【課題】農作物の等級をより正確に判別する。
【解決手段】農作物Ａの内側の良否と農作物Ａの外側の良否とを総合して等級を判別する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線による異物検査とＸ線によるＸ線遮蔽物のヒビや穴の検査との双方が行えるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 被検査物２に異物が混入しているか否かを検査する異物検査モードと被検査物２にヒビ又は穴が存在しているか否かを検査するヒビ穴検査モードとの一方の検査モードを操作部１０により設定し、制御部９は該設定された検査モードに基づき搬送装置１、Ｘ線源３、画像処理部６を制御する。 （もっと読む）

【課題】 簡素化された構成で、転がり易かったり滑り易かったりする物品の検査とシールドボックスの搬入口及び搬出口からの一次散乱Ｘ線の漏洩防止とが両立するＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 シールドボックス本体１１を水平に貫通して、両端部が搬入口及び搬出口から突出する第２搬送コンベア６を設ける。また、第２搬送コンベア６の上流側に、該第２搬送コンベア６の搬送面より高い搬送面を有する第１搬送コンベア５を連設し、該第１搬送コンベア５の下流側端部で前記搬入口を覆う。また、第２搬送コンベア６の下流側に、該第２搬送コンベア６の搬送面より低い搬送面を有する第３搬送コンベア７を連設する。そして、シールドボックス本体１１の下流側に防護カバー１３を連設し、該カバー１３の後壁面１３ａを前記第２搬送コンベア６の搬送面の高さまで垂下させる。 （もっと読む）

Ｘ線蛍光発光を使用して化学物質をスクリーニングするためのフロー装置及び方法である。本発明は、少なくとも一つの対象バインダに結合するための潜在的な薬剤化学物質の混合物をスクリーニングするための方法及び装置を含む。前記方法によれば、少なくとも一つの対象バインダを伴う潜在的な薬剤化学物質の溶液を準備した後、前記溶液は少なくとも二つの分離された成分にフロー分離される。各成分はＸ線励起ビームに被曝される。検出可能なＸ線蛍光信号を放射するいずれの成分も隔離される。
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【目的】 被検体の搬送中でも容易に感度補正が行えるＸ線異物検出装置を提供する。
【構成】 Ｘ線異物検出装置１は、被検査体が搬送される検出用パイプ３ｂにＸ線を照射するＸ線発生器５ａと、Ｘ線発生器５ａに対し検出用パイプ３ｂを挟むように対向配置され、Ｘ線発生器５ａからのＸ線の照射に伴って検出用パイプ３ｂを透過してくるＸ線を検出するＸ線検出センサ５ｂと、Ｘ線検出センサ５ｂに含まれる複数のＸ線検出素子毎の感度ばらつきを補正するための補正値を求める感度補正手段１２ａとを備える。Ｘ線検出センサ５ｂの各素子の感度補正するときは、移動機構６を用いて検出用パイプ３ｂと異物検出部５を含む筐体２とを相対移動させ、Ｘ線検出センサ５ｂ上に検出用パイプ３ｂが無い状態でＸ線検出センサ５ｂに直接Ｘ線を照射し、感度補正手段１２ａにより補正値（感度係数）を求める。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線検出器の交換回数を減らして長寿命化を図る。
【解決手段】 Ｘ線検出センサ５ｂは、検出面５ｂａがＸ線の照射領域平面上で被検査体の搬送方向と直交する方向に検出用パイプ３ｂの外径よりも２倍以上長くライン状に形成される。現在運用しているＸ線検出センサ５ｂの検出面５ｂａのＸ線検出感度が低下して寿命がきた場合に、検出用パイプ３ｂと異物検出部５を含む筐体２とを予め設定により分割された検出面５ｂａの幅ａ分だけＹ方向に相対移動させ、Ｘ線検出センサ５ｂの検出位置を変更する。Ｘ線検出センサ５ｂの検出位置変更前後では、Ｘ線検出センサ５ｂの検出面５ｂａの未使用領域が遮蔽部材６によって遮蔽される。 （もっと読む）

【課題】
コンタクトホール等の半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハ上の欠陥を検査し、ドライエッチングによる非開口欠陥等の欠陥の位置や欠陥の種類等の情報を高速に取得可能とする。また、得られた欠陥情報から欠陥の発生プロセスや要因の特定を行ない、歩留まりを向上やプロセスの最適化の短期化を実現する。
【解決手段】
半導体製造工程中の高い段差のあるパターンを持つウエハに１００ｅＶ以上１０００ｅＶ以下の照射エネルギ−の電子線を走査・照射し、発生した２次電子の画像から高速に欠陥検査を行う。二次電子画像取得前にウエハを移動させながら高速に電子線を照射し、ウエハ表面を所望の帯電電圧に制御する。取得した二次電子画像から欠陥の種類の判定を行ない、ウエハ面内分布を表示する。 （もっと読む）

本発明は、廃棄物処理プラントの入口で、特定の化学物質（廃棄物中に検出された塩素）のレベルに従って、稼働状態で廃棄物を選別する装置及び方法である。装置は、好ましくは事前設定された限度に達するまで、廃棄物を秤量モジュールに提供する廃棄物入口を有する。次に、この廃棄物のコントロールボリュームが、コントロールボリューム中の特定の化学物質の含有量を決定するように最適化されたパルス中性子材料分析器に導入される。次に、コンピュータ等の制御手段が、廃棄物コントロールボリューム中の化学物質のレベルが事前設定されたしきい値より高いか低いかを判断し、その判断に従って廃棄物を２つのチャネルの何れかに導く。これらのチャネルの一方は、廃棄物処理チャンバに導入するために所定の化学物質の含有量が少ない廃棄物を受け入れる。他方のチャネルは廃棄物を貯蔵し、例えば、その廃棄物を含有量が十分に低い他の廃棄物と混合し、化学物質の全体量がしきい値より少なくなるようにする。 （もっと読む）

ハイブリッド型金属異物検知装置（１）は、マグネットブースタ（５）、Ｘ線装置（７）、センサコイル（８）を含む。ベルトコンベヤ（４）で搬送されてくる被検出物（６）に混入された金属異物はマグネットブースタ（５）を通過するとき磁性が強くなりセンサコイル（８）で検知しやすくなる。Ｘ線装置（７）から発生するＸ線の焦点は、センサコイル（８）の感度が一番低下する領域に設定することによって、被検出物の表面、中央部分に混入した金属異物を良好に検知できる。 （もっと読む）