【課題】本開示は概略的に、多重波長作像分光器に対する方法および装置に関する。より詳細には、一実施例において本開示は、光子を貫通通過させる光学フィルタに関する。
【解決手段】前記フィルタは、第１フィルタ・ステージおよび第２フィルタ・ステージを含む。前記第１フィルタ・ステージは、第１リターダ要素と第１液晶セルとを含み得る。前記第１要素は、入力面および出力面を含み得る。前記第１要素の各面のひとつは、当該フィルタを貫通通過する光子の軌跡に対して実質的に直交しては配向されない。

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【課題】 放射または反射された光の角度情報と分光強度情報とを同時に測定可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】 測定対象物の一点に焦点位置を有し、放射または反射された光を平行光化する第一のレンズ群と、平行光化された光を二次元分光器のスリットの位置に結像させる第二のレンズ群と、スリットを通過した光を分光し二次元分光画像とする二次元分光器と、撮像手段と、データ処理装置とを有し、放射（反射）角度と分光強度を同時に測定する。なお、反射光を分光測定する場合には、光源と、レンズとピンホールとの組み合わせになる光学系とを有し、光源からの光をスポット光とする照射手段を備えることが好ましい。また、偏光特性を測定する場合には、光源からの光に偏光を与える偏光子を照射手段の光路上に備え、かつ第一のレンズ群と二次元分光器の間の光路上に検光子を配設することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 幅広のコアパターンに発生するクラックを視認化し、クラック不良を効率よく識別しうる方法及びこれを用いたポリマー光導波路の製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板上に、下部クラッド層、及びコアを有するポリマー光導波路のコアに沿って発生したクラックを偏光顕微鏡により観察することを特徴とするポリマー光導波路の検査方法、及びこれを用いたポリマー光導波路の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 チャネルド分光偏光計測法において、移相子のリタデーションが試料の状態により様々に変動することによって生ずる試料の分光偏光特性を表すパラメータの計測誤差を効果的に除去する。
【解決手段】 移相子のリタデーションを一定なものとするには、移相子を通過する光の入射方向を安定させればよいということに着目して、移相子を試料に対して光源側に配置し、計測誤差に関係する試料による光線方向の変動等の影響を効果的に除去した。 （もっと読む）

【課題】PMD・PDL補償と共に、光信号強度の正確な計測、小型化、組立の簡略化、偏光変換の問題の解消、低コスト化、波長分解能の向上等が可能な波長モニタ装置の提供。
【解決手段】コリメートレンズ、複屈折素子、ファラデー回転子、溝部又は凸部が形成された回折格子、PMD補償素子、リニアイメージセンサとで波長モニタ装置を構成し、複屈折素子の結晶軸と回折格子とを位置決めし、更に、WDM装置からの光信号を複屈折素子で常光線と異常光線とに分離し、常光線のみをファラデー回転子に透過させて偏光方向を90度回転させて常光線と異常光線の偏光方向を同一方向にすると共に、常光線と異常光線との間で発生するPMDをPMD補償素子に異常光線を透過させて補償し、常光線と異常光線の偏光成分を同一の前記溝部若しくは凸部で回折させてリニアイメージで光信号の強度和を出力する。 （もっと読む）

【課題】 チャネルド分光偏光計測法が有する様々な特徴を継承しつつ、移相子のリタデーションが温度変化その他の要因により変動することによって生じる分光偏光状態を示すパラメータの計測誤差を効果的に低減すること。
【解決手段】 チャネルドスペクトルＰ（σ）中に含まれる各振動成分から方程式を解くことにより、基準位相関数φ_１（σ）、φ_２（σ）が求められることに着目し、分光ストークスパラメータＳ_０（σ），Ｓ_１（σ），Ｓ_２（σ），Ｓ_３（σ）の測定と同時に、基準位相関数φ_１（σ）とφ_２（σ）を較正するようにした。 （もっと読む）

検出装置は、入射する放射ビームに変調を加える変調手段と、変調されたビームが通過するサンプル保持手段と、放射ビームを拡張するビーム拡張手段と、拡張された放射ビームの異なる部分を検出信号として受信する固体検出器のアレイと、変調手段により変調された変調信号に検出した信号を同期させる処理手段とを備える。
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【課題】本発明は、分光器に関し、より詳細には、エタロンベースの分光器に関する。
【解決手段】第１の複光路エタロンベース分光器が開示される。好ましい実施形態において、第１の複光路エタロンに適合する第２のエタロンが使用され、極めて正確なフリンジデータを生成する。拡散ビームのスペクトル成分は、エタロンを通って透過される時に角度的に分離される。再帰反射器は、透過された成分を該エタロンを通して反射して戻す。２度透過されたスペクトル成分は、第２のエタロンを通って進み、第２の好ましい実施形態ではフォトダイオード・アレーである光検出器上に集束する。該分光器は、非常にコンパクトであり、きわめて正確なフリンジデータを生成し、Δλ_FWHM及びΔλ_95%の両方に関してマイクロリソグラフィーに必要な精度を伴う帯域幅測定を可能にする。 （もっと読む）

【課題】 光学計測システム３００は、フィルタ１３０と画像センサ１５０とを自動制御し、目的とする波長と偏波面変位角および対象物の向きと傾きとに対して精度の高い画像データを連続的に取得することを目的とする。
【解決手段】 偏光分光放射計１００では、光を入射し、フィルタ１３０が、入射した光を選別し、画像センサ１５０が、光から画像データを取得する。偏光分光放射計１００に対して、偏光分光放射計制御装置２００で、フィルタ電圧制御部２１０は、フィルタ１３０にかける電圧を制御し、フィルタ１３０にかけた電圧により選別する波長を出力する。フィルタ回転制御部２２０は、フィルタの回転を制御し、フィルタ１３０の回転により選別する偏波面変位角を出力する。センサ制御部２３０は、フィルタ電圧制御部２１０が出力した波長と、フィルタ回転制御部２２０が出力した偏波面変位角とに対する駆動量に基づいて画像センサ１５０を駆動する。 （もっと読む）

【課題】 放射光の損失を伴うことなくかつ簡易な構成で放射光の偏光を可能とした赤外光放射装置を提供する。
【解決手段】 パルス励起光が照射されて光キャリアを生成する光伝導膜２２と、光伝導膜２２上に間隙３２を介して形成され、赤外光を放射する一対の第１アンテナ電極膜２１ａと、第１アンテナ電極膜２１ａに対して角度を有しかつ間隙３２を介して光伝導膜２２上に形成された、赤外光を放射する一対の第２アンテナ電極膜２１ｂと、第１アンテナ電極膜２１ａおよび第２アンテナ電極膜２１ｂに対して、それぞれ独立に電圧を印加する制御部とを備えていることを特徴とする。第１アンテナ電極膜２１ａに印加する電圧と、第２アンテナ電極膜２１ｂに印加する電圧は、それぞれ選択的に異なる時刻に印加することとしても良く、あるいは、同時に異なる位相で印加することとしても良い。 （もっと読む）

【課題】
光信号対雑音比（ＯＳＮＲ）を測定する。
【解決手段】
光バンドパスフィルタ（ＯＢＰＦ）２０が、測定対象の波長又はチャネルの信号光成分を抽出する。光スプリッタ２２は、ＯＢＰＦ２０の出力光を７つに等分割する。偏光子２４，２８，３２，３６及びフォトダイオード２６，３０，３４，３８により、水平方向、垂直方向、＋４５度方向及び−４５度方向の各直線偏光成分の光強度Ｐ_１，Ｐ_２，Ｐ_３，Ｐ_４を得る。１／４波長板４０，４６、偏光子４２，４８及びフォトダイオード４４，５０により、右回り及び左回りの各円偏光成分の光強度Ｐ_５，Ｐ_６を得る。フォトダイオード５２により測定対象の信号光の光強度Ｓ_０を得る。減算器５４、５８，６２が、Ｓ_１（＝Ｐ_１−Ｐ_２）、Ｓ_２（＝Ｐ_３−Ｐ_４）及びＳ_３（＝Ｐ_５−Ｐ_６）をそれぞれ算出する。演算装置６８はＳ_１，Ｓ_２，Ｓ_３，Ｓ_０から偏光度（ＤＯＰ）を算出し、換算装置７０はＤＯＰをＯＳＮＲに換算する。 （もっと読む）