【課題】 ムラ欠陥を高精度に検出できるムラ欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】 単位パターンが規則的に配列されてなる繰り返しパターンを、透明基板５２の表面５２Ａに備えたフォトマスク５０へ光を照射する光源１２と、フォトマスクからの反射光を受光して受光データとする受光器１３とを有し、この受光データを解析装置１４が解析して繰り返しパターンに発生したムラ欠陥を検出するムラ欠陥検査装置１０であって、上記光源１２は、フォトマスクにおける透明基板の裏面５２Ｂ側へ光を照射するものである。 （もっと読む）

【課題】目的物を蛍光剤で処理し、目的物に光を照射し、照射された目的物からの蛍光を画像記録部により記録して目的物中の割れを検出すること。
【解決手段】目的物（１１）を蛍光剤で処理し、目的物（１１）に光を照射し、照射された目的物からの蛍光を画像記録部（１３、５４）により記録することからなる、目的物中の割れを検出する方法であって、画像記録部（１３、５４）により得られた目的物（１１）の画像を、画像の色内容に関して自動的にデジタル化して目的物中の任意の割れを検出するために分析することを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、枝豆、いんげん豆、えんどう豆などの莢付き豆類の莢内に害虫が侵入していたり、食害痕を残していたりする異常があり、食用不適な莢付豆類を容易に検出し、選別排除できるようにした莢付豆類の異常検出方法とその異常検出装置に関する。
【解決手段】 ブランチング又は加熱した後、そのまま若しくはＩＱＦ凍結又はＩＱＦ半凍結した状態の莢付豆類に、光を透過させ、莢内の異常の有無や莢内子葉の異常の有無や莢内への異物混入の有無を透過光の光量変化や色調変化として目視により判断可能にしたことを特徴とする莢付豆類の異常検出方法であり、そのために作業台面の下部の透過光ランプを点灯し、光を透過させるようにした莢付豆類の異常検出装置である。 （もっと読む）

【課題】 環状部材における内周側の部分のうち、最小径ではない部分についても、その表面を、簡易な構成で適切に検査することのできる表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】 アブソーバシール２００の内周側に設けられたゲート部２２０であって、アブソーバシール２００の内周側に設けられたシールリップ２１０先端の内径よりも、その先端の内径が大きなゲート部２２０の内周表面に欠陥があるか否かを検査する表面欠陥検査方法であって、シールリップ２１０を介してゲート部２２０とは反対側から光を照射するステップと、アブソーバシール２００のシルエットを撮影するステップと、を有し、シールリップ２１０を介してゲート部２２０とは反対側から光を照射する際に、光を拡散させて、シールリップ２１０に備えられたゲート部２２０側の傾斜面２１１に光を照射させることにより、その反射光をゲート部２２０の照射に用いる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハあるいはペレット上の欠陥を高速で確実に検出することができる半導体外観検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体外観検査装置２ａは、検査対象面１０ａで反射した反射光から、少なくともその半値幅が１００ｎｍ波長帯域の１／２以下からなる狭帯域幅のピークを有する透過光を生成するとともに、１００ｎｍ波長帯域内において、透過光を複数の波長で選択的に出力させるようにした透過特性切替装置１６を備える。透過特性切替装置１６は、その実効光路長が設定中心透過波長の整数倍からなるように厚みが設定された液晶デバイスを少なくとも１つ有する複数の平行ニコル液晶セルおよび垂直ニコル液晶セルを組み合わせてなる波長可変液晶フィルタ１４と、各液晶セルに複数の電位を多段に切り替えて印加する駆動回路１５とから構成される。 （もっと読む）

【課題】
安定した異物等の欠陥を検査できるようにした欠陥検査装置を提供することにある。
【解決手段】
被検査試料表面にレーザビームを集光・照明し、発生する散乱光から表面の異物・欠陥を検出する検査装置において、レーザ光源１０５から出射したレーザビームのガウス分布形状をビーム整形光学系１０８により平坦に整形し、レーザビーム照射位置と欠陥・異物の相対位置が変化しても安定した検出信号を得るように構成したことにある。 （もっと読む）

【課題】 凹凸状態の表面上に電極が形成されたＬＥＤチップにおいて、外観検査の自動化を図ることが可能なＬＥＤチップの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 凹凸状態の表面上に電極が形成されたＬＥＤチップ１を所定位置に保持する工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その裏面側より第１の光４ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１の表面側への透過光より第１の画像データを取得する工程と、前記第１の画像データを演算処理し、良否判定をする工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その表面直上より第２の光５ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１表面からの正反射光より第２の画像データを取得する工程と、前記第２の画像データを演算処理し、良否判定をする工程と、前記ＬＥＤチップ１に、その斜め上部からの光を含む第３の光７ｂを照射し、前記ＬＥＤチップ１表面からの乱反射光より第３の画像データを取得する工程と、前記第３の画像データを演算処理し、良否判定をする工程を備える。 （もっと読む）

【課題】充填物を包含した常温状態にある不透明の被検査物体に関して、充填物や外装体の材質が変動した場合にも、被検査物体の欠陥を判定する。
【解決手段】充填物を包む被検査物体１０の表面から反射する可視光を撮像して、被検査物体１０の外観画像を生成する第一のカメラ３４ａと、被検査物体１０の裏面に対向して設置され、赤外光を発生する赤外線ヒータ２０と、被検査物体１０を透過した透過赤外光２１を撮像して、被検査物体１０の透視画像を生成する第二のカメラ２３ａと、被検査物体１０を第一および第二のカメラ３４ａ，２３ａによる撮像位置に搬入するコンベア１５及びプッシャー１６と、第一のカメラ３４ａによる外観画像と標準サンプル外観画像とを比較し、第二のカメラ２３ａによる透視画像と標準サンプル透視画像とを比較することにより、欠陥有りか否かを判定する画像処理装置５０ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】空気流入口１８のそれぞれに対応した空気噴出ノズル１６の特定水平方向ｆ２の配置間隔を従来よりも小さくすることを可能となし、また空気噴出ノズル１６からの空気噴射時点の正確性を向上させる。
【解決手段】多数の動力止弁１５と、特定落下位置の異色粒状物ｗ１を特定領域へ吹き飛ばす空気流を生じさせるための多数の空気噴射ノズル１６を水平特定方向ｆ２の直線状配置に形成され且つ該空気噴射ノズル１６のそれぞれがそれぞれ別の空気流入口１８に連通されているノズル集合体１７と、動力止弁１５のそれぞれをそれぞれ別の空気流入口１８に連通させた多数の通気管１９とを備えた粒状物色彩選別機において、隣接した２つの空気流入口１８、１８同士を側面視で上下方向及び又は前後方向へずれるように配置すると共に、通気管１９のそれぞれの長さを略同一となす。 （もっと読む）

【課題】 ランプ光源からの出射光の損失を可及的に防止しながら受光部で均一且つ高強度の光分布が得られるような光学検出装置を提供することにある。
さらに、フラットパネルディスプレイ用として有用な光学検出装置を提供することにある。
【解決手段】 ランプ光源とライン状ライトガイドの入射部との間に凹レンズを配設することにより、上記課題を一挙に解決するに至った。 （もっと読む）

【課題】メダル等の検査精度を大幅に向上させられるようにする。
【解決手段】メダル等は凹凸部と濃淡部とを有するので、従来のように斜め方向からの照明のみでは、その特徴を効率よく取り出せないという難点があったが、この発明では、落射照明とドーム型照明と斜光照明とを併用することにより、検査物４に対して様々な角度から光を当てられるようにし、欠陥等を効果的に抽出できるようにする。１は撮像装置としてのカメラ、２はカバー、３はハーフミラーを示す。 （もっと読む）

【課題】それぞれの変数に対する感度は、少なくとも一部は、入射ビームの計測角に依存することから、所望の計測角のセットを選択することによって、分光計測技術の感度を、ある種のプロファイル変数について最適化する。
【解決手段】選択された所望の計測角のセットは、方位角および極角の両方を含む。また分光計測技術の感度を最適化することは、計測されるべき変数間の計測相関を低減または解消しえる。 （もっと読む）

【課題】 プレス成形後に生じた割れを正確に検知できるようにする。
【解決手段】 プレス成形されたワークの所定部位を包含し当該ワークからはみ出す検査領域に前記ワークの前面からレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、当該検査領域に照射されたレーザー光を前記ワークの背面から受光するレーザー光受光手段と、前記検査領域で受光されたレーザー光に基づいてレーザー光の漏洩面積を演算する漏洩面積演算手段と、良品ワークにおけるレーザー光の漏洩面積を基準漏洩面積として記憶する記憶手段と、前記演算された漏洩面積を当該基準漏洩面積と比較する比較手段と、前記演算された漏洩面積が前記基準漏洩面積よりも大きいときに前記ワークに割れが生じていると判断する判断手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 小型の装置で宝石（ダイヤモンドなど）の屈折反射光（散乱光）を鮮明に観察でき、宝石の品質を簡便かつ効率よく評価できる装置及び評価方法を提供する。
【解決手段】 評価装置は、一方の端部が開口した暗箱１と、この暗箱内に配設され、ダイヤモンド３を保持するための保持部材２と、保持部材２と暗箱１の開口部との間に位置する半透明のドーム状スクリーン部材４とを備えている。暗箱１の開口部側の光源６により、スクリーン部材４の頂部に形成された透光部５を通じて、ダイヤモンド３に対してビーム状白色光線を照射すると、スクリーン部材４にダイヤモンド３からの屈折反射模様が投影される。この投影像を、暗箱１の開口部から投影像として観察する。 （もっと読む）

【課題】シュリンクフィルムによる物品の包装が正常であるか否かを高い信頼性で検査可能にする。
【解決手段】紙パック等の物品１０は、紫外線発光蛍光インクで検査用パターン２０ｉが付されたシュリンクフィルム２０によって包装される。シュリンクフィルム２０による物品１０の包装に関する検査は、シュリンクフィルム２０で包装された物品１０に紫外線を照射し、紫外線の照射によって発光する検査用パターンを撮像することによって実施する。 （もっと読む）

【課題】任意の品種のホログラムの欠陥検出に汎用的に利用することができ、かつ欠陥を精度良く安定して検出する。
【解決手段】本発明のホログラム欠陥判別装置は、ライトガイド２を介して光源１から発せられた光を平行光にして、この平行光を、ホログラム５の面に対して任意の入射角度φで照射する平行光学系４と、この平行光がホログラム５の面で反射してなる反射光のうち、投影された進行方向が、平行光の投影された進行方向と同一であって、かつホログラム５の面に対する法線ＯＮを中心として入射角度φと対称になるような反射角度φで反射する反射光成分を抽出するテレセントリックレンズ６及び絞り部７と、抽出された反射光成分を用いてホログラム５の面を撮像するカメラ９とを備える。そして、この撮像結果に画像処理を施し、その結果から、ホログラム５の欠陥の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】 周期的なパターンを有する被検査体において、パターンの端部を欠陥として検出することなく、明欠点は明欠点として、暗欠点は暗欠点として欠点箇所を正確に検出することができ、正常な被検査体の周期的なパターンの参照画像を予め記憶させる必要のない欠陥箇所検出方法と装置を提供する。
【解決手段】 本発明の周期的なパターンを有する被検査体の欠陥箇所検出方法は、被検査体とそれを撮像するラインセンサカメラの相対位置を一定速度で直線移動させ、ラインセンサカメラにより被検査体を連続的に撮像する。撮像した画像信号の強度の周期的変化に対して、各時点の画像信号の強度と１周期後の画像信号の強度との差を第１差分信号、１周期前の画像信号の強度との差を第２差分信号として算出し、各時点における第１差分信号と第２差分信号の絶対値を比較し、その絶対値の小さい方を被検査体からの欠陥画像信号として採用する。 （もっと読む）

【課題】 表面検査装置において、被検面の略全面を検査する場合にも効率的に検査を行うことができるとともに、被検面が粗面の場合にもノイズ成分の重畳を防止する。
【解決手段】 被検面の所定領域Ｐ０に対してレーザ光Ｌ０′を照射し、所定領域Ｐ０内の互いに異なる４つの小領域Ｐ１〜Ｐ４からの各正反射光Ｌ１〜Ｌ４を、４つの開口を有する視野絞り５３により空間的に分離して通過させるとともに、これら４つの開口に、各正反射光Ｌ１〜Ｌ４を互いに異なる４つの偏光成分として通過させる偏光素子６１〜６４が配設され、各小領域Ｐ１〜Ｐ４に対応した偏光成分Ｍ１〜Ｍ４が視野絞り５３の全ての開口を順次通過するように、ｘｙ２次元走査ステージ２０がレーザ光Ｌ０′に対して被検面を変位させることにより、各小領域Ｐ１〜Ｐ４ごとにそれぞれ４つの偏光成分Ｍ１〜Ｍ４の光強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】周期性のあるパターン、例えばブラックマトリクスのムラを安定的に、高精度に撮像、検出可能で、ワークに対して汚染のない検査装置を提供する。
【解決手段】光軸に平行な撮像側平行光学系と、画像を撮像する手段の撮像部と、検査対象基板を載置し、位置の認知と、Ｘ軸及びＹ軸方向に駆動する手段のＸＹステージと、光軸の上下方向及び前記ＸＹステージの左右平行方向及び光軸で回転する上下左右回転駆動部と、該駆動部の先端に固定した、照明光の光軸に平行な照明側平行光学系の照明をする手段の斜め透過照明部と、前記撮像部及びＸＹステージ及び透過照明部を管理し、周期性パターンのムラの検査の工程を逐次処理する手段の処理部と、クリーンユニットを備えた検査装置であって、少なくとも前記逐次処理する手段が、前記斜め透過光の照明を行うことで生じる、周期性パターンでの回折光の撮像を含周期性パターンムラ検査装置。 （もっと読む）

【課題】成形物がどのような形態であっても、常に一定の精度で正確に不良部分の検査をすることができる成形物検査装置および成形物検査方法を提供すること。
【解決手段】透光性を有する材料により作られており開口部と連通した中空領域を有している成形物１４を検査するための成形物検査装置１０であり、照明光を発生する照明部３０，３２，３４と、照明光を成形物１４の開口部２６から中空領域２７に導く成形物挿入部４０と、成形物挿入部４０が挿入された成形物１４を通過した照明光を受光する受光部５０，５１，５３と、受光部５０，５１，５３で受光した照明光から成形物１４に存在する不良部分を画像情報として検出する検出部６０を備える。 （もっと読む）