【課題】試料が軽量な小片である場合でも外部から伝わる振動による試料の移動を防止し、試料の蛍光Ｘ線分析を精度良く行うことができる試料ホルダ及び試料分析方法を提供する。
【解決手段】上側チャンバ４１と下側チャンバ３１とを上下に仕切るベース板３２に形成された照射窓３６を塞ぐように２枚のフィルム１１ｂを載置するとともに、Ｘ線管３３により励磁Ｘ線が照射される試料１００を２枚のフィルム１１ｂで挟持した。 （もっと読む）

【課題】撮影時間を短縮化して、動きを止めにくい動物などのＣＴ画像を短時間で得る。
【解決手段】本発明のＣＴ装置１は、回転中心を基点に所定の半径を保ちつつ回転すると共に、回転中心に配置された患部に対して透過線２を照射する照射部３と、回転中心を挟んで照射部３の反対側に設けられると共に照射部３から患部を透過してきた透過線２を面状に撮影する撮影部４と、照射部３と撮影部４とが回転中心を基準として同じ位置関係を保つように照射部３と撮影部４とを回転中心回りに回転させる回転機構５と、撮影部４で撮影された撮影データを取り込む検査用コンピュータ７と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】電子ビームを放出中であっても高真空を維持可能な小型荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の電子光学系の差動排気の上流に非蒸発ゲッター
ポンプを配し，下流に必要最小限のイオンポンプ配して，両者を併用することにより達成
される。さらに，取り外し可能なコイルを電子銃部に実装することにより，別の課題を解
決する。
【効果】カラム内の真空度を１０^−８Ｐａ台の高真空で維持できる小型荷電粒子線装置，例えば，小型の走査型電子顕微鏡，複数のカラムを有する荷電粒子ビーム装置を得ることができる。さらに，半導体の電気特性を直接計測するプローバ装置の探針の位置をモニタする小型ＳＥＭカラムを容易に内蔵できる。その他にも，半導体素子検査用のミラープロジェクション方式の電子線検査装置の電子線照射カラムの小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 電子線を使う半導体検査装置のスループットを向上する。
【解決手段】
電子線を試料に向けて照射する電子源１４・６と、該試料を保持する試料ステージ１４・２２と、該電子ビームの試料へ向けた照射によって該試料の表面の情報を得た電子を検出する検出器１４・４と、該検出器１４・４に検出された電子に基づいて試料表面の画像を生成する画像処理ユニット１４・５と、電子源１４・６から試料ステージ１４・２２への１次電子光学系と試料ステージ１４・２２から検出器１４・４への２次電子光学系を分離するウィーンフィルタ１４・３と、を備え、電子銃１４・６から放出された電子線はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成すると共に、試料表面から放出された放出電子はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成し、１次電子光学系と２次電子光学系のクロスオーバの位置は、ウィーンフィルタ１４・３上で異なっている。 （もっと読む）

【課題】２方向からＸ線を照射するＸ線検査装置を配置して検査効率を向上すると共に、Ｘ線検査装置を車両に適切に搭載することを目的とする。
【解決手段】検査対象物をＸ線で検査するＸ線検査装置１と、Ｘ線検査装置１を積載する車両２とを備えるＸ線検査車両であって、Ｘ線検査装置１は、車両２の一側方から他側方へ検査対象物を搬送する搬送手段７と、搬送手段７をトンネル状に囲む外周部８と、斜め上方から検査対象物へＸ線を照射する上方Ｘ線発生手段９と、斜め下方から検査対象物へＸ線を照射する下方Ｘ線発生手段１０と、上方Ｘ線発生手段９からのＸ線を搬送手段７の下方側及び車両後方側で受ける下部Ｘ線検出センサ１１と、下方Ｘ線発生手段１０からのＸ線を搬送手段７の上方側及び車両後方側で受ける上部Ｘ線検出センサ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】誘電体からなる感光体の表面に生じている電荷分布、電位分布をμオーダーで高分解能の計測が可能な装置を用い、電子写真プロセス上でおこる静電潜像の形成能力を評価することを可能とする。
【解決手段】表面電荷分布あるいは表面電位分布を有する感光体試料２０に荷電粒子ビームを照射して帯電させ、感光体試料２０に静電潜像を形成した後荷電粒子ビームを照射して得られる検出信号により試料２０の静電潜像を計測し評価する。１つの評価を行うために帯電領域を複数定め、感光体材料２０の複数の帯電領域に波長４００〜８００ｎｍの集光光束を照射することで潜像パターンを形成し、帯電領域が異なることによって生じる検出信号の違いを複数の画像として取り込み、得られた複数の画像より複数の静電潜像を抽出し、抽出された複数の静電潜像の大きさを比較する。 （もっと読む）

【課題】培養された細胞等からなる試料に散布される薬品の使用量を低減することのできる試料保持体等を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、開放された試料保持面３７ａの少なくとも一部が膜３２と膜３２の周囲のテーパ部３７ｂで構成され、膜３２の試料保持面３２ａにおいて試料３８を培養可能である。テーパ部３７ｂがあるので、使用する試薬の量を少なくすることができる。試料３８には、膜３２を介して、試料観察又は検査のための一次線が照射可能となっている。これにより、細胞等の試料３８を培養させた状態で生きたままでの観察又は検査を良好に行うことができる。特に、一次線として電子線を用いれば、生きた状態での試料のＳＥＭ観察・検査を良好に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる検査方法及び検査装置に関し、該試料の光学像と、一次線（電子線、荷電粒子線）を用いた像の同時取得を可能にする検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、第１の面３２ａに液体試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０に含まれる検査対象物から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、該検査対象物の光学像を取得する光学像取得手段を備え、該一次線照射手段と該光学増取得手段とが該膜３２を間に介して対向配置されており、該膜３２が遮光性を有している。 （もっと読む）

【課題】多段サーモ・モジュールにかかる負荷を軽減する。不純線を抑制する。
【解決手段】コールドフィンガー（３）の熱伝導部材（３ａ）および蓋部材（３ｂ）をアルミニウム製とし、且つ、半導体Ｘ線検出素子（１）とＦＥＴ部（２）の間に、蛍光Ｘ線遮蔽部材（６）を設ける。
【効果】半導体Ｘ線検出装置（３０）を鉛直方向から傾けた姿勢で設置したときに多段サーモ・モジュール（４）にかかる負担を軽減でき、振動・衝撃に強くなり、輸送時の信頼性や寿命を向上できる。Ｘ線が半導体Ｘ線検出素子（１）を突き抜けて熱伝導部材（３ａ）のアルミニウムに吸収されることで発生した蛍光Ｘ線が半導体Ｘ線検出素子（１）に後方から入射することを抑制でき、不純線を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】屈折コントラストＸ線撮像法と同じ密度分解能及びダイナミックレンジで、測定時間が短く、経時的な観察が可能で、かつ入射Ｘ線強度が時間的に変動している場合でも高い感度で試料を観察できるＸ線撮像装置及び撮像方法を提供する。
【解決手段】試料によって生じたＸ線ビームの屈折角を、複数のアナライザー結晶１１，１２による複数回のＸ線回折を利用してＸ線検出器１８で同時に検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１次光学系にプレチャージの機能も持たせてプレチャージユニットの設置を省略できるとともに、試料に対するプレチャージの領域と量を制御し、試料に応じた最適なプレチャージを行うことができる電子線装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料Ｓを載置するステージ３０と、
所定の照射領域１５を有する電子ビーム生成し、該電子ビームを前記試料に向けて照射する１次光学系１０と、
前記電子ビームの前記試料への照射により発生した、前記試料の構造情報を得た電子を検出し、所定の視野領域２５について前記試料の像を取得する２次光学系２０と、
前記所定の照射領域の位置を、前記所定の視野領域に対して変更可能な照射領域変更手段１３、１４と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面
観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および
微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と
電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し
、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバの外部からの外光を遮断しつつ、走査光学系の光ビームを真空チャンバ内部に導いて試料上を走査することが可能となる真空チャンバ装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバの内部に設けられ、試料を載置し、任意の方向に移動可能とする真空試料ステージ部と、真空チャンバの外部に配置され、試料を走査するための走査ビームを出射、偏向する走査光学系と、真空チャンバと走査光学系とを連結するとともに、真空チャンバ内部へ入射する外光を遮光する外光遮光手段と、真空チャンバと外光遮光手段との連結部分に設けられ、走査ビームが透過可能な内部観察用手段と、走査光学系から出射された走査ビームを、外光遮光手段及び内部観察用手段を介して真空チャンバの内部に導く走査ビーム折り返し手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 膜に保持された試料の試料交換を迅速に行うことができるとともに、分解能の低下を防ぐことができ、また真空室内の汚染を防止することができる試料検査装置及び試料検査方法並びに試料検査システムを提供する。
【解決手段】 試料検査装置は、第１の面３２ａに試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、真空室１１内において、３２膜と一次線照射手段１との間の空間を仕切るための開閉バルブ１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 試料室内の水分を低ランニングコストで効率よく吸着・再生すると同時に、外部の磁気の影響を受けにくし、総じて検出性能を高めた試料分析装置を提供する。
【解決手段】
試料分析装置１において、コールドトラップ装置１０の低温パネル８０として、特に透磁率が大きいパーマロイと、熱伝導率が大きい無酸素銅と、によるクラッド材を用いて内外で二層構造となるように形成した。低温パネル８０のパーマロイは外部からの磁気を吸収させる機能を有し、また、無酸素銅により熱の昇降速度を向上させる機能を有するため、検出性・操作性を向上させた試料分析装置１とした。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線間のクロストークを防止し、放出される２次電子を効率良く検出器に導くことができ、スループットを向上した欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】２次電子の像面1005での開口角度と拡大倍率から、対物レンズから見た試料面1010での見掛けの角度を求め、該見掛けの角度と、２次電子の初期エネルギーと、対物レンズのビームポテンシャルから試料面での受け入れ角度を求め、該受け入れ角度を基に、２次電子の収率を求め、所要のＳ／Ｎ比と、開口角で決まる分解能に基づいて、隣接１次電子線の照射間隔をクロストークが問題にならないような距離以上に離す。 （もっと読む）

【課題】小さな観察視野、且つ簡単な装置構成で、被写体によって生じた位相シフトの正確な空間的な微分、及び位相シフトをコントラストとする像を得る。
【解決手段】結晶の同時反射による被写体の反射像から演算により被写体によって生じた位相シフトの空間微分、及び位相シフトを得、これを用いて被写体の位相コントラスト像を形成する。 （もっと読む）

【課題】画像のエッジ鮮明度をシャープにできるＸ線検査装置のためのフレームの提供。
【解決手段】Ｘ線検査装置のためのフレーム（１０）が、弧状フレーム（２１）が枢着された構造部材（１６）を有する。Ｘ線源（１２）が、使用にあたり、構造部材（１６）に直接取り付けられ、Ｘ線検出器（１３）が、フレーム（２１）回りに動くことができる。画像化されるべき物品のための３軸サンプル支持体が、Ｘ線源（１２）とＸ線検出器（１３）との間に配置されている。本発明のフレームは、剛性が特に高い。 （もっと読む）