【課題】原動機により回転軸を回転させる自動操作と手動により回転軸を回転させる手動操作との切換を簡易な構成で、かつ非常に簡単な操作で行うことができ、また簡易かつ安価な構成で原動機を過負荷から保護することができる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１は、被駆動体が接続される回転軸２と、回転軸２に接続可能なハンドル３と、原動機４により回転駆動される駆動輪５とを備えている。駆動装置１は、略半径方向に延びる半径方向孔８に収容された係合ボール９と、係合ボール９を半径方向内側から駆動輪５に押圧する押圧ボール１１とを備えている。係合ボール９は、その半径方向外側への移動により駆動輪５の内周面に形成された凹部５ｃに係合する。駆動装置１は、押圧ボール１１を付勢する圧縮ばね１３と、圧縮ばね１３に抗して押圧ボール１１を押圧して係合ボール９と駆動輪５との係合を解除する押圧棒１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被検査面の位置が異なる場合であっても異物の検査を行うことができる異物検査装置、及び当該異物検査装置を備える露光装置を提供する。
【解決手段】第１照明系３１ａは検査光Ｌ１をレチクルＲの上面に照射し、第２照明系３１ｂは検査光Ｌ２をペリクルＰの面上に照射する。また、第１受光系はレチクルＲの上面に付着した異物からの散乱光を受光し、第１ラインセンサは第１受光系で受光された散乱光の光強度に応じた信号を出力する。同様に、第２受光系はペリクルＰの上面に付着した異物からの散乱光を受光し、第２ラインセンサは第１受光系で受光された散乱光の光強度に応じた信号を出力する。駆動装置３９は、第２照明系３１ｂをＺ方向に移動させてペリクルＰのペリクル高さに応じて検査光Ｌ２の照射位置を可変する。 （もっと読む）

【課題】 揺動機構に回動可能に保持された被検査基板を落射照明によって外観検査することが可能であるとともに、効果的に背面透過照明による外観検査を行うことが可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】 基板検査装置１は、被検査基板Ｗを保持し回動する揺動機構３と、被検査基板Ｗの正面Ｗ１とは反対側の背面Ｗ２を照射するバックライト５と、バックライト５の移動手段６とを備える。移動手段６である回転アーム１７は、２本のリンクレバー１９、２０と、固定部材である固定板２１とで構成されている。２本のリンクレバー１９、２０は、各々一端１９ａ、２０ａにおいて、所定の間隔を設けて別々に支持部材１６に回転可能に軸支されている。また、他端１９ｂ、２０ｂにおいて、所定の間隔を設けて別々に固定板２１に回転可能に軸支されている。バックライト５は固定板２１に固定されている。 （もっと読む）

【課題】 カラーフィルターのような色彩を有する物質と共に存在する透明膜領域を容易に検出する。
【解決手段】所定の色を有する物質２５と透明膜２６の積層した被測定物１４における前記透明膜の測定システムであって、前記所定の色の光波長を含まないかまたは他の光波長に対して相対的に強度を減じた光を前記透明膜に照射する光源手段５と、前記照射により反射した光を受光して前記透明膜を画像処理する画像処理手段Ｂ１とを具備してなる透明膜の測定システム。 （もっと読む）

【課題】ウエハー検査の工程速度（検査スピード）を向上させることのできるウエハー表面照射装置及び方法の提供
【解決手段】ウエハー表面照射装置は、第１の光ビームを発する第１のフラッシュ光源２１と、第２の光ビームを発する第２のフラッシュ光源２２と、偏向光学系３０と、制御手段と、を備える。フラッシュ光源２１、２２は、偏向光学系３０に向かって発光するよう配置されており、前記制御手段が、所定の周波数で、フラッシュ光源２１、２２を交互に発光させるとともに、偏向光学系３０が、ウエハーの手前側に設定された共通光路に、第１、第２の光ビームを偏向させる。 （もっと読む）

半導体ウエハなどの平面鏡のような物体（１０２）を画像化するために提供されるシステム（系）および方法。一実施例では、平面反射物体（１０２）の欠陥を画像化する結像システム（１００）は、光収差が実質的に修正されるに十分な非球面を有するテレセントリックレンズ（１１０）を含む。結像システム（１００）は、また開口が設けられたテレセントリック絞り（１１６）を含み、該絞りは欠陥から反射した光が開口を通過することを許すが平面反射物体（１０２）から反射した光を阻止する。結像システム（１００）は、さらにレンズ群（１０８）を含み、該レンズ群は、該レンズ群とテレセントリック絞り（１１６）との間に置かれたシステム絞りを有する。レンズ群（１０８）は、テレセントリックレンズ（１１０）から独立的に前記光収差を実質的に修正されている。 （もっと読む）

【課題】ＮＧとなった箇所のみ目視検査装置で不良箇所の画像を確認することで、迅速で確実性の高い目視検査支援システムを提供する。
【解決手段】第１の検査装置４７より被検査物体を検査した外観状態を示すデータをデータ処理する第１のコンピューター２１と、第１の検査装置４７の検査後の被検査物体を目視検査する目視検査装置４とを備え、目視検査装置４は、被検査物体を載置して該被検査物を固定しＸＹ方向のいずれか一方向にのみ移動可能なテーブルと、被検査物上方に位置し、ズーム機能及び自動絞り機能を有する被検査物を撮像するカメラ５と、テーブルの垂直な面に対して３０°〜６０°の角度で傾斜し且つ前記被検査物の回りを３６０°回転する当該カメラの動きと連動して前記被検査物を照明する少なくとも２個のランプを有する。 （もっと読む）

【課題】 外観検査装置において、外観検査の検査設定条件を迅速かつ効率的に設定できるとともに、熟練した検査者が検査する場合と同じように効率的に検査を行うことができるようにする。
【解決手段】 ウエハ１３に照明光を照射する広域照明部２、スリット照明部３、スポット照明部４などの照明部と、ウエハ１３を揺動移動可能に保持する揺動機構１２と、それら照明部および揺動機構１２の制御を行う制御ユニット９とを備える外観検査装置において、キーボード１６、マウス１７などにより検査条件設定値を入力し、それらを検査工程の種類ごとにまとめた検査工程設定情報として記憶部に記憶し、制御ユニット９中の設定情報選択部により検査工程設定情報を選択して検査を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】装置構成の低コスト化と省エネルギー化を図り、複数の撮像条件の撮像を１度の副走査で行えると共に、複数の被観察物に対して同時に表面検査が行えるようにする。
【解決手段】回転する感光体ドラム１２に対して光源１１から間欠的に光を照射し、その正反射光部である輝線１２ａからの反射光を第１の撮像素子１４が撮像して得られる情報を照射タイミング調整部１６に送り、光源１１の照射タイミングを調整する。その際、観察条件変更部１５は、感光体ドラム１２の回転振れや表面形状変換による反射方向の輝線１２ａの変動に対して、一定の検出感度を実現するために、定常的に副走査方向に光源１１や撮像素子を周期的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】 プレス成形後に生じた割れを正確に検知できるようにする。
【解決手段】 プレス成形されたワークの所定部位を包含し当該ワークからはみ出す検査領域に前記ワークの前面からレーザー光を照射するレーザー光照射手段と、当該検査領域に照射されたレーザー光を前記ワークの背面から受光するレーザー光受光手段と、前記検査領域で受光されたレーザー光に基づいてレーザー光の漏洩面積を演算する漏洩面積演算手段と、良品ワークにおけるレーザー光の漏洩面積を基準漏洩面積として記憶する記憶手段と、前記演算された漏洩面積を当該基準漏洩面積と比較する比較手段と、前記演算された漏洩面積が前記基準漏洩面積よりも大きいときに前記ワークに割れが生じていると判断する判断手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】超高輝度発光ダイオードを用いて十分な照度が得られるようにした照明装置を提供する。
【解決手段】高輝度発光ダイオード23から発光された光Ｌaを集束レンズ24により平行光Ｌbに変換して、拡散される光Ｌaを一方向へ集束させることで、所定の作業領域を十分な照度の光で照らすことができる。この平行光Ｌbを自動車の塗装面などの被検査表面25に照射すると、被検査表面25における傷26が光の陰影となって現われるので、平行光Ｌbを探傷検査に用いることができる。
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【課題】 装置構成および制御方法が簡単で、低価格の微細パターン修正装置を提供する。
【解決手段】この微細パターン修正装置では、被修正対象ガラス基板８をガラス定盤９の表面に搭載し、ガラス定盤９の裏面に反射膜１０を形成するとともに、リング照明器３を観察光学系２の対物レンズ１１の周囲に配置する。リング照明器３から出射されたリング状の光は、反射膜１０で反射され、ガラス定盤９および被修正対象ガラス基板８の被観察部を透過して対物レンズ１１に入射される。したがって、ガラス定盤９の下方に光源移動機構を設ける必要が無い。 （もっと読む）

【課題】 被処理体の表面において異物と微小欠陥を適切に弁別することができる被処理体表面検査装置を提供する。
【解決手段】 ウエハ表面検査装置１０は、ウエハＷの表面の検査箇所に、ｓ偏光及びｐ偏光のレーザ光を照射するレーザ光照射器１１，１２と、照射されたレーザ光に起因する散乱光を検出する散乱光検出器１３，１４と、演算部１６とを備え、レーザ光照射器１１，１２はそれぞれ照射角α_１，α_２を自在に変化可能に構成され、２つの散乱光検出器１３，１４は、検出された散乱光に応じて信号を演算部１６へ送信し、演算部１６は、散乱光検出器１３，１４から送信された信号に応じて散乱光の発生要因がパーティクルであるかピンホールであるかを弁別する。 （もっと読む）

【目的】被検体表面の塵埃，膜厚むら等の欠陥を単純な画像として観察することができ、従って画像処理装置と組合わせて自動欠陥検査装置を構成するのが容易になる表面欠陥検査装置を得ることにある。
【構成】表面に薄膜を有する被検体２１の直前に配置され、かつ２１の観察視野とほぼ等しい大きさであって、光源１からの光を略平行な光束として２１に照射するとともに、２１の表面からの正反射光を通過させるコリメータレンズ１２と、１２の焦点近傍に配置され、任意に選択可能な複数の中心波長を持ち、１２に光を入射する狭帯域光源２〜５と、この光源からの光を反射または透過により１２を通過させて２１に垂直に照射させるハーフミラー１１と、２１の表面からの正反射光を１２に通過させ、１１で透過または反射させ、光源２〜５と共役な位置に入射瞳を有し、２１の表面を観察する結像レンズ１３を具備したもの。 （もっと読む）