【課題】成形物がどのような形態であっても、常に一定の精度で正確に不良部分の検査をすることができる成形物検査装置および成形物検査方法を提供すること。
【解決手段】透光性を有する材料により作られており開口部と連通した中空領域を有している成形物１４を検査するための成形物検査装置１０であり、照明光を発生する照明部３０，３２，３４と、照明光を成形物１４の開口部２６から中空領域２７に導く成形物挿入部４０と、成形物挿入部４０が挿入された成形物１４を通過した照明光を受光する受光部５０，５１，５３と、受光部５０，５１，５３で受光した照明光から成形物１４に存在する不良部分を画像情報として検出する検出部６０を備える。 （もっと読む）

【課題】 瞳距離の短いときも検査条件を切り換えて基板を検査することができる基板検査装置を提供する。
【解決手段】 光源１０とウエハ５との間に配置される光学アダプタ２０，３０を切替えることによって検査を行う基板検査装置において、水平方向位置切換駆動部４０によって光学アダプタ２０，３０を水平方向へ移動させて検査に使用する光学アダプタ３０を光軸上へ移動させ、その後、垂直方向駆動部５０によって光学アダプタ３０を光軸方向へ移動させる。このとき、現在使用されていない光学アダプタ２０の下降はストッパ６０によって制限される。その結果、光学アダプタ２０とプローブカード７０との干渉が防止される。 （もっと読む）

【課題】 ガラス素材のような透明なディスク基板において、両面に加工された微小な凹
凸であるテクスチャの有無、均一性の判断を検査する装置を提供する。
【解決手段】 ガラス素材のディスク基板の両面に形成された、円周方向のテクスチャに
対し、レーザ光を照射して、該ディスク基板の表面粗さを測定する方法・装置において、
上記レーザ光を集束し、ディスク基板の表面に入射するレーザ光の光軸と、テクスチャの
角度を直角とし、ディスク基板表面からの散乱光とディスク基板裏面からの散乱光をセン
サ上に受光し、受光信号から散乱光強度出力を算出し、散乱光強度出力を表示するように
した。 （もっと読む）

【課題】 画像処理を用いて印刷物の欠陥を検査するに際し、欠陥の検出精度を低下させることなく、しかも、画像処理における演算量を減らして処理時間の短縮を図る。
【解決手段】 本発明に係る印刷物の検査方法は、印刷が施された印刷物の画像を撮影し、撮影された画像を画像処理することにより、前記印刷物の欠陥を検出する印刷物の検査方法であって、前記画像処理が、撮影された印刷物の画像から印刷物の傾き量を算出する傾き量算出ステップと、撮影された画像を簡素化して簡素化画像を作成する画像簡素化ステップと、算出された傾き量に応じて簡素化画像を回転して補正し、補正された画像を用いて印刷位置を検出する印刷位置検出ステップと、検出された印刷位置に、予め入力されたマスクパターンを配置してマスク配置画像を作成し、該マスク配置画像を前記傾き量だけ逆回転させてマスク画像を完成させるマスク画像処理ステップとを備え、完成されたマスク画像を用いて前記撮影画像をマスク処理する。 （もっと読む）

この発明は、検査する基板を支持するガイド支台に対して少なくとも２つの方向に相対移動可能である検査ヘッドを備えている検査装置に関する。ガイド支台は、少なくとも部分的に互いに重なり合うように前後して被着、特に印刷された少なくとも２つの層を備えた基板を支持する。検査ヘッドは照明装置と検出装置から成り、それによって基板から反射された電磁線を捕捉して判定装置に伝送し、それによって所与の基板（３０）の不良を検知することができる。検査ヘッド（１２）は必要に応じて錐形状に拡幅したトンネル（２４）を備えていてその内周上に多数の発光素子が取り付けられており、検出装置（１４）は基板（３０）上で３０μｍ未満の解像度で捕捉を行う光学系を有するデジタルカメラ（１８）を備え、駆動装置によって撮影サイクル中におけるガイド支台（３２）と検査ヘッド（１２）との間の相対動作を制御し、それによって互いに連続しているあるいは重複している個別画像を１つの基板（３０）の全体画像に合成することができる。 （もっと読む）

表面に関する情報を検出する装置は、表面についての２次元情報を取得するように配置される第１の複数の光学要素と、表面についての表面凹凸形状情報を取得するように配置される第２の複数の光学要素とを備え、第１の複数の光学要素、および、第２の複数の光学要素は、単一センサアレイの少なくとも部分的に重ならない部分に、２次元情報および表面凹凸形状情報を同時に提供するように配置される。
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【課題】多層平板状被検査体の各層別の明るさに関するデータの分布を求めることにより、異物等の欠陥の存在する層を特定する。
【解決手段】平面視において欠陥の位置が確認されている被検査体２の同欠陥を含む被測定部位に光を照射し、被検査体２に対向したＣＣＤカメラ６を被検査体２に接近させながら、ＣＣＤカメラ６によって、前記被測定部位の各層の鉛直方向の画像データを連続的に取込み、この画像データに基づいて同被測定部位の各層の鉛直方向の明るさに関するデータの分布を求め、前記各層の明るさに関するデータの分布と、予め求められている基準検査体の被検査体２の被測定部位に対応する部位の各層の鉛直方向の明るさに関するデータの分布とを比較し、欠陥が存在する被検査体２の層を特定する。 （もっと読む）

【課題】配管が密集する狭隘部において広範囲で鮮明な画像を捉えることができ、配管外表面の目視による検査効率の向上を図り得る狭隘部配管外表面目視検査装置を提供する。
【解決手段】配管５の間に挿入可能で且つ長さ調整可能なロッド６と、該ロッド６先端に首振り自在に取り付けられ且つ配管５外表面を照らす照明７並びに配管５外表面を撮影するＣＣＤカメラ等のカメラ８が配設されたカメラ保持手段９と、該カメラ保持手段９の首振り角度を調整するための角度調整手段１０と、前記カメラ８で撮影された画像を映し出すモニタ等の表示手段１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光源が発光構成部品の動作寿命の増大により、照明の均一性の増大、向上した検査の信頼性、及び保守の減少をもたらす、容器の検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】容器（１２）の光学検査用装置は、発光ダイ面（１８）を有する少なくとも一つの発光ダイオード（１６）を有する光源（１４）を含む。レンズ或いはミラー（２０，４３）が、発光ダイ面を容器の選択部分に合焦させ、光センサ（２４）が、光源により照明された容器の選択部分の像を受ける。情報処理装置（２８）が、センサで受けた像の関数として容器の照明された部分の商業的変化を検出するために光センサに接続される。像は、容器の選択部分を通る光エネルギーの透過、及び又は容器の選択した部分における光エネルギーの反射、及び又は屈折によって発生させることができる。光源は、単一の発光ダイオードを含んでいてもよいし、或いは発光ダイ面の像が容器で互いに重なり合う及び又は隣接するような方法で容器に合焦された発光ダイ面を有する複数の発光ダイオードを含むようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】可視画像から精度よくひび割れを検出することのできる検出方法及び装置を提供せんとするものである。
【解決手段】本発明にあっては、物体表面を照らす光源２の角度を変化させながら複数枚の画像を撮影し、各画像の同一測定対象部位の画素値を比較することによってひび割れＨであるか否かを判定するようにしている。
ひび割れＨである場合には、同一の測定対象部位であれば光源２の角度が異なっても同一の画素値が得られる。これに対して、黒い汚れや影等である場合は、同一測定対象部位についての画素値が光源２の角度によって異なる。従って、異なる角度から照射した同一測定対象部位についての画素値を比較することにより、真実のひび割れか、汚れや影であるかの判断が高精度に可能である。 （もっと読む）

【課題】コストの低減及び設置スペースのコンパクト化を図るとともに、検査精度及び検査効率の向上にも寄与しうるＰＴＰシートの外観検査用照明装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置は、照明装置２２、各カメラ及び画像処理装置等を備える。シート異物・錠剤異物に関する検査、錠剤表面剥離に関する検査、シール不良に関する検査がほぼ同一ポジションで行われる。照明装置２２はＰＴＰフィルムに対し斜め上方から赤外拡散光を照射可能な第１の照射手段ＩＲ１と、より浅い角度から赤外拡散光を照射可能な第２の照射手段ＩＲ２と、ほぼ真上から赤外平行光を照射可能な第３の照射手段ＩＲ３と、斜め上方から白色拡散光を照射可能な第４の照射手段ＷＨ４と、より浅い角度から白色拡散光を照射可能な第５の照射手段ＷＨ５と、ほぼ真上から白色平行光を照射可能な第６の照射手段ＷＨ６とを備え、各検査に応じて照射態様が切り換えられる。 （もっと読む）

【課題】 カメラを用いてFPCの外観検査を行うに当たり、複数の検査項目の検査を安定かつ確実に行うことができるフレキシブルプリント配線板(FPC)の外観検査方法、及びこの外観検査に最適なFPCの外観検査装置を提供する。
【解決手段】 FPC1を撮像するカメラ10cと、カメラ10cから得られた画像を処理する画像処理手段(パソコン20)と、FPC1に対して光を照射する複数の異なる照明手段とを具える外観検査装置を用い、複数の異なる検査群から選択された検査を行う際、複数の異なる照明手段から各検査に適合した照明手段を選択して検査を行う。照明手段として、赤色無影反射型照明11r、青色無影反射型照明11b、白色リング型照明11w、赤色/青色切り替え可能な透過照明11uを具える。 （もっと読む）

【課題】 表面に位置する層を薄膜化した複数の層を有する半導体基板の表面の異物を検出できる半導体基板の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体基板の表面に向けてレーザ光を照射する照射部１から照射されるレーザ光Ｒによって生じる散乱光Ｓを受光部３で受光し、受光した散乱光に基づいて半導体基板５の表面の異物を検出するとき、照射部１は、Ｐ偏光板１１を介して波長が２９０ｎｍ以上３７０ｎｍ以下のレーザ光Ｒを入射角θが５０度以上で照射する。 （もっと読む）

同軸狭角暗視野撮像システムが提供される。本システムは、テレセントリック・レンズを使用して、対称同軸狭角暗視野照明で物体を照明する。この照明技術は、平面鏡面物体上の少ない特徴または欠陥を強調するのに特に適している。特に、同軸光源は光線をテレセントリック・レンズの方に向け、このテレセントリック・レンズが光線を実質的な平面鏡面物体の方に向け直す。光線はテレセントリック・レンズを通してカメラの方に逆に反射される。光線が物体の平面鏡面部分で反射される限りで、光線はテレセントリック絞りで遮られる。平面鏡面物体の欠陥または特徴で反射された光線は、絞りの開口を通ってカメラに進む。
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【課題】 配線部分と樹脂フィルム部分のコントラストが大きくなるようにし、反射照明により配線パターンを容易に検出できるようにすること。
【解決手段】 配線パターンが形成されたＴＡＢテープ５は、送り出しリール１１から巻きだされ検査部１に送られる。検査部１で、反射照明手段１ａで照明し、撮像手段１ｂでＴＡＢテープ５上の検査パターンを撮像する。撮像された検査パターンの画像は制御部４に送られ、基準パターンと比較されパターンの良否が判定される。反射照明手段の１ａの光源は、例えば波長５００ｎｍ以上の光のみを放射する例えば赤外ＬＥＤである。ＴＡＢテープ５を透過する波長５００ｎｍ以上の光のみで照明するので、コントラストの良い画像を得ることができる。またステージ１ｃの赤外線反射率を１０％以下としたり、ステージ１ｃを設けないことで、さらにコントラストのよい画像を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの照明条件をさまざまに変えることによって液晶パネルの傷などの物理的欠陥を確実に撮影できるようにする。
【解決手段】液晶パネルを撮影するときの照明条件は，３種類の照明装置の点灯状態と消灯状態を組み合わせたものである。照明１は同軸照明装置だけを点灯する。照明２は斜光照明装置だけを点灯する。照明３はバックライト装置だけを点灯する。照明４は斜光照明装置とバックライト装置を点灯する。これらの照明条件を用いて，さまざまな外観検査項目について液晶パネルの画像を取得して，その良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】 従来の有機物顕在化方法では、被検査物表面の異物を識別するためには、薄膜を堆積させる時間を多く必要とし、異物を識別させるための作業等が煩雑であった。また、被検査物表面の異物を識別する際には、被検査物を不活性ガスが封入された特別な環境下に置く必要があるため、異物の存在を容易に確認することができなかった。
【解決手段】 被検査物である基板１の表面に１次電子源７２からの電子線、およびイオン源７３からの不揮発性ガスイオンを照射し、電子線および不揮発性ガスイオンが照射された基板１から発生する２次電子を２次電子検出器７４により検出して、基板２表面に存在する有機物１４を識別する。また、基板１の表面に金属薄膜１９を成膜し、金属薄膜１９が成膜された基板１表面に光を照射して、光の干渉により生じる、有機物１４が存在している部分と存在していない部分とのコントラスト差を識別する。 （もっと読む）

本発明は、非自明双方向反射分布機能および公称照明角度を含む物体の照明を改善する光源を提供する。物体が公称照明角度において照明されるように、２次元光源が、公称照明角度に相補的である角度に配置される。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置に用いられるパラメータを生成するに際し、二次反射の影響を除去することのできる技術を提供する。
【解決手段】パラメータ設定装置が、基板上のスルーホールを撮像して得られた複数のスルーホール画像を取得し、スルーホール画像におけるスルーホール周辺画素の色分布から、良品画像の画素のうち入射角の最も小さい光の二次反射光成分を含む画素がとり得る色範囲である二次反射色範囲を推定する。良品画像の中から二次反射色範囲内の色をもつ画素で構成される二次反射領域を特定し、特定された二次反射領域を良品画像から除去する。そして、二次反射領域除去後の良品画像を教師画像として、基板検査で用いられるパラメータを生成する。 （もっと読む）

【課題】検査精度及び検査効率の飛躍的な向上を図ることのできる外観検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】外観検査装置２１は、照明装置２２、各カメラ２３Ｅ，２３Ｈ，２３Ｓ及び画像処理装置２４等を備えている。シート異物・錠剤異物に関する検査、錠剤表面剥離に関する検査、及び、シール不良に関する検査がほぼ同一のポジションで行われ、１台の照明装置２２で照射態様が切り換えられる。また、所定の検査に際しては、他の１つの検査において認識した錠剤の位置情報及びポケット部の位置情報のうち少なくとも一方が利用可能とされる。所定の検査に際し、錠剤、ポケット部位置の検出ができなかったとしても、他の検査における正確な情報を利用できるため、正確な位置情報に基づいた正確な検査を実行でき、また手動入力といった煩わしさも払拭できる。 （もっと読む）