【課題】 高速で高感度な分光が可能であるとともに、分光可能な波長範囲が広く、かつ小型化を実現可能な分光装置を提供する。
【解決手段】 光源からの光が入力される光入力部１０２と、光学素子と、電気光学効果を有する材料で形成された屈折率変化領域１１９、及び屈折率変化領域１１９を挟むように電極１２０が配置された光偏向素子１０７と、波長選択性を有し、特定波長の光を共鳴反射する共鳴フィルタ１０８と、共鳴フィルタ１０８で反射された光を検出する光検出器１１４とを少なくとも備え、共鳴フィルタ１０８への光線の入射角及び共鳴フィルタ１０８の波長選択性の少なくともいずれかを変化させることにより、複数の波長帯域を分光することを特徴とする分光装置である。 （もっと読む）

【課題】迅速に安定状態に移行可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、固定基板５１に接合された可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２に設けられ固定反射膜５４に反射膜間ギャップＧ１を介して対向する可動反射膜５５と、可動基板５２を固定基板５１側に撓ませて反射膜間ギャップＧ１のギャップ量を変化させる静電アクチュエーター５６と、を具備し、固定基板５１及び可動基板５２の間には、反射膜間ギャップＧ１のギャップ量が小さくなった際に、固定反射膜５４及び可動反射膜５５の間の空気が逃げる解放空間５７が設けられ、可動基板５２のバネ定数をｋ_ｖとし、反射膜間ギャップＧ１に存在する空気のバネ定数をｋ_ａｉｒとした場合に、ｋ_ｖ≧２０×ｋ_ａｉｒの関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】光学ビームの周波数を安定化する分光器アセンブリを提供する。
【解決手段】分光器アセンブリ７は熱分離プラットフォーム４００、ガス４１を囲い、熱分離プラットフォームに取り付けられるガス参照セル４０を含み、ガス参照セルは、少なくとも１つの光学透明窓４１５、囲まれるガスの温度を上昇させるように構成される少なくとも１つのヒーターを備える。ビームスプリッタ３０が、レーザー１０から放射される入力光学ビームの一部が反射されてガス参照セルの少なくとも１つの光学透明窓に入射するように構成される場合、入力光学ビーム２０の反射された部分は、ガスを二度通過する。検出器３５０がガスを二度通過した光学ビームを受け取るように構成される場合、レーザーを安定化させるために、レーザーにフィードバック信号５０が提供される。 （もっと読む）

【課題】所望の波長の光を精度よく取り出せる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２の固定基板５１に対向する面に設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４と対向する可動反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定電極５６１と、を備え、固定基板５１は、固定反射膜５４が設けられる反射膜固定面５１２Ａと、固定電極５６１が設けられ、可動基板５２からの距離が反射膜固定面５１２Ａとは異なる固定電極面５１１Ａと、を有し、反射膜固定面５１２Ａよりも可動基板５２からの距離が大きい固定電極面５１１Ａに、固定反射膜５４及び固定電極５６１が積層された積層部５７が設けられた。 （もっと読む）

【課題】分光センサー及び角度制限フィルターを小型化する。また、任意の傾斜角度を有する光路を含む角度制限フィルターを製造する。
【解決手段】角度制限フィルターは、第１の開口部を有する第１の遮光層と、第２の開口部を有し、第１の遮光層の上方に位置する第２の遮光層と、を含み、第２の遮光層の上方から見て第１の開口部と第２の開口部とが一部重なり、且つ、ずれた位置に有するように、第１及び第２の遮光層が配置されている。分光センサーは、角度制限フィルターと、波長制限フィルターと、受光素子とを具備する。 （もっと読む）

【課題】高さが異なる面を有する微小な構造体を製造する。
【解決手段】基板の上方に感光性材料層を形成する工程（ｂ）と、感光性材料層の上方にマスクを配置する工程（ｃ）と、感光性材料層のうち、第１の領域以外の部分をマスクによって遮光しながら、第１の領域を露光する工程（ｄ）と、マスクを感光性材料層の面に沿って移動する工程（ｅ）と、感光性材料層のうち、第１の領域の一部である第２領域と、第２領域に接し、工程（ｄ）で遮光された領域の一部である第３の領域以外の部分をマスクによって遮光しながら、第２の領域と第３領域を露光する工程（ｆ）と、感光性材料層を現像することにより、マスクの移動方向に沿って高さが異なる面を感光性材料層に形成する工程（ｇ）と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーと固定ミラーがパチンと引き合うスナップダウン現象を防止し、且つ、低消費電力も実現できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】固定ミラー５６と可動ミラー５７は所定のギャップＧをもって対向配置されており、固定ミラー５６と可動ミラー５７の外側には、ギャップＧよりも大きな電極間距離Ｇ１が設定され、Ｇ１が設定された部位から更に外側には、ギャップＧよりも小さな電極間距離Ｇ２が設定される。 （もっと読む）

【課題】精度の高い分光特性の測定ができる分光測定装置を提供すること。
【解決手段】分光測定装置１は、可視光の波長域にピーク波長を有さず、短波長から長波長に向かうに従って光量が増大する光を射出するタングステンランプ２１１と、可視光の波長域にピーク波長を有する光を射出する紫色ＬＥＤ２１２と、タングステンランプ２１１及び紫色ＬＥＤ２１２から射出される光を混合する光混合器２２と、光混合器２２で混合された光が入射され、混合された光の入射光のうち、特定波長の光を透過させるエタロン５と、エタロン５を透過した光を受光する受光部３１と、エタロン５の透過する光の波長を切り替え、受光部３１により受光された光に基づいて、エタロン５を透過した光の分光特性を測定する測定制御部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光センサを提供する。
【解決手段】 分光センサ１では、キャビティ層２１が干渉フィルタ部２０Ａ〜２０Ｃのそれぞれに渡って一体的に形成されており、キャビティ層２１の一部が隣り合うＤＢＲ層２３，２３間の領域Ｒ２に入り込んでいる。これにより、分光センサ１の使用時における温度サイクルに起因して、各干渉フィルタ部２０Ａ〜２０Ｃを構成する各部材が膨張・収縮しても、ＤＢＲ層２３からキャビティ層２１が剥がれることが防止される。 （もっと読む）

【課題】分光画像を得るまでに要する処理時間を短くするとともに、ノイズの少ない分光画像を得ることを課題とする。
【解決手段】所定の撮像領域からの光を、光学フィルタ２を介して、２次元配置された画素アレイを有する画像センサ４で検出し、その検出結果を出力する分光画像撮像装置において、上記光学フィルタとして、画像センサ上における１つの画素に対応した格子パターンを有する回析格子を用い、その回析格子を通過した光の回析角度に応じた画像センサ上の干渉地点の違いにより、隣接する２つの画素間における輝度Ｉ１，Ｉ２の差分値が異なるように構成されている。そして、当該隣接する２つの画素間における輝度差分値に基づくコントラスト指標値Ｉｃ＝（Ｉ１−Ｉ２）／（Ｉ１＋Ｉ２）を算出し、各コントラスト指標値の違いを階調の違いで表現した画像を分光画像として生成し、その分光画像からノイズ成分を除去する。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの特性設計を容易化すること。
【解決手段】 エタロンフィルター３００は、第１基板２０と、第１基板に対向する第２基板３０と、第１基板に設けられた第１光学膜４０と、第２基板に設けられ、第１光学膜と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ１と、第２光学膜５０の、反射帯域における各波長の光の反射率によって定まる反射特性Ｌ２とが異なる。第１光学膜４０は、第１波長λ１を中心波長とする反射特性を有し、第２光学膜５０は、第１波長とは異なる第２波長λ２を中心波長とする反射光特性を有することができる。エタロンフィルター３００の分光帯域での中心波長をλ３としたとき、λ１＜λ３＜λ２となるように、各光学膜４０，５０を設計する。 （もっと読む）

【課題】簡易なフィルタ構成で透過波長帯域幅の可変範囲を広げることが可能な分光装置を提供すること。
【解決手段】この光源装置１は、入射光Ｌ２の光路上に直列に並んで設けられた２つのフィルタ回転体８Ａ，８Ｂを備えており、フィルタ回転体８Ａ，８Ｂは、入射光Ｌ２を入射光の入射角に応じた波長範囲で選択的に透過させるフィルタ８１ａ〜８１ｈと、フィルタ８１ａ〜８１ｈを、入射光の入射角が変更可能なように支持する回転テーブル８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】高分解能で、かつ低コストで製造可能な干渉フィルターを提供する。
【解決手段】エタロン５は、下部基板５１と、下部基板５１に対向する上部基板５２と、下部基板５１に設けられる下部反射膜５６と、上部基板５２に設けられるとともに、下部反射膜５６に対してギャップを介して対向する上部反射膜５７と、を備え、下部基板５１の上部基板５２に対向する面のうち、少なくとも下部反射膜５６が設けられる下部反射膜形成面５１１Ａには、上部基板５２に対向する表面が平滑面となる平滑膜５１２が設けられ、下部反射膜５６は、平滑膜５１２の表面に設けられる。 （もっと読む）

【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性の良い安価な分光器を提供する。
【解決手段】回折格子およびスリット部を、可動部を持たない固定型とし、回折格子１で分光された分光光に対応した位置に複数のスリットが設けられたスリット部３を設置し、さらに特定波長の分光光のみ透過可能なマスクを該スリット部の入射側手前に設置し、減光フィルタ２６を付設したλ３用マスク４に開口されたスリット４ａに合致した光のみを透過させて、前記複数の分光光すべての検出が可能な大きさを有する検出器５により光強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】ギャップが形成される空間の内圧の上昇を抑制し、ギャップの精度を向上させることができる波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルターの製造方法は、第一基板１００のチップ領域１０１に、静電ギャップ形成溝１１１と、静電ギャップ形成溝１１１からチップ領域１０１の外周縁に延びる配線形成溝１１３、１１４と、これらの配線用形成溝と第一基板１００の外部とを連通する空気連通溝１２０、１３０と、を形成する第一基板溝形成工程と、前述の各種溝に固定ミラー１６、第一電極１４１、および第一配線部１４１Ａを形成する第一基板配線形成工程と、可動ミラー、第二電極、および第二配線部と、を備えた第二基板を形成する第二基板形成工程と、第一基板１００および第二基板を貼り合わせる貼合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を実現すること。
【解決手段】 光源から試料に励起光が照射されると、顕微鏡に入射される前記試料が発する広い波長範囲に亘る多数の散乱光を分析する顕微鏡用分光分析装置において、前記散乱光を平行光束にする第１の光学手段と、入射した光を透過させる透過波長帯域が可変であって、入射した平行光束の前記散乱光のうち予め定められた前記透過波長帯域の光を透過する第１の可変バンドパスフィルタ手段と、前記透過波長帯域の前記散乱光を撮像する２次元アレイ光検出手段と、前記２次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、このタイミングに合わせて前記第１の可変バンドパスフィルタ手段の前記透過波長帯域を変更する制御手段を、備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光通信の変調周波数が高い場合でもＯＳＮＲを精度よく測定できる分光器を用いたＷＤＭモニタや光スペクトラムアナライザなどの光測定装置を提供すること。
【解決手段】分光器を用いた光測定装置において、前記分光器の入射光を互いの偏波面が直交する２系統に分離する偏光分離素子と、この偏光分離素子で分離された直交偏波成分をそれぞれ個別に検出する受光素子を設け、変調周波数が高い場合でもＯＳＮＲを精度よく測定できるようにしたもの。 （もっと読む）

【課題】 大型化を防止しつつ、広い波長域の光や異なる波長域の光を精度良く検出し得る分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１では、分光部４と光検出素子５とに加えて、分光部８と光検出素子９とが設けられているので、広い波長域の光や異なる波長域の光に対して検出感度を高めることができる。更に、光検出部５ａと光検出部９ａとの間に光通過孔５ｂ及び光吸収層１２が設けられており、その光吸収層１２（すなわち、領域Ｒ）と対向するように反射部７が設けられているので、大型化を防止することができる。また、外乱光Ｌ_ａは、光吸収層１２に吸収される。そして、外乱光Ｌ_ａの一部が光吸収層１２の領域Ｒを透過したとしても、その一部の光は、領域Ｒと対向するように設けられた反射部７によって領域Ｒ側に反射されるので、外乱光Ｌ_ａの入射に起因した迷光の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】分光センサー及び角度制限フィルターを小型化する。
【解決手段】角度制限フィルター１０は、同一材料を含む複数の遮光体１３によって積層され、当該遮光体１３の積層方向の光路を形成する光路壁部と、光路壁部に囲まれた領域に形成された光透過部と、を具備し、光路内を通過する光の入射角度を制限する。分光センサーは、上述の角度制限フィルター１０と、角度制限フィルター１０を通過できる光の波長を制限する波長制限フィルター２０と、角度制限フィルター１０及び波長制限フィルター２０を通過した光を検出する受光素子３０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】より高い精度で反射膜間のギャップ制御が可能な光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１反射膜４０と、第２反射膜５０と、第１電極６２と、第２電極６４と、第３電極７２と、第４電極７４と、電位差制御部と、を有する。第１電極６２と前記第３電極７２とは第１距離Ｇ１を隔てて対向し、第２電極６４と前記第４電極７４とは前記第１距離Ｇ１と異なる第２距離Ｇ２を隔てて対向している。電位差制御部は、第１電極６２と第３電極７２との間に電位差を生じさせることによって第１電極６２と第３電極７２とを当接させ、第２電極６４と第４電極７４との間に電位差を生じさせることによって第２電極６４と前記第４電極７４とを当接させる。 （もっと読む）