【課題】 検査に必要な光を容易に被検査体に照射させる構成を簡素化させることができる検査装置を提供する
【解決手段】 本発明は、受光部と電極を備える被検査体とプローブカードを用いて電気的に接続して被検査体に関する検査処理を行う検査装置に関する。そして、プローブカードは、被検査体と電気的に接続するための接触子と、接触子と電気的に接続する基板と、基板で接触子と同じ板面に配置された、被検査体に向けて光を発光することが可能な光源を備える照明部とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ精度よくバッテリの温度を測定可能なクリップを提供する。
【解決手段】クリップ３０は、２つのクリップ片３１と、２つのクリップ片３１のそれぞれの先端部に設けられバッテリの正極外部端子に当接する金属片３２と、２つのクリップ片３１を連結する連結部材３４と、２つのクリップ片のそれぞれの先端部に設けられた金属片３２の先端同士が接触するように付勢するバネと、２つのクリップ片３１のそれぞれの先端部に設けられた金属片３２のうちいずれか一方に固定された温度センサとを備えている。外部端子を２つのクリップ片３１で挟むことにより外部端子と金属片とを簡便に接続することができ、２つのクリップ片３１のそれぞれの先端部に設けられた金属片３２のうちいずれか一方に温度センサが固定されているため、バッテリの内部まで挿入されている正極外部端子の温度をバッテリの温度として測定できる。 （もっと読む）

【課題】スプリングプローブのプランジャとバレルの間の摩耗による電気抵抗の変化を、スプリングプローブの交換が必要となる時期を検出するに適したスプリングプローブ、スプリングプローブの摩耗検出装置及びスプリングプローブの摩耗検出方法を得るものである。
【解決手段】スプリングプローブ２６のバレル端子２７に接続され、バレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４、２３に流れる電流を測定する電流測定器５３と、バレル端子２７とスプリング端子１６に接続され、バレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４，２３の電圧降下を測定する電圧測定器５４と、電流測定器５３及び電圧測定器５４からの信号に基づき検出されたバレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４，２３の接触抵抗値と、バレル１３とプランジャ１１の摺動接点１４，２３の基準抵抗値とを比較し、その比較差が設定した値に達すれば摩耗検出信号を出力する制御計算機を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】配線基板の内部配線層の数を一定とした場合において、ＤＵＴ部内に配設することが可能な特定電極パッドの数を導出することが可能な配線基板の製造技術を得、これによって、ＤＵＴ部内に所定の数の特定電極パッドを配設する際に必要とされる内部配線層の最低数を導出することができ、配線基板を小型化及び簡略化する。
【解決手段】特定内部配線層の層数をＡ、各ＤＵＴ部内に配設された複数の表面電極パッドの列数をＮ、及び各ＤＵＴ部内に配設すべき特定表面電極パッドの個数をＢとした場合において、特定表面電極パッドの個数Ｂは、
Ｂ＜（Ｘ＋１）×Ａ
（Ｘは、１からＮまでの自然数）
なる関係式を満足するようにする。 （もっと読む）

【課題】プローブとテスタ間の測定ラインと載置台とテスタ間の測定ラインそれぞれの抵抗を格段に低減し、プローブ装置の実機として使用しても信頼性を十分に確保することができるパワーデバイス用のプローブカードを提供する。
【解決手段】本発明のプローブ装置１０は、パワーデバイスＳのエミッタ電極に電気的に接触する第１のプローブ１１と、第１のプローブ１１が接続されたブロック状の第１の接続端子１２と、パワーデバイスＤのゲート電極に電気的に接触する第２のプローブ１３と、第２のプローブ１３に接続されたブロック状の第２の接続端子１４と、パワーデバイスＤのコレクタ電極側に電気的に接触し得るコンタクトプレート１５と、コンタクトプレート１５に固定されたブロック状の第３の接続端子１６と、を備え、第１、第２、第３の接続端子１２、１４、１６は、それぞれが対応するテスタ側の接続端子に電気的に直に接触される。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の部位に、検査用プローブを垂直に押し当てた状態で、相対的な位置の微調整も可能とする検査用プローブの支持機構を実現すること。
【解決手段】本発明に係る検査用プローブの支持機構は、検査対象物の所定の部位に接触させて当該検査対象物の電気的な検査を行うための検査用プローブを、前記所定の部位を含む面に対して垂直に保った状態で、前記所定の部位に接触させた状態もしくは離間させた状態に移動可能に支持する移動手段と、
前記検査用プローブを、前記所定の部位に接触させた状態もしくは離間させた状態で、前記所定の部位を含む面と平行な方向にのみ微動可能に支持する支持手段と、
を備えている。 （もっと読む）

【課題】信号ケーブルが接続されているプローブピンの破損や信号ケーブルの切断を防止しつつ着脱を行う。
【解決手段】プローブピン１３をそれぞれ保持可能に構成される共にプローブピン１３をプロービング対象体にプロービングさせるプロービング機構４における一対の取付部６２にそれぞれ着脱可能に構成された一対の保持部１１ａ，１１ｂを備え、各保持部１１ａ，１１ｂは、互いに近接し、かつ連結部材１２によって連結されている状態で各取付部６２にそれぞれ着脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】バインダ分解ガスを基板の外部に良好に放出することができ、かつ、基板表面に配置される導体配線に安定して通電することのできるウェハ検査用の配線基板が求められている。
【解決手段】上面ならびに中央領域５ａおよび周縁領域５ｂを有する下面を備えた積層体５と、積層体５の下面の周縁領域５ｂに配設された複数の入出力端子９とを具備し、積層体５が、平面透視した場合に、中央領域５ａに位置して下面に開口して複数のセラミック層３の途中まで到る穴部１９および周縁領域５ｂと重なるように内部に位置する中空部２１を備えたウェハ検査用の配線基板１とする。 （もっと読む）

【課題】 微小な対象物であっても、その対象物に設定された対象点を好適に接続することができるとともに、量産性に優れた接続端子やその製造方法の提供。
【解決手段】 外周表面が非導電性の芯材と、該芯材の外周表面に螺旋状に巻き付けられる導電性の巻導体と、所定箇所に該芯材と該巻導体を覆う絶縁被膜が形成される棒状部材の表面全体にめっきを施す工程と、前記めっきが施された棒状部材から前記絶縁被膜を除去する工程と、前記絶縁被膜が除去された棒状部材の表面に露出する前記巻導体を除去する工程と、前記巻導体が除去された前記棒状部材から前記芯材を除去する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気的接続装置の支持体の被検査体に対向する対向面領域に異物が付着したことを検知し、異物が付着した状態で電気検査が繰り返されることを防止することにある。
【解決手段】電気的接続装置は、電極が設けられた平面を有する被検査体の電気検査に用いられ、前記被検査体の前記平面に間隔をおいて該平面に対向して配置される対向面領域を備える支持体と、前記電極に接触されるべき針先部を有し、該針先部が前記電極に接触可能に前記対向面領域から突出する複数のプローブと、前記対向面領域に張り巡らされた少なくとも１つの配線であって互いに近接して並行に延び前記対向面領域から露出する複数の近接部分を有する配線と、前記近接部分での短絡又は前記配線の断線を検知可能な電気計測装置に前記配線を電気的に接続するための、各配線に電気的に接続された検知用電極とを含む。 （もっと読む）

【課題】異種金属からなる線材を接合して構成される検査用プローブにおける接合箇所の品質を向上した検査用プローブの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の先端部に検査用接触部が形成される第１の線材及び第２の線材を接合して構成される検査用プローブの製造方法を、第１の線材の端面と第２の線材の端面とを突き合わせた状態でこの突き合わせ部を筒状部材の内径側に配置し、筒状部材にレーザ光を照射することによって筒状部材を第１の線材及び第２の線材とそれぞれレーザ溶接した後に、溶接部の外周面を製品外径まで研磨する構成とする。 （もっと読む）

【課題】荷重点である変位出力端側に応答特性に優れた拡大移動量を付与して電気計測プローブをＺ軸方向に迅速に移動させることができる変位拡大機構および基板検査装置の提供。
【解決手段】基台部１２と、力点として作用させる当接部２５を備えて伸縮制御を自在に配設される伸縮体２２と、該伸縮体２２側からの押圧力を受けて変位出力端５７側に対しＺ軸方向への変位量を拡大して伝達すべく、基台部１２を含む必要箇所に介在させた各支点部１５を介して連結されるアーム体３２とで変位拡大機構１１を構成し、該変位拡大機構１１を具備させることで基板検査装置を形成した。これにより、電気計測プローブＰが取り付けられる変位出力端５７側に対しては、アーム体３２を介してＺ軸方向での拡大された非線形の変位量を平行リンクを介して線形の変位量として出力することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】容易にセル電圧計測端子を二次電池の電極端子に接続することを可能にする計測端子装置を提供する。
【解決手段】配線１７〜２０が形成された基板２１と、配線１７、１８に接続して基板２１に設けられ、二次電池１の正負一対の電極端子６、７と接続して一対の電極端子６、７の電圧を計測するための一対のセル電圧計測端子２２、２３と、基板２１に設けられ、一対のセル電圧計測端子２２、２３と電気的に接続したコネクタ２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンタクト回数によって、抵抗値がほぼ一定であって支障なく半導体パワーデバイス用コンタクトプローブとして使用し得ると共に、支障なく多数回使用することができる使用寿命の長い半導体パワーデバイス用コンタクトプローブを提供する。
【解決手段】スリーブを、先端から下方に向けてスリ割りを形成し、該スリ割りの位置の内周に凸部を有するバネ性を有する部材から形成することによって、コンタクト回数によって、抵抗値がほぼ一定とすることができる。また、スリーブに、プランジャーを摺動自在に嵌合し、該プランジャーに固定した耐熱性の材料から形成された絶縁性チューブを前記スリーブに嵌合し、コイルスプリングは、該絶縁性チューブの外周に固定するか、スリーブに嵌合させた別の絶縁性チューブ内に位置させて、前記プランジャーに固定した絶縁性チューブでコイルスプリングを押圧するように構成することによって、長寿命のコンタクトプローブとすることができる。 （もっと読む）

【課題】 絶縁基板の放熱性が低いプローブカード用基板を提供する。
【解決手段】 第１および第２主面Ｓ１，Ｓ２を有し、厚み方向に貫通する複数の第１貫通孔３を有する第１絶縁基板１と、第３および第４主Ｓ３，Ｓ４有し、厚み方向に貫通する複数の第２貫通孔４を有するとともに、第３主面Ｓ３が第２主面Ｓ２と一定の距離の空間を間に挟んで対向し合うように配置された第２絶縁基板２と、第１絶縁基板１の複数の第１貫通孔３のそれぞれから第２絶縁基板２の複数の第２貫通孔４のそれぞれにかけて貫通して配置され、側面が第１および第２貫通孔３、４の内側面に接合されている棒状の金属材料５とを備えることを特徴とするプローブカード用基板である。第１および第２基板１，２の間の空間部分において熱の伝わりを抑えることができるため、放熱性を低くすることができる。 （もっと読む）

【課題】テストリード自体に装置本体が有する複数の機能に対するスイッチング機能（起動、停止）を持たせ、しかも、テストリードの大型化及び重量化を回避した、操作性に優れたテストリード、及び、斯かるテストリードを有する測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置本体１に接続ケーブル５０を介して接続され、測定対象物に接触して、測定信号を測定装置本体１に送信するためのテストリード１０において、長手軸線Ｏｘ−Ｏｘに沿って所定長さとされ、テストリード１０の握り部を構成し、一端部に測定対象物に接触するテスト棒１３を保持したホルダー本体１２を備え、ホルダー本体１２に加速度センサ２２を設置し、加速度センサ２２は、ホルダー本体１２を空間上で動かすことにより、複数種類の異なる信号を出力することができる。 （もっと読む）

【課題】電気的に安定接続でき、着脱時に破損することがない回路基板接続構造体を提供する。
【解決手段】第１電極１２１を有するリジッド回路基板１０１と異方導電性部材１２０と、第２電極１２２を回路基板上に形成されたランドとして有するフレキシブル回路基板１０２とを、フレキシブル回路基板１０２のリジッド回路基板１０１に面していない他方の平面の少なくとも一部に支持板１１４が直接接触して配置され、異方導電性部材１２０を前記リジッド回路基板１０１とフレキシブル回路基板１０２とに前記支持板１１４を介して押圧するための押圧部材１１０を用いて接続した回路基板接続構造体１００。 （もっと読む）

【課題】機器側接続端子を破損させることなく、検査用接続端子を確実に接触させる接続装置を提供する。
【解決手段】検査対象物側接続端子ｃと、検査用接続端子５１とを電気的に接続させる接続装置であって、垂直シャフトには前記垂直シャフトに沿って昇降可能な移動部材が配設され、前記移動部材には傾斜ガイド孔２４が設けられ、前記傾斜ガイド孔２４には傾斜シャフト４がスライド可能に挿通され、前記傾斜シャフト４の下端には端子保持部５が固定されており、さらに、前記移動部材を前記垂直シャフトに沿って昇降させる昇降機構を備え、前記昇降装置を作動させることによって、前記端子保持部５を一旦垂直に下降させた後に水平方向に移動させて、端子保持部の側面に露出させて配設された検査用接続端子５１と、前記保持手段に保持された検査対象物の検査対象物側接続端子ｃとを電気的に接続させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】異種金属からなる線材を接合して構成される検査用プローブにおける接合箇所の品質を向上した検査用プローブの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の先端部に検査用接触部が形成される第１の線材１１０及び第２の線材１２０を接合して構成される検査用プローブの製造方法を、第１の線材と第２の線材の外周面に異なったエネルギ量のレーザ光を照射することによってレーザ溶接し、その後外周面を研磨する構成とする。 （もっと読む）

【課題】フィルムタイププローブの各接触子と被検査体の各電極との接触精度を高く維持する。
【解決手段】フィルムタイププローブの先端部に各接触子が備えられると共に当該先端部がプローブブロックから延出して自由に撓み得る状態で当該フィルムタイププローブが上記プローブブロックに支持され、加圧部材が、上記フィルムタイププローブの先端部に接触する加圧面を有し当該加圧面を上記フィルムタイププローブの先端部に臨ませた状態で上記プローブブロックに揺動可能に支持されると共に、上記加圧部材の加圧面と上記フィルムタイププローブの先端部との間に隙間を有する構成にした。 （もっと読む）