【課題】無端状の金属リングを複数積層して形成される積層リングを光学的に検査する方法であって、各金属リングの側縁の状態に加えて、金属リングの積層状態も検査できるようにする。
【解決手段】撮像手段２により撮像された積層リングの側縁の画像を２値化し、２値化された画像に表れる各金属リングに対応する各リング像に基づいて各金属リングの側縁の状態を検査し、また、複数のリング像間の相対位置関係に基づいて金属リングの積層状態を検査する。積層検査工程では、２値化された画像から隣接する各２個のリング像を順に選択し、金属リングの周方向に合致する方向をＸ軸方向、金属リングの径方向に合致する方向をＹ軸方向として、選択された２個のリング像の重心間距離と２個のリング像の重心間距離のＸ軸方向における変化量との内の１つ以上を夫々の閾値と比較して金属リングの積層状態を判別する （もっと読む）

【課題】画像の形状から不良の金属リングを確実に判別できる側縁検査方法を提供する。
【解決手段】金属リング７の側縁を照明手段３により照明して撮像手段４により撮像する。撮像された画像２３を２値化する。２値化された画像２３ａに検査対象部２６を設定する。検査対象部２６における金属リング７の接線方向をＸ軸、Ｘ軸に直交する方向をＹ軸として、明部像２５のＹ軸方向の長さの平均値ｈと、明部像２５のＹ軸方向の全長Ｈに対するＸ軸方向の全長Ｗの比として縦横比ｒとを算出し、この縦横比ｒに対する平均値ｈが所定の基準値Ｓ以上であれば金属リング７が基準外であると判定する。平均値ｈは、検査対象部２６内の明部像２５の面積を求め、この面積を検査対象部２６のＸ軸方向の全長Ｗで除することにより算出する。基準値Ｓは、前記縦横比の増加に伴って、段階的に増加するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】 非常に小さな欠陥であっても、容易に検出することを可能とするフィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】 フィルム１の両側に直交ニコル状態に第１，第２の偏光板３，４を配置し、第１の偏光板３の外側からライン状光源２によりライン状の光を照射し、第２の偏光板４の外側に配置されたＣＣＤラインセンサ５により受光し、ＣＣＤラインセンサ５から得られた信号をＡ／Ｄコンバータ６でデジタル信号に変換し、得られたデジタル信号を画像処理装置７により２値化し、欠陥の有無を検出するに当り、ＣＣＤラインセンサ５における複数のＣＣＤカメラ５ａが並ぶ第１の方向及びライン状光源２から出射されるライン状の光のライン方向を平行とし、かつＣＣＤラインセンサ５における受光量を小さくするためにＣＣＤラインセンサ５の受光面をフィルム１の上面に対して傾斜させて配置する、フィルム検査方法。 （もっと読む）

【課題】 装置構成および制御方法が簡単で、低価格の微細パターン修正装置を提供する。
【解決手段】この微細パターン修正装置では、被修正対象ガラス基板８をガラス定盤９の表面に搭載し、ガラス定盤９の裏面に反射膜１０を形成するとともに、リング照明器３を観察光学系２の対物レンズ１１の周囲に配置する。リング照明器３から出射されたリング状の光は、反射膜１０で反射され、ガラス定盤９および被修正対象ガラス基板８の被観察部を透過して対物レンズ１１に入射される。したがって、ガラス定盤９の下方に光源移動機構を設ける必要が無い。 （もっと読む）

【課題】検査対象の表面特性によるノイズから生じる測定精度の劣化を回避できる光学的測定方法及び光学的測定装置を提供する。
【解決手段】検査対象ＧＬに光を照射し、検査対象ＧＬから得られる光を受光して最終的に２次元的な光強度信号Ｓ１に変換し、光強度信号Ｓ１のなかから、表面状態ＩＢを測定するに際して必要な信号である注目信号ＳＢと表面状態を測定するに際して不要な信号であるノイズ信号ＳＮとを分離することにより注目信号ＳＢのみを抽出し、抽出された注目信号ＳＢと所定の閾値Ｔ１とを比較する。実質上、光強度信号Ｓ１とノイズ信号ＳＮに追随した閾値とを比較していることになり、検査対象の表面特性によるノイズから生じる測定精度の劣化を回避できる。 （もっと読む）

１つ又は複数の液体で満たされた容器内の１つ又は複数の異物を検出する方法は、−液体で満たされた容器を、製造環境において、比較的高速で実質的に直線状に運搬するステップと、−１つ又は複数の固定して配置された光源によって、内容物を含む各容器を照射するステップと、−１つ又は複数のカメラを用いて、内容物を含む容器を、好ましくは、２以上又は約４〜６の異なる方位から、検査するステップであって、カメラ及び照明が、実質的に互いに対して固定して配置されると共に、カメラ及び光源は、液体で満たされた容器の２つ、好ましくは、１０以上、又は約６０、又はそれ以上の画像が、短時間の内に、互に異なる照明及び／又は互いに異なる入射角度で記録され得るように、相互に接続される、ステップと、上記の２つ、好ましくは、１０以上、又は約６０、又はそれ以上の画像における異物を比較するステップと、を含み、−液体で満たされた容器は、上記の比較から得られた確率分布に基づいて不合格と判定されると共に、決定された確率を超えた場合、異物は、ガラス小片又は他の望ましくない小片であると判断される。
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【課題】特に搬送途中のウェハ上の異物を実時間で検出できるウェハの異物検査方法、および半導体製造工程の量産ラインにおいて、大量の不良を未然に防ぎ、歩留りを維持させるための異物検査装置を提供する。
【解決手段】 半導体製造工程の量産ラインにおいて、異物検査装置を小型にし、半導体製造ラインの処理装置の入出力口あるいは処理装置間の搬送系に載置する。また、屈折率変化型のレンズアレイ、空間フィルタ、パターン情報除去回路により、製品ウェハ１１１上の繰り返しパターン部上の異物を検出し、搬送途中のウェハ上異物検査を可能にした。さらに、半導体製造工程の量産ラインにおいて簡便な異物モニタ１０１だけで異物をモニタリングすることにより、生産ラインを軽量化して製造コストの低減を可能にした。 （もっと読む）

【課題】 歩留まりと効率を改善する材料の暗視野検査照明装置を提供する。
【解決手段】 単一光源から光が幾つかの照明アーム間で分割され、各々がマルチモードファイババンドルにより光源からウェハ位置まで光を導く。共通の照明領域の周囲にアームが配置されているので、幾つかの方向からアームが照明される。各アームに関して、ファイババンドルから出射する光は回転プリズムに入射し、プリズムの底辺で反射し、プリズムの出射面上の発散円筒状面により１方向に発散される。アナモルフィックミラーで光が反射して、ウェハの照明領域に伝播する。ビームは非対称フットプリントを有しているので、法入射角を見たとき、ほぼ円形のウェハ領域を照明する。縦方向の前側焦点面にファイババンドルがある。両方向の後側焦点面に照明領域がある。 （もっと読む）

【課題】 物体の表面領域の配置を画像の領域分割により取得する。
【解決手段】 互いに異なる複数の照明条件の下で物体を撮影した、複数の画像を取得する。これらの複数の画像をそれぞれ領域分割することにより、物体の表面領域の配置とは異なる複数の画像領域配置を取得する。そして、複数の画像領域配置に基づいて、物体の表面領域の配置を取得する。 （もっと読む）

【課題】
マンコンベア用移動手摺の検査装置において、移動手摺の稼働による移動手摺の裏面の摩滅と、移動手摺の稼働以外の要因による移動手摺の裏面の傷の発生とを判別することが可能なマンコンベア用移動手摺の検査装置を提供する。
【解決手段】
移動手摺１の裏面形状を測定し、裏面形状測定値を出力する形状取得手段６と、前記の裏面形状測定値より前記移動手摺の損傷部位を抽出する損傷部位抽出手段８と、前記損傷部位抽出結果より損傷度を判定する損傷度判定手段９とを備え、前記損傷部位抽出手段８は、前記移動手摺の裏面形状測定値に対して２次微分を行い、２次微分値を出力する２次微分手段を含み、前記損傷度判定手段９は、前記２次微分値に対してあらかじめ定めた閾値を超える前記２次微分値が出力された場合、当該移動手摺部位が損傷していると判定する。 （もっと読む）

【課題】 立体角をわずかに変えて観察した際に表面塗装に生じる変化も表面特性検査の際に分解できるようにすることである。
【解決手段】 本発明は、表面の光学的特性を検査するための装置に関するものであり、所与の第１立体角で検査表面に光を照射する、少なくとも一つの第１照射装置を備え、表面に照射され、そこから反射して戻ってきた光を補足するための少なくとも一つの第１検出装置を備え、このとき第１検出装置は位置分解して光を検出することができ、所与の第２の立体角で表面に対して配置されており、少なくとも一つのさらなる照射装置または第２検出装置を備え、これは所与の第３の立体角で光を検査表面に照射するか、または表面に照射されてここから反射して戻ってきた光を検出する。 （もっと読む）

【課題】光を透過させる異物について、面積の大きな異物を所定以上の高さの異物と誤認識するのを防止する。
【解決手段】光学系１０の投光系は、帯状の検査光をガラス基板１の表面へ２０°前後の入射角で照射する。光学系１０の第１の受光系は、検査光がガラス基板１の表面の異物により散乱された散乱光を、検査光に対してほぼ垂直の角度で受光する。光学系１０の第２の受光系は、検査光がガラス基板１の表面により反射された反射光を、検査光の入射角に対する反射角で受光する。光を透過させる異物について、異物の内部へ透過した検査光が、検査光の入射位置から大きくずれた位置で放射された場合、第１の受光系は、従来よりも水平に近い角度で受光を行うため、光が放射された位置に焦点が合わず、放射された光をほとんど受光しない。 （もっと読む）

【課題】 ディスプレーベアガラス検査装置および方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、大形ベアガラスに形成されて欠陥を高速で検査することができるディスプレーベアガラスの欠陥検査装置および方法に関するものである。本発明のディスプレーベアガラスの欠陥検査装置は、スキャン領域を有し、ベアガラスが置かれるステージと、前記ベアガラスを前記ステージ上で前後移動させる移動部材と、前記ステージの前記スキャン領域に光を照射して前記ベアガラスを撮像する撮影部とを含む。前記撮影部は前記ベアガラスの表面をライン単位で撮影する少なくとも一つのカメラと、前記少なくとも一つのカメラで前記ベアガラスの多様な欠陥パターンが撮影されるように、前記ベアガラスに光を照射し、互いに異なる照射角を有する第１光源と第２光源とを有する照明部を含む。 （もっと読む）

【課題】同一のステーションで円筒状検査対象物の外周面側や端面側の検査を可能とした筒状部材外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は回転軸５を備え、回転軸５は、透光性材料により形成されると共に、ゴムブッシュ６の孔部６ａ内に嵌合される嵌入軸部５ａと嵌入軸部５ａ一端部に備えられた導光軸部５ｂとを備える。回転軸５の嵌入軸部５ａに、ゴムブッシュ６の孔部６ａを嵌合させて装着し、回転させながらラインセンサカメラ１５により外周面の外観検査を行う。導光軸部５ｂを周囲から照明するＬＥＤリング照明１１が備えられ、嵌入軸部５ａの他端部側からゴムブッシュ６をその軸心方向から撮像する２次元カメラ１７が備えられる。 （もっと読む）

複数の光源（４）がリング形状で平面に配置され、個々に連続してこのリングを回転するように放射する。入射ビームは、このリングの軸（５）に向けられ、この軸に直角ではない角度で傾斜している。このビームは、ほぼこの軸（５）に沿って位置している物体（２）により反射され、ただちに、ソースのリングに平行な平面に位置している光検出器（８ａ、８ｂ、８ｃ）の１つにより受光される。形状の欠陥、表面の不規則さ、又は色の変化の存在は、光検出器により受容されたエネルギを変調することにより決定される。この測定は、物体の表面の非常に小さい領域の連続的な照明の非常に良好な解像度を提供する。
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【課題】 印刷回路基板の微細パターンを検査するための照明装置と、これを具備する自動光学検査システムおよびこれの検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明の自動光学検査システムに具備される照明装置は、印刷回路基板パターンの平面部分を中心に反射光を出力する少なくとも一つの第１光源と、第１光源から反射光を受けて印刷回路基板に出力し、印刷回路基板から反射された光を受けてイメージセンサに出力するビームスプリッタと、印刷回路基板パターンのエッジ部分を中心に反射光を出力する少なくとも一つの第２光源および、第２光源から反射光を受けて集光して出力する集光レンズを具備し、印刷回路基板の微細パターンの映像獲得時、光の明るさおよび均一度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 被処理体の表面において異物と微小欠陥を適切に弁別することができる被処理体表面検査装置を提供する。
【解決手段】 ウエハ表面検査装置１０は、ウエハＷの表面の検査箇所に、ｓ偏光及びｐ偏光のレーザ光を照射するレーザ光照射器１１，１２と、照射されたレーザ光に起因する散乱光を検出する散乱光検出器１３，１４と、演算部１６とを備え、レーザ光照射器１１，１２はそれぞれ照射角α_１，α_２を自在に変化可能に構成され、２つの散乱光検出器１３，１４は、検出された散乱光に応じて信号を演算部１６へ送信し、演算部１６は、散乱光検出器１３，１４から送信された信号に応じて散乱光の発生要因がパーティクルであるかピンホールであるかを弁別する。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面が曲面を含んでいたり、表面に多数の凹凸が存在するために検出すべき表面欠陥と素地との濃淡の差が相対的に小さい場合でも、精度良く表面の欠陥を検出することが可能な表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】対象物たるデフキャリア２の表面をラインセンサ１２により撮像して生成した第一撮像画像と、デフキャリアの表面をエリアセンサ１４により撮像して生成した第二撮像画像と、に基づいて対象物の表面の欠陥を検出する。 （もっと読む）

サンプルを検査する装置は、サンプルの表面のエリアに光学放射を向けるように適応された放射ソースと、複数の像センサとを備えている。各像センサは、上記エリアから異なる各々の角度範囲へ散乱された放射を受け取って、上記エリアの各像を形成するように構成される。像プロセッサは、各像の少なくとも１つを処理して表面上の欠陥を検出するように適応される。
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【課題】分解能を落とすことなく画素のムダを最小限に抑えることができる表面欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】円筒表面等の局所的な凹凸部の検査測定において、被対象の稜線部を透過光にて観察する観察手段と、前記被対象と観察手段を相対的に移動する移動手段とを持ち、前記観察手段は照明手段と受光手段から成り、前記受光手段には稜線位置に焦点を合わせた結象光学手段を持つ１次元ラインセンサを用い、前記ラインセンサ配置を被対象稜線方向から傾けて配置することを特徴とする。 （もっと読む）