電気計測器のプローブ
【課題】 被検査物に対するプローブの接近性を向上させ、測定しようとする電気的特性情報の正確度及び検査者のプローブ使用便宜性を大いに改善する電気計測器のプローブを提供する。
【解決手段】取っ手と、前記取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナとを含み、前記ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出するプローブを構成する。
【解決手段】取っ手と、前記取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナとを含み、前記ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出するプローブを構成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、計測器に関するもので、特に、被検査物の電気的特性を検出するための電気計測器のプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気／電子分野では、電圧、電流、電界及び磁界などの電気的特性を検出するための装置として、電圧計、電流計及びオシロスコープなどの計測器が使用される。このような計測器は、通常、本体と、この本体に電気的に連結されるプローブとを含んで構成される。計測器は、このプローブを通して測定しようとする物体の電気的特性情報を受け、その情報を分析する。そのため、被検査物に対するプローブの接近性によって電気的特性情報の正確度及び検査者のプローブ使用便宜性が決定される。
【０００３】
例えば、印刷回路基板上に形成されているパターン形態の信号線に流れる電流を検出するためには、信号線上の二つの地点に電気的に接触するための二つのプローブが必要である。特に、信号線周辺の磁界検出を通して信号線に流れる電流の大きさを検出する場合、磁界の各磁束及びプローブの相対的位置などによって検出される電流の大きさが変わり得るので、正確な検出のための被検査物に対するプローブの接近性が一層重要になる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明に係る電気計測器のプローブの目的は、被検査物に対するプローブの接近性を向上させ、測定しようとする電気的特性情報の正確度及び検査者のプローブ使用便宜性を大いに改善することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るプローブは、取っ手と、取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナとを含み、ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【０００６】
また、上述した取っ手の長さ方向がループアンテナの面の法線方向に従うように、取っ手とループアンテナとが結合される。
【０００７】
また、上述した取っ手は、その長さ方向が法線方向に対して予め設定された角度だけ傾斜した状態でループアンテナに結合される。また、上述したループアンテナが取っ手を通して計測器に電気的に連結される。
【０００８】
また、上述した電気的特性が磁界である。本発明に係る他のプローブは、取っ手と、一つの面をなすように並んで配置され、取っ手に結合される一対のループアンテナとを含み、一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【０００９】
また、上述した取っ手の長さ方向が一対のループアンテナの面の法線方向に従うように、取っ手と一対のループアンテナとが結合される。また、上述した取っ手は、その長さ方向が法線方向に対して予め設定された角度だけ傾斜した状態で一対のループアンテナに結合される。また、上述した一対のループアンテナが取っ手を通して計測器に電気的に連結される。また、上述した一対のループアンテナの中間部分を被検査位置に置いて磁界を検出する。また、上述した一対のループアンテナが互いに対角線方向に対称の構造を有する。
【００１０】
また、上述した電気的特性が磁界である。本発明に係る更に他のプローブは、取っ手と、一つの面をなすように並んで配置され、取っ手に結合される一対のループアンテナと、一対のループアンテナを取り囲んで保護する保護材とを含み、一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【００１１】
また、上述した保護材が透明材質である。また、上述した保護材が不透明材質である。また、上述した保護材の表面に一対のループアンテナの間の中間地点を表す表示部が設けられる。
【００１２】
また、上述した表示部と被検査物の検査位置とを一致させ、被検査物の周辺の磁界を検出する。また、上述した電気的特性が磁界である。
【００１３】
本発明に係る更に他のプローブは、取っ手と、一つの面をなすように並んで配置され、取っ手に脱着可能に結合される一対のループアンテナとを含み、一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【００１４】
また、上述した面の大きさが互いに異なる複数のループアンテナのうち何れか一つを選択して取っ手に結合し、被検査物の周辺の磁界を検出する。また、上述したループアンテナの周波数特性を決定するようにループアンテナに電気的に連結される電気素子をさらに含む。
【００１５】
また、上述した電気素子がキャパシタ、抵抗及びインダクタのうち少なくとも何れか一つである。また、上述した電気素子の特性値が互いに異なる複数のループアンテナのうち何れか一つを選択して取っ手に結合し、被検査物の周辺の磁界を検出する。また、上述した電気的特性が磁界である。
【００１６】
本発明に係る更に他のプローブは、取っ手と、取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナと、少なくとも一つのループアンテナを取り囲んで保護する保護材と、保護材に少なくとも一つのループアンテナを取り囲むように設けられ、少なくとも一つのループアンテナに流入するノイズを遮断する多数のシールドとを含み、ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【００１７】
また、上述した多数のシールドがそれぞれ輪状に形成される。本発明に係る更に他のプローブは、取っ手と、取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナと、少なくとも一つのループアンテナに電気的に連結され、ループアンテナを通して流入する同相モードノイズを遮断するチョックとを含み、ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る電気計測器のプローブによると、被検査物に対するプローブの接近性を向上させ、測定しようとする電気的特性情報の正確度及び検査者のプローブ使用便宜性を大いに改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施例に係るプローブを示した図である。
【図２】図１のプローブを用いた磁界検出状態を示した図である。
【図３】プローブの検出状態を示した図２の印刷回路基板のＡ−Ａ’線断面図である。
【図４】本発明の第２実施例に係るプローブを示した図である。
【図５】図４のプローブを用いた磁界検出状態を示した図である。
【図６】プローブの検出状態を示した図５の印刷回路基板のＡ−Ａ'線断面図である。
【図７】本発明の第３実施例に係るプローブを示した図である。
【図８】本発明の第４実施例に係るプローブを示した図である。
【図９】本発明の第５実施例に係るプローブを示した図である。
【図１０】本発明の第６実施例に係るプローブを示した図である。
【図１１】本発明の第７実施例に係るプローブを示した図である。
【図１２】本発明の第８実施例に係るプローブを示した図である。
【図１３】本発明の第９実施例に係るプローブを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施例を図１乃至図１３に基づいて説明する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施例に係るプローブを示した図である。図１において、（Ａ）は、四角形のループアンテナ１０２ａが取っ手１０２ｂに結合されたプローブ１０２を示した図で、（Ｂ）は、プローブ１０２の正面図で、（Ｃ）は、プローブ１０２の側面図である。プローブ１０２の取っ手１０２ｂがペン形状であるので、使用者は、プローブ１０２をペンホールディング方式で把持する。取っ手１０２ｂは、その長さ方向がループアンテナ１０２ａの四角形面の略法線方向に従うようにループアンテナ１０２ａに結合される。より具体的に説明すると、取っ手１０２ｂは、ループアンテナ１０２ａの四角形面の法線方向からやや傾斜した状態でループアンテナ１０２ａに結合される。そのため、使用者がプローブ１０２を被検査位置に接近させるとき、使用者は、被検査位置及びループアンテナ１０２ａの位置を容易に確認し、被検査位置に正確にループアンテナ１０２ａを位置させることができる。プローブ１０２をペンと類似した方式で把持すると、ループアンテナ１０２ａの面が下方に向かうようになり、磁界を検出しようとする対象（例えば、印刷回路基板（ＰＣＢ））の表面にループアンテナ１０２ａの面が非常に容易に接するようになる。使用者は、取っ手１０２ｂをペンホールディング方式で把持した状態でプローブ１０２を動かしながらループアンテナ１０２ａを被検査地点に位置させ、磁界を検出する。他の実施例では、取っ手１０２ｂの長さ方向がループアンテナ１０２ａの面に対して完全に垂直になるように構成することができ、更に他の実施例では、ループアンテナ１０２ａと取っ手１０２ｂが一直線になるように構成することができる。すなわち、ループアンテナの面が被検査物の表面に対して容易に平行になるように、取っ手の形状及び取っ手とループアンテナとの結合方向を決定する。
【００２２】
また、図１において、（Ｄ）は、円形のループアンテナ１０４ａが取っ手１０４ｂに結合されたプローブ１０４を示した図で、（Ｅ）は、プローブ１０４の正面図で、（Ｆ）は、プローブ１０４の側面図である。上述したプローブ１０２の場合と同様に、使用者は、ペンホールディング方式でプローブ１０４を把持する。
【００２３】
本発明の全ての実施例に係るプローブにおいて、ループアンテナを形成する金属の太さは、可能な限り細いことが好ましい。本発明の実施例では、磁界（Ｈ−ｆｉｅｌｄ）を検出し、これによって電流を測定するので、正確な磁界測定のためには電界（Ｅ−ｆｉｅｌｄ）の影響を最小化すべきである。そのため、ループアンテナを形成する金属の太さを可能な限り細くすることが好ましい。
【００２４】
図２は、図１のプローブを用いた磁界検出状態を示した図である。図２に示すように、プローブ１０２の取っ手１０２ｂの一端は、計測器２０２と電気的に連結される。図２において、印刷回路基板２０４上に印刷されたパターン形態の信号線２０６を通して電気的信号伝達のための電流が流れるとき、この電流の流れによって信号線２０６の周辺に磁界２０８が形成され、この磁界２０８にループアンテナ１０２ａを位置させると、ループアンテナ１０２ａに起電力が発生する。計測器２０２は、この起電力の大きさに基づいて信号線２０６に流れる電流の大きさを検出して表示する。図２において、矢印２１０は、信号線２０６に流れる電流の方向を表すが、このときの磁界２０８の磁力線の方向は、図２の磁界２０８に表示された方向と同一である。
【００２５】
印刷回路基板２０４には、電源線と一緒に接地線（ＧＮＤ）２１２が必ず必要である。この接地線２１２は、通常、信号線２０６が形成されている面の背面に形成されるが、信号線２０６に電流が流れると、この接地線２１２にも電流が流れ、この接地線２１２に流れる電流によって印刷回路基板２０４の全体にかけて弱い磁界が形成される。磁界検出のためのループアンテナが印刷回路基板２０４に対して水平でない垂直な状態で磁界を検出すると、信号線２０６から発生する磁界２０８のみならず、接地線２１２から発生する磁界も一緒に検出されるので、磁界検出の正確度が低下する。一方、本発明の実施例のように、印刷回路基板２０４に対して水平（平行）な状態で磁界を検出すると、接地線２１２から発生する磁界の影響を受けないので、磁界検出の正確度が大いに向上する。
【００２６】
図３は、プローブの検出状態を示した図２の印刷回路基板２０４のＡ−Ａ'線断面図である。信号線２０６に流れる電流によって発生する磁界２０８の各磁力線がループアンテナ１０２ａの面に直交するとき、最も大きい起電力が発生する。したがって、図３に示すように、使用者は、ループアンテナ１０２ａを信号線２０６の直ぐ横に位置させるとともに、印刷回路基板２０４の表面近くに接近させることで、磁界２０８の各磁力線がループアンテナ１０２ａの面に直交するようにし、磁界（電流）を検出する。
【００２７】
図４は、本発明の第２実施例に係るプローブを示した図である。図４において、（Ａ）は、一つの面をなすように並んで配置される一対の四角形ループアンテナ４０２ａが取っ手４０２ｂに結合されたプローブ４０２を示した図で、（Ｂ）は、プローブ４０２の正面図で、（Ｃ）は、プローブ４０２の側面図である。プローブ４０２の取っ手４０２ｂがペン形状であるので、使用者は、プローブ４０２をペンホールディング方式で把持する。取っ手４０２ｂは、その長さ方向が一対のループアンテナ４０２ａの四角形面に対して略法線方向に向かうようにループアンテナ４０２ａに結合される。より具体的に説明すると、取っ手４０２ｂは、ループアンテナ４０２ａの面の法線方向からやや傾斜した状態でループアンテナ４０２ａに結合される。これによって、使用者がプローブ４０２を被検査位置に接近させるとき、使用者は、被検査位置及びループアンテナ４０２ａの位置を容易に確認し、被検査位置に正確にループアンテナ４０２ａを位置させることができる。プローブ４０２をペンと類似した方式で把持すると、ループアンテナ４０２ａの面が下方に向かうようになり、磁界を検出しようとする対象（例えば、印刷回路基板（ＰＣＢ））の表面にループアンテナ４０２ａの面が容易に接するようになる。使用者は、取っ手４０２ｂをペンホールディング方式で把持した状態でプローブ４０２を移動させながらループアンテナ４０２ａを被検査地点に位置させ、磁界を検出する。このとき、取っ手４０２ｂの長さ方向は、ループアンテナ４０２ａの面に対して垂直方向であってもよい。
【００２８】
また、図４において、（Ｄ）は、一対の円形ループアンテナ４０４ａが取っ手４０４ｂに結合されたプローブ４０４を示した図で、（Ｅ）は、プローブ４０４の正面図で、（Ｆ）は、プローブ４０４の側面図である。上述したプローブ４０２の場合と同様に、使用者は、ペンホールディング方式でプローブ４０４を把持する。
【００２９】
図５は、図３の磁界検出プローブを用いた磁界検出状態を示した図である。図５に示すように、プローブ４０２の取っ手４０２ｂの一端は、計測器５０２と電気的に連結される。図５において、印刷回路基板５０４上に印刷されたパターン形態の信号線５０６を通して電気的信号伝達のための電流が流れるとき、この電流の流れによって信号線５０６の周辺に磁界５０８が形成され、この磁界５０８にループアンテナ４０２ａを位置させると、ループアンテナ４０２ａに起電力が発生する。計測器５０２は、この起電力の大きさに基づいて信号線５０６に流れる電流の大きさを検出して表示する。すなわち、本発明の実施例に係るプローブ４０２は、基本的には信号線５０６の周辺の磁界を検出し、この磁界に基づいて信号線５０６に流れる電流を検出する。図５において、矢印５１０は、信号線５０６に流れる電流の方向を表すが、このときの磁界５０８の磁力線の方向は、図５の磁界５０８に表示された方向と同一である。
【００３０】
図６は、プローブの検出状態を示した図５の印刷回路基板５０４のＡ−Ａ'線断面図である。信号線５０６に流れる電流によって発生する磁界５０８の各磁力線がループアンテナ４０２ａの面に直交するとき、最も大きい起電力が発生する。したがって、図６に示すように、使用者は、ループアンテナ４０２ａを信号線５０６の直ぐ上に位置させるとともに、信号線５０６の表面近くに接近させることで、信号線５０６の周辺から発生する磁界５０８の各磁力線が一対のループアンテナ４０２ａの各面に直交するようにし、磁界（電流）を検出する。
【００３１】
本発明の第２実施例のように、一対のループアンテナ４０２ａを備えるプローブ４０２の場合、信号線５０６の両側から発生する大きい磁界を検出することができる。信号線５０６の周辺の磁界によって誘導される起電力の大きさをグラフで示すと、図６の下部に示すように、信号線５０６の両側で起電力が最も大きいことが分かる。したがって、一対のループアンテナ４０２ａの中間部分を信号線５０６のすぐ上に位置させると、一対のループアンテナ４０２ａが自然に信号線５０６の両側に位置しながら信号線５０６の周辺から発生する最も大きい磁界を検出できるので、磁界検出の正確度が非常に向上する。
【００３２】
また、図６に示すように、一対のループアンテナ４０２ａをそれぞれ通過する磁束の方向は互いに反対である。すなわち、一対のループアンテナ４０２ａのうち何れか一つのループアンテナには、印刷回路基板５０４から上方に向かう磁束が通過し、残りの一つのループアンテナには、印刷回路基板５０４に向かう磁束が通過する。そのため、図４に示すように、一対のループアンテナ４０２ａが互いに反対方向に螺旋をなすことで（すなわち、互いに対角線方向に対称をなすことで）、信号線５０６の両側から互いに反対方向に向かって発生する各磁束が全て検出される。このような構造は、図４の（Ｄ）に示した一対の円形のループアンテナ４０４ａの場合にも同様である。
【００３３】
図７は、本発明の第３実施例に係るプローブを示した図である。図７に示すように、プローブ７０２の取っ手７０２ｂに結合される一対のループアンテナ７０２ａを透明材質の合成樹脂などからなる保護材７０２ｃで取り囲むことで、ループアンテナ７０２ａを保護する。ループアンテナ７０２ａの太さが比較的細い場合、外力による破損及び汚染物質による汚染などの問題があるので、ループアンテナ７０２ａを保護材７０２ｃで取り囲んで保護する。
【００３４】
正確な磁界検出のためには、信号線７０６が一対のループアンテナ７０２ａの中間に位置することが好ましいが（図６に基づいた説明を参照）、このために、保護材７０２ｃとして透明材質の物質を使用すると、使用者は、信号線７０６及びループアンテナ７０２ａを肉眼で確認し、信号線７０６の位置と一対のループアンテナ７０２ａの中間地点を正確に調節することができる。
【００３５】
図８は、本発明の第４実施例に係るプローブを示した図である。図８に示すように、プローブ８０２の取っ手８０２ｂに結合される一対のループアンテナ８０２ａを透明材質の合成樹脂などからなる保護材８０２ｃで取り囲むことでループアンテナ８０２ａを保護し、この保護材８０２ｃの下部面のループアンテナ８０２ａの周囲に多数の輪状のシールド８０２ｄを設置することで、ループアンテナ８０２ａに流入するノイズを遮断する。多数の信号線が複雑に配置されている場合、一つの信号線の磁界を検出するとき、隣接した他の信号線の磁界によって目的とする位置の磁界が正確に検出されないこともあるので、シールド８０２ｄを位置させることで、目的としない磁界の影響を最小化することが好ましい。
【００３６】
図９は、本発明の第５実施例に係るプローブを示した図である。図９に示すように、プローブ９０２の取っ手９０２ｂに結合される一対のループアンテナ９０２ａを合成樹脂などからなる保護材９０２ｃで取り囲むことでループアンテナ９０２ａを保護し、ループアンテナ９０２ａが取っ手９０２ｂに結合される部分の両端にかけて抵抗９０２ｄを設置する。この抵抗９０２ｄは、ループアンテナ９０２ａの周波数特性（ｓ−ｐａｒａｍｅｔｅｒ）を平坦にし、ループアンテナ９０２ａの磁界検出の正確度を改善する。本発明の第５実施例に係るプローブの電気的特性を変化させるための他の電気素子として、抵抗９０２ｄの代わりにキャパシタやインダクタのうち少なくとも何れか一つを使用してもよい。
【００３７】
図１０は、本発明の第６実施例に係るプローブを示した図である。図１０に示すように、取っ手１００２ｂに結合口１００２ｃを設けるとともに、この結合口１００２ｃに選択的に結合可能な多様な大きさのループアンテナ１００２ａ，１００４ａ，１００６ａを設ける。使用者は、必要によって所望の大きさのループアンテナ１００２ａ，１００４ａ，１００６ａを選択し、これを結合口１００２ｃを通して取っ手１００２ｂに結合することでプローブ１００２を完成する。印刷回路基板上に形成される各信号線は、その幅及び間隔が非常に多様である。信号線の幅が狭く、隣接した各信号線の間隔が非常に狭いにもかかわらず、大きいループアンテナ１００２ａを使用すると、目的としない信号線の磁界も一緒に検出される。したがって、信号線の幅が狭く、隣接した各信号線の間隔が非常に狭い場合には、小さいループアンテナ１００６ａを選択して使用することで、より正確な磁界を検出可能にする。図１０には示していないが、各ループアンテナ１００２ａ，１００４ａ，１００６ａに図７に示した保護材７０２ｃを取り囲むことでループアンテナ１００２ａ，１００４ａ，１００６ａを保護してもよい。
【００３８】
図１１は、本発明の第７実施例に係るプローブを示した図である。図１１に示すように、取っ手１１０２ｂに結合口１１０２ｃを設けるとともに、この結合口１１０２ｃに選択的に結合可能な多様な抵抗値の抵抗１１０２ｄ，１１０４ｄ，１１０６ｄを有するループアンテナ１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａを設ける。使用者は、必要によって所望の抵抗値の抵抗を有するループアンテナ１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａを選択し、これを結合口１１０２ｃを通して取っ手１１０２ｂに結合することでプローブ１１０２を完成する。使用者は、目的とする周波数特性に合う抵抗値の抵抗１１０２ｄ，１１０４ｄ，１１０６ｄを有するループアンテナ１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａを選択して使用することで、より正確な磁界検出を可能にする。図１１には示していないが、各ループアンテナ１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａに図７に示した保護材７０２ｃを取り囲むことでループアンテナ１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａを保護してもよい。
【００３９】
図１２は、本発明の第８実施例に係るプローブを示した図である。図１２に示すように、プローブ１２０２の取っ手１２０２ｂに結合される一対のループアンテナ１２０２ａを不透明材質の合成樹脂などからなる保護材１２０２ｃで取り囲むことで、ループアンテナ１２０２ａを保護する。ループアンテナ１２０２ａの太さが比較的細い場合、外力による破損及び汚染物質による汚染などの問題があるので、ループアンテナ１２０２ａを保護材１２０２ｃで取り囲んで保護する。
【００４０】
正確な磁界検出のためには、信号線１２０６が一対のループアンテナ１２０２ａの中間に位置することが好ましいが（図６に基づいた説明を参照）、このために、不透明材質の保護材１２０２ｃの表面に一対のループアンテナ１２０２ａの中間地点を表す表示部１２０２ｄを設ける。使用者は、プローブ１２０２を用いて磁界を検出するとき、信号線１２０６上に表示部１２０２ｄが位置するようにプローブ１２０２を位置させ、正確な磁界検出を可能にする。
【００４１】
図１３は、本発明の第９実施例に係るプローブを示した図である。図１３に示すように、一対のループアンテナ１３０２ａの上端に同相モードチョック１３０２ｄを設置する。この同相モードチョック１３０２ｄは、ループアンテナ９０２ａを通して流入する同相モードノイズを遮断し、ループアンテナ１３０２ａの磁界検出の正確度を改善する。この同相モードチョック１３０２ｄの電気的特性（例えば、コイルのターン数など）を調節することで、低周波ノイズまたは高周波ノイズなどを選択的に遮断することができる。
【符号の説明】
【００４２】
１０２，１０４，４０２，４０４，７０２，８０２，９０２，１００２，１１０２，１２０２ プローブ
１０２ａ，１０４ａ，４０２ａ，４０４ａ,７０２ａ，８０２ａ，９０２ａ，１００２ａ，１００４ａ，１００６ａ，１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａ，１２０２ａ，１３０２ａ ループアンテナ
１０２ｂ，１０４ｂ，４０２ｂ，４０４ｂ，７０２ｂ，８０２ｂ，９０２ｂ，１００２ｂ，１１０２ｂ，１２０２ｂ 取っ手
２０２，５０２ 計測器
２０４，５０４ 印刷回路基板
２０６，５０６，７０６，１２０６ 信号線
２０８，５０８ 磁界
２１２ 接地線
７０２ｃ，８０２ｃ，９０２ｃ，１２０２ｃ 保護材
８０２ｄ シールド
９０２ｄ，１１０２ｄ，１１０４ｄ，１１０６ｄ 抵抗
１２０２ｄ 表示部
１３０２ｄ 同相モードチョック
【技術分野】
【０００１】
本発明は、計測器に関するもので、特に、被検査物の電気的特性を検出するための電気計測器のプローブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気／電子分野では、電圧、電流、電界及び磁界などの電気的特性を検出するための装置として、電圧計、電流計及びオシロスコープなどの計測器が使用される。このような計測器は、通常、本体と、この本体に電気的に連結されるプローブとを含んで構成される。計測器は、このプローブを通して測定しようとする物体の電気的特性情報を受け、その情報を分析する。そのため、被検査物に対するプローブの接近性によって電気的特性情報の正確度及び検査者のプローブ使用便宜性が決定される。
【０００３】
例えば、印刷回路基板上に形成されているパターン形態の信号線に流れる電流を検出するためには、信号線上の二つの地点に電気的に接触するための二つのプローブが必要である。特に、信号線周辺の磁界検出を通して信号線に流れる電流の大きさを検出する場合、磁界の各磁束及びプローブの相対的位置などによって検出される電流の大きさが変わり得るので、正確な検出のための被検査物に対するプローブの接近性が一層重要になる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明に係る電気計測器のプローブの目的は、被検査物に対するプローブの接近性を向上させ、測定しようとする電気的特性情報の正確度及び検査者のプローブ使用便宜性を大いに改善することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るプローブは、取っ手と、取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナとを含み、ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【０００６】
また、上述した取っ手の長さ方向がループアンテナの面の法線方向に従うように、取っ手とループアンテナとが結合される。
【０００７】
また、上述した取っ手は、その長さ方向が法線方向に対して予め設定された角度だけ傾斜した状態でループアンテナに結合される。また、上述したループアンテナが取っ手を通して計測器に電気的に連結される。
【０００８】
また、上述した電気的特性が磁界である。本発明に係る他のプローブは、取っ手と、一つの面をなすように並んで配置され、取っ手に結合される一対のループアンテナとを含み、一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【０００９】
また、上述した取っ手の長さ方向が一対のループアンテナの面の法線方向に従うように、取っ手と一対のループアンテナとが結合される。また、上述した取っ手は、その長さ方向が法線方向に対して予め設定された角度だけ傾斜した状態で一対のループアンテナに結合される。また、上述した一対のループアンテナが取っ手を通して計測器に電気的に連結される。また、上述した一対のループアンテナの中間部分を被検査位置に置いて磁界を検出する。また、上述した一対のループアンテナが互いに対角線方向に対称の構造を有する。
【００１０】
また、上述した電気的特性が磁界である。本発明に係る更に他のプローブは、取っ手と、一つの面をなすように並んで配置され、取っ手に結合される一対のループアンテナと、一対のループアンテナを取り囲んで保護する保護材とを含み、一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【００１１】
また、上述した保護材が透明材質である。また、上述した保護材が不透明材質である。また、上述した保護材の表面に一対のループアンテナの間の中間地点を表す表示部が設けられる。
【００１２】
また、上述した表示部と被検査物の検査位置とを一致させ、被検査物の周辺の磁界を検出する。また、上述した電気的特性が磁界である。
【００１３】
本発明に係る更に他のプローブは、取っ手と、一つの面をなすように並んで配置され、取っ手に脱着可能に結合される一対のループアンテナとを含み、一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【００１４】
また、上述した面の大きさが互いに異なる複数のループアンテナのうち何れか一つを選択して取っ手に結合し、被検査物の周辺の磁界を検出する。また、上述したループアンテナの周波数特性を決定するようにループアンテナに電気的に連結される電気素子をさらに含む。
【００１５】
また、上述した電気素子がキャパシタ、抵抗及びインダクタのうち少なくとも何れか一つである。また、上述した電気素子の特性値が互いに異なる複数のループアンテナのうち何れか一つを選択して取っ手に結合し、被検査物の周辺の磁界を検出する。また、上述した電気的特性が磁界である。
【００１６】
本発明に係る更に他のプローブは、取っ手と、取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナと、少なくとも一つのループアンテナを取り囲んで保護する保護材と、保護材に少なくとも一つのループアンテナを取り囲むように設けられ、少なくとも一つのループアンテナに流入するノイズを遮断する多数のシールドとを含み、ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【００１７】
また、上述した多数のシールドがそれぞれ輪状に形成される。本発明に係る更に他のプローブは、取っ手と、取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナと、少なくとも一つのループアンテナに電気的に連結され、ループアンテナを通して流入する同相モードノイズを遮断するチョックとを含み、ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、被検査物の周辺の電気的特性を検出する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る電気計測器のプローブによると、被検査物に対するプローブの接近性を向上させ、測定しようとする電気的特性情報の正確度及び検査者のプローブ使用便宜性を大いに改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施例に係るプローブを示した図である。
【図２】図１のプローブを用いた磁界検出状態を示した図である。
【図３】プローブの検出状態を示した図２の印刷回路基板のＡ−Ａ’線断面図である。
【図４】本発明の第２実施例に係るプローブを示した図である。
【図５】図４のプローブを用いた磁界検出状態を示した図である。
【図６】プローブの検出状態を示した図５の印刷回路基板のＡ−Ａ'線断面図である。
【図７】本発明の第３実施例に係るプローブを示した図である。
【図８】本発明の第４実施例に係るプローブを示した図である。
【図９】本発明の第５実施例に係るプローブを示した図である。
【図１０】本発明の第６実施例に係るプローブを示した図である。
【図１１】本発明の第７実施例に係るプローブを示した図である。
【図１２】本発明の第８実施例に係るプローブを示した図である。
【図１３】本発明の第９実施例に係るプローブを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施例を図１乃至図１３に基づいて説明する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施例に係るプローブを示した図である。図１において、（Ａ）は、四角形のループアンテナ１０２ａが取っ手１０２ｂに結合されたプローブ１０２を示した図で、（Ｂ）は、プローブ１０２の正面図で、（Ｃ）は、プローブ１０２の側面図である。プローブ１０２の取っ手１０２ｂがペン形状であるので、使用者は、プローブ１０２をペンホールディング方式で把持する。取っ手１０２ｂは、その長さ方向がループアンテナ１０２ａの四角形面の略法線方向に従うようにループアンテナ１０２ａに結合される。より具体的に説明すると、取っ手１０２ｂは、ループアンテナ１０２ａの四角形面の法線方向からやや傾斜した状態でループアンテナ１０２ａに結合される。そのため、使用者がプローブ１０２を被検査位置に接近させるとき、使用者は、被検査位置及びループアンテナ１０２ａの位置を容易に確認し、被検査位置に正確にループアンテナ１０２ａを位置させることができる。プローブ１０２をペンと類似した方式で把持すると、ループアンテナ１０２ａの面が下方に向かうようになり、磁界を検出しようとする対象（例えば、印刷回路基板（ＰＣＢ））の表面にループアンテナ１０２ａの面が非常に容易に接するようになる。使用者は、取っ手１０２ｂをペンホールディング方式で把持した状態でプローブ１０２を動かしながらループアンテナ１０２ａを被検査地点に位置させ、磁界を検出する。他の実施例では、取っ手１０２ｂの長さ方向がループアンテナ１０２ａの面に対して完全に垂直になるように構成することができ、更に他の実施例では、ループアンテナ１０２ａと取っ手１０２ｂが一直線になるように構成することができる。すなわち、ループアンテナの面が被検査物の表面に対して容易に平行になるように、取っ手の形状及び取っ手とループアンテナとの結合方向を決定する。
【００２２】
また、図１において、（Ｄ）は、円形のループアンテナ１０４ａが取っ手１０４ｂに結合されたプローブ１０４を示した図で、（Ｅ）は、プローブ１０４の正面図で、（Ｆ）は、プローブ１０４の側面図である。上述したプローブ１０２の場合と同様に、使用者は、ペンホールディング方式でプローブ１０４を把持する。
【００２３】
本発明の全ての実施例に係るプローブにおいて、ループアンテナを形成する金属の太さは、可能な限り細いことが好ましい。本発明の実施例では、磁界（Ｈ−ｆｉｅｌｄ）を検出し、これによって電流を測定するので、正確な磁界測定のためには電界（Ｅ−ｆｉｅｌｄ）の影響を最小化すべきである。そのため、ループアンテナを形成する金属の太さを可能な限り細くすることが好ましい。
【００２４】
図２は、図１のプローブを用いた磁界検出状態を示した図である。図２に示すように、プローブ１０２の取っ手１０２ｂの一端は、計測器２０２と電気的に連結される。図２において、印刷回路基板２０４上に印刷されたパターン形態の信号線２０６を通して電気的信号伝達のための電流が流れるとき、この電流の流れによって信号線２０６の周辺に磁界２０８が形成され、この磁界２０８にループアンテナ１０２ａを位置させると、ループアンテナ１０２ａに起電力が発生する。計測器２０２は、この起電力の大きさに基づいて信号線２０６に流れる電流の大きさを検出して表示する。図２において、矢印２１０は、信号線２０６に流れる電流の方向を表すが、このときの磁界２０８の磁力線の方向は、図２の磁界２０８に表示された方向と同一である。
【００２５】
印刷回路基板２０４には、電源線と一緒に接地線（ＧＮＤ）２１２が必ず必要である。この接地線２１２は、通常、信号線２０６が形成されている面の背面に形成されるが、信号線２０６に電流が流れると、この接地線２１２にも電流が流れ、この接地線２１２に流れる電流によって印刷回路基板２０４の全体にかけて弱い磁界が形成される。磁界検出のためのループアンテナが印刷回路基板２０４に対して水平でない垂直な状態で磁界を検出すると、信号線２０６から発生する磁界２０８のみならず、接地線２１２から発生する磁界も一緒に検出されるので、磁界検出の正確度が低下する。一方、本発明の実施例のように、印刷回路基板２０４に対して水平（平行）な状態で磁界を検出すると、接地線２１２から発生する磁界の影響を受けないので、磁界検出の正確度が大いに向上する。
【００２６】
図３は、プローブの検出状態を示した図２の印刷回路基板２０４のＡ−Ａ'線断面図である。信号線２０６に流れる電流によって発生する磁界２０８の各磁力線がループアンテナ１０２ａの面に直交するとき、最も大きい起電力が発生する。したがって、図３に示すように、使用者は、ループアンテナ１０２ａを信号線２０６の直ぐ横に位置させるとともに、印刷回路基板２０４の表面近くに接近させることで、磁界２０８の各磁力線がループアンテナ１０２ａの面に直交するようにし、磁界（電流）を検出する。
【００２７】
図４は、本発明の第２実施例に係るプローブを示した図である。図４において、（Ａ）は、一つの面をなすように並んで配置される一対の四角形ループアンテナ４０２ａが取っ手４０２ｂに結合されたプローブ４０２を示した図で、（Ｂ）は、プローブ４０２の正面図で、（Ｃ）は、プローブ４０２の側面図である。プローブ４０２の取っ手４０２ｂがペン形状であるので、使用者は、プローブ４０２をペンホールディング方式で把持する。取っ手４０２ｂは、その長さ方向が一対のループアンテナ４０２ａの四角形面に対して略法線方向に向かうようにループアンテナ４０２ａに結合される。より具体的に説明すると、取っ手４０２ｂは、ループアンテナ４０２ａの面の法線方向からやや傾斜した状態でループアンテナ４０２ａに結合される。これによって、使用者がプローブ４０２を被検査位置に接近させるとき、使用者は、被検査位置及びループアンテナ４０２ａの位置を容易に確認し、被検査位置に正確にループアンテナ４０２ａを位置させることができる。プローブ４０２をペンと類似した方式で把持すると、ループアンテナ４０２ａの面が下方に向かうようになり、磁界を検出しようとする対象（例えば、印刷回路基板（ＰＣＢ））の表面にループアンテナ４０２ａの面が容易に接するようになる。使用者は、取っ手４０２ｂをペンホールディング方式で把持した状態でプローブ４０２を移動させながらループアンテナ４０２ａを被検査地点に位置させ、磁界を検出する。このとき、取っ手４０２ｂの長さ方向は、ループアンテナ４０２ａの面に対して垂直方向であってもよい。
【００２８】
また、図４において、（Ｄ）は、一対の円形ループアンテナ４０４ａが取っ手４０４ｂに結合されたプローブ４０４を示した図で、（Ｅ）は、プローブ４０４の正面図で、（Ｆ）は、プローブ４０４の側面図である。上述したプローブ４０２の場合と同様に、使用者は、ペンホールディング方式でプローブ４０４を把持する。
【００２９】
図５は、図３の磁界検出プローブを用いた磁界検出状態を示した図である。図５に示すように、プローブ４０２の取っ手４０２ｂの一端は、計測器５０２と電気的に連結される。図５において、印刷回路基板５０４上に印刷されたパターン形態の信号線５０６を通して電気的信号伝達のための電流が流れるとき、この電流の流れによって信号線５０６の周辺に磁界５０８が形成され、この磁界５０８にループアンテナ４０２ａを位置させると、ループアンテナ４０２ａに起電力が発生する。計測器５０２は、この起電力の大きさに基づいて信号線５０６に流れる電流の大きさを検出して表示する。すなわち、本発明の実施例に係るプローブ４０２は、基本的には信号線５０６の周辺の磁界を検出し、この磁界に基づいて信号線５０６に流れる電流を検出する。図５において、矢印５１０は、信号線５０６に流れる電流の方向を表すが、このときの磁界５０８の磁力線の方向は、図５の磁界５０８に表示された方向と同一である。
【００３０】
図６は、プローブの検出状態を示した図５の印刷回路基板５０４のＡ−Ａ'線断面図である。信号線５０６に流れる電流によって発生する磁界５０８の各磁力線がループアンテナ４０２ａの面に直交するとき、最も大きい起電力が発生する。したがって、図６に示すように、使用者は、ループアンテナ４０２ａを信号線５０６の直ぐ上に位置させるとともに、信号線５０６の表面近くに接近させることで、信号線５０６の周辺から発生する磁界５０８の各磁力線が一対のループアンテナ４０２ａの各面に直交するようにし、磁界（電流）を検出する。
【００３１】
本発明の第２実施例のように、一対のループアンテナ４０２ａを備えるプローブ４０２の場合、信号線５０６の両側から発生する大きい磁界を検出することができる。信号線５０６の周辺の磁界によって誘導される起電力の大きさをグラフで示すと、図６の下部に示すように、信号線５０６の両側で起電力が最も大きいことが分かる。したがって、一対のループアンテナ４０２ａの中間部分を信号線５０６のすぐ上に位置させると、一対のループアンテナ４０２ａが自然に信号線５０６の両側に位置しながら信号線５０６の周辺から発生する最も大きい磁界を検出できるので、磁界検出の正確度が非常に向上する。
【００３２】
また、図６に示すように、一対のループアンテナ４０２ａをそれぞれ通過する磁束の方向は互いに反対である。すなわち、一対のループアンテナ４０２ａのうち何れか一つのループアンテナには、印刷回路基板５０４から上方に向かう磁束が通過し、残りの一つのループアンテナには、印刷回路基板５０４に向かう磁束が通過する。そのため、図４に示すように、一対のループアンテナ４０２ａが互いに反対方向に螺旋をなすことで（すなわち、互いに対角線方向に対称をなすことで）、信号線５０６の両側から互いに反対方向に向かって発生する各磁束が全て検出される。このような構造は、図４の（Ｄ）に示した一対の円形のループアンテナ４０４ａの場合にも同様である。
【００３３】
図７は、本発明の第３実施例に係るプローブを示した図である。図７に示すように、プローブ７０２の取っ手７０２ｂに結合される一対のループアンテナ７０２ａを透明材質の合成樹脂などからなる保護材７０２ｃで取り囲むことで、ループアンテナ７０２ａを保護する。ループアンテナ７０２ａの太さが比較的細い場合、外力による破損及び汚染物質による汚染などの問題があるので、ループアンテナ７０２ａを保護材７０２ｃで取り囲んで保護する。
【００３４】
正確な磁界検出のためには、信号線７０６が一対のループアンテナ７０２ａの中間に位置することが好ましいが（図６に基づいた説明を参照）、このために、保護材７０２ｃとして透明材質の物質を使用すると、使用者は、信号線７０６及びループアンテナ７０２ａを肉眼で確認し、信号線７０６の位置と一対のループアンテナ７０２ａの中間地点を正確に調節することができる。
【００３５】
図８は、本発明の第４実施例に係るプローブを示した図である。図８に示すように、プローブ８０２の取っ手８０２ｂに結合される一対のループアンテナ８０２ａを透明材質の合成樹脂などからなる保護材８０２ｃで取り囲むことでループアンテナ８０２ａを保護し、この保護材８０２ｃの下部面のループアンテナ８０２ａの周囲に多数の輪状のシールド８０２ｄを設置することで、ループアンテナ８０２ａに流入するノイズを遮断する。多数の信号線が複雑に配置されている場合、一つの信号線の磁界を検出するとき、隣接した他の信号線の磁界によって目的とする位置の磁界が正確に検出されないこともあるので、シールド８０２ｄを位置させることで、目的としない磁界の影響を最小化することが好ましい。
【００３６】
図９は、本発明の第５実施例に係るプローブを示した図である。図９に示すように、プローブ９０２の取っ手９０２ｂに結合される一対のループアンテナ９０２ａを合成樹脂などからなる保護材９０２ｃで取り囲むことでループアンテナ９０２ａを保護し、ループアンテナ９０２ａが取っ手９０２ｂに結合される部分の両端にかけて抵抗９０２ｄを設置する。この抵抗９０２ｄは、ループアンテナ９０２ａの周波数特性（ｓ−ｐａｒａｍｅｔｅｒ）を平坦にし、ループアンテナ９０２ａの磁界検出の正確度を改善する。本発明の第５実施例に係るプローブの電気的特性を変化させるための他の電気素子として、抵抗９０２ｄの代わりにキャパシタやインダクタのうち少なくとも何れか一つを使用してもよい。
【００３７】
図１０は、本発明の第６実施例に係るプローブを示した図である。図１０に示すように、取っ手１００２ｂに結合口１００２ｃを設けるとともに、この結合口１００２ｃに選択的に結合可能な多様な大きさのループアンテナ１００２ａ，１００４ａ，１００６ａを設ける。使用者は、必要によって所望の大きさのループアンテナ１００２ａ，１００４ａ，１００６ａを選択し、これを結合口１００２ｃを通して取っ手１００２ｂに結合することでプローブ１００２を完成する。印刷回路基板上に形成される各信号線は、その幅及び間隔が非常に多様である。信号線の幅が狭く、隣接した各信号線の間隔が非常に狭いにもかかわらず、大きいループアンテナ１００２ａを使用すると、目的としない信号線の磁界も一緒に検出される。したがって、信号線の幅が狭く、隣接した各信号線の間隔が非常に狭い場合には、小さいループアンテナ１００６ａを選択して使用することで、より正確な磁界を検出可能にする。図１０には示していないが、各ループアンテナ１００２ａ，１００４ａ，１００６ａに図７に示した保護材７０２ｃを取り囲むことでループアンテナ１００２ａ，１００４ａ，１００６ａを保護してもよい。
【００３８】
図１１は、本発明の第７実施例に係るプローブを示した図である。図１１に示すように、取っ手１１０２ｂに結合口１１０２ｃを設けるとともに、この結合口１１０２ｃに選択的に結合可能な多様な抵抗値の抵抗１１０２ｄ，１１０４ｄ，１１０６ｄを有するループアンテナ１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａを設ける。使用者は、必要によって所望の抵抗値の抵抗を有するループアンテナ１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａを選択し、これを結合口１１０２ｃを通して取っ手１１０２ｂに結合することでプローブ１１０２を完成する。使用者は、目的とする周波数特性に合う抵抗値の抵抗１１０２ｄ，１１０４ｄ，１１０６ｄを有するループアンテナ１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａを選択して使用することで、より正確な磁界検出を可能にする。図１１には示していないが、各ループアンテナ１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａに図７に示した保護材７０２ｃを取り囲むことでループアンテナ１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａを保護してもよい。
【００３９】
図１２は、本発明の第８実施例に係るプローブを示した図である。図１２に示すように、プローブ１２０２の取っ手１２０２ｂに結合される一対のループアンテナ１２０２ａを不透明材質の合成樹脂などからなる保護材１２０２ｃで取り囲むことで、ループアンテナ１２０２ａを保護する。ループアンテナ１２０２ａの太さが比較的細い場合、外力による破損及び汚染物質による汚染などの問題があるので、ループアンテナ１２０２ａを保護材１２０２ｃで取り囲んで保護する。
【００４０】
正確な磁界検出のためには、信号線１２０６が一対のループアンテナ１２０２ａの中間に位置することが好ましいが（図６に基づいた説明を参照）、このために、不透明材質の保護材１２０２ｃの表面に一対のループアンテナ１２０２ａの中間地点を表す表示部１２０２ｄを設ける。使用者は、プローブ１２０２を用いて磁界を検出するとき、信号線１２０６上に表示部１２０２ｄが位置するようにプローブ１２０２を位置させ、正確な磁界検出を可能にする。
【００４１】
図１３は、本発明の第９実施例に係るプローブを示した図である。図１３に示すように、一対のループアンテナ１３０２ａの上端に同相モードチョック１３０２ｄを設置する。この同相モードチョック１３０２ｄは、ループアンテナ９０２ａを通して流入する同相モードノイズを遮断し、ループアンテナ１３０２ａの磁界検出の正確度を改善する。この同相モードチョック１３０２ｄの電気的特性（例えば、コイルのターン数など）を調節することで、低周波ノイズまたは高周波ノイズなどを選択的に遮断することができる。
【符号の説明】
【００４２】
１０２，１０４，４０２，４０４，７０２，８０２，９０２，１００２，１１０２，１２０２ プローブ
１０２ａ，１０４ａ，４０２ａ，４０４ａ,７０２ａ，８０２ａ，９０２ａ，１００２ａ，１００４ａ，１００６ａ，１１０２ａ，１１０４ａ，１１０６ａ，１２０２ａ，１３０２ａ ループアンテナ
１０２ｂ，１０４ｂ，４０２ｂ，４０４ｂ，７０２ｂ，８０２ｂ，９０２ｂ，１００２ｂ，１１０２ｂ，１２０２ｂ 取っ手
２０２，５０２ 計測器
２０４，５０４ 印刷回路基板
２０６，５０６，７０６，１２０６ 信号線
２０８，５０８ 磁界
２１２ 接地線
７０２ｃ，８０２ｃ，９０２ｃ，１２０２ｃ 保護材
８０２ｄ シールド
９０２ｄ，１１０２ｄ，１１０４ｄ，１１０６ｄ 抵抗
１２０２ｄ 表示部
１３０２ｄ 同相モードチョック
【特許請求の範囲】
【請求項１】
取っ手と；
前記取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナと；を含み、
前記ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項２】
前記取っ手の長さ方向が前記ループアンテナの面の法線方向に従うように、前記取っ手と前記ループアンテナとが結合されることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記取っ手は、その長さ方向が前記法線方向に対して予め設定された角度だけ傾斜した状態で前記ループアンテナに結合されることを特徴とする請求項２に記載のプローブ。
【請求項４】
前記ループアンテナが前記取っ手を通して計測器に電気的に連結されることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項５】
前記電気的特性が磁界であることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項６】
取っ手と；
一つの面をなすように並んで配置され、前記取っ手に結合される一対のループアンテナと；を含み、
前記一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項７】
前記取っ手の長さ方向が前記一対のループアンテナの面の法線方向に従うように、前記取っ手と前記一対のループアンテナとが結合されることを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項８】
前記取っ手は、その長さ方向が前記法線方向に対して予め設定された角度だけ傾斜した状態で前記一対のループアンテナに結合されることを特徴とする請求項７に記載のプローブ。
【請求項９】
前記一対のループアンテナが前記取っ手を通して計測器に電気的に連結されることを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項１０】
前記一対のループアンテナの中間部分を被検査位置に置いて磁界を検出することを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項１１】
前記一対のループアンテナが互いに対角線方向に対称の構造を有することを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項１２】
前記電気的特性が磁界であることを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項１３】
取っ手と；
一つの面をなすように並んで配置され、前記取っ手に結合される一対のループアンテナと；
前記一対のループアンテナを取り囲んで保護する保護材と；を含み、
前記一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項１４】
前記保護材が透明材質であることを特徴とする請求項１３に記載のプローブ。
【請求項１５】
前記保護材が不透明材質であることを特徴とする請求項１３に記載のプローブ。
【請求項１６】
前記保護材の表面に前記一対のループアンテナの間の中間地点を表す表示部が設けられることを特徴とする請求項１５に記載のプローブ。
【請求項１７】
前記表示部と前記被検査物の検査位置とを一致させ、前記被検査物の周辺の磁界を検出することを特徴とする請求項１６に記載のプローブ。
【請求項１８】
前記電気的特性が磁界であることを特徴とする請求項１３に記載のプローブ。
【請求項１９】
取っ手と；
一つの面をなすように並んで配置され、前記取っ手に脱着可能に結合される一対のループアンテナと；を含み、
前記一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項２０】
前記面の大きさが互いに異なる複数のループアンテナのうち何れか一つを選択して前記取っ手に結合し、前記被検査物の周辺の磁界を検出することを特徴とする請求項１９に記載のプローブ。
【請求項２１】
前記ループアンテナの周波数特性を決定するように前記ループアンテナに電気的に連結される電気素子をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載のプローブ。
【請求項２２】
前記電気素子がキャパシタ、抵抗及びインダクタのうち少なくとも何れか一つであることを特徴とする請求項２１に記載のプローブ。
【請求項２３】
前記電気素子の特性値が互いに異なる複数のループアンテナのうち何れか一つを選択して前記取っ手に結合し、前記被検査物の周辺の磁界を検出することを特徴とする請求項２１に記載のプローブ。
【請求項２４】
前記電気的特性が磁界であることを特徴とする請求項１９に記載のプローブ。
【請求項２５】
取っ手と；
前記取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナと；
前記少なくとも一つのループアンテナを取り囲んで保護する保護材と；
前記保護材に前記少なくとも一つのループアンテナを取り囲むように設けられ、前記少なくとも一つのループアンテナに流入するノイズを遮断する多数のシールドと；を含み、
前記ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項２６】
前記多数のシールドがそれぞれ輪状に形成されることを特徴とする請求項２５に記載のプローブ。
【請求項２７】
取っ手と；
前記取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナと；
前記少なくとも一つのループアンテナに電気的に連結され、前記ループアンテナを通して流入する同相モードノイズを遮断するチョックと；を含み、
前記ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項１】
取っ手と；
前記取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナと；を含み、
前記ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項２】
前記取っ手の長さ方向が前記ループアンテナの面の法線方向に従うように、前記取っ手と前記ループアンテナとが結合されることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記取っ手は、その長さ方向が前記法線方向に対して予め設定された角度だけ傾斜した状態で前記ループアンテナに結合されることを特徴とする請求項２に記載のプローブ。
【請求項４】
前記ループアンテナが前記取っ手を通して計測器に電気的に連結されることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項５】
前記電気的特性が磁界であることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項６】
取っ手と；
一つの面をなすように並んで配置され、前記取っ手に結合される一対のループアンテナと；を含み、
前記一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項７】
前記取っ手の長さ方向が前記一対のループアンテナの面の法線方向に従うように、前記取っ手と前記一対のループアンテナとが結合されることを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項８】
前記取っ手は、その長さ方向が前記法線方向に対して予め設定された角度だけ傾斜した状態で前記一対のループアンテナに結合されることを特徴とする請求項７に記載のプローブ。
【請求項９】
前記一対のループアンテナが前記取っ手を通して計測器に電気的に連結されることを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項１０】
前記一対のループアンテナの中間部分を被検査位置に置いて磁界を検出することを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項１１】
前記一対のループアンテナが互いに対角線方向に対称の構造を有することを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項１２】
前記電気的特性が磁界であることを特徴とする請求項６に記載のプローブ。
【請求項１３】
取っ手と；
一つの面をなすように並んで配置され、前記取っ手に結合される一対のループアンテナと；
前記一対のループアンテナを取り囲んで保護する保護材と；を含み、
前記一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項１４】
前記保護材が透明材質であることを特徴とする請求項１３に記載のプローブ。
【請求項１５】
前記保護材が不透明材質であることを特徴とする請求項１３に記載のプローブ。
【請求項１６】
前記保護材の表面に前記一対のループアンテナの間の中間地点を表す表示部が設けられることを特徴とする請求項１５に記載のプローブ。
【請求項１７】
前記表示部と前記被検査物の検査位置とを一致させ、前記被検査物の周辺の磁界を検出することを特徴とする請求項１６に記載のプローブ。
【請求項１８】
前記電気的特性が磁界であることを特徴とする請求項１３に記載のプローブ。
【請求項１９】
取っ手と；
一つの面をなすように並んで配置され、前記取っ手に脱着可能に結合される一対のループアンテナと；を含み、
前記一対のループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項２０】
前記面の大きさが互いに異なる複数のループアンテナのうち何れか一つを選択して前記取っ手に結合し、前記被検査物の周辺の磁界を検出することを特徴とする請求項１９に記載のプローブ。
【請求項２１】
前記ループアンテナの周波数特性を決定するように前記ループアンテナに電気的に連結される電気素子をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載のプローブ。
【請求項２２】
前記電気素子がキャパシタ、抵抗及びインダクタのうち少なくとも何れか一つであることを特徴とする請求項２１に記載のプローブ。
【請求項２３】
前記電気素子の特性値が互いに異なる複数のループアンテナのうち何れか一つを選択して前記取っ手に結合し、前記被検査物の周辺の磁界を検出することを特徴とする請求項２１に記載のプローブ。
【請求項２４】
前記電気的特性が磁界であることを特徴とする請求項１９に記載のプローブ。
【請求項２５】
取っ手と；
前記取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナと；
前記少なくとも一つのループアンテナを取り囲んで保護する保護材と；
前記保護材に前記少なくとも一つのループアンテナを取り囲むように設けられ、前記少なくとも一つのループアンテナに流入するノイズを遮断する多数のシールドと；を含み、
前記ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【請求項２６】
前記多数のシールドがそれぞれ輪状に形成されることを特徴とする請求項２５に記載のプローブ。
【請求項２７】
取っ手と；
前記取っ手に結合される少なくとも一つのループアンテナと；
前記少なくとも一つのループアンテナに電気的に連結され、前記ループアンテナを通して流入する同相モードノイズを遮断するチョックと；を含み、
前記ループアンテナの面が被検査物に向かうようにし、前記被検査物の周辺の電気的特性を検出することを特徴とするプローブ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１０−７８５９７（Ｐ２０１０−７８５９７Ａ）
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２０９６０３（Ｐ２００９−２０９６０３）
【出願日】平成２１年９月１０日（２００９．９．１０）
【出願人】（３９００１９８３９）三星電子株式会社 (8,520)
【氏名又は名称原語表記】ＳＡＭＳＵＮＧ ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ ＣＯ．，ＬＴＤ．
【住所又は居所原語表記】４１６，Ｍａｅｔａｎ−ｄｏｎｇ，Ｙｅｏｎｇｔｏｎｇ−ｇｕ，Ｓｕｗｏｎ−ｓｉ，Ｇｙｅｏｎｇｇｉ−ｄｏ ４４２−７４２（ＫＲ）
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年９月１０日（２００９．９．１０）
【出願人】（３９００１９８３９）三星電子株式会社 (8,520)
【氏名又は名称原語表記】ＳＡＭＳＵＮＧ ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ ＣＯ．，ＬＴＤ．
【住所又は居所原語表記】４１６，Ｍａｅｔａｎ−ｄｏｎｇ，Ｙｅｏｎｇｔｏｎｇ−ｇｕ，Ｓｕｗｏｎ−ｓｉ，Ｇｙｅｏｎｇｇｉ−ｄｏ ４４２−７４２（ＫＲ）
【Ｆターム（参考）】
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