【構成】
半導体チップの一面に感ガス部を有する絶縁膜が設けられ、感ガス部の裏面で半導体チップにキャビティが設けられている。半導体チップは、一面から反対面へと貫通し、感ガス部に電気的に接続される導電性のビアと、反対面に設けられかつビアに接続される配線とを備え、感ガス部は半導体チップに固着された通気性のカバーで覆われている。
【効果】
パッケージへのダイボンドもワイヤボンドも無しに、ガスセンサをプリント基板に実装できる。 （もっと読む）

【課題】外部との接続端子部に加わる力による破損を防止し得るガスセンサ、及び耐熱性に優れたガスセンサを提供する。
【解決手段】スペーサ４は、電極ピン７ａ、８ａをスペーサ４に設けられた貫通孔４ａに挿通するようにして配置されている。ここで、スペーサ４の溝４ｂの底面までの厚み（貫通孔４ａ深さ）は、外側に突出する電極ピン７ａ、８ａの長さよりも若干低くなるように設定され、電極ピン７ａ、８ａの先端部が、スペーサ４に設けられた溝４ｂの底面に若干突出した状態で配置されている。この電極ピン７ａ、８ａの先端部には、アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃが溶接等の手段によって接続されている。そして、スペーサ４の各アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃを支える側の略全面を覆うように押さえ部材６を密着させ、スペーサ４と押さえ部材６により、前記アウトリードを挟み込むようにして保持している。 （もっと読む）

【課題】実装する際の外部との配線の自由度を高めるとともに、外部との接続端子（アウトリードや電極ピン）に加わる力による破損を防止し得るガスセンサを提供する。
【解決手段】スペーサ４は、電極ピン７ａ、８ａをスペーサ４に設けられた貫通孔４ａに挿通するようにして配置されている。そしてこの電極ピン７ａ、８ａの先端部は、スペーサ４に設けられた溝４ｂの底面に突出した状態で配置されている。この電極ピン７ａ、８ａの先端部には、アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃが溶接等の手段によって接続されている。このアウトリード５ａ、５ｂ、５ｃは、スペーサ４の面に平行な方向に延出されると共にこの面と平行な方向に曲げ加工された折り曲げ部を少なくとも一ヶ所設けた構成である。そして、このアウトリードはスペーサ４の表面に形成された溝部４ｂ内に配置された構成である。 （もっと読む）

【課題】高精度、高信頼で低コストの熱式空気流量センサを提供する。
【解決手段】空気流量を計測するための流量センサ素子４と、空気流の少なくとも温度、圧力および湿度のいずれかを計測するための環境センサ素子５と、前記流量センサ素子４が配置された副通路７と、前記副通路７が構成され前記主空気流３中に配置されるハウジング１５とを備え、流量センサ素子４が配置された副通路７よりも主空気流３中心側に、副通路７と隔離され且つ主空気流３と連通した環境センサ素子５を収納する計測室１０を設けた。 （もっと読む）

【目的】 感ガス素子の各電極ピンへの配線作業を容易にし、機器に実装する際の自由度を高め、省スペース化も図る。
【構成】感ガス素子と電気的に接続してその感ガス素子を支持する複数本の電極ピン７１，７２を含む電極ピンを、それぞれマウントベース（図ではバネ性ホルダ１２の下側にある）の一方の面から他方の面（背面）に貫通させて支持し、その各電極ピンの端部をスペーサ４の透孔４ａを通して溝４ｂ内に突出させ、その突出した部分に、それぞれマウントベースの背面に平行（ホルダ基板１１にも平行）な方向に延びる複数本のアウトリード５１〜５３を、各接続部５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５３ａで接続し、押え部材６を被せてバネ性ホルダ１２でホルダ基板１１に固定・保持する。 （もっと読む）

【課題】外部回路を用いることなく感ガス用抵抗素子の電気特性を調整する。
【解決手段】基板１の一表面上には、検知対象ガスの付着に応じて抵抗値が変化するナノ構造炭素材料からなる感ガス用抵抗体２が露設されている。感ガス用抵抗体２の一端には電源電圧パッド３が接続され、他端には接続配線４が接続されている。基板１の一表面上には、表面がパッシベーション膜により覆われたナノ構造炭素材料からなる基準用抵抗体５が配設されている。基準用抵抗体５の一端は接続配線４に接続され、他端は接地電極パッド６に接続されている。基準用抵抗体５内及び接続配線４からは複数の配線が引き出され、各配線の端部には出力端子用パッド７ａ〜７ｄが接続されている。 （もっと読む）

【課題】感応層の亀裂や絶縁基板および感応層からの剥離が生じ難く、より高い検知感度を備えた抵抗変化型ガス検知素子を提供する。
【解決手段】絶縁基板１の面に形成された一対の電極２ａ，２ｂと、一対の電極２ａ，２ｂどうしの間隙を接続するように配置された感応部３とを備え、感応部３が、絶縁基板１に設けられた凹部１ａに係入されたアンカー部３ａを有する抵抗変化型ガス検知素子とした。 （もっと読む）

【課題】口臭の原因となる呼気中の還元性ガス濃度および飲酒による呼気中のエチルアルコールの濃度を、一の測定器で測定することができる呼気濃度測定器の提供。
【解決手段】半導体ガスセンサー１と、半導体素子１１の電気抵抗を測定する測定手段２と、この測定手段２により測定された電気抵抗ＲSの値を用いて呼気中の還元性ガスの濃度を演算する第1の演算手段３１と、測定手段２により測定された電気抵抗ＲSの値を用いて呼気中のエチルアルコールの濃度を演算する第２の演算手段３２と、呼気中の還元性ガスの濃度を測定する場合と呼気中のエチルアルコールの濃度を測定する場合とで第1の演算手段３１と第２の演算手段３２とを切り替える切替手段４と、この切替手段４により切り替えられた第1の演算手段３１または第２の演算手段３２により演算した結果を表示する濃度表示手段５１とを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】ＮＨ₃ガスが、被検出雰囲気中において、ＮＯ₂等の他のガスと共存していても、ＮＨ₃ガスに対するガス選択性を良好に維持するようにしたアンモニアガスセンサを提供する。
【解決手段】アンモニアガスセンサは、絶縁基板１０と、一対の櫛歯状電極２０、３０と、感応層４０とを備えている。一対の櫛歯状電極２０、３０は、金属酸化物でもって形成されており、これら櫛歯状電極２０、３０は、絶縁基板１０上に櫛歯状に設けられている。感応層４０は、一対の櫛歯状電極２０、３０を介し絶縁基板１０上に積層されている。 （もっと読む）

【課題】 ベース部で保持される電極ピン同士の結露による短絡を有効に防止し、加えて結露対策に伴うコスト上昇及びセンサ自身の大型化を回避するとともに、耐久性及び信頼性を高める。
【解決手段】 少なくとも、二以上の電極ピン２ａ，２ｂを保持するベース部３と、電極ピン２ａ，２ｂに接続したセンサ素子４と、ベース部３に合体することによりセンサ素子４を覆う所定の通気性を有するセンサカバー５を備えるカバー付センサであって、少なくとも、ベース部３の一部又は全部の表面３ｆに、撥水性材料による所定の膜厚Ｄｓを有する撥水膜６を形成する。 （もっと読む）

【課題】体格の小型化を図ることのできる湿度センサを提供する。
【解決手段】同一平面に離間して対向配置された一対の電極２２ａ及び２２ｂ並びにこれら一対の電極間を覆う感湿膜２３を有する湿度検出部２４と、該湿度検出部２４の出力信号を処理する回路部２５と、これら湿度検出部２４と回路部２５との間に形成されるダム部材２６と、を同一基板２１上に有する湿度検出素子２０と、ボンディングワイヤ３１を介して回路部２５に電気的に接続され、回路部２５及びボンディングワイヤ３１とともに保護ゲル３２に覆われるリード端子３０と、をケース１０内部に備える。そして、ケース１０内側壁とダム部材２６側壁との間隙に、ケース１０内側壁からダム部材２６の側壁２７に向かって突出し、かつ、ダム部材２６よりも高い壁１１を形成する。 （もっと読む）

【課題】湿度センサに関し、センサの組み立てを容易とするケース構造と、耐久性に優れるリード線構造を備える湿度センサを提供する。
【解決手段】正面と底面が開口されるセンサケース１０であり、天壁と側壁面とに接続されて奥壁から正面開口部まで伸びる一対のリブ１１ａ、ｂを備え、該リブと対で奥壁に根元が接続され正面開口部まで伸長する係合爪が上に配置されるスナップフィット構造で、該リブ底面と一定の空隙を保ち並列する変形柱部材１２ａ、ｂとを備え、該リブ先端と該係合爪とで形成されるＶ形溝から、櫛状電極面を上に向け末端にリード線２２ａ、ｂを接続したセンサ基板２０の先端を奥壁まで挿入して基板を定設する湿度センサの構造からなる。 （もっと読む）

【課題】 センシング電極部や基板接続用の接続用電極といった電極部が、測定環境下に露出するのを防止し、かつ感湿部の開口度をあげることでセンサの応答性を高め、信頼性の高い湿度センサを提供する。
【解決手段】 センサチップの一面3側はその全面を測定環境下にさらし、一面5側には半導体膜6を形成後、センシング電極7,8、および該センシング電極からの信号を処理するための信号処理回路部9が形成されている。配線部材11によりターミナル基板1を通し、外部と電気的に接続されている。センシング電極7,8および信号処理回路部9は耐湿性材料よりなる保護膜10により被覆保護されている。 （もっと読む）

【課題】外部放熱によって生じる無駄な消費電力を削減しつつ、パッケージサイズの小型化を図ることができるガス検知器を提供すること。
【解決手段】本発明のガス検知器１は、空気層に挟まれた絶縁性耐熱材の基板９と、基板の表面上の発熱素子１０と、発熱素子１０に接合され発熱素子１０の加熱によって所定の温度に被検知ガスと反応するガス反応素子２と、基板１０の表面上の発熱素子１０の形成領域１０ｐ外に形成された複数の電極８と、基板９において発熱素子１０の形成領域１０ｐから電極８の形成領域８ｐを隔てる断熱溝９ｇと他の部材６、７を備えており、基板９の周辺の空気を断熱材として利用することにより発熱素子１０の形成領域１０ｐ外への放熱を防止する。 （もっと読む）

【課題】 口臭成分、臭気成分をより正確に測定するとともに、その測定時間をより短くする口臭測定装置及び口臭測定方法、並びに臭気測定装置及び臭気測定方法を提供する。
【解決手段】 筒状のケース１２及び前記ケース１２との間に所定の容積の空間１７を有するように設けられたセンサー１６を有し、検査領域内に挿入又は近接させて臭気を採取・測定するためのプローブ１、及び前記センサー１と電気的に接続された、演算手段、表示手段、電源等を有する本体を備える。 （もっと読む）

ガス検知装置中のセンサー素子、電極、および導体の省スペース配列、ならびにそのための容器を本明細書において開示する。
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【課題】ガス感応部と外部接続端子との間を電気的に接続するリードワイヤの溶接の安定性を向上させたガス検出素子の製造方法を提供することにある。
【解決手段】一方の面に金属酸化物半導体よりなる感ガス部が形成されるとともに、他方の面に感ガス部を加熱するヒータ１４が形成されたアルミナ基板１１の各電極１２Ａ，１２Ｂ，１３Ａ’，１３Ｂ’に、金とパラジウムとモリブデンの合金からなるリードワイヤ１６の一端を電気的且つ機械的に接続するとともに、リードワイヤ１６の他端に、線径よりも直径の大きな略球状の接合部１６ａを形成した後、この接合部１６ａを端子４に接触させて、接合部１６ａと端子４とにそれぞれ電極を接触させた状態で、両電極間に通電して、接合部１６ａと端子４との接触部位を電気抵抗熱で溶融させることで、リードワイヤ１６の他端を端子４に接合する。 （もっと読む）