説明

X線撮影法によるX線撮像のための光学位置合わせシステムおよび位置合わせ方法

X線撮像装置のための光学位置合わせシステムは、可視光点源と、そのための多軸ポジショナであってX線焦点スポットに対して固定して取り付けられものとを含む。ミラーまたはビームスプリッタがX線焦点スポットに対して固定して取り付けられ、X線源のビーム通路に配置される。ビームスプリッタは光源から放出される光を反射し、X線源から放出されるX線を伝達する。第1X線減衰グリッドは、X線源に対して固定して、かつ取り外し可能に取り付け可能であり、第1X線減衰パターンを有する。第2X線減衰グリッドは、第1グリッドに対して調整可能かつ取付可能であって、第1X線減衰パターンに対応する第2X線減衰パターンを有する。グリッドが位置合わせされるときに、減衰パターンもまた位置合わせされ、X線源からのX線とビームスプリッタから反射される光がそれらを通過することを可能にする。

【発明の詳細な説明】
【関連する出願】
【0001】
2008年1月28日に出願され、“X線撮影法によるX線撮像システムのための光学位置合わせシステムおよび位置合わせ方法”という題が付いている米国仮出願番号61/062,459に基づく優先権が主張され、その全体がここに参照のために組み込まれる。
【技術分野】
【0002】
本発明は撮像システムに関し、特に、医療、産業または他の用途のためのX線撮影法によるX線撮像システムに関する。
【背景技術】
【0003】
医療、工業または他の用途のためのX線撮影法によるX線撮像システムは代表的に、点源X線チューブを使用し、その点源X線チューブ内では、エネルギー値の高い電子が固体金属の目標物上に突き当り、それによって、焦点スポットから発するX線光の円錐状ビームを生成する。そのようなチューブから放たれるX線のスペクトラムは、チューブに使用されるアノード材料(一般にタングステン、またはマンモグラフィの場合にはモリブデン、ロジウム)の輝線放射特性が、印加電圧により決定される高エネルギーのカットオフまで延びる制動放射(Bremsstrahlung)による放射の広い連続体の上に重ねられるときには、多エネルギーの状態(poly-energetic)である。しかしながら、多くの撮像作業では、増加した像のコントラスト−さらに医療用途の場合には、患者に対する低量の放射線量−を、単一エネルギーの状態の放射を使用して達成することができる。
【0004】
電子衝突のX線チューブから(ほぼ)単一エネルギーの放射線を生成する1つの方法は、X線光が検討対象の組織またはサンプルに達する前にX線光を反射し濾光する多層のX線ミラーを利用することである。(例えば、'X-ray monochromator for divergent beam radiography using conventional and laser produced X-ray sources', H. W. Schnopper, S. Romaine, and A. Krol, Proc. SPIE, 4502, 24, (2001)を参照されたい。)X線ミラーは、狭エネルギー帯に亘ってのみX線を反射するX線反射の多層コーティングによって被覆された平坦な基板を含む。多層X線ミラーは、X線チューブの焦点スポットとサンプル若しくは患者の間に位置決めされる。ミラーは浅い入射角で作動するため、単一ミラーは単一エネルギーのX線光の薄い扇形状ビームのみを生み出す。そのため、像面で大きなフィールドに亘って単一エネルギー光を生成するために、2つのアプローチの内の1つを用いることができる。第1のアプローチでは、単一ミラーがX線露光中に広い角度範囲に亘って走査される。第2のアプローチでは、スタックされたミラー配列が使用されるが、これは、くさび形で高精度に共にスタックされた(積み重ねられた)多数の薄いミラーとスペーサから組み立てられるものであり、それぞれの個々のミラーは狭い扇形状ビームを生成し、ミラー配列は共同で、共に位置合わせさせられた扇形状ビームを生成する。しかしながら、ミラースタックを用いる第2のアプローチでは、照明パターンは、X線光がミラーの端で遮断される領域に対応する暗い片(dark strip)をも含む。この暗い片を補償するため、ミラースタックは露光中に、(ずっと小さな角度範囲に亘るにもかかわらず)単一ミラーが第1のアプローチで走査されるのと類似の方法で走査することができ、それによって明るい片と暗い片が共に平均化されて均一の照明を生成する。
【0005】
如何なる場合でも、焦点スポットに対してミラーを位置決めするに当たっての要求は厳しく、特に各ミラーの角度位置は、X線の入射角が角度の端数まで制御されるようにしなければならない。例として、約20KeVを作動するマンモグラフィシステムのために設計された多層X線ミラーの特定の場合には、およそ代表的な入射角は0.3〜0.7度の範囲であり、狭帯域の多層コーティングの受光角は、0.02度のように小さいこともありえる。それゆえ、ミラーは、入射角の誤差がおそらく受光角の半分、すなわち0.01度か、またはそれより小さくなるように位置決めされなければならない。より高いエネルギーのX線を利用するX線撮像システムの他のタイプに対しては、入射角と受光角はさらに小さく、そのため、位置合わせに対する要求はマンモグラフィに対するものよりもさらに厳しい。
【0006】
特に医療用途に対して、点源X線システムが概して可視光位置合わせシステムを組み込んでいるのは、患者登録のためであり、それはすなわち、光学照明パターンの視覚的検査によって、X線ビームが検討中の組織の所望の部分を照明することを確実にするためである。可視光位置合わせシステムはX線ビームを模擬するように構成されるが、それは仮想焦点スポットの位置に配置された小型の白熱光バルブを実装し、上記バルブから放出された光が、X線ビーム内に位置決めされた(低X線減衰を備えた)45度ミラーに反射することによる。(例えば、‘The Essential Physics of Medical Imaging, 2nd Edition', J. T. Bushberg, J. A. Seibert, E. M. Leidholdt, Jr., and J. M. Boone, Lippincott Williams& Wilkins publishers, Philadelphia, 2002, 図5〜18, 115ページを参照されたい。)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
可視光位置合わせシステムは、X線ミラーが上述した、X線撮影法によるX線撮像システムに実装されているときには、未だに患者登録のために使用することができるが、それは従来のシステムでなされたのと同様に、可視光が十分にX線光と位置合わせされ、可視光がミラーから反射し、正確に像フィールドを照明する場合である。同一の可視光位置合わせシステムはまた、原理的にはミラーそれ自体を位置合わせするために使用され、もしそうしなければ困難なタスクになるのだが、やはりそれは可視/X線の位置合わせ不良が十分に小さい場合である。X線撮影法によるX線撮像システムに関連する米国政府の規制(21 CFR §1020.31)は、位置合わせ不良の合計がそのフィールドの長さ或いは幅に沿ったX線焦点スポットから像面までの距離の2%以下となるように、像面における可視光フィールドとX線フィールドが共に位置合わせされることを要求している。政府の規制の下で許容される位置合わせ不良は患者登録に対しては適切であるが、そのような位置合わせ不良は、比較的浅い入射角を作動させる単一エネルギーの放射を生成するために設計されるX線ミラーを用いた使用に対しては完全に不適切である。すなわち、X線ミラーがX線ビーム内に置かれたときには、従来の位置合わせシステムにおける可視およびX線ビームの間の典型的な位置合わせ不良が、可視ビームをX線ミラーを位置合わせするために使用することを困難にするか、または不可能にする。加えて、従来の可視光位置合わせシステムは、仮想焦点に対する可視光源の位置についての十分に高精度な調整を提供せず、さらには光放出領域それ自体のサイズがX線焦点スポットのサイズに対して大きい。そのため、従来の可視光システムは概して、X線ミラーが実装されている場合の使用に対して不適切である。
【0008】
患者登録のため、若しくは単一エネルギー放射のために実装されたX線ミラーを位置合わせするために現在使用中のシステムとコンセプトにおいて類似の可視光位置合わせシステムを利用するため、相当に向上した精度を備えた光学システムが必要とされる。さらに、高精度な光学X線ミラーの位置合わせのために、可視光光学システムは、X線チューブの焦点スポットのサイズと同等か、若しくはより小さいサイズの焦点スポットを備えた可視光点源を使用しなければならない。最後に、さらに必要とされるのは、可視およびX線光の円錐状ビームを共に高精度に位置合わせするための装置と方法論である。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明は、(a)点源X線チューブを有する(さらに好ましくはX線ミラーを利用する)X線撮影法によるX線撮像システムに組み込まれるべき可視光位置合わせシステムとしての使用のための精密光学システムと、(b)可視およびX線ビームを精度良く共に位置合わせするのに使用される相補的な(complementary)位置合わせ装置と、(c)これらのシステムを使用する方法とを、それぞれ含む。精密光学システムの主要なコンポーネントはファイバ結合されたレーザモジュール、多軸ファイバ光学ポジショナ、およびミラー、例えば非常に低いX線減衰を備えたペリクル(薄膜)ビームスプリッタである。相補的な位置合わせ装置は、一組の組み合わせられたX線減衰の金属製グリッド、X線ビーム内で2つの直交する方向に沿ってボトムグリッドに対してトップグリッドを精度良く位置決めするための2軸変換ステージ、および位置合わせグリッドを十分な精度でかつ繰返し可能に取り付けるための方法を提供するための、可動な精密取付ブラケットを含む。これらのシステムを使用する方法は、光学位置合わせシステムおよび位置合わせグリッドがどのようにして可視およびX線円錐状ビームを共に精度良く位置合わせすることを確実にするために実装されているか説明する。本発明は、特にマンモグラフィの用途において意図されているが、すべての他の医療および産業のX線撮影法によるX線撮像システムに対しても等しく適用することができる。
【0010】
一実施形態では、本発明は、X線焦点スポットを有する点源X線チューブを利用した(さらに任意に、ビーム濾光のためのX線ミラーを利用した)、X線撮像装置のための光学位置合わせシステムである。可視光点源が設けられて多軸ポジショナも設けられるが、多軸ポジショナは、可視光点源に接続され、X線焦点スポットに対して固定して取り付けられる。多軸ポジショナは、可視光点源の空間上および角度上の調整を可能にする。ミラーは、X線焦点スポットに対して固定して取り付けられ、X線源のビーム通路に配置され、可視光点源から放出される光を反射し、X線源から放出されるX線を伝達する。好ましくは、ミラーはビームスプリッタであり、さらに好ましくはペリクルビームスプリッタである。第1X線減衰グリッドは、X線源に対して固定して、かつ取り外し可能に取り付け可能であり、第1X線減衰パターンを有する。第2X線減衰グリッドは、第1グリッドに対して調整可能かつ取付可能であって、第1X線減衰パターンに対応する第2X線減衰パターンを有する。第1および第2グリッドが位置合わせされるときに、第1および第2減衰パターンもまた位置合わせされ、それによってX線源からのX線とミラーから反射される光がそれらを通過することを可能にする。
【0011】
好ましくは、可視光点源は、光学ファイバに連結されるレーザモジュールを備える。多軸ポジショナは好ましくは、光学ファイバの放出端に連結される光学ファイバポジショナであって、放出端の位置調整を可能する。光学ファイバは好ましくは、単一モードの光学ファイバである。多軸ポジショナは好ましくは、3つの直交する変換方向に沿って、かつ2つの直交する角度の方向において調整可能である。ロッキング機構が、X線焦点スポットに対して可視光点源の位置を固定するための多軸ポジショナに連結されていてもよい。
【0012】
堅い取付板が好ましくは設けられてX線撮像装置に固定して取り付けられ、その上に多軸ポジショナおよびミラー/ビームスプリッタが固定して取り付けられる。
【0013】
第2X線減衰グリッドは好ましくは、第2グリッドのX−Y平面において調整可能である。ロッキング機構は好ましくは、X−Y平面において第2グリッドの位置を固定するために設けられる。第2グリッドはX−Y平面において調整可能であるが、X−Y平面に対して直交する第1グリッドから予め設定されたZの距離に固定されている。第1および第2減衰パターンにおける特徴である寸法(D)、すなわちD1およびD2はそれぞれ、好ましくはD1=Z1/Z2*D2の式を介して対応している。第1および第2グリッドは共通のブラケットに対して取り外し可能に取り付けられるが、X線撮像装置に対しては確実に固定されている
本発明の光学位置合わせシステムはまた、X線検出器−フィルム式または電子式(デジタル)のいずれか−を含み、このX線検出器は、第1および第2グリッドの下方に配置可能であって、X線源から第1および第2グリッドを通して伝達されるX線の結果として生ずるパターンを検出するようになっている。加えて、この位置合わせシステムはまた、1またはそれ以上の電子式可視光検出器を含んでもよく、これは第1および第2グリッドの下方に配置可能であって、ミラー/ビームスプリッタから第1および第2グリッドを通して伝達される可視光の結果として生ずる強度パターンを検出するようになっている。コンピュータ制御器が設けられてもよく、これはX線検出器および/または可視光検出器に連結される。もしそれがX線検出器に連結されるならば、制御器は、検出器によって検出されるX線に基づいて第2グリッドの位置を自動的に制御することが可能である。もしそれが可視光検出器に連結されるならば、制御器は、検出器によって検出される可視光に基づいて可視光点源の位置を自動的に制御することが可能である。双方の場合において、コンピュータは、結果として生ずるX線または可視光の強度パターン、例えば全体の明度やパターンマッチングを検出することによって、またはいくつかの他の方法によって、調整可能なグリッドおよび/または光源の位置を制御することが可能である。
【0014】
本発明はまた、X線撮像装置の可視光位置合わせシステムとX線撮像システムを位置合わせする方法であるが、ここで、X線撮像システムは、X線焦点スポットと、さらにはビーム濾光のための任意のX線ミラーとを有する点源X線チューブを利用するものであって、可視光位置合わせシステムは、可視光点源を有するものである。第1に、2つのX線減衰位置合わせグリッドが、互いに第1距離だけ離間し、かつX線焦点スポットから第2距離だけ離間して固定して取り付けられるが、各グリッドは、それぞれグリッドを通してX線および可視光の双方を選択的に遮断するために形成される減衰パターンを備える。次に、双方の位置合わせグリッドを通過するX線源からのX線のパターンが検出される。結果として生ずる検出されたX線パターンに基づいて、2つの位置合わせグリッドの相対的な位置合わせ不良が決定され、2つのグリッドの減衰パターンと比較される。2つのグリッドの、検出されたX線パターンと減衰パターンとの間の不一致を除去するために、2つのグリッドの一方の、他方に対する位置が調整される。これらの最後の2つのステップを繰り返した後に、記録されたX線パターンが実質的に減衰パターンと同一である場合に、可視光源が活性化させられ、2つのグリッドを通して伝達される、結果として生ずる可視光パターンに基づいて、2つの位置合わせグリッドと可視光源の相対的な位置合わせ不良が決定される。最後に、2つのグリッドの、伝達された可視光パターンと減衰パターンとの不一致を除去するために、可視光源の位置が調整される。
【0015】
X線検出ステップとグリッドの一方の関連付けられた調整は手動で行われることが可能であってもよい。しかしながら、そのような場合には、(目はX線を見ることができないので)結果として生ずるX線パターンを記録するのに使用される何らかの型式の記録装置が存在しなければならない。可視光源の調整もまた、より容易に手動で行われ得るが、その場合には(目以外の)記録装置は必要とされない。しかしながら任意に、結果として生ずる可視光の強度パターンを検出するために1またはそれ以上の電子式可視光検出器が使用されてもよい。さらに、結果として生ずるX線パターンを検出するために電子式X線検出器が設けられてもよく、電子式X線検出器によって検出された、結果として生ずるX線パターンに基づいて、グリッドの調整が自動的に実行され得る。同様に、可視光検出器によって検出された、結果として生ずる可視光の強度パターンに基づいて、光源の位置の調整が自動的に実行され得る。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1a】図1aは、X線円錐状ビームが焦点スポットから発するX線チューブと、白熱光バルブと45度ミラーを含む可視光位置合わせシステムとを含む、従来のX線撮影法によるX線撮像システムの概略図である。
【図1b】図1bは、ある入射角の多層X線ミラーを組み込むX線撮影法によるX線撮像システム(図1aの位置合わせシステムを含む)を示す。
【図1c】図1cは、入射角の多層X線ミラーの積層された配列を組み込むX線撮影法によるX線撮像システムを示す。
【図2】図2は、X線円錐状ビームが焦点スポットから発するX線チューブと、ファイバ結合されたレーザモジュール、ファイバポジショナおよびペリクルビームスプリッタを含む本発明に係る精密光学位置合わせシステムとの概略図である。
【図3a】図3aは、2つの金属製位置合わせグリッドと、位置合わせグリッドを精度良く位置決めするX−Y変換ステージと、取り外し可能な位置合わせグリッド取付ブラケットとを含む、本発明に係る相補的なシステムとともに、図2に示されたのと同一コンポーネントを示す正面図である。
【図3b】図3bは、2つの金属製位置合わせグリッドと、位置合わせグリッドを精度良く位置決めするX−Y変換ステージと、取り外し可能な位置合わせグリッド取付ブラケットとを含む、本発明に係る相補的なシステムとともに、図2に示されたのと同一コンポーネントを示す側面図である。
【図3c】図3cは、2つの金属製位置合わせグリッドと、位置合わせグリッドを精度良く位置決めするX−Y変換ステージと、取り外し可能な位置合わせグリッド取付ブラケットとを含む、本発明に係る相補的なシステムとともに、図2に示されたのと同一コンポーネントを示す斜視図である。
【図4】図4は、本発明に係る一組の対応する位置合わせグリッドの一例の正面図である。
【図5】図5は、位置合わせグリッドと、トップグリッドを位置決めするのに使用されるX−Y変換ステージと、位置合わせグリッド取付ブラケットとであって、すべて本発明に係るものを示す斜視図である。
【図6】図6は、本発明に係るX−Y変換ステージおよび/または光学ファイバポジショナの位置を自動的に制御するコンピュータ制御器の図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
X線撮影法によるX線撮像システムに一般に使用される従来の可視光位置合わせシステム(図1a)は、白熱光バルブ(102)と、点源X線チューブ(100)に対して固定位置に取り付けられた45度ミラー(103)とを含む。光バルブ(102)は実際のX線焦点スポット(101)と、X線スポットに対する45度ミラーの角度および位置とによって定義される仮想焦点に位置している。可視光の円錐状ビームはX線円錐状ビーム(104)とオーバーラップしており、それによってオブジェクトおよび/または像面におけるX線フィールドの仮想的な観測方法を提供している。
【0018】
ビーム濾光のための単一の多層X線ミラーを組み込む、X線撮影法によるX線撮像システムは、図1bに示される。X線ミラー(106)はX線ビーム内に高精度に位置決めされなければならない。仮想焦点スポット(105)は、X線スポットに対する45度ミラー(103)の位置および角度によって決定される。可視光位置合わせシステムに使用される光源(102)は、図1bに示すように、仮想焦点スポット(105)の位置から変位させられると、可視光線(108)は、破線で示されるように、X線とは異なる入射角でX線ミラーに突き当たる。そのため、反射された可視光線の方向は反射されたX線の方向とは異なり、そして像面に到達する反射された可視光線は空間的に、像面においてX線の位置から変位させられる。図1bから明らかなことは、可視光位置合わせシステムは、可視光源(102)が十分に仮想焦点スポット(105)と一致していなければX線ミラーの位置と角度を高精度に調節するのに使用できない、ということである。可視光位置合わせシステムにおける同一の制約が、2又はそれ以上のX線ミラーを使用する、X線撮影法によるX線撮像システムにも当てはまる。図1cは、くさび形配列に構成されたX線ミラーのスタックを組み込むシステムを示している。
【0019】
本発明の記述は図2〜6を参照してなされる。理解されるべきことは、これらの図は例示的なものに過ぎず、以下に表れる請求項によって定義される本発明の範囲を制限するのに役立つものではない、ということである。
【0020】
本発明は、医療、産業または他のX線撮影法の用途のためのX線ミラーを利用するX線撮像システムに組み込まれる可視光位置合わせシステムであって、従来の可視光登録システムに対して実質的により高い精度を備えたものとしての使用する光学システムを提供する。精密光学システム(図2および図3)の主要なコンポーネントは、ファイバ結合されたレーザモジュール(203)、多軸ファイバ光学ポジショナ(204)、および反射性の、光学的に平坦なペリクルビームスプリッタ(202)を備える。すべての3コンポーネントは、様々なサプライヤ(ニュージャージー州バリントンのEdmund Optics、カリフォルニア州アーヴァインのNewport Corporation等)から商業的に入手可能なものである。
【0021】
モジュール203の光学ファイバ(306)の研磨された端から放たれるレーザ光は、非常に低い波面歪みをもって球面波(すなわち、円錐状ビーム(307))に回折し、そのために、X線ビーム(205)とオーバーラップするようにすることができる可視光点源としての役割を備える。ファイバ光学ポジショナ(204)は、3直交軸に沿ってミクロンレベルの精度で仮想焦点スポットにファイバの放出端を置くために使用される。シングルモードのファイバ(306)の端自体は典型的には、直径で数ミクロンに過ぎず、これは典型的なX線焦点スポットのサイズよりも相当小さい。例えば、マンモグラフィに使用されるX線チューブは一般に、100ミクロンの十分な焦点を備える。ファイバ端はまた、従来の可視光位置合わせシステムで使用される典型的な白熱光バルブにおける光放出領域のサイズよりもずっと小さい。白熱光バルブ内の放出スポットはまた、精度の良いミラー位置合わせに使用するには大き過ぎる。
【0022】
可視レーザ光の円錐状ビーム(307)は、光学的に平坦なペリクル(202)から反射されるが、そのペリクル(202)は好ましくは、レーザ波長における高反射のために、アルミニウムのような薄い金属層によって覆われた(5ミクロンオーダーの)薄いポリマーメンブレンによって作製される。レーザは如何なる可視光の波長を備えていてもよいが好ましくは緑色(約510nm)である。メンブレンは光学的な平坦さを達成するために固定フレームに亘って広げられる。ペリクルの反射する光学面は典型的には1mmごとに600nmよりも良好な程度に平坦である。ペリクル(202)は非常に薄いのでX線減衰はほとんど無視でき、ペリクル(202)の光学面は、あまりに多くのX線減衰を生じさせるので適切でない従来の研磨ガラス製の平坦なミラーと同等であることが可能である。(従来の可視光位置合わせシステムでは、概して金属で被膜されたプラスチックで製作された、単純な平坦なミラーが使用される。しかしながら、そのようなミラーの光学品質は、精度の高いX線ミラーの位置合わせに使用するにはあまりに不十分であり、それは反射された波面において結果として生ずる歪みが可視光点源の効率的なサイズをあまりに大きくさせるためである。)ペリクル(202)は、約45度近くの角度でX線ビーム(104)内に位置決めされる。ファイバポジショナ(204)はまた、2つの回転軸を設けており、それによって可視ビームがX線ビームに対して中央に置かれることができる。ファイバポジショナは、以下に述べるようにいったんシステムが位置合わせされた場合にファイバポジションの調節を防止するためのロッキング機構(204A)(図3C参照)を含んでもよい。
【0023】
光学システムは光学位置合わせシステム取付板(303)に強固に取り付けられが、この取付板(303)は、ペリクル(202)、ファイバポジショナ(204)およびレーザモジュール(203)の取り付け金具を収容するために機械加工されている。代替的に、ファイバ結合レーザモジュールは遠隔的に搭載されることができるが、これは重要であるファイバ端の唯一の位置だからである。光学位置合わせシステムはまた、X線チューブ取付ブラケット(302)への取り付けのための取付孔を含み、それによってX線焦点スポット(101)に対して光学コンポーネントを取り付けるための、精度が高く安定的なプラットフォームを保証する。さらに含まれるのは、照準を合わせるアパーチャ(aperture)(315)のための取付孔であり、これは、撮像される物体と合致させるためにX線ビームのサイズを限定するのに必要とされる。
【0024】
本発明はまた、可視およびX線ビームを精度良く共に位置合わせするのに使用される相補的な(complementary)位置合わせ装置(図3、4および5)を提供する。発明の位置合わせ装置は、X線を減衰させる一組の組み合わせられた金属製グリッド(313、314)と、X線ビーム内でボトムグリッド(314)に対してトップグリッド(313)を精度良く位置決めするための2軸変換ステージ(311)と、位置合わせグリッドを十分繰返し可能に搭載するための機構を提供するための、可動な精密取付ブラケットとを含む。2つの位置合わせグリッド(313)および(314)は共に同一パターンの開口空間(403、404)を含むが、“トップ”グリッド内に形成されたパターンは、X線焦点スポットまでのグリッドの距離に応じた量だけ“ボトム”グリッドに対して大きさを小さくしなければならない。すなわち、焦点スポットからトップグリッドまでの距離がZ2であり、焦点スポットからボトムグリッドまでの距離がZ1であれば、トップグリッド(313)における幅W2、長さL2の矩形スロット(図4)は、ボトムグリッド(314)における幅W1、長さL1の対応するスロットを有しており、ここでW1=Z1/Z2*W2であり、かつL1=Z1/Z2*L2である。(a)開口のパターンが全照明領域に及んでおり、かつ(b)パターンが両直交方向XおよびYにおいて位置合わせ不良に敏感であるならば、グリッドにおいて形成される開口のパターンの選択には大きな柔軟性がある。水平かつ垂直スロットの配列を備えた一組の位置合わせグリッドの例が図3、4および5に示されている。他の適切なグリッドパターンは、同心の円形スロットを含む“的の中心”(bulls-eye)パターン、放射状の先細りスロットを有する“星形”パターン、またはそのようなパターンの組合せであって、光学システムの性能を検査するのに概して使用される分解能テストパターンに類似したものである。矩形であるにしろないにしろ、そのようなパターン要素をカバーする一般的な式は、D1=Z1/Z2*D2で表現されることができ、ここでD1はボトムグリッドにおける特徴的な寸法であり、D2はトップグリッドにおける特徴的な寸法である。
【0025】
パターン付けられた位置合わせグリッドは、使用中のX線エネルギーに対して十分なX線減衰を備えた金属板に対して製作することができる。グリッドパターンの製作は、従来の機械加工、化学的エッチング、または如何なる他の適切な方法を使用して達成することができる。1つの好ましい実施形態は、1〜2mmオーダーの厚さの機械加工された真鍮の板によって作製された位置合わせグリッドを利用する。他の好ましい実施形態では、グリッドは0.5mmオーダーの厚さのタンタルシートによって作製されるが、それはリソグラフィによってパターン付けられ、その後化学的にエッチングされる(例えば、米国イリノイ州シカゴの会社Fotofab(3758 W. Belmont Ave., Chicago, IL60618)を参照されたい)。
【0026】
2つの位置合わせグリッドは、位置合わせグリッド取付ブラケットアセンブリ(310、505、506)に取り付けられるが、このアセンブリは、2つのグリッドがZ方向で精度良く定義された距離だけX線焦点スポットから離間しているようにして製作される。精密ドエル(だぼ)ピン(508、509、510、511)は、登録のために最後まで使用される。ボトムグリッド(314)は、ねじとドエルピン(508)を用いて取付ブラケット(310)の側面に固定して取り付けられ、トップグリッド(313)は2軸X−Y変換ステージ(311)に取り付けられるが、2軸X−Y変換ステージ(311)自体は取付ブラケットX−Y板(505)を通して取付ブラケットの側板(310)に取り付けられる。変換ステージは、ボトムグリッドに対するトップグリッドの2方向においてミクロン精度の位置合わせを可能にする。ロッキングアクチュエータまたはロッキングステージ(311A)は、以下で述べる手続きに続いていったんグリッドがX線ビームに位置合わせされたときにトップグリッドの位置の調整を防止するために使用可能である。位置合わせグリッド取付ブラケットアセンブリは光学位置合わせシステム取付板(511)に固定的に取り付く。ねじ(512)はブラケットアセンブリを取付板(303)に保持する。精密ドエルピン(511)が使用されるのは、取付ブラケットアセンブリが、グリッドのお互いに対する位置合わせとX線チューブ焦点スポットに対する位置合わせとを妨げないように十分に精度良く繰返して取り外しおよび再取付可能とすること、を確実にするためのである。
【0027】
この位置合わせ装置の任意のコンポーネントは、1またはそれ以上の電子式可視光検出器であって、それは像検出器を含み、像フィールドに亘って2つの位置合わせグリッドを通した可視光の伝達を精度良く検出および/または測定するのに使用することができる。例示的なそのような可視光検出器(604)は図5において低い方のグリッド(314)とX線検出器(602)の下方に示されている。図6に示すように、コンピュータ制御器(610)は、これらの検出器からの情報を使用することができ、X−Y変換ステージ(311)の位置を制御することによって可動なトップグリッド(313)の位置を制御し、かつファイバポジショナ(204)を制御することによって光学ファイバの端の位置を制御する。コンピュータ制御器(610)は、これらのコンポーネントの最適配置の決定をそれぞれ、X線または可視光の検出された強度に基づくようにしてもよい。グリッド(313)と可視光源の位置決めを自動化する他の可能な機構は、本発明の範疇にあるものとして意図されている。
【0028】
本発明は、可視およびX線の円錐状ビームを共に精度の良く位置合わせすることの方法を提供する。第1に、可視光位置合わせシステムは、図3に示すように、組み立てられ、そしてX線チューブ取付板(303)に取り付けられる。第2に、位置合わせグリッド(313)および(314)が図5に示すように、位置合わせグリッド取付ブラケットアセンブリ(310)に取り付けられるが、それは、2つのグリッドの双方の直交端が平行であることを確実にするために精度の良い直線の端部または表面の板を用いて行われる。第3に、位置合わせグリッド取付ブラケットアセンブリは図3に示すように、光学位置合わせシステム取付板(303)に取り付けられる。第4に、X線露光がX線のフィルム式またはデジタル式X線像検出器(602)のいずれかを用いて行われてその結果として生ずるパターンを記録し、そのパターンは、2つの位置合わせグリッドの相対的な位置合わせ不良を決定するのに使用される。第5に、X線像の結果に基づいて、トップ位置合わせグリッドは、位置合わせグリッド変換ステージを用いてXおよび/またはY方向において変換される。これらの変換の方向および大きさは、X線像の結果から決定される。この第5のステップは、上述したように手動で、または自動で実行することができる。第6に、必要に応じて第4および第5のステップが繰り返され、それは2つのグリッド間の位置合わせ不良が、使用されるX線撮像システムの空間分解能以下となるまで行われる。例えばマンモグラフィに対してはフィルム画面および全フィールドのデジタルシステムの効果的な空間分解能は25ミクロンオーダーであり、そのため2つの位置合わせグリッドは、X線ビームに対して25ミクロンまたはそれ以下の精度で共に位置合わせすることができる。第7に、レーザモジュール(203)がオンされ、ファイバポジショナ(204)が使用されて位置合わせグリッド(313)および(314)上に可視ビームの焦点を合わせ、かつ3つの直交する方向においてファイバの光放出端を変換し、それによってトップ位置合わせグリッドを通過する光がボトムグリッドにおけるアパーチャと、共に位置合わせされる。手動または自動のいずれかで適切に位置合わせされているときには、ボトムグリッド(314)の下部の像面において結果として生ずるパターンは、視覚的または(任意の電子検出器を使用した)電子的な検査により決定されるように、像フィールド全体に亘って均一であり、かつX線像と同一である。このことは、可視およびX線ビームが精度良く共に位置合わせされていることを確実にする。いったん位置合わせが完了すると位置合わせグリッドアセンブリは取り外されるが、それは、X線撮像システムの正常な動作のために光学位置合わせシステム取付板から位置合わせグリッド取付ブラケットを分離することによって行われる。それに続く位置合わせの定期的なチェックは、必要に応じて位置合わせグリッドアセンブリを再度取り付けることによってなされる。
【0029】
本発明の特定の実施形態について述べてきたが、理解されるべきことは、本発明は上記記述または添付された例示的な図面に限定されないということである。それよりもむしろ、本発明の範囲は、ここに現れる請求項と、本技術分野の当業者によって正しく理解される請求項の均等物によって定義される。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
X線焦点スポットを有する点源X線チューブを利用した、X線撮像装置のための光学位置合わせシステムであって、
可視光点源と、
前記可視光点源に接続され、前記X線焦点スポットに対して固定して取り付けられ、前記可視光点源の位置調整を可能にするように設けられている多軸ポジショナと、
X線焦点スポットに対して固定して取り付けられ、X線源のビーム通路に配置され、前記可視光点源から放出される光を反射し、前記X線源から放出されるX線を伝達するミラーと、
前記X線源に対して固定して取付可能、かつ取り外し可能であって、第1X線減衰パターンを有する第1X線減衰グリッドと、
前記第1グリッドに対して調整可能かつ取付可能であって、前記第1X線減衰パターンに対応する第2X線減衰パターンを有する第2X線減衰グリッドと、
を備え、
前記第1および第2グリッドが位置合わせされるときに、前記第1および第2減衰パターンもまた位置合わせされ、それによって前記X線源からのX線と前記ミラーから反射される光がそれらを通過することを可能にする、
光学位置合わせシステム。
【請求項2】
前記可視光点源は、光学ファイバに連結されるレーザモジュールを備え、前記多軸ポジショナは、前記光学ファイバの放出端に連結され、かつ前記放出端の位置調整を可能する光学ファイバポジショナを備える、
請求項1に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項3】
前記光学ファイバは、単一モードの光学ファイバである、
請求項2に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項4】
前記X線撮像装置に固定して取り付けられる堅い取付板をさらに備え、その上に前記多軸ポジショナおよび前記ミラーが固定して取り付けられる、
請求項1に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項5】
前記第2X線減衰グリッドは、前記第2グリッドのX−Y平面において調整可能である、
請求項1に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項6】
前記X−Y平面において前記第2グリッドの位置を固定するためのロッキング機構をさらに備える、
請求項5に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項7】
前記第2グリッドは前記X−Y平面において調整可能であり、前記X−Y平面に対して直交する前記第1グリッドから予め設定されたZの距離に固定されている、
請求項5に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項8】
前記第1および第2減衰パターンは、D1=Z1/Z2*D2の式を介して対応している、
請求項7に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項9】
前記第1および第2グリッドは共通のブラケットに対して取り外し可能に取り付けられるが、前記X線撮像装置に対しては確実に固定されている、
請求項1に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項10】
前記多軸ポジショナは、前記XおよびYの方向と、前記第2グリッドの前記X−Y平面に対して直交するZ方向とにおいて3軸で調整可能である、
請求項5に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項11】
前記X線焦点スポットに対して前記可視光点源の前記位置を固定するために前記多軸ポジショナに連結されるロッキング機構をさらに備える、
請求項10に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項12】
前記第1および第2グリッドの下方に配置可能であって、前記X線源から前記第1および第2グリッドを通して伝達されるX線の結果として生ずるパターンを検出するX線検出器をさらに備える、
請求項1に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項13】
前記第1および第2グリッドの下方に配置可能であって、前記ミラーから前記第1および第2グリッドを通して伝達される可視光の結果として生ずる強度パターンを検出する少なくとも1つの電子式可視光検出器をさらに備える、
請求項1に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項14】
前記X線検出器に連結されており、前記検出器によって検出されるX線に基づいて前記第2グリッドの位置を自動的に制御するコンピュータ制御器をさらに備える、
請求項12に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項15】
前記可視光検出器および前記多軸ポジショナに連結されており、前記検出器によって検出される可視光に基づいて前記可視光点源の位置を自動的に制御するコンピュータ制御器をさらに備える、
請求項13に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項16】
前記第1および第2グリッドの下方に配置可能であって、前記ペリクルビームスプリッタから前記第1および第2グリッドを通して伝達される可視光の結果として生ずる強度パターンを検出する少なくとも1つの電子式可視光検出器と、
前記X線検出器、前記可視光検出器および多軸ポジショナに連結されており、前記検出器によって検出されるX線に基づいて前記第2グリッドの位置を自動的に制御し、かつ前記検出器によって検出される可視光に基づいて前記可視光点源の位置を自動的に制御するコンピュータ制御器と、をさらに備える、
請求項12に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項17】
前記ミラーは、ペリクルビームスプリッタを備える、
請求項1に記載された光学位置合わせシステム。
【請求項18】
X線撮像装置の可視光位置合わせシステムとX線撮像システムを位置合わせする方法であって、前記X線撮像システムはX線ミラーと、X線焦点スポットを有するX線源とを備え、前記可視光位置合わせシステムは可視光源を備え、
a)2つのX線減衰位置合わせグリッドであって、各グリッドがX線および可視光の双方を選択的に遮断するために形成された減衰パターンを有する2つのグリッドを、互いに第1距離だけ離間させ、かつ前記X線焦点スポットから第2距離だけ離間させて固定して取り付けるステップと、
b)双方の位置合わせグリッドを通過する前記X線源からのX線のパターンを検出するステップと、
c)前記ステップb)において検出された、結果として生ずるX線パターンに基づいて、前記2つの位置合わせグリッドの相対的な位置合わせ不良を決定するとともに、それを前記2つのグリッドの減衰パターンと比較するステップと、
d)前記2つのグリッドの、検出されたX線パターンと前記減衰パターンとの間の不一致を除去するために、2つのグリッドの一方の、他方に対する位置を調整するステップと、
e)記録されたX線パターンがステップc)およびd)を繰り返した後に実質的に減衰パターンと同一である場合に、前記可視光源を活性化させるステップと、
f)2つのグリッドを通して伝達される、結果として生ずる可視光パターンに基づいて、2つの位置合わせグリッドと可視光源の相対的な位置合わせ不良を決定するステップと、
g)前記2つのグリッドの、伝達された可視光パターンと前記減衰パターンとの不一致を除去するために前記可視光源の位置を調整するステップと、
を備えた、X線撮像装置の可視光位置合わせシステムとX線撮像システムを位置合わせする方法。
【請求項19】
前記ステップb)はさらに、前記結果として生ずるX線パターンを記録するステップを備え、前記ステップc)およびd)は手動で行われる、
請求項18に記載された、X線撮像装置の可視光位置合わせシステムとX線撮像システムを位置合わせする方法。
【請求項20】
前記ステップf)はさらに、前記結果として生ずる可視光パターンと前記グリッドの減衰パターンとを手動で視覚的に比較するステップを備える、
請求項18に記載された、X線撮像装置の可視光位置合わせシステムとX線撮像システムを位置合わせする方法。
【請求項21】
前記ステップg)はさらに、前記可視光源の位置を手動で調整するステップを備える、
請求項20に記載された、X線撮像装置の可視光位置合わせシステムとX線撮像システムを位置合わせする方法。
【請求項22】
前記ステップf)はさらに、前記結果として生ずる可視光の強度パターンを検出する少なくとも1つの電子式可視光検出器を使用するステップを備える、
請求項18に記載された、X線撮像装置の可視光位置合わせシステムとX線撮像システムを位置合わせする方法。
【請求項23】
前記ステップb)を実行するためのデジタル式X線検出器を用意するステップと、
前記デジタル式X線検出器によって検出された、結果として生ずるX線パターンに基づいて、前記ステップd)を自動的に実行するステップと、をさらに備えた、
請求項18に記載された、X線撮像装置の可視光位置合わせシステムとX線撮像システムを位置合わせする方法。
【請求項24】
前記結果として生ずる可視光の強度パターンを検出する電子式可視光検出器を用意するステップと、
前記可視光検出器によって検出された、結果として生ずる可視光の強度パターンに基づいて、前記ステップg)を自動的に実行するステップと、をさらに備えた、
請求項18に記載された、X線撮像装置の可視光位置合わせシステムとX線撮像システムを位置合わせする方法。
【請求項25】
前記ステップb)を実行するためのデジタル式X線検出器を用意するステップと、
前記デジタル式X線検出器によって検出された、結果として生ずるX線パターンに基づいて、前記ステップd)を自動的に実行するステップと、
前記結果として生ずる可視光の強度パターンを検出する可視光検出器を用意するステップと、
前記可視光検出器によって検出された、結果として生ずる可視光の強度パターンに基づいて、前記ステップg)を自動的に実行するステップと、をさらに備えた、
請求項18に記載された、X線撮像装置の可視光位置合わせシステムとX線撮像システムを位置合わせする方法。

【図1b】
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【図1c】
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【図2】
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【図4】
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【図5】
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【図1a】
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【図3a】
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【図3b】
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【図3c】
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【図6】
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【公表番号】特表2011−510711(P2011−510711A)
【公表日】平成23年4月7日(2011.4.7)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−544475(P2010−544475)
【出願日】平成21年1月28日(2009.1.28)
【国際出願番号】PCT/US2009/032222
【国際公開番号】WO2009/097323
【国際公開日】平成21年8月6日(2009.8.6)
【出願人】(510204714)リフレクティブ エックス−レイ オプティクス エルエルシー (2)
【氏名又は名称原語表記】REFLECTIVE X−RAY OPTICS LLC
【Fターム(参考)】