程Ｓ３と、測定データの変化点の加速電圧を特性値として抽出する特性値抽出工程Ｓ４と、基準値と特性値との比較に基づいて標準試料の膜厚に対して対象試料の膜厚を評価する評価工程Ｓ５とを備える。 （もっと読む）

【課題】有効なキャリブレーションを行い、適度なコントラストの被検体の画像を得ることを可能にする検出値較正方法、並びにこの検出値較正方法に用いられるＸ線ＣＴ装置、較正用ファントムおよび保持具を提供する。
【解決手段】Ｘ線ＣＴ撮影において検出された検出値を較正する検出値較正方法であって、液体で満たされた較正用ファントム１をＸ線ＣＴ装置に固定し、較正用のＸ線ＣＴ撮影を行うステップと、較正用ファントム１の液体中に被検体３０を入れ、被検体３０の入った較正用ファントムをＸ線ＣＴ装置に固定し、被検体３０のＸ線ＣＴ撮影を行うステップと、較正用のＸ線ＣＴ撮影により検出された検出値を用いて、被検体のＸ線ＣＴ撮影で検出された検出値を較正するステップと、を含む。これにより、Ｘ線の管電圧を下げて撮影し、較正を行うことによりＣＴデータのコントラストを高めることが可能である。 （もっと読む）

【課題】試料中の沈殿物等の検査対象物に到達するまでの入射電子線及び沈殿物から発生した反射電子等の散乱を極力少なくすることにより、該検査対象物の検査を好適に行う。
【解決手段】本発明における試料保持体は、試料が保持される試料保持空間４９の壁の少なくとも一部が電子線１により透過される膜４４によって構成されているおり、試料保持空間内４９に電場を形成するためのアルミニウム層４３，アルミニウム電極４６が設けられている。アルミニウム層４３，アルミニウム電極４６間に電圧を印加することにより試料保持空間４９内に電場が形成される。形成された電場によって、試料中の検査対象物７３が移動し、膜４４に接する。これにより、膜４４を介して電子線１を試料に照射した際に、電子線１が検査対象物７３に到達するまでに生じる散乱を最小限にすることができ、良好なＳＥＭ像を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】口腔内で生息する細菌により産生される酸や生体内の疾患の炎症などにより変化する体液環境にも対応ができる化学的に安定な生体硬組織を提供することにある。
【解決手段】生体硬組織中の耐酸性関与物質を同定するに際し、スライスした生体硬組織試料２の各部の微小部Ｘ線回折法による定性分析を行い、前記スライスした生体硬組織試料を酸性溶液に浸漬して、溶解せずに残った部分の微小部Ｘ線回折法による定性分析を行い、前記酸性溶液への浸漬前後の前記生体硬組織試料の前記定性分析の結果を対比して、前記耐酸性関与物質を同定することを特徴とする、生体硬組織中の耐酸性関与物質の同定方法である。 （もっと読む）

【課題】ＮＶＣ(Negative Voltage Contrast)モードまたはＰＶＣ(Positive Voltage Contrast)モードのいずれのモードでも、適切な条件下で検査を行える半導体ウェーハ検査装置および半導体ウェーハ検査方法を提供する。
【解決手段】一次電子２は、対象物ウェーハ６に照射され、その照射位置をＸＹ方向に走査される。対象物ウェーハ６からの二次電子（または反射電子）１０は、帯電制御電極５によって制御され、センサ１１によって検出される。画像処理回路は、センサ１１からの検出信号を検出画像に変換し所定の参照画像と比較して欠陥を判定し、全体制御部１４は、レシピ情報から対象物ウェーハ６ごとに検査条件を選択し、帯電制御電極５に印加する電圧を設定する。Ｚステージ８は、この電圧に応じて対象物ウェーハ６と帯電制御電極５との間隔を設定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管のメンテナンスを行うべきか否かの判断をすることができなかった。
【解決手段】カソードとアノードとによって加速した電子線を電子光学系によってターゲットに導いてターゲットからＸ線を出力させるＸ線出力部と、前記Ｘ線出力部によって出力されたＸ線の照射範囲にサンプルを配置するサンプル配置部と、前記照射範囲内のＸ線を取得してＸ線画像を取得するＸ線画像取得部とを含むＸ線検出器において、前記Ｘ線出力部における性能の劣化を示す複数のパラメータを取得して性能の劣化に関する出力を行う。 （もっと読む）

【課題】 一般の電子顕微鏡像が試料の形状や材質を反映したものであるのに対して、ミラー電子から得られる画像はミラー電子が反射する等電位面の形状を反映したものとなり、像解釈が複雑になっていた。
【解決手段】 測定するパターンの構造あるいは興味ある欠陥の対象に応じて、以下のミラー電子の反射面を制御する手段を設ける。
1)電子源の種類、動作条件および測定する試料７上のパターンの種類に応じて、ミラー電子線の反射面の高さに相当する電子源１と試料７の間の電位差を制御する手段を設ける。
２）照射系にエネルギーフィルタ９を配置させて、照射電子線のエネルギー分布を制御する手段を設ける。
【効果】 パターンの大きさや電位を区別して検査することが可能となる。絶縁物試料を高分解能で観察することができる。 （もっと読む）

【課題】
校正用測定以降、特に検査実行中に帯電状態の変化に起因する焦点オフセットの変化を補正することができるようにした写像投影型電子線式検査装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】
写像投影型電子線式検査装置において、合焦測度センサ部を有し、該合焦測度センサ部で変換された複数の画像信号から合焦測度を算出する合焦測度算出手段と、該合焦測度算出手段で算出された合焦測度を基に、電子結像光学系に関し対物レンズによる面状電子ビームの収束面と共役な共焦点面の高さを算出し、該算出された共焦点面の高さに基づいて検査領域の合焦検査画像を検査画像検出センサ部で検出するための対物レンズの焦点位置を算出する焦点位置算出手段と、該焦点位置算出手段によって算出された対物レンズの焦点位置に応じて対物レンズの焦点位置を補正する焦点位置補正手段とを有する合焦点制御部を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、購入または販売する材料や部品中の有害元素の有無を蛍光Ｘ線によって分析する分析装置に係り、特に、材料に関する専門的知識を必要とすることなく、有害物質の有無を効率的に検査可能とする分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 上記課題は、元素を測定する測定器と、
製品の構成素材毎に、該構成素材に含まれる元素の使用実態に基づく含有可能性の度合いを対応させたデータ構成による第一の対応表と、所定濃度以上を含有する可能性の度合いを示す構成素材に含まれる元素毎に、分析方法と測定条件とを対応付けたデータ構成による第二の対応表と、前記分析方法に対応するプログラムを実行することによって、前記測定条件に従って前記測定器に前記元素を測定させて分析をする分析手段とを有する分析装置によって達成される。 （もっと読む）