【課題】 簡易な構造でありながら基体に塗布された流動性物質、例えば高速で搬送される巻紙に塗布された糊の途切れ（抜け）を検出することのできる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】 基体に塗布された流動性物質に赤外線を照射する投光部と、この投光部による上記赤外線の照射領域に生じる反射光を上記赤外線の照射方向とは異なる向きにて該反射光に含まれる互いに異なる所定の波長の反射光のレベルを検出信号としてそれぞれ出力する第１の受光部および第２の受光部と、この第２の受光部が出力した検出信号を前記第１の受光部が出力した検出信号で除した値または減じた値と、予め定めた閾値とを比較して前記流動性物質の有無を判定する判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】性状の異なるワークに対しても、実質的に一つの装置で、半導体パッケージ用多層配線基板の最上層配線パターンの高精度な画像を撮像すること。
【解決手段】半導体パッケージ用多層配線基板からなるワーク２１の最上層配線パターンを光学的に検出する装置であって、λ／４波長板２０と同屈折率光学板２６と偏光板２７とが交換可能に備えられ、ある性状のワークに対してはλ／４波長板２０を用い、偏光ビームスプリッタ１８によって導かれた直線偏光ｎを、λ／４波長板２０によって円偏光した後に照射し、別の性状のワークに対してはλ／４波長板２０の代わりに同屈折率光学板２６を用い、直線偏光ｎを同屈折率光学板２６を介した後に照射し、更に別の性状のワークに対してはλ／４波長板２０の代わりに偏光板２７を用い、直線偏光ｎを、偏光板２７によってベクトル分解した後に照射し、ワーク２１で反射してきた光を撮像する。 （もっと読む）

【課題】外面に凹凸が形成されている瓶や印刷が施されている瓶であっても、それらの凹凸や印刷に影響されること無く、空瓶の欠陥を確実に且つ高速に検出できる空瓶の検査システムを提供する。
【解決手段】 透光性部材から成る載置部を有する検査テーブルと、前記空瓶の胴部断面形状に対応するリング形状の発光面を有し、前記載置部の下方に配置された前記発光面から前記リング形状の光線束を照射して前記空瓶の胴部の側壁表面から側壁内面に至る側壁部分全域を照明する胴部照明手段と、暗い背景を形成するための暗視野形成手段と、前記空瓶を挟んで前記暗視野形成手段と対向して撮像部が配置され、前記発光面からの光線束によって前記側壁部分全域が光で満たされている状態で前記空瓶の胴部を含む検査領域を前記空瓶の側方から撮像する撮像手段と、前記撮像手段からの画像信号を処理して前記空瓶の胴部の傷を含む欠陥を検査する胴部検査手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 検査対象の検査を精度良く行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】 画像を撮像して得られる画像データを利用して検査対象を検査する検査装置１２であって、画像を撮像して得られる画像データＡを取得する画像データ取得部１２２と、画像データＡを用いて画像データＢを生成する画像データ生成部１２３と、画像データＡのうち所定位置にある画像データと画像データＢとの差分に基づいて、検査対象の欠陥を検査する検査部１２４とを備え、画像データＢは、画像データＡの一部と等しく、画像データＡのサイズで決まる領域内に収まっており、画像データＡの一部の位置と、画像データＢの位置とは互いにずれており、上記所定位置は、画像データＢの位置である。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルや液晶セルの欠陥、特に真上からでは見えにくい欠陥や小さく見える欠陥等を確実に検出することができるとともに、安価な装置構成とすることができる被検査体の検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 被検査体の液晶パネル１を構成する一方の基板側から照明装置２により照明し、被検査体の画面を被検査体を構成する他方の基板側より撮像手段３により撮像することにより取り込まれる検査画像に基づいて被検査体の欠陥を検出する被検査体の検査方法において、照明装置２の照明方向を被検査体に対し垂直方向にして被検査体を検査する第１の検査工程と、照明装置２の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更して被検査体を検査する第２の検査工程とを含むものとする。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを増大させることなく、効率的に検査対象物の表面状態を検査することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】光源１１、１２およびＣＣＤカメラ３０は、印刷版２１の上方に固設される。また、保持部２２は、印刷版２１を保持しつつ、駆動部２３によって移動方向ＡＲ１に移動可能に設けられている。また、ＣＣＤカメラ３０の本体部３２には、印刷版２１の移動方向ＡＲ１と略垂直な方向に延伸する複数のＣＣＤ（受光部）が設けられている。これにより、ＣＣＤカメラ３０では、光源１１から照射されて印刷版２１で反射された反射光と、光源１２から照射されて印刷版２１で反射された拡散光とを同時に受光することができるため、一度の撮像処理で印刷版２１の表面の凹凸状態の検査と印刷版２１に描画された印刷画像の描画状況とを同時に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】 粉体やフィルム等の検査対象物の等級を、検査対象物に存在する特徴点の複数の特徴量よって特徴付けられる特徴点の数または比率に基づいて判定する方法を提供する。
【解決手段】 検査対象物に存在する複数の特徴点に関してそれぞれ２種類の特徴量ｘ、ｙを計測し、ｘ、ｙを軸とする平面に複数の等級領域を設定し、該特徴点を該平面にプロットし、各等級領域内に含まれる特徴点の数または全特徴点に対する各等級領域内の特徴点の比率に基づいて検査対象物の等級を判定することを特徴とする等級判定方法である。 （もっと読む）

【課題】 被検査体について装置を大型化することなく精度の良い欠陥検査を行うことができるようにする。
【解決手段】 撮像素子の撮像面より大きな面積の結像面上に結像された被検査体像を撮像するものであって、被検査体像を等分割したときに各分割部分９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄに対する各々の撮像素子の撮像面の位置関係が同じとなるように配置された複数個の撮像素子６１，６２，６３，６４と、結像面上で複数個の撮像素子６１，６２，６３，６４の撮像面を一撮像位置から次の撮像位置へ同時に移動させる移動手段７，８を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 物体の表面領域の配置を画像の領域分割により取得する。
【解決手段】 互いに異なる複数の照明条件の下で物体を撮影した、複数の画像を取得する。これらの複数の画像をそれぞれ領域分割することにより、物体の表面領域の配置とは異なる複数の画像領域配置を取得する。そして、複数の画像領域配置に基づいて、物体の表面領域の配置を取得する。 （もっと読む）

【課題】照明条件などの観察条件の設定を容易にして使い勝手を改善する。
【解決手段】観察対象を照明するための照明部と、照明部により観察対象を照明する照明方向、明るさ、角度の少なくともいずれかを変化させた複数の異なる照明条件を設定するための簡易観察条件設定手段と、簡易観察条件設定手段で設定された複数の照明条件毎に簡易的に取得された複数の簡易観察画像を表示手段の画面上に一覧表示する簡易観察画像表示手段と、簡易観察画像表示手段に表示された複数の簡易観察画像の内から所望の一の簡易観察画像を選択する選択手段と、選択手段で選択された簡易観察画像に設定されている照明条件に基づき、必要に応じてさらに照明条件を設定可能な観察条件設定手段と、観察条件設定手段で設定された照明条件に基づいて、撮像手段で取得された観察画像を表示する観察画像表示手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象の表面特性によるノイズから生じる測定精度の劣化を回避できる光学的測定方法及び光学的測定装置を提供する。
【解決手段】検査対象ＧＬに光を照射し、検査対象ＧＬから得られる光を受光して最終的に２次元的な光強度信号Ｓ１に変換し、光強度信号Ｓ１のなかから、表面状態ＩＢを測定するに際して必要な信号である注目信号ＳＢと表面状態を測定するに際して不要な信号であるノイズ信号ＳＮとを分離することにより注目信号ＳＢのみを抽出し、抽出された注目信号ＳＢと所定の閾値Ｔ１とを比較する。実質上、光強度信号Ｓ１とノイズ信号ＳＮに追随した閾値とを比較していることになり、検査対象の表面特性によるノイズから生じる測定精度の劣化を回避できる。 （もっと読む）

【課題】 量産にも対応した高速、高精度にディスクを検査する光ディスク検査方法および装置を提供する。
【解決手段】 照射のステップと受光のステップと判定のステップで構成し、照射
のステップで、検査対象となるディスク１に検査照明光３を光源２から照射し、受光のステップで、検査照明光３の入射角度と検査対象となるディスク１の溝ピッチとから決まる１次回折光６が出射する角度に対し、この１次回折光６の出射する角度とは異なる角度に出射するムラ欠陥７に起因する１次回折光と乱反射光と散乱光８を受光レンズ９およびＣＣＤセンサ１０で検出し、判定のステップで、ＣＣＤセンサ１０で得られるグレースケール画像の各領域の明るさを上限の閾値および下限の閾値と比較し、上限の閾値以上の明るさの領域と下限の閾値以下の明るさの領域とを欠陥として判定し検出する。 （もっと読む）

表面に対して斜めのビュー角度に沿って表面のエリアを像形成するための装置は、ビュー角度に向けられた光学軸に沿ってエリアから光学放射を収集することによりエリアの初期傾斜像を形成するように適応された無限焦点光学リレー(192)を備えている。傾斜補正ユニット(194)が、初期像の傾斜を補正するように結合されて、実質的に無歪の中間像を形成する。中間像を像検出器に収束するために拡大モジュール(198)が結合される。
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サンプルを検査する装置は、サンプルの表面のエリアに光学放射を向けるように適応された放射ソースと、複数の像センサとを備えている。各像センサは、上記エリアから異なる各々の角度範囲へ散乱された放射を受け取って、上記エリアの各像を形成するように構成される。像プロセッサは、各像の少なくとも１つを処理して表面上の欠陥を検出するように適応される。
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実対象物の実際の画像を生成する光学結像系（５）と、光学結像系の既知の収差係数を考慮に入れた所望の形状の対象物の推定画像を計算する計算ユニット（１２）と、実際の画像と計算ユニット（１２）によって計算された画像との差を検出する画像解析ユニット（１３）とを備える、対象物の光学検査装置。
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【課題】搬送される対象物を平面分光器を用いて、高い分解能で異種品の検出を可能とすること。
【解決手段】本発明では、搬送手段（11）と、近赤外線の照射手段（４）と、反射光を平面分光する平面分光手段（２）と、撮像手段（３）と、反射光のスペクトルデータを得て主成分分析手法を用いて異種品を検出する解析手段（５）とを備え、前記解析手段（５）は、前記スペクトルデータを平均化および標準化する前処理、波長軸平均化処理、ラグランジェ補間する補間処理、測定位置最適化処理、空間軸平均化処理、一次・二次微分および平滑化する変換処理、予め取得したローディングベクトルデータに基づいて主成分得点を算出する主成分得点算出処理、および異種品の判定を行う判定処理を行う。 （もっと読む）

基準の多色パターン化表面(10)と試験アイテムの多色パターン化表面(12)の間の視覚的に知覚された色印象の差を計測学的に検出する方法および装置が記載される。付随して、基準と比較された試験アイテムの色統計および他の色変化率の変化、および基準と比較された試験アイテムのパターンの画像鮮明度の変化が、色画像カメラのような色能力を備えた空間センサ(24)によって決定され、かつ表示される。本発明に従って、多色パターン化表面の視覚的に知覚された色変化の基準に対する共通変化率が、前述の2つの変化の結合で確立される。
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【課題】画像を用いた表面欠陥検出に際し、検査対象表面上の広い範囲に平坦に広がる大面積欠陥が補正によって画像からその一部または全体が除去されず、かつ検査対象内と外との境界部付近において補正された画像に跳ね返り現象が発生しないシェーディング補正方法を提供すること。
【解決手段】カメラからの画像から検査対象と検査対象外の境界を検出することで検査対象の画像領域を検出し、カメラからの画像にローパスフィルタを適用することでシェーディング成分をカメラからの画像と同じ大きさの画像として抽出した後、その画像の検査対象の画像領域部分について、各ラインの輝度変化を曲線によって、あるいは検査対象の画像領域部分全体の輝度変化を曲面によって近似し、その近似曲線あるいは近似曲面の値を輝度とする同じ大きさの画像に再構成し、カメラからの画像をその再構成した画像により除算又は減算することによりシェーディング補正する。 （もっと読む）