本発明は金属棒の表面の傷を伴う問題と同時に、不破壊表面傷検出のために金属棒に金属平面検査システムを適用に伴う問題解決に向けられる。特に設計された画像化システムは、それは計算ユニット、線ライトと高データ率線スキャンカメラよりなり、上記の目的のために開発された。目標の応用例は、（１）横断面が単一の形状である時、周辺長/横断面割合は４．２５より小さく、（２）その横断面が円、楕円、又は、多角形であり、（３）横断面削減工程で製造される金属棒である。その金属は鉄鋼、ステンレス鋼、アルミニウム、銅、青銅、チタニウム、ニッケル、及びその他、及び/又はその合金であっても良い。その金属棒は製造時の温度であってもよい。
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【課題】光学部材の交換頻度を低くした配線パターン検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、光透過性のベースフィルムに配線パターンを有する半導体パッケージ用多層配線基板からなるワーク２１の最上層配線パターンを光学的に検査する配線パターン検査装置である。光源１０からの光は熱線カットフィルタ１２で赤外線成分が遮断される。バンドバスフィルタ１４は、赤外線成分を遮断された光の波長域から、最上層配線パターンにおける反射光量と、ベースフィルム及び配線パターンにおける反射光量との差が最も大きくなる波長域を選択する。偏光ビームスプリッタ１８は、この選択された波長域における光から、この光の導光方向に対して電界ベクトル方向が直交する第１の直線偏光を抽出し、λ／４板２０に導く。λ／４板２０は、第１の直線偏光を円偏光に変換しワーク２１に照射する。 （もっと読む）

【課題】熱可塑性接着剤の塗布異常を速やかに検出して、熱可塑性接着剤が正常に塗布されていない箱体が搬出されることを防止することができる熱可塑性接着剤検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】熱可塑性接着剤検査装置１は、箱体成形装置２において、箱体成形装置２によって成形される箱体６に塗布された熱可塑性接着剤４０及び４１に光を照射する光源装置３ａ及び３ｂと、熱可塑性接着剤４０及び４１からの反射光を撮像する撮像装置４ａ及び４ｂと、撮像装置４ａ及び４ｂから送られてきた画像データを処理し、規定値と比較することにより、前記熱可塑性接着剤４０及び４１が正常に塗布されているかを判定する画像処理装置５ａ及び５bとを有する。 （もっと読む）

【課題】 パターンの欠陥を漏れなく検出し、検出速度を低下させず、欠陥領域を分離させずに検出可能なパターン欠陥検出装置及びその方法を提供する。
【解決手段】 本発明のパターン欠陥検出方法は、基板上に形成された周期的なパターンにおける欠陥を検出するものであり、周期分ずれた位置同士のパターンの画像を比較し、欠陥を有するパターンを検出する欠陥検出過程と、検出された欠陥の位置座標と、前回検出された欠陥の位置座標とを比較し、両位置座標が所定の距離以下であるか否かを検出する距離検出過程と、前記両位置座標が所定の距離以下である場合、これら２つの欠陥を１つの欠陥として結合する欠陥領域結合過程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光源装置及び撮像装置のレンズの清掃並びに、光源装置の交換における無駄を防止することができる熱可塑性接着剤検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】熱可塑性接着剤検査装置１は、熱可塑性接着剤４０及び４１に光を照射する光源装置３ａ及び３ｂと、熱可塑性接着剤４０及び４１からの反射光を撮像する撮像装置４ａ及び４ｂとを備えた熱可塑性接着剤検査装置において、
撮像装置４ａ及び４ｂから送られてきた画像データを処理し、熱可塑性接着剤部と背景部の輝度の比率を算出する画像処理装置５ａ及び５ｂと、前記比率を予め設定された値と比較することにより、光源装置３ａ及び３ｂ並びに撮像装置４ａ及び４ｂの汚れを判定する判定装置７ａ及び７ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な構成の欠陥検査装置にすることなく、被検査物の種類により、欠陥検査精度が劣ることなく安定に欠陥を検出する欠陥検査装置及び欠陥検査方法の提供。
【解決手段】 被検査物に検査光を照射する投光部と、該被検査物を透過した透過光、或いは反射光を検出し、前記被検査物の欠陥を検出する検出部とを有する欠陥検査装置において、該投光部は照射手段と、偏光子とを有し、該検出部は、検光子と光検出手段とを有し、該偏光子は、前記被検査物の固有の偏光軸に合わせ前記偏光子の偏光軸を変え、該照射手段からの光を偏光して前記被検査物に照射し、該検光子は、偏光軸を前記偏光子の偏光軸に合わせ、前記被検査物からの透過光、或いは反射光を通して透過量の変化、或いは反射量の変化を光検出手段で検出することにより、前記被検査物の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】 精度良く光学フィルムの良否を判断することが可能な光学フィルム用検査部材及び光学フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】 光学フィルム用検査部材１０は、基材１１と、基材１１の一方の面１１ａに積層された接着部材１２とを備えており、基材１１および接着部材１２の少なくとも一方が遮光性を有することを特徴とする。光学フィルム用検査部材１０の接着部材１２上に光学フィルム２０を接着し、光学フィルム２０の表面に光を照射し、その反射光を観察することにより光学フィルム２０の良否を判断する。 （もっと読む）

検査する容器をその長手方向軸を中心に回転できるようにして、容器内の充填物を充分に迅速に回転開始させ、場合によって存在する異物を容器底から巻き上がらせ、充填物にある光拡散する異物を検知するための暗視野工程で機能する少なくとも一つの検査装置と関連付けて配置しており移送方向で後に続く第二回転台に宙吊りで容器を移送し、そのとき両方の回転台は円弧部分でお互いに接線配置されており、容器が第一回転台から直接、第二回転台に移すことができる。
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【課題】 炉蓋の任意の箇所について汚れを定量的に把握することができる炉蓋汚れ検知装置を提供する。
【解決手段】 炉蓋１の汚れ付着面に対し陰影ができる角度から照明を当てる照明装置７と、照明装置７によって陰影ができた汚れ付着面を撮影する撮像センサ６と、撮像センサ６によって撮影された汚れ付着面の画像が入力されるコントローラ８とを備え、このコントローラ８は、汚れ付着面の画像から陰影の面積を計算する陰影面積算出部８ａと、陰影面積算出部８ａによって計算された陰影面積が予め設定された基準値を超えるか否かを判断する判断部８ｃと、上記陰影面積が基準値を超えた場合に炉蓋交換時期に到達したことを示す信号を出力する出力部８ｄとを備えてなることを要旨とする。 （もっと読む）

【課題】
透過像と反射像とに基づいて正確に異物検査を行うことができる検査装置及び検査方法ならびにパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる検査装置は、落射照明光源２１と、落射照明光源２１からの光を集光してフォトマスク３３に出射するレンズ３２と、レンズ３２から出射した光のうち、フォトマスク３３で反射した反射光をレンズ３２を介して検出する反射側センサ４４と、透過照明光源１１と、透過照明光源１１からの光を集光してフォトマスク３３に出射するレンズ１６と、レンズ１６からフォトマスク３３に出射した光のうち、フォトマスク３３を透過した透過光をレンズ３２を介して検出する透過側センサ４３とを備え、落射照明光源からの光と透過照明光源からの光とがレンズ３２の視野の一部の異なる位置を通過するものである。 （もっと読む）

【課題】 組み込み作業、調整作業を簡単化し、しかも、精度よく異物の有無を検査する。
【解決手段】 基板４の移動方向と直交する方向に互いに対向させて投光器５および受光器６を配置し、投光器５から、所定の広がりを有する状態で、かつ基板４の上面と平行な状態で、レーザー光を出射する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象が平らな場合であっても、サイズの小さな疵が検出できるようにした表面検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 平面状の被検査体の表面に所定の入射角で光束を照射し、被検査体の表面から反射された光を検出して、微小凹凸性疵を検出する表面検査方法において、光源の波長λに対する入射角θの余弦の値の比cosθ/λが、被検体の表面粗さに対応して決定される所定の値以下となるように、波長λと入射角θの関係を選定し、且つ、被検査体の表面に入射する光束を発散光とした。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な検査装置を用いて、ガラスパネルのフェース部の内部欠陥の有無及び大きさと深さ方向位置とを容易に視認検出することを可能にする。
【解決手段】フェース部２の側方からフェース部２の内部に入射した第２検査光７ａ（８ａ）は、フェース部２の内部に欠陥Ｐ２があると、この内部欠陥Ｐ２の箇所で乱反射を起こして散乱光Ｐ２ａとなる。一方、外表面２ｂの側からフェース部の内部に入射した補助光１０ａは、粗面に形成された内表面２ａで反射されて反射光１０ａ１となる。そして、反射光１０ａ１により内表面２ａの位置を認識した状態で、内部欠陥Ｐ２の箇所での検査光７ａ（８ａ）の散乱光Ｐ２ａを視認する。 （もっと読む）

【課題】オペレータが基板の欠陥を検査するために適した照明を提供することにより、オペレータが欠陥を確認する際の作業効率を向上させる。
【解決手段】目視確認装置の制御部に照明制御部４８６を設ける。さらに、照明制御部４８６に方向決定部４８６ａおよび光量決定部４８６ｂを設ける。また、照明機構４６を複数の光源がリング状に配置された分割リング照明とする。方向決定部４８６ａおよび光量決定部４８６ｂは、欠陥に関する情報である欠陥データ１００に応じて照明方向および照明光量を決定する。照明制御部４８６は、照明機構４６の複数の光源のうち点灯する光源を選択することにより方向決定部４８６ａが決定した照明方向となるように照明機構４６を制御する。また、点灯する光源の光量を光量決定部４８６ｂが決定した照明光量となるように照明機構４６を制御する。 （もっと読む）

【課題】検査ステージからの反射光の影響を受けずにエッジ部分及び表面の状態を鮮明に抽出することができる円形若しくはリング状ワークの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】円形若しくはリング状ワーク３を水平に載置する検査ステージ１と、該検査ステージ１の中心軸Ｌに沿った上方に設置され検査ステージ１上のワーク３の画像を撮像する撮像手段６と、該撮像手段６と検査ステージ１との間にあって撮像手段６の光軸と略同軸状に検査ステージ１上を照射することができる照射手段５とよりなり、上記検査ステージ１上にはテーパ面２ａを含むワーク保持部４が形成され、該テーパ面２ａは照射手段５からの照射光による反射光が撮像手段６に入光しないようなテーパ角度とされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面特性を定量的に評価するための、さらに下塗りラッカ塗装の評価も可能にする装置と方法を提供する。
【解決手段】表面特性を定量的に評価するための装置（２１）は、第１光放射装置（２３）を有し、この光放射装置は、調査しようとする表面（１）に対して第１所定角度で配設され、調査しようとする表面（１）に放射光を方向付け、表面（１）に向けられた放射光は、赤外領域にある波長を有する少なくとも１つの成分を有し、さらに、調査しようとする表面に対して第２所定角度で配設された検出装置（２４）が備えられ、この装置が表面に照射されてこれからはね返される放射光を検出する。 （もっと読む）

本発明は、ガラス壜の壜口部等の特定位置にある欠陥を撮像により検出するためのガラス壜の検査装置に用いられ、該検査装置において検査対象のガラス壜から得られた画像と比較するための基準画像（テンプレート）の作成方法及び装置に関する。本発明の基準画像の作成方法は、不良品を含む場合のあるサンプルとなる複数のガラス壜（２）をＣＣＤカメラ（１１〜２０）により撮影して複数の画像を形成し、得られた複数の画像から良品のガラス壜に光を照射したときの明るさの範囲が特定された基準画像を作成する。
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【課題】無端状の金属リングを複数積層して形成される積層リングを光学的に検査する方法であって、各金属リングの側縁の状態に加えて、金属リングの積層状態も検査できるようにする。
【解決手段】撮像手段２により撮像された積層リングの側縁の画像を２値化し、２値化された画像に表れる各金属リングに対応する各リング像に基づいて各金属リングの側縁の状態を検査し、また、複数のリング像間の相対位置関係に基づいて金属リングの積層状態を検査する。積層検査工程では、２値化された画像から隣接する各２個のリング像を順に選択し、金属リングの周方向に合致する方向をＸ軸方向、金属リングの径方向に合致する方向をＹ軸方向として、選択された２個のリング像の重心間距離と２個のリング像の重心間距離のＸ軸方向における変化量との内の１つ以上を夫々の閾値と比較して金属リングの積層状態を判別する （もっと読む）

【課題】画像の形状から不良の金属リングを確実に判別できる側縁検査方法を提供する。
【解決手段】金属リング７の側縁を照明手段３により照明して撮像手段４により撮像する。撮像された画像２３を２値化する。２値化された画像２３ａに検査対象部２６を設定する。検査対象部２６における金属リング７の接線方向をＸ軸、Ｘ軸に直交する方向をＹ軸として、明部像２５のＹ軸方向の長さの平均値ｈと、明部像２５のＹ軸方向の全長Ｈに対するＸ軸方向の全長Ｗの比として縦横比ｒとを算出し、この縦横比ｒに対する平均値ｈが所定の基準値Ｓ以上であれば金属リング７が基準外であると判定する。平均値ｈは、検査対象部２６内の明部像２５の面積を求め、この面積を検査対象部２６のＸ軸方向の全長Ｗで除することにより算出する。基準値Ｓは、前記縦横比の増加に伴って、段階的に増加するように設定されている。 （もっと読む）

中心軸線と周囲に延びる外部リブ付きの側壁とを有する容器を検査するための装置である。装置は、線形状光ビームを容器の外面上に向けるための光源と、線形状ビームの反射された部分を受けるように配置された光センサと、反射された光エネルギーの関数として側壁の幾何学的特性を判断するように光センサに連結された情報処理装置とを含む。線形光状ビームは、少なくとも１つのリブ峰部とリブ峰部間の少なくとも１つの谷部とを照らすのに十分な長さを有する、容器の軸に平行な長い寸法を有するのが好ましい。センサは、非円形度を測定するために特に有用な直線アレイ・センサとすることができ、又は、非円形度及び側壁の厚さを測定するための領域アレイ・センサとすることができる。 （もっと読む）