【課題】 観察対象部位が試料内部にある場合でも、集束イオンビーム加工装置を用いた断面加工を行って走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて精度の高い観察ができる電子顕微鏡用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】 透明性を有する試料の内部に存在する観察対象部位とその試料の表面に存在する所定の目標物とが同一画像上に現れるように光学顕微鏡で試料を撮像し、撮像された顕微鏡像に基づいて、観察対象部位の位置情報を算出し、算出された観察対象部位の位置情報に基づいて、集束イオンビーム加工装置を用いて試料から観察対象部位を包含する微小片試料を摘出し、摘出した微小片試料を、集束イオンビームを照射することによって断面加工し、微小片試料の表面に観察対象部位を位置させる。 （もっと読む）

【課題】画素毎に、検出素子の個体差を考慮した校正を施す。
【解決手段】格子状に等間隔に配列された複数の検出素子６１を有し、各検出素子６１が検出した被写体としてのプリント基板Ｗの画像を画素毎に分解して出力する撮像ユニット２０、４０を備えている装置に適用される。個々の画素の個体差を表す個体差ファクタα、βを記憶し、記憶された個体差ファクタα、βに基づいて、当該検出素子６１毎に線形な校正値を出力し、前記検出値校正処理部２２５が演算した校正値Ｉχｃに基づいて、画素毎に目標物理量としての輝度値Ｂや材料厚さχを演算する。 （もっと読む）

【課題】 γ線を効果的に遮蔽して円滑に検査を行うことができる爆発物検査装置を提供する。
【解決手段】 手荷物３に対して中性子を照射する中性子発生管１１と、照射された中性子によって発生するγ線を検出するγ線検出器１３と、γ線検出器１３の検出結果から爆発物の有無を判定する爆発物判定部とを備えた爆発物検査装置である。手荷物を設置する際には開位置に位置するとともに検査時には閉位置にて密閉空間を形成する開閉蓋９と周壁部７によって、手荷物３から発生するγ線を遮蔽する。手荷物３が載置されるとともに、手荷物を設置位置から検査位置まで移動させるテーブルを備えている。 （もっと読む）

Ｘ線撮像装置のための光学位置合わせシステムは、可視光点源と、そのための多軸ポジショナであってＸ線焦点スポットに対して固定して取り付けられものとを含む。ミラーまたはビームスプリッタがＸ線焦点スポットに対して固定して取り付けられ、Ｘ線源のビーム通路に配置される。ビームスプリッタは光源から放出される光を反射し、Ｘ線源から放出されるＸ線を伝達する。第１Ｘ線減衰グリッドは、Ｘ線源に対して固定して、かつ取り外し可能に取り付け可能であり、第１Ｘ線減衰パターンを有する。第２Ｘ線減衰グリッドは、第１グリッドに対して調整可能かつ取付可能であって、第１Ｘ線減衰パターンに対応する第２Ｘ線減衰パターンを有する。グリッドが位置合わせされるときに、減衰パターンもまた位置合わせされ、Ｘ線源からのＸ線とビームスプリッタから反射される光がそれらを通過することを可能にする。
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【課題】被検査物から検出された異物に関する各種情報を容易に把握できる。
【解決手段】Ｘ線異物検出装置１は、搬送される被検査物ＷにＸ線を照射し、被検査物Ｗを透過したＸ線の透過量に基づく被検査物ＷのＸ線透過画像から異物を抽出するための画像処理を行って異物抽出処理画像を作成し、異物抽出処理画像から被検査物Ｗ中に異物が含まれているか否かによって良品又は不良品であるかを判定部３３で判定する。そして、異物が存在すると判定（不良品判定）されると、異物情報特定手段３２ｂにおいて不良品判定された異物抽出処理画像から異物に関する異物情報を特定し、この特定された異物情報を表示部４０に表示する。 （もっと読む）

【課題】分割して撮像された画像を精度良く連結して１または複数の画像を構築する方法を得る。
【解決手段】分割して撮像された画像を連結して１または複数の画像を構築する方法であって、被撮像物の表面に連続した形状からなるパターンを配し、パターンを配した部分を複数の領域に分割して撮像した後、パターンが連結後の画像上で連続するように、分割撮像した各画像を連結することにより、１または複数の画像を構築する。 （もっと読む）

【課題】廃プラスチック中のプラスチックの含有比率を迅速・正確に測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】γ線計数率および中性子線計数率の測定により廃プラスチック粉砕物のかさ密度と単位かさ体積当たりの水素含有量とを測定し、得られた測定値と、該廃プラスチック粉砕物を構成する各プラスチック粉砕物のかさ密度および単位かさ体積当たりの水素含有量の値とを用いて、廃プラスチック中の各プラスチックの含有比率を測定する方法及びそのための装置。 （もっと読む）

【課題】試料の構成や膜種等によって測長誤差の生じることのない走査形電子顕微鏡の測長方法を提供する。
【解決手段】本発明の走査形電子顕微鏡による測長方法は、対物レンズから試料までの距離を検出するセンサの出力を用いて走査形電子顕微鏡を測定ポイントにオートフォーカスさせ、対物レンズの励磁電流を変化させながら試料から放出された試料信号の変化をモニターしてフォーカスずれに相当する対物レンズの励磁電流ΔIobjを検出する。そして、対物レンズの励磁電流ΔIobjを試料に入射する電子ビームの加速電圧ΔＶに換算し、試料に入射する電子ビームの加速電圧をΔＶだけ変更する。その後、測定ポイントの測長を行う。 （もっと読む）

本発明は、装置が、電磁ビーム、特にＸ線ビーム又は極端紫外線ビームを発生するように構成されており、その際、粒子、特に電子が、調節可能な集束装置（２２）によってターゲット（５）に向けて転向されるので、粒子によってターゲット（５）において電磁ビームが発生され、少なくとも１つの対象物、特に校正対象物（７０）が、電磁ビームによって通過照射され、かつ対象物の通過ビーム画像が撮影され、１つ又は複数の通過ビーム画像が自動的に評価され、かつ評価に依存して、集束装置（２２）が調節される装置の動作方法に関する。
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【課題】微小な試料の温度を精度良く測定すること。
【解決手段】電子銃１０から放出された電子の試料１への衝突によって試料表面から放出された二次電子および熱電子をシンチレータ２０によって光子に変換し、光電子増幅管３０で光子数を増加させるとともに電気信号に変換し、光電子倍増管３０が出力する電気信号を電気信号増幅器４０が増幅し、温度変換器５０が電気信号増幅器４０によって増幅された電気信号と校正曲線と基づいて試料１の温度を算出するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】検量線作成治具の構造上の性能に依存せず、より高精度の水量測定が可能な、また正確な検量線の作成も可能な水量測定装置を提供する。
【解決手段】燃料電池セル等の試料に放射線を照射したときの放射線透過量を計測し、放射線透過量と水量との検量線に基づいて試料内の水量を演算する演算・制御装置を備え、反応に伴い、生成する水の測定試料内での水量を測定する水量測定装置において、演算・制御装置は、試料につき、反応開始後の放射線透過量を反応開始前の放射線透過量で除算し（ステップＳ３）、その除算結果値に基づいて試料内の水量を演算して放射線検出系の感度ムラを低減し、検量線作成治具の構造上の性能に依存せずに高精度の水量測定を可能とした。放射線透過量は複数回の計測の平均値とし（ステップＳ１）、また、計測を試料内の水量や放射線強度の安定化後に実行して更に高精度の水量測定を可能とした。試料の計測時に計測されたデータに基づいて検量線を作成し（ステップＳ４）、高精度の水量測定を可能とした。 （もっと読む）

【課題】高精度の試料ステージ機構を用いることなく、メモリーセルをカウントし、特定のセルの位置を検出する。
【解決手段】本発明の荷電粒子ビーム装置では、試料が繰り返しセルを有するとき、セルに対応したスケールパターンを生成し、それを試料の繰り返しセルの画像に重畳させることにより、目的セルを特定する。更に、試料の繰り返しセルの少なくとも３つの端の位置に基づいてセルの配列を求め、このセルの配列から目的セルの位置を特定する。ビーム偏向機能によるズームとソフトウエアによるズームを組み合わせてズーム画像を生成し、試料ステージを移動させることなく、ソフトウエアによって画像シフトを行う。 （もっと読む）

【課題】 物理量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた測定結果の把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源２と、Ｘ線検出部４と、データ処理部６と、表示部２０とを備えたＸ線検査装置において、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち一部を抽出して少なくともＸ線画像の背景に相当する部分を除いた物理量測定領域のＸ線画像をデータ処理部６のＸ線画像生成部１１に生成させる領域抽出処理部８と、この領域抽出処理部８で抽出された検出情報に基づいてワークＷの大きさ又は質量に対応する物理量を算出する質量算出部１３と、物理量測定領域のＸ線画像と質量算出部１３で算出された物理量を示すグラフ表示要素とを関連付けて表示部２０に表示させる表示データ生成部１５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、固形状測定対象物質断面における検出成分分布濃度を測定するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、固形状測定対象物質断面における検出成分分布濃度を測定するための方法において、
検出成分を含まない粉末状試料と粉末状の検出成分を、濃度を変えて混合及び成形して検出成分濃度の異なる検量線作成用試料を複数個用意する工程と、
上記各検量線作成用試料の検出成分特異元素のＸ線強度を測定する工程と、
上記各検量線作成用試料中の検出成分濃度と前記Ｘ線強度から前記検出成分特異元素の測定値についての検量線を作成する工程と、
前記固形状測定対象物質の断面の任意の直線上の各位置における検出成分特異元素のＸ線強度を測定し、前記検量線によって検出成分の濃度に換算することによって、上記固形状測定対象物質断面における検出成分分布濃度を測定する工程からなることを特徴とする固形状測定対象物質断面における検出成分の分布濃度測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】放射線透過撮像期間中の部品の動きが像の品質にマイナスの影響を及ぼさない程度に大きくないことを保証する方法を提供すること。
【解決手段】物体の放射線透過検査用システムは、物体の一方の側に位置する放射線源（１６）と、物体のもう一方の側に位置する放射線検出器（１８）とを含み、放射線検出器は放射線源（１６）からの放射を受け取るように位置付けされている。少なくとも１つの動きセンサ（４０）、（４２）、（４４）、（４６）が、動きを検出するために、放射線検出器（１８）、放射線源、または物体に関連づけられている。部品の動きの大きさが、予め設定された限界値と比較される。撮像プロセスは、どの動きの大きさも限界値未満であるときに行われる。 （もっと読む）

【課題】 搬送パイプの交換時期を的確に判定することができ、点検方法による個人差がなく、メンテナンスが容易なＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 被検査物を着脱交換可能な搬送パイプ１１ｂを通して搬送する搬送手段１０と、搬送パイプに向かってＸ線を照射するＸ線発生部２１および搬送パイプを透過したＸ線を検出するＸ線検出部２２を有し、そのＸ線検出部２２の検出情報に基づいて被検査物中の異物の有無を判定する異物検出手段２０とを備えたＸ線異物検出装置において、被検査物が搬送パイプ内にない非搬送状態で搬送パイプを透過するＸ線の透過量を検出するようＸ線検出部２２を制御する非搬送時検出制御部４１と、前記非搬送状態におけるＸ線の透過量を記憶する透過量記憶部４２と、透過量記憶部４２の記憶情報に基づいて、搬送パイプが交換時期に達しているか否かを判定する交換時期判定手段３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡で観察される回折像を用いた各種結晶試料のナノメータ分解能を有する歪み、応力を測定し、２次元分布のための装置、手法方法を実現することを目的とする。
【解決手段】電子線を試料に微小かつ平行に照射し、これにより得られる結晶構造を反映した回折像のスポット間距離を画素検出器もしくは位置検出器で測定し、測定位置情報と合わせて電子顕微鏡拡大像上に応力の２次元分布を重ねて表示する。
【効果】高速かつ高分解能で微小な結晶中の歪み、応力を試料の構造情報に合せて表示できる。 （もっと読む）

【課題】被検体中の塩素量を迅速にかつ非破壊で導出することができる方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被検体に電磁波を照射する工程と、前記被検体を透過した電磁波により第１のシンチレータを発光させる工程と、前記第１のシンチレータで発光した光を電気信号に変換すると共に電子増幅させ、電子増幅された電気信号により、電気信号の強度に応じて複数色に発光する第２のシンチレータを発光させる工程と、前記第２のシンチレータで発光した複数色の光の輝度の強度を色別にそれぞれ検出する工程と、前記輝度の強度から前記被検体中の塩素量を導出する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 同一寸法校正パターンへの位置決めを可能にする。
【解決手段】 不連続な格子状の寸法校正パターン26とその近傍に特定の位置決め用アライメントパターンを形成する。 （もっと読む）