【課題】ウエハの状態で複数個の磁気センサを同時にかつ高精度に検査する。
【解決手段】ウエハ状態に並べられた複数の磁気センサが載置され水平方向及び垂直方向に移動可能なステージ１２と、このステージ１２の上方に対向配置され磁気センサのうちの少なくとも複数個を含む検査領域の各磁気センサに同時に接触可能なプローブ群１３を有するプローブカード９と、このプローブカード９を介して対峙しプローブ群１３の周辺に磁場を発生する複数の磁場発生コイル３〜８と、プローブカード９におけるプローブ群１３の外側を囲むように配設された複数の磁場環境測定センサ１４〜１７と、これら磁場環境測定センサ１４〜１７の測定結果に基づき磁場発生コイル３〜８の出力を制御する磁場制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定を行わない期間に、原子がセルに析出する可能性を低減させる。
【解決手段】磁場測定装置は、光により励起されると磁場に応じて直線偏光の偏光面を回転させる原子を含む物質を内部空間に封入し、気体状態の前記物質に照射される前記直線偏光を透過させるセル１と、開閉弁６１を有し、開いている当該開閉弁６１を介して前記セル１の内部空間と通じる内部空間を有するリザーバーと、前記開閉弁６１が開いているときに、前記セル１を透過した前記直線偏光の偏光面の回転角を計測する計測部と、前記計測部による計測が終了した後、前記セル１よりも前記リザーバーの温度が低くなるように前記セル１または前記リザーバーの温度を調整する温度調整部と、前記温度調整部により前記セル１または前記リザーバーの温度が調整された後、前記開閉弁６１を閉じて、前記セル１の内部空間と前記リザーバーの内部空間とを遮断する遮断部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 共振周波数のばらつきを抑制し、所望の周波数帯域の感度を向上させることができる磁界プローブを提供する。
【解決手段】 磁界プローブ１の多層基板４には、２個の平行平板電極パターン２０，２１、３個のループパターン２２〜２４および２個の平行平板電極パターン２５，２６を厚さ方向に積み重ねて設ける。平行平板電極パターン２１，２５およびループパターン２２〜２４は、ビアホール２７〜３０を用いて直列接続され、コイル３１を構成する。平行平板電極パターン２０，２１は、互いに絶縁した状態で対向し、コンデンサ３２を構成する。平行平板電極パターン２５，２６は、互いに絶縁した状態で対向し、コンデンサ３３を構成する。
コイル３１と２個のコンデンサ３２，３３は、互いに直列接続される。 （もっと読む）

【課題】任意のサイズ、形状の磁性体の透磁率を計測でき、生産プロセスライン上のウエハ等において、切断や加工を施すことなく、プローブをスキャンすることにより、透磁率のウエハ内の分布を評価可能である磁性体の透磁率計測装置および磁性体の透磁率計測方法を提供する。
【解決手段】誘電体もしくは絶縁体を導体と地導体によって挟んだ構造を有し、その導体と地導体あるいは導体に磁性体を絶縁体を介して近接配置する。磁界印加部により導体から磁性体に磁界を印加し、磁界印加部による磁界印加の有無による信号の振幅情報あるいは複素情報の差分を信号計測器により測定する。信号計測器で測定された信号の差分から、磁性体の透磁率を最適化処理により求める。磁性体に対してプローブをスキャンすることによりウエハ内における透磁率の分布を評価可能である。 （もっと読む）

【課題】リング状ボース・アインシュタイン凝縮体（Bose Einstein Condensate;以下「ＢＥＣ体」という）をプローブとした電磁場、重力場、回転速度などの新しい高感度計測装置を提供する。
【解決手段】リング状ＢＥＣ体は、希薄原子気体からなる葉巻型ＢＥＣ体を真空中にトラップし、前記葉巻型ＢＥＣ体の長径方向に光プラグを導入して中空葉巻型ＢＥＣ体を形成し、前記中空葉巻型ＢＥＣ体の中央のリング状部分にスライス光を導入することによって該中空葉巻型ＢＥＣ体を該中央のリング状部分に集中させることにより生成した。 （もっと読む）

【課題】１つの磁性セキュリティ材料を有するセキュリティ書類のような少なくとも１つの品目の磁化データを測定するための測定プローブ及び測定プローブを有する証明装置を提供する。
【解決手段】測定プローブは少なくとも１つのコア無し磁化コイル３を有し、少なくとも２つの磁場センサ４ｓおよび４ｃが磁化コイル３の両端でその内部に配置されている。証明装置は測定プローブを用いて磁気セキュリティ印刷物を判定する。 （もっと読む）

【課題】 磁気的に幅が広い電極材やフィルムシートなどに混入された微小異物を検査するために好適な小型のＳＱＵＩＤセンサ部を備えた冷却装置を有するＳＱＵＩＤ磁気検出装置を提供する。
【解決手段】 検出対象物中の微小異物を検出する冷却装置を有するＳＱＵＩＤ磁気検出装置において、検出対象物中の微小異物を検出するＳＱＵＩＤセンサ部２と、このＳＱＵＩＤセンサ部２を冷却するための冷媒を供給する冷媒タンク１とを分離し、前記ＳＱＵＩＤセンサ部２と前記冷媒タンク１とを互いに離隔して配置する。 （もっと読む）

【課題】広周波数帯域において高感度で高周波磁界の測定が可能であるが、プローブの交換と、交換の際に行う光学系の調整をなくす。
【解決手段】電気光学結晶を用いて高周波磁界強度を計測する測定装置で、高周波磁界を検出する検出コイルと、その出力電圧を印加する電気光学結晶と、印加電圧によって生じる電気光学効果を検出する偏光計測手段と、を備える。特に、検出コイルは、高周波磁界の通過磁束を調整できるコイルとする。高周波磁界の強度を、電気光学効果によって変化した光強度から計測する。検出コイルは、概略四辺形で、いずれかの一辺のほぼ中央が開放されて一対の開放端を形成し、電気光学結晶に電圧を印加する電極と接続する。開放端の対辺が移動可能であって、その他の２辺に通過面積を変えるスライド部を設ける。 （もっと読む）

【課題】 起伏のある被測定物に測定プローブを高速で接近させ、かつ被測定物への物理的影響を最小限に抑える。
【解決手段】 測定プローブ先端部を覆いかつ測定プローブ先端部でスライド可能なプローブキャップと、そのプローブキャップが測定プローブから脱落するのを防ぎかつ被測定物に接触するまでは測定プローブ先端面とプローブキャップ内部が一定の隙間を保つように支持するプローブキャップ支持部と、プローブキャップがプローブキャップ支持部から浮き上がったことにより被測定物との接触を検出する接触検出部と、接触検出後に測定プローブ先端面とプローブキャップ内部に設定した距離を残して停止させる機能を持たせた。 （もっと読む）

【課題】
制御手段で、３次元プローブの移動制御、ガウスメータからのデータの解析及び解析された情報を３次元で可視化して表示を一元的に行うことで、精度の高い磁界の測定や表示が可能な三次元磁気測定装置を提供することにある。
【解決手段】
制御手段が、３軸アクチュエータを制御するマシン制御手段と、ガウスメータからのデータを解析する数値解析手段と、数値解析手段で解析された情報を３次元で可視化して表示する３次元可視化手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は高精度な磁場センサシステムとこのシステムに用いられる材料に関する。このセンサシステムは、高分子材料などの無機および／または有機の磁気光学活性材料を用いて磁場を測定し、ファラデー回転を用いた干渉計を備える。高分子材料は膜状であることが好ましい。高分子材料は、ファラデー回転効果など、磁場に対して感度がよいという光学的特性を備える。また、本発明は上記高分子材料を備えるセンサヘッド構造を提供する。センサヘッドは、光ファイバやミラーを備えていてもよい。特に本発明は、光の偏光面の回転を測定するためのファイバサニャック干渉計を提供する。本発明は、磁場を検出するためにパッシブな位相バイアスを印加可能な、ファイバまたはミラーを用いたサニャック干渉計を提供する。本発明は次の３つの主な実施の態様を有する。１．検出材料：ポリチオフェンなどの共役高分子、および／または巨大ファラデー回転を示す超常磁性ナノ粒子を含む高分子。２．上記高分子や高分子とナノ粒子の複合材料（例えば膜状）を含む磁場プローブ。３．センサ：光ファイバを用いたサニャック干渉計と上記磁場プローブが組み合わされたセンサ。
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【課題】 被検査物に対するプローブの接近性を向上させ、測定しようとする電気的特性情報の正確度及び検査者のプローブ使用便宜性を大いに改善する電気計測器のプローブを提供する。
【解決手段】取っ手と、前記取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナとを含み、前記ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出するプローブを構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、測定対象物の測定位置を視認して、その視認した場所の電磁界強度分布の測定を短時間で容易に測定することができる電磁界測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】測定対象物の電磁界強度分布を検出する複数のプローブアンテナを備えるプローブアレイ３と、該測定対象物を撮像するカメラ１と、プローブアレイをカメラの焦点位置に固定するカメラ固定部材２とを備え、プローブアレイは、カメラの主点を頂点とする円錐（画角）の底面を焦点面において、複数の前記プローブアンテナを前記カメラの画像信号から前記測定対象物の位置が視認可能に、予め定められる間隔で配設し、プローブアレイをカメラの視野内に固定配設して、測定対象物の周波数強度分布と該画像との位置とを対応付けて測定可能にしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁気プローブの計測帯域を大きく損なうことなく、感度を向上させた磁気プローブを提供することを課題とする。
【解決手段】光ファイバ９と、光ファイバ９の端面１７上に形成された磁気光学材料３と、を有し、磁気光学材料３の磁化容易軸５の方向が、光ファイバ９のコア２を進行するプローブ光４の進行方向に対して垂直に形成された磁気プローブ１０ａであって、コア２を覆うように磁気光学材料３が設けられ、磁気光学材料３の幅を端面１７の幅以下に形成することによって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】被測定者にストレスや不快感を与えず、生体信号を日常的に検出する生体信号検出装置を提供する。
【解決手段】磁気ヘッド１２は高周波磁界発生部分と磁気を検知する部分を一体化されている。磁気ヘッド１２は、胸部表面に近接して水平に設定されている。磁気ヘッド１２は、生体表面にほぼ水平方向に生体内に高周波磁界を与え、心筋表面に体液中のイオンの全体的な流れを誘導する。磁気ヘッド１２の磁界検知部分は、心筋活動電位の進行方向に伝播する体液中のイオンの全体的な流れに比例した磁界の信号を感度良く得る。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなく、ＭＲ素子を用いて狭い磁極間であっても、一方向磁界の強度を高感度かつ高精度に評価できる磁気センサを提供する。
【解決手段】磁気センサ１は、ＭＲ素子１０と、ＭＲ素子１０を保持するとともに、リード配線２１が印刷されたリード基板２０と、ＭＲ素子１０の素子基板面Ｐ２を被測定磁界方向Ｍｘに対して所定の角度で傾斜させるための保持手段４０とを備えている。保持手段４０は、素子基板１１とリード基板２１との間に介装されるくさび状のスペーサ部材４０である。スペーサ部材４０の高さを適宜設定することで、ＭＲ素子面Ｐ２を所定の傾斜角度で保持できる。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなく、ＭＲ素子を用いて狭い磁極間であっても、一方向磁界の強度を高感度かつ高精度に評価できる磁気センサを提供する。
【解決手段】磁気抵抗薄膜の抵抗値変化を検出することによって一方向磁界の強度を測定する磁界強度センサであって、基板上に磁気抵抗薄膜による上下を扁平とした略長方形状の導電パターンを形成してなる磁気抵抗薄膜素子と、前記略長方形状パターンの長辺に直交して上下方向に延長する直線を軸として、前記磁気抵抗薄膜素子の膜面を磁界方向の鉛直面に対して所定角度回転させた状態で保持する保持手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 外部からの水の浸入を防ぐことができ、さらに外部の温度変化に起因するセンサユニット内部の熱歪みによるセンサおよび周辺回路への水の浸入を防止し、製品の信頼性が高く、かつ製作コストの低減を図ることができるセンサユニットを提供する。
【解決手段】 センサユニット本体を、特に減圧環境下において絶縁性を有する液体ＬＱに浸し、センサユニット本体内部の隙間等に、前記液体ＬＱを含浸させていることで、センサユニット本体内部の気体を排除し、センサユニット内部への液体ＬＱの含浸を確実にする。 （もっと読む）

【課題】 外部からの水の浸入を防ぐことができ、さらに外部の温度変化に起因するセンサユニット内部の熱歪みによるセンサおよび周辺回路への水の浸入を防止し、製品の信頼性が高く、かつ製作コストの低減を図ることができるセンサユニットを提供する。
【解決手段】 センサデバイス２と覆い材３との間の隙間、ケーブル芯線，ケーブル絶縁被覆間の隙間、ケーブル絶縁被覆，ケーブルカバー間の隙間、および覆い材３とケーブルとの間の隙間に、絶縁性を有する液体ＬＱを含浸させる。 （もっと読む）