【課題】回折効率の高い格子型分光計の提供。
【解決手段】入射光は、格子で入射光を回折させることによりスペクトル分析される。入射光の少なくとも一部が分割されてこの分割部分が主として入射光の一偏光成分を含むようにする。入射光のこの分割部分の残りの部分は、これらの偏光方向が格子により最大効率で回折される偏光の主方向にほぼ平行な状態で格子の到達するようにする。この目的のため、少なくとも分割部分を偏光回転要素の通過後、回折させる。 （もっと読む）

【課題】分光素子において、大きさの縮小化と、分光素子と受光素子の位置合わせの高精度化を可能にするとともに、感度を向上させた分光素子を実現する。
【解決手段】上方に開口した孔部を有する金属板からなる分光素子。孔部の水平断面は、互いに平行でない少なくとも一対の対向面を有する多角形である。孔部の内側面は鏡状の反射面となっており、開口から孔部に入射した偏光を、反射面において反射することによる干渉によって、孔部の内部に定在波を生じさせて、前記入射光を複数の波長帯に分光する。入射光が分光した分光分布の局在位置となる分光素子の下面に受光素子を配置することによって、分光分布を電気信号に変換する。 （もっと読む）

【課題】分光エリプソメータにおいて、高精度なフォーカス調整を実現する。
【解決手段】分光エリプソメータ１では、光源３１からの光が、照明部３の光学系を介して基板９の測定面９１へと傾斜しつつ入射し、受光部４の光学系を介して受光デバイス４２２へと導かれ、受光デバイス４２２により取得された測定面９１からの反射光の分光強度に基づいて偏光解析が行われる。また、分光エリプソメータ１のフォーカス調整では、受光デバイス４２２により取得された測定面９１からの反射光の所定の波長帯の合計光量に基づいて測定面９１のフォーカス位置が求められる。このように、分光エリプソメータ１では、偏光解析に利用される光学系とフォーカス調整に利用される光学系とを共通とすることにより、温度変化等による光学系の変化の影響を排除し、より高精度なフォーカス調整を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 測定に際して構成要素を移動させることなく、簡素な構成にしたがって、測定対象物からの光の分光特性を測定することのできるフーリエ分光器。
【解決手段】 測定対象物から入射した光のうち、第１の直線偏光状態の光を射出する偏光子（１ａ）と、偏光子を経た第１の直線偏光状態の光に位相差を可変的に付与する可変位相部材（２）と、可変位相部材から入射した光のうち、第１の直線偏光状態の光の偏光方向と直交する方向に偏光方向を有する第２の直線偏光状態の光を射出する検光子（１ａ）と、検光子を経た第２の直線偏光状態の光を検出する光検出器（３）と、可変位相部材により付与される位相差と光検出器で検出される光強度とに基づいて、測定対象物からの光の分光特性を測定する測定部（４）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 チャネルド分光偏光計測装置において、計測原理に起因する系統誤差を低減する。
【解決手段】 光源と、偏光子と、第１の移相子と、第２の移相子とを含む投光光学系と、測定対象領域において反射又は透過した光を透過させる検光子と、検光子を透過した光の分光光量を求める手段とを備え、第１の移相子の厚みをD₁、第２の移相子の厚みをD₂としたときに、D₁とD₂との比が、17/7≦D₁/D₂≦7、9/7≦D₁/D₂≦5/3、17/7≦D₂/D₁≦7、9/7≦D₂/D₁≦5/3のいずれかを満たすようにした。 （もっと読む）

【課題】小さい位相差を簡便に精度よく測定できる位相差測定装置の提供。
【解決手段】光源、偏光子、試料台、検光子、及び分光器がこの順に配置されている光学系と、計算手段とを含む位相差測定装置であって、波長板が、偏光子と検光子の間に配置されており、かつ測定波長域内の２つ以上の波長それぞれにおいて、該波長板のレターデーション値を０．５以上の整数または半整数で除算した値が該波長と一致する位相差測定装置。 （もっと読む）

制御偏光子（Ｐ２）及びビーム偏光子（Ｐ）を、任意に介在する制御補償子（Ｃ）と併用して適用することにより、電磁ビームの強度を波長スペクトルにわたって制御する、エリプソメーター又はポラリメーターのシステム及びその方法。
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【課題】耐環境性および低コスト性に優れ且つ小型化が可能な光学式分光偏光計測装置を提供する。
【解決手段】光学式の偏光フィルタ２１をインナースリーブ８１の内側に同芯状態で取り付け、第２回転駆動装置２２のステッピングモータ２２bの出力ギヤ２２aをインナースリーブ８１の外周面に配設された入力ギヤ８１aと噛み合わせ、ステッピングモータ２２bが回転駆動されると偏光フィルタ２１が光軸の回りに回転するように構成する。 （もっと読む）

【課題】波長分解能と測定精度の両方を向上させることが可能なであり、また、機械的な駆動部を必要とせず、小型かつ軽量の分光計測器を提供すること。
【解決手段】透過スペクトルが順次異なる複数の微小フィルターを列状に配置してなり、一定の透過波長帯域を有するユニットフィルターを一列或いは複数列有する複合型の分光フィルター１０５と、個々の前記微小フィルターに光学的に対応した画素を有し、微小フィルターを透過した光を受光する光電変換素子１０５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高性能のチューナブルフィルタを提供する
【解決手段】光源又は他の光学系から入射する光は、第１光学系１に入射し、光軸に平行な光束に変換される。この光は、第１ウォラストンプリズム２に垂直入射し、Ｐ偏光とＳ偏光の進行方向が分離される。グレーティング５３により分光された光は、分光器カメラ光学系５４によって、Ｐ偏光とＳ偏光の偏光分離入力光ビームの２つのスペクトラム像を、それぞれ、反射型液晶素子アレイデバイス６の第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２上に結像する。第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２の各単位液晶素子に印加する電圧を調整することにより、各単位液晶素子のリターデーションを調節する。これによって、第１液晶素子アレイ６１、第２液晶素子アレイ６２から反射して、入射してきた経路を逆にたどって戻っていく光束の、偏光の向きを、入射した光の波長毎に変えることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多波長光信号と基準信号とを、波長により、多数のスペクトルチャネルと基準スペクトル成分とに分離する新規な方法及び装置を提供する。
【解決手段】基準スペクトル成分を所定の位置に位置合わせすることにより、スペクトルチャネルは、同時に、例えば、スペクトルアレイに基づいて位置させられたビーム受信素子のアレイ上のような指定された位置の上に衝突する。基準スペクトル成分を、さらに、サーボ制御により所定の位置に維持して、これによりスペクトルチャネルが指定された位置に位置合わせされた状態のまま留まるようにすることを確実にすることができる。本発明は、ＷＤＭ光通信用途のために、スペクトルパワーモニタ、及び光学マルチプレクサ／デマルチプレクサを含むサーボをベースにした光学系の新しいラインを構成するのに用いることができる。 （もっと読む）

【課題】可動部が無く、異なった波長分布の光を放出することができるスペクトル変調器を提供する。
【解決手段】ＰＢＳ１に入射した光はＰ偏光、Ｓ偏光成分に分けられ、それぞれ偏波保持光ファイバ２、３を通して２つの光路に分けられる。そして、回折格子５で波長分散された光は、各波長ごとに、偏波保持光ファイバ２、３の端面に共役な位置に結像する。この位置にＬＣＯＳ素子アレイ６が置かれ、変調によって、直線偏光であった入射光が楕円偏光になり、入射した光路を逆にたどって進行する。ＰＢＳ１に戻ってきた光は、変調されていない光の成分は、最初に入射した方向に戻るが、変調されて偏光状態が逆になった成分の光は、射出光と書かれた方向に射出される。従って、ＬＣＯＳ素子アレイ６の各ＬＣＯＳ素子での変調の度合いを制御することにより、異なったスペクトル分布を有する光を取り出すことができ、スペクトル変調器として使用することができる。 （もっと読む）

【課題】迷光除去率よく、所望の波長をもつ直線偏光を抽出することのできる偏光分光器を提供することを目的とする。
【解決手段】偏光分光器１０は、一軸性の複屈折結晶プリズム２０と、プリズム２０へ入射光を平行光とするコリメータ光学系１８と、プリズム２０からの出射光を集光する集光光学系２２と、を備える。プリズム２０は底面が三角形の三角柱形状で、該三角形の一辺を含む側面が入出射面、該三角形の他の一辺を含む側面が反射面であり、プリズムの光学軸は底面に垂直である。そして、プリズム２０の入出射面から出射する常光と異常光とが、コリメータ光学系１８とプリズム２０とを結ぶ光軸に対して互いに反対側方向へ出射するように、プリズム２０との配置及び入出射面の角度が設定され、集光光学系２２は常光もしくは異常光の一方を集光するよう配置される。 （もっと読む）

分光エリプソメーター、及び分光リフレクトメーター／エリプソメーター複合システムを開示している。分光エリプソメーターシステム部分は、データ収集の期間中は、回転された位置に固定されたままである偏光子素子（Ｐ）及び検光子素子（Ａ）と、前記電磁放射線のビームに、連続的に変化するのではなく、複数のシーケンシャルで離散的な偏光状態をもたらすことができる、段階的に回転可能な補償子（ＤＳＰ）電磁ビーム透過手段とを含む。さらに、前記分光エリプソメーターシステムの数学的モデルを提供すること及び数学的回帰法手順の適用と併せて、複数のエリプソメトリック的に区別されるサンプルシステムそれぞれのために、複数のシーケンシャルなで離散的な電磁放射線ビームの偏光状態における分光分析データを収集することを含む、本発明の前記分光エリプソメーターシステム部分の作動手順を開示している。
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【課題】可動部が無く、異なった波長分布の光を放出することができるスペクトル変調器を提供する。
【解決手段】ＰＢＳ１に入射した光はそれぞれＰ偏光、Ｓ偏光成分に分けられ、２つの異なる光路へと導かれる。そして、回折格子５で波長分散された光は、各波長ごとに、ピンホールに共役な位置にピンホール像を作る。この位置に反射型のＬＣＯＳ素子アレイ７が置かれ、変調によって、直線偏光であった入射光が楕円偏光になり、反射されて入射した光路を逆にたどって進行する。ＰＢＳ１に戻ってきた光は、変調されていない光の成分は、最初に入射した方向に戻るが、変調されて偏光状態が逆になった成分の光は、射出光と書かれた方向に射出される。従って、ＬＣＯＳ素子アレイ７の各ＬＣＯＳ素子での変調の度合いを制御することにより、異なったスペクトル分布を有する光を取り出すことができ、スペクトル変調器として使用することができる。 （もっと読む）

【課題】 回折格子や分光器を用いないで、対象物の表面の色、吸収などを簡易迅速に検出するための軽量、小型、低コストのセンサを与えること。
【解決手段】 筐体と、筐体の内部に設けられ複数の波長の光を発生する光源と、筐体の内部に設けられ光源から発生した複数波長の光を直線偏光にして分岐し第１分岐光ｇを交番電界を掛けたポッケルス効果素子を含む光路Ｇに通し第２分岐光ｈを誘電体あるいは反対向きの交番電界を掛けたポッケルス効果素子を含む光路Ｈに通して分岐光ｇ、ｈの間に周期的な位相差を与え合波して試験光Ｓとする干渉部と、試験光Ｓを外部の試料にあてるための筐体に設けられた窓と、試料からの反射光を受光する受光素子と、受光素子によって得られた時間的光強度変化を、交番電界の変化に同期してフーリエ変換する演算部と、フーリエ変換によって得られた波数分布Ｒ（ν）を記憶表示する記憶表示部を含む。 （もっと読む）

【課題】偏光をより早くて効果的に測定できる楕円分光器、偏光測定装置および偏光状態測定方法を提供する。
【解決手段】偏光測定装置は、光の偏光状態が分かるように入射される光を回折させる円形回折格子１４０と、円形回折格子１４０で回折された光を受光して、光の偏光状態を表示する検出器１５０と、を備える。円形回折格子１４０は、一定した溝を掘って形成された格子を有し、格子の間隔と溝の深さとを調節して光の偏光方向による透過率を調節する。円形回折格子１４０は、入射光をすべての方向に回折させる。検出器１５０は、回折された光を受光して、二次元的に検出する。検出器１５０の検出された二次元画面では、入射光の偏光程度を測定するデータが直接抽出可能である。 （もっと読む）

【課題】迷光除去率良く、単色の直線偏光を抽出する偏光分光器を提供すること。
【解決手段】波長および偏光方向に応じた方向へ光を出力する第１プリズム１２と、第１プリズム１２を透過した光を受け、波長および偏光方向に応じた方向へ光を出力する第２プリズム１６とを備えた偏光分光器１０。第１プリズム１２および第２プリズムは一軸性の結晶プリズムであり、第１プリズム１２の光学軸および第２プリズム１６の光学軸は共に各プリズム内での光路に直交し、かつ第２プリズム１６の光学軸が、第１プリズム１２からの出力光のうち、第１プリズム１２の光学軸に直角に偏光した直線偏光成分の偏光方向を向いている。 （もっと読む）

【課題】円二色性を十分な精度で測定のできる光学系付属品、およびそれを用いた分光高度計を提供すること。
【解決手段】 ダブルビーム型分光光度計の試料室に着脱自在な、円二色性を測定するための光学系付属品１１０であって、該光学系付属品１１０は、一方の光束の光路上に設置され、該光束を直線偏光とする第１の偏光子１１２ａと、他方の光束の光路上に設置され、該光束を直線偏光とする第２の偏光子１１２ｂと、第１および第２の偏光子１１２ａ，１１２ｂからの直線偏光を互いに逆向きの円偏光とする４分の１波長板１１４と、該４分の１波長板からの左右円偏光が照射される試料を保持する試料保持手段１１８とを備え、前記４分の１波長板１１４を透過した光が試料保持手段１１８に保持される試料の略同一点に照射するように、前記第１、第２の偏光子、および前記４分の１波長板を配置している。 （もっと読む）

【課題】波長走査型ＯＣＴやフーリエドメインＯＣＴ等の光断層画像化装置の波長走査型光源、モノクロメーター、分光器等の較正を、オシロスコープや干渉フィルター等の特殊機材を使用するすることなく行えるようにする。
【解決手段】時間的に波長を走査する波長走査型光源２を有する光コヒーレンストモグラフィーの波長走査型光源２を較正する場合に、光コヒーレンストモグラフィーにより波長走査型光源２をモニタリングしてスペクトル干渉信号を時間信号として検出し、このスペクトル干渉信号から走査波長の時間依存性を求め、波長走査型光源２の走査波長の時間依存特性を較正する。 （もっと読む）