パターン検査装置

【課題】配線部分と樹脂フィルム部分のコントラストが大きくなるようにし、反射照明により配線パターンを容易に検出できるようにすること。
【解決手段】配線パターンが形成されたＴＡＢテープ５は、送り出しリール１１から巻きだされ検査部１に送られる。検査部１で、反射照明手段１ａで照明し、撮像手段１ｂでＴＡＢテープ５上の検査パターンを撮像する。撮像された検査パターンの画像は制御部４に送られ、基準パターンと比較されパターンの良否が判定される。反射照明手段の１ａの光源は、例えば波長５００ｎｍ以上の光のみを放射する例えば赤外ＬＥＤである。ＴＡＢテープ５を透過する波長５００ｎｍ以上の光のみで照明するので、コントラストの良い画像を得ることができる。またステージ１ｃの赤外線反射率を１０％以下としたり、ステージ１ｃを設けないことで、さらにコントラストのよい画像を得ることができる。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン検査装置に関わり、特に、テープキャリア方式によるＴＡＢ（ＴａｐｅＡｕｔｏｍａｔｅｄＢｏｎｄｉｎｇ）テープに照明光を照射し、ＴＡＢテープ上に形成された集積回路（ＩＣ）等のパターンを、撮像手段により撮像し自動で外観検査を行なう、パターン検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスは、高集積化と高密度実装の要求に対応して、リードの多ピン化と微小化が進んでいる。この多ピン化や微小化に有利なことから、半導体チップをフィルム状のＴＡＢテープに設けた多数のリード線と接続する方法が採用されている。
図７に、ＴＡＢテープが作られる手順と構造（断面図）を示す。
ＴＡＢテープは、図７（ａ）に示すように厚さ２０〜１５０μｍ程度（多くは２５〜７５μｍ）、幅３５〜１６５ｍｍ程度のポリイミド系の樹脂フィルムで形成されており、この樹脂フィルム上に、パーフォレーションホール１０３が形成される両側周辺部を除いて、厚さ１０〜１５μｍ程度の接着剤が塗布される。その上には、図７（ｂ）に示すように銅箔などの金属箔１０５が貼りつけられている。
配線パターン１０６を形成するには、図７（ｃ）に示すように、この金属箔（銅箔）１０５を露光およびエッチングにより加工する。
【０００３】
図８に、上記のようにして配線パターンが形成されたＴＡＢテープを示す。
同図に示すように、ポリイミド系樹脂等の樹脂フィルム１０２等などで形成され、両側にパーフォレーションホール１０３を有する帯状のテープ（ＴＡＢテープ）の上に、同一の回路が複数連続して製作される。
同図の点線で囲んだ部分は一つの配線パターン（１ピースという）を示し、各ピースには、配線パターン１１１が形成される。また、内部の長方形は、半導体チップを取り付ける開口部（デバイスホール）１１０である。
このようなＴＡＢテープの製造工程においては、配線パターンが、正しく形成されているかどうかを検査する必要があり、配線パターン検査装置によって検査が行なわれる。
【０００４】
配線パターン検査装置は、検査するＴＡＢテープを照明光で照明し、配線パターンの状態（外観）を撮像装置または目視にて検出し、マスタパターン（基準パターン）と比較して形成された配線パターンの良否を判定する。
近年は、あらかじめ検査装置の制御部の記憶手段にマスタパターン（基準パターン）を記憶させておき、記憶しているマスタパターンと、撮像装置により撮像した実際の配線パターンとを比較し、自動的に良否を判定する自動検査装置も用いられるようになってきた。
パターン検査装置の照明光の照明方法には、反射光を用いる方法と、透過光を用いる方法がある。
反射光を用いる方法は、ＴＡＢテープの配線パターンが形成された側に設けた照明手段から照明光を照射し、パターンからの反射光を、照明手段と同じ側に設けた撮像手段により撮像し観察する方法である。反射光を用いる方法については、例えば特許文献１、特許文献２などに記載されている。
一方、透過照明を用いる方法は、テープに対し、照明手段とは反対側に設けた撮像手段により、ＴＡＢテープを透過した光を撮像し観察する方法である。
【特許文献１】特開２００２−２５０７００号公報
【特許文献２】特開平１０−１８５８３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記したように、パターン検査装置の照明光の照明方法には反射光を用いる方法があるが、反射光を用いるパターン検査装置の場合、配線パターン（以下パターンと呼ぶ場合もある）は、配線部分とそれ以外の部分の、コントラストの差として撮像手段（目視の場合は目）に入力される。
図９に、反射光を用いて撮像された配線パターンの一例を示す。同図のように、配線の部分は金属であるので、照明光をよく反射し、撮像素子に明るく映る。一方、配線以外の下地であるポリイミド系の樹脂フィルムの部分は暗くなる。
しかし、反射光を用いたパターン検査装置において、配線の部分とそれ以外の樹脂フィルム部分の明暗差（コントラスト）が小さい（以下コントラストが悪いと呼ぶ場合もある）画像が撮像されることがある。
このようなコントラストの悪い画像でも、従来の、いわゆるラフな（配線が太く、配線間のスペースが広い）パターンであれば、画像の明るさや色調などを調整することにより検査することができた。
しかし、最近はパターンが密（配線が細く、配線間のスペースが狭い）になってきており、画像の調整のみでは対応できず検査が困難になってきている。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、反射照明よりパターンを検出するパターン検査装置において、配線部分と樹脂フィルム部分のコントラストが大きくなるようにし、配線パターンを容易に検出できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題点について検討したところ、反射画像のコントラストが悪くなるのは「樹脂フィルム（テープ）からの反射」と「ステージからの反射」の二つが原因であると突き止めた。以下にこの点について詳しく説明する。
（１）テープからの反射について。
図１０に、ＴＡＢテープに使用される代表的なポリイミド系樹脂フィルム（厚さ７５μｍ）の透過率を示す。縦軸が透過率（％）であり、横軸が波長（ｎｍ）である。
同図に示されるように、波長５００ｎｍ以下の光は、ポリイミド系の樹脂フィルム（以下ＴＡＢテープまたはテープと呼ぶ場合もある）をほとんど透過しない。透過しない光は吸収される成分もあるが、反射される成分もある。透過するのは波長約５００ｎｍ以上であり、７００ｎｍでは透過率が約４０％、８５０ｎｍで約６０％になり、ほぼ飽和する。従来、パターン検査装置用の照明手段の光源として、一般的なハロゲンランプを使用している。タングステンをフィラメントとする一般的なハロゲンランプからは、波長１０００ｎｍ付近をピークとした連続光が放射される。
上記したように、反射照明において、コントラストの大きい（以下コントラストが良いと呼ぶ場合もある）パターンの像を得る条件は、配線部分が照明光を反射し、撮像素子には明るい部分として入力され、それ以外の部分では、照明光が反射されず、撮像素子には暗い部分として入力されることである。
【０００７】
ところが、従来のハロゲンランプの白色光による照明では、波長５００ｎｍ以下の成分が含まれる。このため、図１１に示すように、上記白色光による照明手段１ａからＴＡＢテープ５に光を照射し、撮像手段１ｂで撮像した場合、波長５００ｎｍ以下の成分の光が配線以外の樹脂フィルムの部分でも反射され撮像素子１ｂに入射する。そのために、前記したようなコントラストの悪い画像になることがある。
この対策として、本発明では、検査装置の照明手段と撮像手段を、次のような構成とする。
（ｉ）照明手段として、ポリイミド系樹脂を比較的良く透過する波長５００ｎｍ以上の光のみが放射され、波長５００ｎｍ以下の光が放射されないような光源を用いる。撮像手段は、少なくとも波長５００ｎｍ以上の光に感度を有する素子を使用する。
この場合、照明手段の光源としては赤外光を放射するＬＥＤ（赤外ＬＥＤ）を用いることができる。
このような赤外ＬＥＤとしては、例えば波長７００ｎｍの光を放射するもの、波長８５０ｎｍの光を放射するものなどが市販されている。ピーク波長７００ｎｍのＬＥＤの場合は例えば半値幅が２０ｎｍ、波長８５０ｎｍのＬＥＤの場合は例えば半値幅が４０ｎｍである。
また、撮像手段としては、ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）カメラやＣＭＯＳ（ＣｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙＭｅｔａｌＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）がある。図１２は、一般に市販されているＣＣＤカメラの分光感度曲線（カタログ値）である。波長７００ｎｍのＬＥＤを使用しても、波長８５０ｎｍのＬＥＤを使用しても、ＣＣＤカメラは受光感度を有している。
したがって、このような光源を使用した場合の撮像手段として上記ＣＣＤ、ＣＭＯＳを使用することができる。
上記構成とすることで、照明手段からは、テープにより反射される５００ｎｍ以下の光が出射せず、テープを透過する波長５００ｎｍ以上の光のみで照明するので、コントラストの良い画像を得ることが期待できる。なお、本発明では、上記波長７００ｎｍや８５０ｎｍのＬＥＤから放射される光も含めて、波長が５００ｎｍ以上の光を赤外光と呼ぶこととする。
【０００８】
（ｉｉ）照明手段の光源として、波長５００ｎｍ以上の光を含むハロゲンランプを用い、撮像手段は、上記と同様、少なくとも波長５００ｎｍ以上の光に感度を有する素子（ＣＣＤカメラやＣＭＯＳ）を使用する。
そして、照明手段とテープとの間、またはテープと撮像手段との間に、５００ｎｍ以下の光をカットするフィルタを組み合せて用いる。
上記５００ｎｍ以下の光をカットするフィルタとして、例えば赤外透過フィルタがある。赤外透過フィルタとしては、例えば波長７２０ｎｍ以下の光をカットし、それ以上の波長を透過する赤外透過フィルタが市販されており、このようなフィルタを使用すればよい。
上記のような赤外透過フィルタを照明手段とテープとの間に設けることにより、テープには５００ｎｍ以下の光が照射されない。したがって、テープから反射される光の成分が少なくなり、コントラストの良い画像を得ることが期待できる。
また、赤外透過フィルタをテープと撮像手段との間に設けることにより、テープから反射された５００ｎｍ以下の光が撮像素子に入射しない。したがって、コントラストの良い画像を得ることが期待できる。
（ｉｉｉ）照明手段の光源として、波長５００ｎｍ以上の光を含むハロゲンランプを用い、撮像手段は、波長５００ｎｍ以下には感度がなく、赤外光域にのみ感度を有する撮像素子、例えば赤外用ＣＣＤカメラを使用する。
この場合は、テープから反射された５００ｎｍ以下の光に感度がないので、上記の赤外透過フィルタを撮像手段の光入射側に設けた場合と同じように、コントラストの良い画像を得ることが期待できる。
（２）ステージからの反射について。
照明手段と撮像手段を上記のように構成するだけでは、十分にコントラストの良い画像を得ることができない。この原因ついてさらに検討したところ、以下のようなことがわかった。
従来、ＴＡＢテープに照明光を照射してパターンを撮像する時、該テープが振動等により撮像素子の撮像位置や焦点位置からずれないように、テープの照明手段が設けられる側とは反対側に表面が平面のステージを設け、テープを吸着保持することが行なわれている。しかし、撮像時、ＴＡＢテープを透過した波長５００ｎｍ以上の照明光が、ステージの表面で反射し、再びテープを透過して、撮像素子に受光され、その結果画像のコントラストを悪化させる。
この対策として、検査装置を次のように構成する。
（ｉ）パターン撮像時にテープを吸着保持するステージの赤外線反射率を１０％以下とする。赤外線の反射率を１０％以下にするためには、「ステージ表面を黒アルマイト処理する」、「反射の少ない色で塗装をする」、「フロスト加工をしてつや消しする」などがあげられる。
このように構成することで、再びテープを透過して撮像素子に受光される光の量を減らすことができ、コントラストの良い画像を得ることが期待できる。
（ｉｉ）パターン撮像時にテープを保持する手段として、テープを吸着保持するステージに換えて、テープの検査領域以外の周辺部を把持し、テンションを与えて固定する手段を設ける。これにより、ステージを用いる場合と同様に、撮像時テープが振動等により撮像素子の撮像位置や焦点位置からずれないようにすることができる。
一方、テープを透過した照明光を反射するものがなくなるので、テープを透過した光は撮像素子に受光されることはなく、コントラストの良い画像を得ることが期待できる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）反射照明よりパターンを検出するパターン検査装置において、照明手段として、少なくとも５００ｎｍ以上の波長を含む光を放射する光源を使用し、撮像手段として、５００ｎｍ以上の波長に感度を有するものを使用したので、樹脂フィルムからの反射光成分を少なくし、また、樹脂フィルムから反射される５００ｎｍ以下の波長の光をカットすることができる。
このため、配線部分と樹脂フィルム部分のコントラストが良い画像を得ることができ、配線パターンを容易に検出することが可能となった。
（２）上記（１）において、テープに対して照明手段の反対側に設けられたステージ表面の赤外線の反射率を１０％以下にしたり、テープを保持するステージを設けずに、樹脂フィルムの周辺を把持する手段を設け、撮像時に該把持手段により上記樹脂フィルムにテンションを与えるようにすることで、ステージ表面での反射光の影響を低減化あるいは除去することができ、一層、コントラストのよい画像を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は本発明の第１の実施例の配線パターン検査装置の概略構成を示すブロック図である。なお、以下の実施例ではＴＡＢテープの配線パターンの検査について説明するが、本発明は、ＴＡＢテープの外、ポリイミド系の樹脂フィルム上に形成されたパターンを反射照明光により検査する場合にも、同様に適用することができる。
本実施例のパターン検査装置は、テープ搬送機構１０を備え、配線パターンが形成されたＴＡＢテープ５は、テープ搬送機構１０の送り出しリール１１から巻きだされ、巻き取りリール１２に巻き取られる。
巻き取りリール１２の近傍には、不良のパターンにマークをつけるマーカ部３が設けられている。マーカ部３において、不良と判定されたパターンにパンチで穿孔したり、あるいは、その部分が不良品であることが目視ですぐに確認できるように色塗りなどのマークを施す。
送り出しリール１１から送り出されたＴＡＢテープ５は、検査部１に送られる。検査部１の搬送下流側には、搬送ローラ（図示せず）が設けられ、また、検査部１の搬送上流側には、ブレーキローラ（図示せず）が設けられており、ＴＡＢテープ５の搬送方向にテンションをかけ、検査部１におけるＴＡＢテープ５のたるみを防いでいる。
検査部１は、反射照明手段１ａと、ＴＡＢテープ５で反射した照明光によりＴＡＢテープ５に形成されている回路等のパターン５ａを撮像する撮像手段１ｂとから構成される。また、ＴＡＢテープ５に対して反射照明手段１ａの反対側には、撮像中にＴＡＢテープ５を吸着保持するステージ１ｃを有する。このステージ１ｃは取り外すこともできる。
【００１１】
反射照明手段１ａの光源は、例えば、前記した波長８５０ｎｍの光を出射する赤外ＬＥＤである。この赤外ＬＥＤは、前記したように出射する光のピーク波長が８５０ｎｍ、半値幅は４０ｎｍである。このＬＥＤは、例えばテレビのリモコン等で一般に使用されている。
撮像手段１ｂとして、本実施例ではＣＣＤカメラを使用した。ＣＣＤの受光感度は、前記した図１２に示したように、波長４００〜１０００ｎｍ程度まで実用範囲である。なお、図１２の横軸は波長（ｎｍ）、縦軸は応答特性を示し、この図では、１０μｍピクセル、７μｍピクセルのものを示しているが、ともに波長４００〜１０００ｎｍ程度まで実用範囲である。なお、撮像手段１ｂとしては、ＣＣＤのほかにもＣＭＯＳを使用することができる。
【００１２】
走査手段２は、ＴＡＢテープ５の検査パターン５ａ上で、撮像手段１ｂと反射照明手段１ａを同図の紙面左右方向に走査させ、ＴＡＢテープ５の検査領域（パターンが形成されている領域）全体の画像を得る。
なお、走査手段２による走査方向は、同図紙面の前後方向であってもよく、この場合、上記反射照明手段１ａは、撮像手段１ｂの光軸を軸として９０°回転した状態に配置される。
また、撮像した画像パターンと基準となるマスターパターンとを比較し、製品の良否を判定するとともに、検査部１、走査手段２、マーカ部３、及びテープ搬送機構１０の動作を制御する制御部４が設けられている。制御部４には、あらかじめパターン検査の基準となる基準パターン（マスタパターン）が入力されている。なお、基準パターンは、良品と判定されている実際のパターンを撮像した画像であっても良いし、ＣＡＤデータを利用したものであっても良い。
ＴＡＢテープ上のパターン検査時、反射照明手段１ａによりＴＡＢテープ５が照明され、撮像手段１ｂには、ＴＡＢテープ５からの反射光が入射する。撮像手段１ｂで撮像された検査パターンの画像は上記制御部４に送られ、上記基準パターンと比較され、パターンの良否が判定される。
【００１３】
図１の装置を用い、ＴＡＢテープを保持するステージを反射率の異なるものに種々取り替えた場合、また、ステージを設けない場合について、ＴＡＢテープに形成された配線パターンを撮像した。
その結果を図２に示す。また、図３には、各ステージの表面反射率を示す。反射率の測定は、ウシオ電機製反射率測定器（ＵＲＥ）を使用した。
なお、本実施例におけるＴＡＢテープに使われている樹脂フィルムの、波長８５０ｎｍにおける透過率は、前記図１０に示したように約６０％である。
図２（ａ）はステージの表面がアルミ板（波長８５０ｎｍにおける反射率は約６０％）の場合、（ｂ）は銅板（波長８５０ｎｍにおける反射率は約６５％）の場合である。両者とも、撮像される画像は、配線パターンと樹脂フィルムの部分とのコントラストが小さく、配線パターンの検出は困難である。
【００１４】
図２（ｃ）はステージ表面を青色に色つけした場合、（ｄ）はオレンジ色に色つけした場合（ともに波長８５０ｎｍにおける反射率は約１０％）である。
色つけした場合の撮像画像は、上記（ａ）（ｂ）に比べて、配線パターンと樹脂フィルムの部分とのコントラストが大きくなり、これであれば、配線パターンの検出及び画像処理が可能である。
図２（ｅ）は、ステージ表面を灰色に色つけした場合（波長８５０ｎｍにおける反射率は約５％）、（ｆ）は、表面を黒アルマイト処理した場合（つやあり黒）、（ｇ）は、黒アルマイトの表面をサンドペーパーでフロスト加工した場合（つやなし黒）である。
（ｆ）（ｇ）それぞれの波長８５０ｎｍにおける反射率は２〜３％である。撮像画像のコントラストは、（ｃ）（ｄ）に比べてさらに大きくなる。
したがって、ＴＡＢテープの照明光が照射される側とは反対側に、照明光の波長の反射率が１０％以下の部材を設けることにより、コントラストの大きい画像を撮像できる。
【００１５】
図４に本発明の第２の実施例の配線パターン検査装置の概略構成図を示す。
前記図１と同様、ＴＡＢテープ５は、テープ搬送機構１０の送り出しリール１１にから巻きだされ、巻き取りリール１２に巻き取られる。
巻き取りリール１２の近傍には、不良のパターンにマークをつけるマーカ部３が設けられている。
送り出しリール１１から送り出されたＴＡＢテープ５は、検査部１に送られる。検査部１は、例えば前記した波長８５０ｎｍの光を出射する赤外ＬＥＤからなる反射照明手段１ａと、パターン５ａを撮像する例えばＣＣＤカメラからなる撮像手段１ｂとから構成される。
走査手段２は、ＴＡＢテープ５の検査パターン５ａ上で、撮像手段１ｂと反射照明手段１ａを同図の紙面左右方向に走査させる。
ＴＡＢテープ上のパターン検査時、上記反射照明手段１ａによりＴＡＢテープ５が照明され、撮像手段１ｂには、ＴＡＢテープ５からの反射光が入射する。撮像手段１ｂで撮像された検査パターンの画像は制御部４に送られ、上記基準パターンと比較され、パターンの良否が判定される。
【００１６】
本実施例では、前記図１に示したテープを吸着保持するステージをなくし、テープの検査領域以外の周辺部を把持して固定するテープ把持手段２１を設けている。
図５は検査部１の平面図である。同図に示すように、テープ把持手段２１は検査領域の周辺部分の四隅に設けられ、ＴＡＢテープ５を把持するグリップ部２２と、グリップ駆動部２３から構成される。
グリップ部２２が、ＴＡＢテープ５の検査領域ではない周辺部分を把持し、グリップ駆動部２３により、テープを幅方向に（同図上下方向）引っ張ってテンションを与え、撮像時、テープが移動しないように固定する。
【００１７】
図６は、テープ把持手段２１の詳細構成例を示す図である。同図は、搬送方向から見たテープ把持手段２１の構成を示している。
グリップ部２２は、把持部Ｇｒ１とＧｒ２により、ＴＡＢテープ５の周辺部を把持し、グリップ駆動部２３により、グリップ部２２は図面左右方向に移動する。
グリップ駆動部２３は、送りモータ２３ａにより回転するボールねじ２３ｂを備え、送りモータ２３ａによりボールねじ２３ｂが回転し、ボールねじ２３ｂに係合するグリップ部２２が同図の左右方向、即ちＴＡＢテープ５の幅方向に移動する。
グリップ部２２は、ＴＡＢテープ５の周辺部を上部材２２ａの把持部Ｇｒ１と下部材２２ｂの把持部Ｇｒ２とで上下から挟む構造になっている。下部材２２ｂにはシャフト２２ｃが取り付けられグリップ固定台２２ｄに固定されている。
上部材２２ａは軸２２ｅを介して下部材２２ｂに取り付けられており、軸２２ｅを中心に回動する。また、上部材２２ａと下部材２２ｂの把持部Ｇｒ１，Ｇｒ２の反対側にはスプリング２２ｆにより、上部材２２ａと下部材２２ｂは把持部Ｇｒ１，Ｇｒ２の開く方向に付勢されている。
下部材２２ｂには、エアシリンダ２２ｇが取り付けられており、エアシリンダ２２ｇの駆動軸は、下部材２２ｂを貫通して突出し、その先端は上部材２２ａの軸２２ｅを挟んで把持部Ｇｒ１とは反対側に当接している。このため、エアシリンダ２２ｇを駆動すると、上部材２２ａが軸２２ｅを中心として回動し、把持部Ｇｒ１，Ｇｒ２が閉じる。
【００１８】
図２（ｈ）に、テープを吸着保持するステージをなくし、テープの検査領域以外の周辺部を把持してテープ把持手段２１で固定した場合の実験結果を示す。
ＴＡＢテープ５を透過した照明光は、反射されることはなく、したがって、撮像素子には入射しない。したがって、コントラストの良い画像が得られる。
【００１９】
上記第１、第２の実施例では、反射照明手段１ａの光源として８５０ｎｍの光を放射するＬＥＤを使用したが、ＴＡＢテープ５を透過する波長５００ｎｍの光を放射するＬＥＤであれば、その他のＬＥＤを使用することができる。例えば前記波長７００ｎｍの光を放射するＬＥＤも同様に使用することができ、波長７００ｎｍの光を放射するＬＥＤを使用しても、第１、第２の実施例と同様な効果を得ることができる。
【００２０】
また、上記のＬＥＤのような、赤外光域の単色光を放射する光源ではなく、ハロゲンランプやキセノンランプのような連続光を放射する光源であっても、波長５００ｎｍ以上の光を含むものであれば、同様に使用することができる。
その場合は、反射照明手段１ａとＴＡＢテープ５との間、またはＴＡＢテープ５と撮像手段１ｂとの間に、５００ｎｍ以下の波長をカットするフィルタ、例えば赤外透過フィルタを設ければよい。
赤外透過フィルタを反射照明手段１ａとＴＡＢテープ５との間に設ければ、ＴＡＢテープ５には反射する５００ｎｍ以下の光が照射されない。また、赤外透過フィルタをＴＡＢテープ５と撮像手段１ｂとの間に設ければ、ＴＡＢテープ５から反射された５００ｎｍ以下の光が撮像素子１ｂに入射しない。このため、上記実施例１、実施例２と同様に、コントラストの良い画像を得ることができる。
さらに、上記の赤外透過フィルタをテープと撮像手段１ｂとの間に設ける替わりに、撮像手段１ｂとして、波長５００ｎｍ以下には感度がなく、赤外光域にのみ感度を有する撮像素子、例えば赤外用ＣＣＤカメラを使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１の実施例の配線パターン検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の実施例の装置により撮像した配線パターンの画像を示す図である。
【図３】ステージ表面の材質、色等を変えた場合の表面反射率を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施例の配線パターン検査装置の概略構成を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施例の検査部の平面図である。
【図６】テープ把持手段の詳細構成例を示す図である。
【図７】ＴＡＢテープが作られる手順とＴＡＢテープの構造を示す図である。
【図８】配線パターンが形成されたＴＡＢテープを示す図である。
【図９】反射光を用いて撮像された配線パターンの一例を示す図である。
【図１０】ＴＡＢテープに使用される代表的なポリイミド系樹脂フィルム（厚さ７５μｍ）の透過率を示す図である。
【図１１】照明手段からの光が樹脂フィルムの部分で反射される様子を示す図である。
【図１２】一般に市販されているＣＣＤカメラの分光感度曲線を示す図である。
【符号の説明】
【００２２】
１検査部
１ａ反射照明手段
１ｂ撮像手段
１ｃステージ
２走査手段
３マーカ部
４制御部
５ＴＡＢテープ
５ａ検査パターン
１０テープ搬送機構
１１送り出しリール
１２巻き取りリール
２１テープ把持手段
２２グリップ部
２３グリップ駆動部

【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリイミド系の樹脂フィルム上に形成されたパターンを照明光により照明し、該パターンからの反射光を撮像することにより、上記パターンの外観を検査するパターン検査装置において、
赤外光を放射するＬＥＤを有する照明手段と、
上記樹脂フィルムに対して上記照明手段と同一面側に設けた、赤外光域に感度を有するＣＣＤまたはＣＭＯＳを有する撮像手段とを備えた
ことを特徴とするパターン検査装置。
【請求項２】
ポリイミド系の樹脂フィルム上に形成されたパターンを照明光により照明し、該パターンからの反射光を撮像することにより、上記パターンの外観を検査するパターン検査装置において、
赤外光を含む光を放射するランプを有する照明手段と、
上記樹脂フィルムに対して上記照明手段と同一面側に設けた、赤外光域に感度を有するＣＣＤまたはＣＭＯＳを有する撮像手段と
上記照明手段から上記撮像手段に至る照明光の光路途中に挿入された、波長５００ｎｍ以下の光をカットするフィルタとを備えた
ことを特徴とするパターン検査装置。
【請求項３】
ポリイミド系の樹脂フィルム上に形成されたパターンを照明光により照明し、該パターンからの反射光を撮像することにより、上記パターンの外観を検査するパターン検査装置において、
赤外光を含む光を放射するランプを有する照明手段と、
上記樹脂フィルムに対して上記照明手段と同一面側に設けた、５００ｎｍ以下の波長に感度がなく赤外光域に感度を有する撮像素子とを備えた
ことを特徴とするパターン検査装置。
【請求項４】
撮像時、上記樹脂フィルムを吸着保持するステージを設け、
該ステージの表面赤外線反射率が１０％以下である
ことを特徴とする請求項１，２または請求項３記載のパターン検査装置。
【請求項５】
樹脂フィルムを吸着保持するステージに替えて、樹脂フィルムの周辺を把持する手段を設け、撮像時に該把持手段により上記樹脂フィルムにテンションを与える
ことを特徴とする請求項１，２または請求項３記載のパターン検査装置。

【図１】