【課題】短時間で最適な照明条件を設定することができる照明設定方法、照明装置および部品移載装置を提供することを目的とする。
【解決手段】照明設定部７０は、プロファイル作成部７１により撮像装置５１の取り込み画像から輝度分布曲線であるプロファイルを作成する。このプロファイルは、照明５２ａ〜５２ｃの全て組み合わせ毎に作成する。これらのプロファイルに基づいて、照明設定部７０は、照明５２ａ〜５２ｃの組み合わせ、輝度、比などの照明装置５２の照明条件を設定する。このため、短時間で最適な設定を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
先行容器の映像を処理中であっても、後続容器の映像の処理が可能で、容器間隔確保手段を簡便にして、容器間隔の制限を緩和した状態で異物検査をすることができ、単位時間当たりの処理能力を高くしたい。
【解決手段】
撮像手段で得た液体が封入された透明な容器の映像から容器内に混入した異物を検出する容器内異物検出方法であり、搬送路上を等間隔で搬送される任意個数の容器に対応するように任意個数と同数の撮像手段を設置しておき、各撮像手段で同時に任意個数毎に各撮像手段での画像データについて露出と読み出しを行ない、その後、画像処理手段への各撮像手段での画像データのデータ転送を順次行なって、各撮像手段での画像データについて画像処理手段で画像処理を順次行なう。 （もっと読む）

【課題】ムラ検査装置において光学フィルタの透過波長帯を精度良く調整する。
【解決手段】ムラ検査装置１は、基板９を保持するステージ２、基板９の膜９２に向けて線状光を出射する光出射部３、基板９からの反射光を受光する受光部４、受光部４にて受光される光の波長帯を切り替える波長帯切替機構５、ステージ２を移動する移動機構２１、および、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部７を備える。波長帯切替機構５は、複数の光学フィルタ５１、および、各光学フィルタ５１の傾きを変更するフィルタチルト機構を備える。ムラ検査装置１では、フィルタチルト機構により選択光学フィルタ５１ａの光路に対する傾きを変更することにより、選択光学フィルタ５１ａの透過波長帯を精度良く調整することができる。その結果、選択波長帯を膜９２の特性に合わせて調整することにより、膜厚ムラをの検出精度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】膜厚ムラの検査に要する時間を短縮する。
【解決手段】ムラ検査装置１は、基板９を保持するステージ２、基板９の膜９２が形成された上面９１に向けて線状光を出射する光出射部３、基板９からの反射光を受光する受光部４、ステージ２を移動する移動機構２１、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部７を備える。光出射部３は、互いに異なる波長帯の光を出射する第１光源要素および第２光源要素を備える。ムラ検査装置１では、制御部８により、受光部４にて受光される光の波長帯が同期制御部４３からの同期信号に同期して互いに異なる２つの波長帯の間で繰り返し切り替えられつつ膜９２からの反射光の強度分布が取得される。その結果、ラインセンサ４１の１回の走査により、２つの波長帯に対応する第１強調画像および第２強調画像を生成することができるため、膜厚ムラの検査に要する時間を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】 小形化でき、低消費電力でメンテナンスの容易なホログラム欠陥判定装置を提供する。
【解決手段】 ホログラムの基準空間周波数ｆに基づいて、ホログラムの欠陥判定を行う。ホログラム欠陥判定装置１０は、ホログラム５の表面Sに、波長λの検査光を照射する光源２１と、前記光源２１を、ホログラム５の表面Sの法線方向に対してsin^‐1（1/ｆλ）度となる角度から検査光を照射するように移動させる移動部３０と、検査光がホログラム５の表面Sで反射する際の回折光を撮像する撮像部４０と、撮像した回折光に基づいて、ホログラム５の欠陥の有無を判定する判定部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】微少な膜厚ムラを精度良く検出する。
【解決手段】ムラ検査装置１は、基板９を保持するステージ２、基板９の膜９２が形成された上面９１に向けて線状光を出射する光出射部３、基板９からの反射光を受光する受光部４、基板９と受光部４との間に配置されて光の波長帯を切り替える波長帯切替機構５、ステージ２を移動する移動機構２１、受光した光の強度分布に基づいて膜厚ムラを検査する検査部７を備える。ムラ検査装置１では、光出射部３から基板９に入射する光の上面９１対する入射角θ１が６０°とされることにより、高精度なムラ検出が可能とされる膜厚の範囲を大きくすることができるとともに膜厚に対する反射率の極大点近傍領域である低感度領域の幅が広がることを防止することができる。その結果、膜厚の変動幅が低感度領域に含まれることを防止して微少な膜厚ムラを精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】高い検出精度を有する周期性パターンのムラ検査装置及びムラ検査方法を提供する。
【解決手段】ＸＹステージ上の基板の周期性パターンに対して斜め透過光の照明を行う４つの光源と、照明された周期性パターンにおける回折光を撮像する撮像手段と、基板に対して光源の各々を二次元平面視野内で個別に移動させる移動手段1と、光源から斜め透過光の照明があたるように、光源の向きを変えさせる姿勢変更手段と、基板上の撮像対象エリアを少なくとも２つのエリアに分割し、ＸＹステージと光源との相対位置関係を調整するとともに光源の光量を調整することにより分割エリアの各々の輝度レベルを調整し、撮像手段により各分割エリアをそれぞれ撮像し撮像した分割画像データをそれぞれ取り込み、取り込んだ分割画像をつなぎ合わせて合成し、合成画像を用いてスジ状ムラを判定する際に擬似欠陥を欠陥として判定しない擬似欠陥除去手段40とを有する。 （もっと読む）

【課題】 搬送系におけるＯＶＤのバタツキ、うねりによるあばれやＯＶＤの若干の位置のあばれに影響を受けず、安定したＯＶＤの欠陥検査を可能とするＯＶＤ画像検査方法及び画像検査装置を提供する。また、併せて、ＯＶＤ検査ビューアを提供する。
【解決手段】 ＯＶＤを検査する検査装置であって、ＯＶＤとして形成される画像の中の少なくとも１つの特定画像を発現させるように設計した特定の観察角度に対応して設計された、少なくとも１つの光源と、前記光源からの照射により発現させた前記少なくとも１つの特定画像を撮像する撮像部と、前記撮像した少なくとも１つの特定画像を、検査内容に応じて画像処理をする情報解析部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高速で、高精度にガラス瓶の検査を行うことができるガラス瓶検査装置を提供する。
【解決手段】ガラス瓶１２を瓶軸１２Ｘ回りに回転させる回転駆動部と、外部の光源より前記ガラス瓶に照射された撮像用光をラインセンサ２４，４４により受光し、前記瓶軸１２Ｘに垂直な方向を視点とする前記ガラス瓶１２の画像を撮像する撮像部と、前記画像に基づいて前記ガラス瓶１２の形状を測定する測定部とを備え、この測定部は、前記画像に基づいて瓶口周縁部１２Ａの少なくとも４カ所の高さを検出し、その内の３カ所の高さに基づいて残り一カ所の高さを計算し、この計算値と残り一カ所の高さの実測値とに基づいて瓶口周縁部の形状不良を検出する。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の表面の欠陥を検査する際に，輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥と輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥とを同時に検出することのできる計算負荷の低い欠陥検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】 被検査体表面の画像データの各画素の輝度を正規化した後に正規化基準値を用いて重み付けするようにしたので輝度変化が大きくて面積の小さい欠陥を消失させずに輝度変化が小さくて面積の大きい欠陥を検出することが可能となる。また，被検査体表面の画像データの輝度を正規化及び重み付けした値を各画素に対する有害度として定めた後，各画素を中心とする所定サイズの領域内の有害度を積分した値を各画素に対する有害度積分値として定めて，この有害度積分値を二値化処理するようにしたので，単一欠陥としての検出が困難な分断された欠陥や，集合して存在する欠陥を１つの欠陥として低い計算負荷で検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 検出系の構成の簡略化及び異物の検出精度を向上する。
【解決手段】 光源１０１からの照明光で被検体２の被検面２ａを検出系７で検出し、光源１０１とは波長の異なる光源１０２からの照明光で被検面２ａを検出系７で検出して、それぞれの検出結果を比較して、異物の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 特に異種類の基板を組み合わせたことにより数百μｍ程度の段差部を有する基板上のパターンを明瞭に撮像することが可能な基板検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板検査装置を構成する撮像ヘッド１０は、筐体１１と、筐体１１内に備えられる光学系１２と、ＣＣＤラインセンサ２０と、第１照明手段３０と、８個の第２照明手段４０とを備える。第１照明手段３０は、第１支持部材３４上において、略線状に複数のＬＥＤ３１が列設され、ＣＣＤラインセンサ２０の光軸平面と同一平面上に光軸を有するように配置される。各第２照明手段４０は、ＣＣＤラインセンサ２０におけるＣＣＤの列設方向と平行な方向に複数のＬＥＤ４１が列設される。また、各第２照明手段４０は、撮像領域を中心とする円弧上に並設され、第１照明手段３０の光軸平面に対して角度を有する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象となる青果類のいずれの箇所においても、内部品質の情報を得ることができ、確実に青果類の内部において局在する傷害を検知することのできる青果類の内部品質評価装置および青果類の内部品質評価方法を提供する。
【解決手段】 青果類に対して光源から測定用光を照射し、青果類を透過した透過光を受光部において受光することによって、青果類の内部品質を評価する青果類の内部品質評価装置であって、青果類を載置するための予め開口部を有する載置体と、載置体に載置された青果類の下方より測定用光を照射する下方光源と、青果類の両側方より測定用光を照射する側方光源と、青果類の上方に設けられ、下方光源と前記側方光源の両光源より照射された測定用光のうち、青果類を通過した透過光を受光する受光部と、を備えることを特徴とする青果類の内部品質評価装置および、これを使用した青果類の内部品質評価方法によって、確実に青果類の内部において局在する傷害を検知することができる。 （もっと読む）

【課題】 画像処理に基づいて実装基板の検査を行う際、部品と基板の色彩が酷似しているような場合でも部品の識別を可能とし、検査精度を向上させる。
【解決手段】 部品ｂが実装される基板Ａを検査するに際し、自然光照射手段３を照射して撮像した自然光画像と、同軸落射光照射手段４を照射して撮像した同軸落射光画像と、サイド光照射手段５を照射して撮像したサイド光画像と、自然光画像と同軸落射光画像を重ね合わせて画像処理した第１の処理画像と、サイド光画像と同軸落射光画像を重ね合わせて画像処理した第２の処理画像と、自然光画像とサイド光画像の６つの画像を判断要素とし、これら画像をユーザが任意に選定して検査できるようにする。 （もっと読む）

広帯域のウェーハ検査用の全反射光学システムが提供されている。ウェーハを検査するよう構成されている一つのシステムは、光学サブシステムを含んでいる。この光学サブシステムの全ての導光部品は、実質的に視準された空間内にしか配置されていない一つまたはそれ以上の回折光学部品を除き、反射光学部品である。回折光学部品（複数も可）は、例えば、照明瞳および集光瞳を分離するのに使用できる回折ビームスプリッター要素を含んでいてよい。この光学サブシステムはまた、実質的に視準された空間内に配置されている一つまたはそれ以上の反射光学部品を含んでいてよい。この光学サブシステムは、２０ｎｍより大きい周波帯に亘るウェーハの検査用に構成されている。いくつかの実施形態では、この光学サブシステムは、２００ｎｍより小さく、かつ、２００ｎｍより大きい波長でのウェーハの検査用に構成されている。
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【課題】
基板上の異物を検査する方法において、特に基板からの散乱光ノイズを低減して微小な異物を検出する。
【解決手段】
照明光学系の入射角度を小さくし、検出分解能の高い検出光学系および検出画素の小さい検出器により検出領域を充分に小さくするようにした。
照明光学系の入射角度を大きくすることにより、光が回折する際の位相差を小さくできるので、基板からの散乱光を低減できる。また、これにより、鏡面ウエハ上に付着した微粒子（微小な異物）の検出が可能になる。 （もっと読む）

【課題】撮影場所のカメラ視野内において、被測定対象物にのみ照明光が到達し、背景の台などには光が当たらないことで良好な被測定対象物撮像を実現できる照明装置を提供する。
【解決手段】ある搬送平面の上に載って移動する被測定対象物をラインカメラを用いて撮像するための照明装置であって、搬送方向とは直角に視野を持ち搬送平面に垂直に視野を向けるように搬送平面上方に配置されているラインカメラとともに用いる照明装置の構成として、所定の高さの被測定対象物がラインカメラの視野に入る位置にきたとき、被測定対象物の上面を照射するように搬送方向とは直角に延びる光束を向け、かつ被測定対象物がラインカメラの視野に入る位置にないとき、搬送平面上の視野の領域を照射しないように搬送方向とは直角に延びる光束を向けるように配置した光ファイバ照明を設ける。 （もっと読む）

【課題】微小な表面欠陥であっても確実に検知する表面検査方法を得る。
【解決手段】投光器９からの照射光線束５を磁気シート体１の表面で反射させ、その反射光を受光センサ７で受光することで、受光センサ７の受光光量に基づいて磁気シート体１の表面を検査する。受光センサ７の受光光軸１３は、照射光線束５が磁気シート体１の表面に入射する入射領域の一部を通るとともに、照射光線束５の中心軸１２と磁気シート体１との交わる入射点Ｐ１と、受光センサ７の受光光軸１２と磁気シート体１との交わる検査点Ｐ２とが異なるようにしてある。照射光線束５の中心軸１２は、磁気シート体１の表面への入射角θ１を２０〜４０°の範囲内に設定してあり、照射光線束５の中心軸１２の入射角θ１と、受光センサ７の受光光軸１３の受光角θ２との角度差ｄθ（＝｜θ１−θ２｜）を４〜２０°の範囲内に設定してある。 （もっと読む）

【課題】 複数のベルト端面に照射する光や反射する光が隣接するベルトに干渉されないようにすることで、それぞれのベルト端面を効率的かつ高精度に検査することのできるベルト端面の検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、２つの並行な軸心まわりを回転可能な駆動ローラ２１および従動ローラ２２と、これらのローラに掛け渡されたフープｂの端面に光を照射する複数のＬＥＤランプ３ａ，３ｂ，３ｃと、フープｂの端面で反射する光を撮影するＣＣＤカメラ５とから少なくとも構成されている。ここで、駆動ローラ２１および従動ローラ２２の端面には径方向外側に湾曲するクラウニングが設けられており、フープｂの回転に伴ってローラ端面の中央付近に集められ易い構造となっている。従動ローラ２２と駆動ローラ２１の双方の回転軸心は、並行な状態から捻れの状態とすることもできる。 （もっと読む）

【課題】撮像装置により撮像された周期性パターンのムラの検査をする検査装置において、ムラを安定的、高精度に撮像、検出可能な周期性パターンムラ検査装置を提供する。
【解決手段】画像を撮像する手段を具備する撮像部３０と、検査対象基板５０を載置し位置の認知とＸ軸及びＹ軸方向に駆動する手段を具備するＸＹステージ２０と、先端に固定した平行光学系１１が設けられ、該平行光学系をＸＹステージに載置した検査対象記板に対し上下方向角度及び平行方向に駆動が可能でありかつ該基板に対して照明の照射位置が一定である様に制御可能な照明駆動部１２を具備する斜め透過照明部１０とを備え、前記撮像部及びＸＹステージ及び透過照明部を管理し周期性パターンのムラの検査の工程を逐次処理する手段を具備する処理部４０を備えた周期性パターンのムラの検査をする検査装置であって、斜め透過光の照明を行うことで生じる周期性パターンでの回折光を撮像する。 （もっと読む）