【課題】半導体製造や磁気ヘッド製造において、被加工対象物（例えば、半導体基板上の絶縁膜）に対してＣＭＰなどの研磨または研削加工を施した際、その表面に生じる様々な形状を有するスクラッチと付着する異物とを弁別して検査することができるようにした表面検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、研磨または研削された絶縁膜の表面に発生したスクラッチや異物に対してほぼ同じ光束で落射照明と斜方照明とを行い、該落射照明時と斜方照明時との間において浅いスクラッチと異物とから発生する散乱光強度の変化を検出することによって浅いスクラッチと異物とを弁別し、さらに、前記落射照明時における散乱光の指向性を検出することによって線状スクラッチと異物とを弁別することを特徴とする表面検査方法およびその装置である。 （もっと読む）

【課題】籾摺り処理を行う前の生籾の状態で、斑点着色等の被害粒を非破壊的に検出可能な生籾被害粒の非破壊判定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】籾の一側面に光を照射し、前記籾を透過した透過光から得られる透過光画像を得て、前記透過光画像の平均輝度値及び／又は検出画素数を算出し、前記透過光画像の平均輝度値及び／又は検出画素数を予め設定された閾値と比較して被害粒か否かを判定する方法であるため、生籾の状態で内部の斑点着色粒等の被害粒を非破壊的に判定することが可能である。また、収穫直後或いは流通前に品質判定を行うことにより高品質米を確保することができ、商品の差別化を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】メタリック塗装がなされた自動車などの計測対象物の平面だけでなく曲面においても、メタリック色の塗装ムラ（メタルムラ）を面情報として計測でき、目視評価との一致性が高い塗装ムラの計測装置、計測方法及び評価方法を提供する。
【解決手段】メタリック塗装面に光を照射し、正反射光が入射しない角度から受光した反射光強度を連続的に測定して該塗装面の塗装ムラを計測する装置であって、
発光素子及び受光素子を内蔵し、３つ又は４つのボールベアリングころによって支持された光学ユニットと、該光学ユニットに具備された全てのボールベアリングころが前記塗装面に点接触するように前記光学ユニットを保持可能で且つ前記塗装面上を移動可能とせしめるロボットと、該ロボットの制御装置と、前記光学ユニットによって測定された反射光強度を処理可能な処理装置とを具備する塗装ムラの計測装置。 （もっと読む）

【課題】液晶基板などの大型基板の外観検査用投光装置において、装置の高さを押さえ、小型化を図る。
【解決手段】本発明の外観検査用投光装置は、照明光源と、この照明光源からの光を被検査部材に向けて反射させる反射光学系と、この反射光学系の反射光路に配置される集光光学系と、を具備し、前記集光光学系は少なくとも２分割され、これら分割された各集光光学系からの照明光束により前記被検査部材の全面を照射可能とした。 （もっと読む）

【課題】安価な印刷物検査装置の提供が望まれていた。
【解決手段】画像データを低解像度に変換したＰＰＦ形式の画像データを作成するＰＰＦ処理機能を含むＣＩＰ３データコンバータと、印刷装置に用いる印刷版の作成のために、印刷物を構成する多値画像データをＲＩＰ処理して画像を記録するための２値画像データに変換する画像データ処理装置と、画像読取手段と、前記画像読取手段で読み取った検査用画像データと、前記ＣＩＰ３データコンバータで得られたＰＰＦ形式の画像データを比較して印刷物の検査を行う比較手段を備えた印刷物検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】基板検査装置を小型化して、設置面積を小さくする。
【解決手段】光学ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃは、検査光を基板１へ斜めに照射する投光系と、検査光が基板１の欠陥により散乱された散乱光を受光する受光系とを有する。基板１を搭載するステージ１０と光学ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃとを互いに逆方向に移動して、検査光による基板１の走査を行う。移動前にステージ１０及び光学ユニット２０ａ，２０ｂ，２０ｃを配置するだけのスペースを設ければ、移動後も両者を配置することができるので、基板検査装置が小型化され、設置面積が小さくなる。また、装置の重心の移動が小さくなり、装置の歪みが抑制される。さらに、検査光による基板１の走査が短時間で行われ、検査時間が短縮される。 （もっと読む）

【課題】 ２つの透明層を有する被検査物について簡単な構成で検査を行うことができる、透明層の検査装置を提供する。
【解決手段】 第１の透明層１２に対して所定の第１の入射角α_１で、照射位置１８ａを変えながら、Ｐ波の第１のレーザビーム２０を照射する、第１の投光部と、第１の透明層１２に照射された第１のレーザビーム２０により、第１の透明層１２で直ちに反射する表面反射光２２と、第１の透明層１２に一端入射した後、第１の透明層１２と第２の透明層１４との界面１３で反射して第１の透明層１２から出射する界面反射光２６との間で発生させた干渉光の強度又は干渉縞を検出して信号を出力する干渉光受光部と、第１の投光部が照射する第１のレーザビーム２０の照射位置１８ａと、干渉光受光部から出力される信号とに基づいて、第１の透明層１２の不均一部分を検出する第１の検出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 透明体における欠陥の有無を判断することができる透明体検査装置を提供する。
【解決手段】 透明体９２，コリメータレンズ系１１およびリレーレンズ系１２の何れかが光軸に垂直な面上において移動または回動されて、コリメータレンズ系１１およびリレーレンズ系１２と透明体１３との間の相対的配置関係は、第１および第２の相対的配置関係それぞれに設定される。第１および第２の相対的配置関係それぞれの状態において、光源９１から出射された光は、透明体９２，コリメータレンズ系１１およびリレーレンズ系１２を経て撮像部１３の撮像面に入射して、その光強度の放射角分布の画像が撮像部１３により得られる。第１の相対的配置関係の状態において得られた第１画像と、第２の相対的配置関係の状態において得られた第２画像とは、互いに比較されて解析され、その解析結果に基づいて透明体９２が検査される。 （もっと読む）

【課題】 データの数に基づいて導出した関数を用いて、最終的なクラスタの数を自動算出することができるクラスタリング方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、Ｘ個のデータの中から互いに類似したものを集めてＹ個のクラスタに分類するクラスタリング方法において、データの数Ｘに基づいて導出した関数（例えば、Ｙ＝round｛logＸ×（ｂ_３／（１＋ｃ_３×exp（−ａ_３Ｘ）））｝…関数（４））を用いて、前記クラスタの数Ｙを算出するものである。 （もっと読む）

【課題】シャンプーやボディソープ等の液剤を充填する包装袋に生じる微細な穴や破れによる液漏れ、あるいは包装袋のシール強度不足などにより経時的に発生する液漏れを、製造工程で容易に検査できる装置を提供する。
【解決手段】本発明の液漏れ検査装置は、被検査物に押圧力を印加する押圧手段２１と、上記押圧手段周辺の光反射又は光沢の変化を検出する判定手段２３と、液漏れを検出した時に自動的に検査装置又は製造ラインを停止する手段とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】 コンベア上に載置されて搬送される原料中に混入している異物を光学的に検出するに好適な簡易な構成の異物検査装置を提供する。
【解決手段】 可視光および近赤外線光を含む光を前記コンベアの幅方向全域に亘って一様に照射する光源と、コンベア上の可視光および近赤外線光を含む光の照射領域を該コンベアの幅方向に光学的に走査する偏向機構を備えて該光の照射領域を局部的に視野する光学系と、この光学系を介して前記コンベア上に載置された原料および／または該原料中に混入している異物による可視光および近赤外線光の反射光の強度をそれぞれ検出する光検出素子と、この光検出素子が検出した可視光および近赤外線光の反射光の強度の差分値が所定のレベル値を超えたとき、原材料中に前記異物が混入していると判定する。 （もっと読む）

【課題】鋼板の圧延プロセスにおけるロール疵を軽度なものから重度のものまで精度よく検出する圧延性ロール疵検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱延ラインの仕上げ圧延機１１の最終スタンドとダウンコイラ１４前のピンチロール１３との間の、冷却帯１２の後のランナウトテーブル上に、圧延性ロール疵検出装置１５を設置し、その投光部は、被検査体の幅方向斜めより被検査体の検査対象面上に光を照射する （もっと読む）

【課題】 従来技術における問題点を解決した選別機の制御システムの提供。
【解決手段】 本発明の穀粒選別機のための制御システムは、検査領域に並列に流下される原料穀粒Ｏを穀粒の流れを横切ってライン状に各穀粒毎に高速で連続して検知し且つ選別する選別機Ａと、前記原料穀粒及び前記選別機によって選別された穀粒のうちの一部を検査領域に並列に流下するように供給され、供給された穀粒の流れを横切ってライン状に各穀粒毎に高速で連続して検知し且つ判別分類する検査機Ｂと、前記検査機による判別分類結果に基づいて、該検査機の判別分類結果が目標理想値になるように前記選別機の選別設定値を設定するようになされた制御装置Ｃと、から主として構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の導通貫通孔の信頼性を確保するため、電気を用いた導通検査のみでなく、画像処理を用いた外観検査を行うことで、欠損や断線しかかり等の異常の検出を行い、信頼性の高い導通貫通孔を備えた基板を選別して提供する。
【解決手段】基板の貫通孔の形成方向に対して所定角度から前記貫通孔へ光を照射する照明手段と、前記照明手段の反対側に貫通孔の形成方向に対して所定角度で設置された撮像手段と、画像処理手段とを備えた外観検査装置を用いてスルーホール等の貫通孔の外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】押し込み深さの浅い疵の欠陥検出を、安価に確実に行える金属帯の表面欠陥検出方法および装置を提供することを目的とする。
【解決手段】走行中の金属帯１の表面に、投光器２により光を照射して、その金属帯表面からの反射光のうち、正反射する正反射光を正反射光受光器３で、乱反射する乱反射光を乱反射光受光器４で、それぞれ受光する。所定の非定常速度となるタイミングを捕えて、乱反射光受光器４を可動させるようにして、正反射光受光器３および乱反射光受光器４からの画像信号を用いて、画像処理部７で疵の検出および疵種判定を行い、その結果を表示部８に表示する。 （もっと読む）

【課題】青果物の外観検査と内観検査との双方を行うことができ、さらに、１回の測定でこれらの検査を同時に行うことができる青果物の品質検査装置の提供。
【解決手段】二次元状に画素が配列された受光素子面を有する固体撮像装置に分光装置を接続し、一次元の被撮像領域からの光をスリットへ導きスリットを通過した一次元像を回折格子で波長毎に分散させ受光素子面の画素行方向を一次元像の位置軸とし、画素列方向を波長軸として一次元像の各位置に対応する画素行方向の各画素について画素列方向の各画素に波長分解したスペクトルを得るようにし青果物を移動させながら、この移動方向と略垂直である一次元の被撮像領域からの光をスリットへ順次入射させ、これにより移動の方向へ連続し各位置における被撮像領域からの一次元像について受光素子面の画素行方向の各画素について画素列方向の各画素に波長分解したスペクトルを得て検査を行う。 （もっと読む）

【課題】検査ワークの欠陥を正しく検出する。
【解決手段】Ｘ−Ｙテーブル２は、検査ワーク１の第１、第２の撮像領域の線方向と直角のＹ方向に移動する。照明装置４ａ，４ｂは第１の撮像領域に光ビームを照射し、照明装置４ｃ，４ｄは第２の撮像領域に光ビームを照射する。第１のラインセンサカメラ３ａは第１の撮像領域を撮像し、第２のラインセンサカメラ３ｂは第２の撮像領域を撮像する。第１の撮像領域は、検査ワーク１の基材面に設定され、第２の撮像領域は、検査ワーク１の導体の上面に設定される。 （もっと読む）

【課題】
検査対象物が医療用に使われる点滴輸液用バッグのキャップなどである場合に、場所による濃度のばらつきや生産ロットによる濃度のばらつきの影響を除去でき、かつ、欠陥検査時間を短縮できる画像処理による欠陥検査法を提供する。
【解決手段】
検出対象エリアの中心座標を求め、検出対象エリア全面を覆うように中心座標を中心とする同心円状の複数の欠陥抽出ラインを書き込み、前記欠陥抽出ラインを構成する全ての画素濃度を画素毎に抽出して濃度配列を生成し、各画素について、前記欠陥抽出ライン上でその画素の左右にある所定数の画素を平均値抽出範囲として平均濃度を求めて画素濃度と平均濃度の差を算出して平均値差分配列を生成し、算出した濃度差が所定の値を越える平均値差分配列の配列数を求め、所定の値を越える平均値差分配列の配列数の全欠陥抽出ライン上における最大値が所定の値以上となるとき前記検査対象物を不良品と判定する。 （もっと読む）

【課題】
微細なパターンを高い分解能で検出する欠陥検査方法、その装置及び半導体基板を高歩留まりで製造する方法を提供する。
【解決手段】
Ｘｅランプ３、楕円鏡４、マスク５とからなる輪帯状の照明を形成するランプハウス２４は、輪帯状の照明光を、ＸＹＺステージ２上に載置された微細パターンを形成したウエハ（被検査対象物）１を、コリメータレンズ６、光量調整用フイルタ１４及びコンデンサレンズ７を介して、円又は楕円偏光変換素子により円又は楕円偏光させて、対物レンズ９を介して照明し、その反射光をハーフミラー８ａ、８ｂ、ズームレンズ１３を介し、反射光の画像をイメージセンサ１２ａにより検出する。ステージＸＹＺを移動させ、センサ１２ａにより走査し画像信号を得る。この画像出力をＡ／Ｄ変換器１５ａにより変換して基準画像と比較して不一致を欠陥として検出するものである。 （もっと読む）

【課題】 環状部材における内周側の部分のうち、最小径ではない部分についても、その表面を、簡易な構成で適切に検査することのできる表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】 アブソーバシール２００の内周側に設けられたゲート部２２０であって、アブソーバシール２００の内周側に設けられたシールリップ２１０先端の内径よりも、その先端の内径が大きなゲート部２２０の内周表面に欠陥があるか否かを検査する表面欠陥検査方法であって、シールリップ２１０を介してゲート部２２０とは反対側から光を照射するステップと、アブソーバシール２００のシルエットを撮影するステップと、を有し、シールリップ２１０を介してゲート部２２０とは反対側から光を照射する際に、光を拡散させて、シールリップ２１０に備えられたゲート部２２０側の傾斜面２１１に光を照射させることにより、その反射光をゲート部２２０の照射に用いる。 （もっと読む）