被検査体の検査方法及びその装置
【課題】 液晶パネルや液晶セルの欠陥、特に真上からでは見えにくい欠陥や小さく見える欠陥等を確実に検出することができるとともに、安価な装置構成とすることができる被検査体の検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 被検査体の液晶パネル１を構成する一方の基板側から照明装置２により照明し、被検査体の画面を被検査体を構成する他方の基板側より撮像手段３により撮像することにより取り込まれる検査画像に基づいて被検査体の欠陥を検出する被検査体の検査方法において、照明装置２の照明方向を被検査体に対し垂直方向にして被検査体を検査する第１の検査工程と、照明装置２の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更して被検査体を検査する第２の検査工程とを含むものとする。
【解決手段】 被検査体の液晶パネル１を構成する一方の基板側から照明装置２により照明し、被検査体の画面を被検査体を構成する他方の基板側より撮像手段３により撮像することにより取り込まれる検査画像に基づいて被検査体の欠陥を検出する被検査体の検査方法において、照明装置２の照明方向を被検査体に対し垂直方向にして被検査体を検査する第１の検査工程と、照明装置２の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更して被検査体を検査する第２の検査工程とを含むものとする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査体の検査方法及びその装置に係り、特に液晶表示体の点灯検査及び非点灯検査における照明方法と、その照明方法を用いた検査方法及び検査装置に関する。ここで、被検査体の液晶表示体は、２枚のパネル基板（例えば、ガラス基板）の間に液晶を封入して構成された状態における液晶セルおよび液晶セルの表裏両面にそれぞれ偏光板を貼着した状態の液晶パネルを含むものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の液晶パネルの欠陥（表示欠陥）を検査する検査装置は、被検査体の液晶パネルの下方にフラット照明装置を置き、その液晶パネルの真上にＣＣＤカメラを設置し、液晶パネルの点灯検査及び非点灯検査においてＣＣＤカメラにより撮像された画像を画像処理することにより欠陥を検出するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このとき、液晶パネルの点灯検査及び非点灯検査において使用する照明は、ＬＥＤ、ハロゲンランプ等による平面照明に集光板を使用し、上方向に照明光を集光し、あるいは散乱光として液晶パネルに照射して真上方向から検査することにしている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−６２３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、液晶パネルや液晶セルの欠陥のなかには、異物や気泡の混入によるもの、電極のピンホールによるもの、配向膜のラビング時のゴミの付着等による傷などがある。そして、これらの欠陥によっては見えやすい方向があり、真上方向からでは見えにくいこともある。また、真上からでは欠陥が小さく見える場合がある。したがって、上記のようなＣＣＤカメラを使用した検査では、複数台のＣＣＤカメラを用いて数方向から撮像しなければ欠陥を見逃すおそれがあり、１台のＣＣＤカメラでは検出精度が落ちるという問題がある。
【０００６】
一方、複数台のＣＣＤカメラを用いる方法では、検査装置自体が高価になるとともに、検査画像の逐次処理、並行処理のいずれの方式をとるにしても処理にかかる時間がかかり、また装置構成が複雑になるため、コスト上の不利が大きく、液晶パネルの検査工程では採用し難いものである。
【０００７】
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであり、液晶パネルや液晶セルの欠陥、特に真上からでは見えにくい欠陥や小さく見える欠陥等を確実に検出することができる被検査体の検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、コスト的に安価な被検査体の検査方法及びその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するため、本発明に係る被検査体の検査方法は、被検査体を構成する一方の基板側から照明装置により照明し、前記被検査体の画面を前記被検査体を構成する他方の基板側より撮像手段により撮像することにより取り込まれる検査画像に基づいて前記被検査体の欠陥を検出する被検査体の検査方法において、
前記照明装置の照明方向を被検査体に対し垂直方向にして前記被検査体を検査する第１の検査工程と、
前記照明装置の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更して前記被検査体を検査する第２の検査工程とを含むことを特徴とする。
【０００９】
被検査体に対し斜め方向から照明装置の照明光を照射することにより、真上からでは見えにくい欠陥や小さく見える欠陥等が、真上からでも見えやすくなり、また実際の大きさに見えることになるため、欠陥を検出しやすくなり確実に検出することが可能となる。
したがって、第１の検査工程だけでは見逃しがちであった欠陥が、上述のように照明装置の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更することで見えやすくするなるため、第２の検査工程において欠陥を確実に検出することができ、検出精度が向上する。
【００１０】
また、本発明の被検査体の検査方法では、前記照明装置に集光板を使用して照明光を一定方向に集光することが好ましい。
これによって、平行な照明光とすることができるので、欠陥がより見えやすくなる。
【００１１】
また、本発明の被検査体の検査方法では、前記照明装置の光量を調整可能にすることが好ましい。
黒表示画面での白点欠陥、あるいは白表示画面での黒点欠陥のように欠陥の種類によって、欠陥が見えやすいように照明装置の光量を調整する必要があるためである。また、被検査体を斜め下方向から照明すると撮像手段に到達する光量が減少する場合もあるので、それを回避するために光量を調整する。
【００１２】
また、本発明の被検査体の検査方法では、前記照明装置の照明方向を被検査体に対し少なくとも正反対の２つの斜め方向とすることが好ましい。
照明方向が斜めの一方向からだけだと欠陥が見えにくいが、正反対の他方向から照明すると欠陥がよく見える場合があるからである。
【００１３】
また、本発明の被検査体の検査方法は、前記照明装置の照明方向が被検査体の視野方向を含むものとする。
これによって、被検査体の視野範囲における欠陥を確実に検出することが可能となる。
【００１４】
また、本発明の被検査体の検査方法は、被検査体に電圧を印加せずに検査をする非点灯検査と、電圧を印加して検査をする点灯検査とを含み、前記非点灯検査は前記第１の検査工程を含み、前記点灯検査は前記第１の検査工程と第２の検査工程とを含むものである。
このように構成することにより、検査工程が比較的に簡単になり、欠陥検出精度の向上とコスト低減が可能となる。
【００１５】
また、本発明の被検査体の検査方法は、前記第２の検査工程は、前記照明装置の照明方向を被検査体に対し一方の斜め方向に変更して検査する工程と、他方の正反対の斜め方向に変更して検査する工程とを含むものである。
上述のように、照明方向を正反対の２つの斜め方向からとすることで欠陥が見えやすくなるので、いずれかの照明方向に係る検査工程で欠陥を確実に検出することができる。
【００１６】
また、本発明の被検査体の検査方法は、前記第２の検査工程において、前記照明装置の照明方向を他方の正反対の斜め方向に変更して検査する工程は、照明方向を一方の斜め方向に変更して検査する工程において良品と判定された被検査体に対して行うものである。
これによって、斜めの一方向からの照明によって欠陥が検出された場合には他方向からの照明による検査は不要となるので、検査工程が簡単になる。
【００１７】
本発明に係る被検査体の検査装置は、被検査体を構成する一方の基板側に配置される照明装置と、前記被検査体を構成する他方の基板側に配置される撮像手段と、撮像手段により撮像された被検査体の画面の検査画像をもとに前記被検査体の欠陥検出のための画像処理を行う画像処理装置と、被検査体を駆動する駆動装置とを備え、前記照明装置の照明角度を変更する角度調整機構を有することを特徴とする。
このように照明装置の照明角度を変更する角度調整機構を有する構成であるので、撮像手段は１台でよく、そのため検査装置を安価にできるとともに、上述のように欠陥検出精度の向上が可能である。
【００１８】
また、本発明に係る被検査体の検査装置は、前記照明装置の光量を調整する照明調光装置を有するものである。
上述のように、照明装置の光量を調整することで欠陥が検出しやすくなる。
【００１９】
また、本発明に係る被検査体の検査装置は、前記照明装置の表面に平行光を生成する集光板を設けたものである。
集光板により平行光を被検査体の斜め方向から照射するので、小さい欠陥が実際の大きさと同等程度に引き伸ばされた形で検出することが可能となり、検出精度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態の一例を説明する。
図１は本発明の実施の形態における液晶表示体の検査装置の概略構成図、図２は図１の照明回転装置の概要図、図３は本発明の検査の対象である液晶表示体の説明図で、（ａ）は液晶パネル、（ｂ）は液晶セルの断面図である。
【００２１】
この検査装置は、被検査体の液晶パネル１の下方に照明手段としてフラット照明装置２を設置し、その液晶パネル１の真上に撮像手段としてモノクロのＣＣＤカメラ３を設置してなるものである。液晶パネル１は図示しないホルダーにより水平に保持されている。
【００２２】
フラット照明装置２は、照明回転装置４により水平位置から傾斜位置まで水平角度（照明角度）が変更可能に支持されている。例えば、図２に示すように、フラット照明装置２はそのケーシングが中央部においてベース５の支柱６上に設けた回転軸７を介して上下方向に回転自在に支持されており、支柱６の側面に設けたステッピングモータ８により回転軸７を例えば、歯車あるいはタイミングベルト等を用いた伝動機構（図示せず）を介して駆動するようになっている。ステッピングモータ８にはエンコーダ（図示せず）を設け、任意の回転角度に応じたパルス数をステッピングモータ８に与えることによりフラット照明装置２の傾斜角度を制御することができる。
【００２３】
被検査体の液晶パネル１は、ここでは上下のガラス板の間に液晶を密封してなる液晶セル１０の上下ガラス面にそれぞれ上偏光板１１と下偏光板１２を貼り付けたものを示している（図１、図３（ａ）参照）。しかし、本発明は被検査体としてこのような液晶パネル１に限定されるものではなく、液晶パネルの製造工程において上下の偏光板１１、１２を貼着する前の液晶セル１０を被検査体とすることもできる（図３（ｂ）参照）。
【００２４】
また、液晶パネル１には液晶パネル駆動装置１４がケーブル１５を介して接続され、液晶パネル１のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子あるいはＭＩＭ（Ｍｅｔａｌ−Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ−Ｍｅｔａｌ）素子を駆動して検査するようになっている。この液晶パネル駆動装置１４によって、液晶パネル１に電圧を印加して検査をする点灯検査と、電圧を印加せずに検査をする非点灯検査を行うことができる。
【００２５】
また、上記フラット照明装置２には照明調光装置１６が接続され、これによりフラット照明光の光量を調整できるようになっている。これは、欠陥の種類によって光量を調整する必要があること、斜め方向からの照明時にはＣＣＤカメラに到達する透過光の光量が少なくなるのでその光量を調整する必要があるためである。いずれも欠陥を見えやすくするためであり、例えば、液晶パネル１の黒表示画面に白点欠陥の場合は照明光の光量を多くして見えやすくする、白表示画面に黒点欠陥の場合は照明光の光量を少なくして見えやすくするといった具合に光量を調整する。
【００２６】
上記ＣＣＤカメラ３により撮像された液晶パネル１の画面の検査画像は画像処理装置１７に取り込まれ、後述するようにその検査画像をもとに画像処理を行うことにより液晶パネル１の欠陥を検出する。また、この画像処理装置１７と、上述の液晶パネル駆動装置１４および照明調光装置１６は通常、パソコンにより構成されており、液晶パネル１の検査を実施する。
【００２７】
次に、本実施の形態における液晶パネルの照明方法および検査方法について説明する。図４は本発明の照明方法を模式的に示す説明図、図５乃至図７は本発明の検査方法を実施するためのフローチャートで、図５は検査全体の概要を示すフローチャート、図６は図５の非点灯検査における詳細な手順を示すフローチャート、図７は図５の点灯検査における詳細な手順を示すフローチャートである。なお、図４に示すフラット照明装置２の表面には集光板９を貼り付けて、主に平行光が出射されるようにしている。
【００２８】
液晶パネル１の検査は、図５に示すように、最初に非点灯検査を行い（Ｓ１）、その後に点灯検査を行う（Ｓ２）。非点灯検査とは、液晶パネル１に電圧を印加しないで行う欠陥検査であり、液晶パネル１の種類により、電圧をかけていないとき白表示のモードとなるノーマリーホワイトと、電圧をかけていないとき黒表示のモードとなるノーマリーブラックとがある。また、点灯検査とは、液晶パネル１に電圧をかけて行う欠陥検査である。点灯検査では、例えば携帯電話機やプロジェクタの液晶パネルの場合、白表示、黒表示、グレイ表示、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラー表示での検査を行っている。
【００２９】
液晶パネル１の非点灯検査は、図６のフローチャートに従って実施する。まず、図４（ａ）に示すように、フラット照明装置２を水平にして液晶パネル１を照明する。すなわち、フラット照明装置２の照明方向を液晶パネル１に対して垂直方向にして液晶パネル１を照明する。このときの表示画面（例えば、パネル非通電での白表示画面）をＣＣＤカメラ３にて撮像し、その画像をＡ／Ｄ変換器によりアナログからデジタルの画像データに変換して取り込む（Ｓ１１）。
【００３０】
次に、取り込まれた画像（検査画像）を画像処理装置１７により、例えば２５６階調の濃淡画像として画像処理を行い、さらに欠陥を強調するために、例えばトップハット（Ｔｏｐｈａｔ）フィルタなどを用いてフィルタ処理を行う（Ｓ１２）。
【００３１】
続いて、フィルタ処理をした画像データに対して適正なしきい値を設定し、２値化処理を行う（Ｓ１３）。そして、しきい値以上のもの（欠陥）があるかどうかを判定する（Ｓ１４）。しきい値未満であれば、欠陥がない、つまり非点灯検査では良品と判定する（Ｓ１５）。
【００３２】
この良否判定処理（Ｓ１４）において、良品と判定されると（Ｓ１５）、上述したように次の点灯検査（Ｓ２）に移行する。逆に、不良品と判定されると、その液晶パネル１に対する検査をここで終了する（Ｓ３）。
【００３３】
以上のＳ１１からＳ１５までの処理が液晶パネル１の非点灯検査における第１の検査工程である。
【００３４】
次に、液晶パネル１の点灯検査は、図７のフローチャートに従って実施される。ここではまず、所定の検査パターンを設定して（Ｓ２１）、その検査パターンを液晶パネル１に表示させる（Ｓ２２）。照明は、非点灯検査の場合と同様に最初は図４（ａ）に示すように、フラット照明装置２を水平にして液晶パネル１を照明する。照明方向は液晶パネル１に対して垂直方向である。
【００３５】
ついで、検査パターンを表示した画面をＣＣＤカメラ３にて撮像し、その画像を上記同様にＡ／Ｄ変換器によりアナログからデジタルの画像データに変換して取り込む（Ｓ２３）。なお、検査パターンが複数ある場合には、検査パターン毎に画像を取り込む。
【００３６】
次に、画像処理装置１７により、上述のように、取り込み画像（検査画像）を２５６階調の濃淡画像として画像処理を行い、さらに欠陥を強調するためのフィルタ処理を行う（Ｓ２４）。
【００３７】
続いて、フィルタ処理をした画像データに対して適正なしきい値を設定し、２値化処理を行う（Ｓ２５）。そして、しきい値以上のもの（欠陥）があるかどうかを判定する（Ｓ２６）。しきい値未満であれば、欠陥がない、つまり点灯検査では良品と判定する（Ｓ２７）。
【００３８】
そして、良品と判定されれば、次に照明角度を変えて検査するルーチンに移行する（Ｓ２８）。また、良否判定（Ｓ２６）において不良品と判定されると、その液晶パネル１に対する検査をここで終了する（Ｓ３）。
【００３９】
以上のＳ２１からＳ２７までの処理が液晶パネル１の点灯検査における第１の検査工程である。
【００４０】
次に、照明角度を変えた検査では、まず図４（ｂ）に示すように、フラット照明装置２を同図において右上がり傾斜、すなわちフラット照明装置２の照明方向を液晶パネル１の視野方向を含む方向に斜めに傾ける（Ｓ２９）。なお、フラット照明装置２の水平方向の傾斜角度（水平角度）は３０゜以下が適当であり、その範囲内で角度を変更する。
【００４１】
その後、この斜め方向に照明したときの液晶パネル１の画面を上記と同様にＣＣＤカメラ３にて撮像してその画像を取り込み（Ｓ３０）、ついで画像処理およびフィルタ処理を行い（Ｓ３１）、さらにしきい値による２値化処理を行う（Ｓ３２）。そして、欠陥があるか否かの良品判定を行い（Ｓ３３）、不良品であれば検査を終了し（Ｓ３）、良品であれば（Ｓ３４）、照明角度を上記と反対方向に変えて検査するルーチンに移行する（Ｓ３５）。
【００４２】
以上のＳ２９からＳ３４までの処理が液晶パネル１の点灯検査における第２の検査工程である。
【００４３】
そして、今度は図４（ｃ）に示すように、フラット照明装置２を同図において左上がり傾斜に傾ける（Ｓ３６）。すなわち、フラット照明装置２の照明方向を液晶パネル１に対し上記の斜め方向と正反対の方向に傾ける。このときのフラット照明装置２の水平方向の傾斜角度（水平角度）も３０゜以下が適当でその範囲内で角度を変更する。
【００４４】
その後は、上記と同様に画像を取り込み（Ｓ３７）、画像処理およびフィルタ処理を行い（Ｓ３８）、さらにしきい値による２値化処理を行う（Ｓ３９）。そして、欠陥があるか否かの良品判定を行う。（Ｓ４０）。そして、この良品判定において、不良品と判定されれば検査を終了し（Ｓ３）、良品と判定されれば（Ｓ４１）、さらにその検査パターンでの検査を終了してよいか否かを判断する（Ｓ４２）。そして、全ての検査パターンでの検査が終了しない場合には、再び上記Ｓ２１に戻って次の検査パターンで同様の検査を行う（Ｓ４３）。
以上により、液晶パネル１の点灯検査が全て終了する。なお、上記Ｓ３６からＳ４２までの処理も液晶パネル１の点灯検査における第２の検査工程である。すなわち、この第２の検査工程は、フラット照明装置２の照明方向を液晶パネル１に対し一方の斜め方向にして検査する工程と、他方の正反対の斜め方向にして検査する工程とを含むものである。
このように、斜めの照明方向を少なくも正反対の２方向とすることにより、一方の斜め方向からではよく見えなかった欠陥が他方の斜め方向からの照明によって明瞭に見える場合があるからである。
【００４５】
図８は液晶パネル１を駆動させ黒表示画面にしての欠陥検出、すなわち黒画像での白点欠陥の場合を模式的に示す説明図である。また、図９は液晶パネル１を駆動させ白表示画面にしての欠陥検出、すなわち白画像での黒点欠陥の場合を模式的に示す説明図である。
【００４６】
図８、図９において、左図はフラット照明装置２を水平（傾斜角度０゜）にして平行な照明光を液晶パネル１に下方から垂直に当てた場合である。このとき例えば、液晶パネル１のブラックマトリックス（ＢＭ）１３の近傍に欠陥２０があった場合には、液晶パネル１の取り込み画面（検査画面）２１では、その欠陥２０は実際よりも小さく見える。
【００４７】
したがって、この検査画面２１を真上からＣＣＤカメラ３にて撮像し、その画像を上述のように画像処理して欠陥検出を行った場合、その欠陥２０は小さいため、しきい値未満となって欠陥無し、すなわち良品と判定される場合がある。
【００４８】
そこで、本実施の形態では、液晶パネル１に対する垂直照明時に、たとえ良品と判定された場合であっても、図８、図９の右図に示すように、フラット照明装置２を傾けて液晶パネル１を斜め方向から照明し、そのときの状態も検査することとしている。
【００４９】
フラット照明装置２を図８、図９の右図のように傾けた場合、平行照明光が上記欠陥２０に対し斜めに当たる結果、一部の透過光は幅の広がった平行な透過光として上ガラス基板を透過する。したがって、この欠陥２０を含む液晶パネル１の取り込み画面（検査画面）２１は、その欠陥２０が長く伸びて大きく見えることになる。つまり、液晶パネル１を斜め方向から見たときとほとんど同じような大きさに欠陥２０が見える。
【００５０】
したがって、この検査画面２１を真上からＣＣＤカメラ３にて撮像し、その画像を上述のように画像処理して欠陥検出を行った場合、その欠陥２０は実際の大きさと同等程度の大きさとなっているため、しきい値により欠陥あり、すなわち不良品と判定することが可能となる。
【００５１】
よって、従来は見逃しがちであった小さい欠陥を、斜め方向から照明光を当てることで確実に検出することが可能となり、検出精度が大きく向上することになる。
また、撮像手段としてのＣＣＤカメラ３も１台で済み、検査装置が安価にできる。
【００５２】
図１０はフラット照明装置２に使用する集光板９の一例を示すものである。フラット照明装置２は、均一な明るさの照明光を平面発光するものであれば何でもよい。特に、集光板９をフラット照明装置２の表面に取り付けることにより、照明光を一方向に集光させることができる。このような集光板９として、図１０のようなマイクロレンズアレイやライトコントロールフィルムなどを使用することができる。集光板９によりほぼ平行な照明光を生成することができるので、液晶パネル１の欠陥がより見えやすくなる（検出しやすくなる）。
【００５３】
また、フラット照明装置２を照明回転装置４を介して支柱６上に傾斜可能に支持する構成となっているが、さらに支柱６をベース５に対して回転可能にすることにより、照明方向を被検査体に対してあらゆる斜めの方向にすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態における液晶表示体の検査装置の概略構成図。
【図２】図１の照明回転装置の概要図。
【図３】本発明の検査の対象である液晶表示体の説明図。
【図４】本発明の実施の形態における照明方法を模式的に示す説明図。
【図５】本発明の実施の形態における検査方法の概要を示すフローチャート。
【図６】図５の非点灯検査における詳細な手順を示すフローチャート。
【図７】図５の点灯検査における詳細な手順を示すフローチャート。
【図８】黒画像での白点欠陥の場合を模式的に示す説明図。
【図９】白画像での黒点欠陥の場合を模式的に示す説明図。
【図１０】集光板の一例を示す説明図。
【符号の説明】
【００５５】
１ 液晶パネル、２ フラット照明装置、３ ＣＣＤカメラ、４ 照明回転装置、５ ベース、６ 支柱、７ 回転軸、８ ステッピングモ−タ、９ 集光板、１０ 液晶セル、１１ 上偏光板、１２ 下偏光板、１３ ブラックマトリックス、１４ 液晶パネル駆動装置、１５ ケーブル、１６ 照明調光装置、１７ 画像処理装置、２０ 欠陥、２１ 検査画面
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査体の検査方法及びその装置に係り、特に液晶表示体の点灯検査及び非点灯検査における照明方法と、その照明方法を用いた検査方法及び検査装置に関する。ここで、被検査体の液晶表示体は、２枚のパネル基板（例えば、ガラス基板）の間に液晶を封入して構成された状態における液晶セルおよび液晶セルの表裏両面にそれぞれ偏光板を貼着した状態の液晶パネルを含むものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の液晶パネルの欠陥（表示欠陥）を検査する検査装置は、被検査体の液晶パネルの下方にフラット照明装置を置き、その液晶パネルの真上にＣＣＤカメラを設置し、液晶パネルの点灯検査及び非点灯検査においてＣＣＤカメラにより撮像された画像を画像処理することにより欠陥を検出するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このとき、液晶パネルの点灯検査及び非点灯検査において使用する照明は、ＬＥＤ、ハロゲンランプ等による平面照明に集光板を使用し、上方向に照明光を集光し、あるいは散乱光として液晶パネルに照射して真上方向から検査することにしている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−６２３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、液晶パネルや液晶セルの欠陥のなかには、異物や気泡の混入によるもの、電極のピンホールによるもの、配向膜のラビング時のゴミの付着等による傷などがある。そして、これらの欠陥によっては見えやすい方向があり、真上方向からでは見えにくいこともある。また、真上からでは欠陥が小さく見える場合がある。したがって、上記のようなＣＣＤカメラを使用した検査では、複数台のＣＣＤカメラを用いて数方向から撮像しなければ欠陥を見逃すおそれがあり、１台のＣＣＤカメラでは検出精度が落ちるという問題がある。
【０００６】
一方、複数台のＣＣＤカメラを用いる方法では、検査装置自体が高価になるとともに、検査画像の逐次処理、並行処理のいずれの方式をとるにしても処理にかかる時間がかかり、また装置構成が複雑になるため、コスト上の不利が大きく、液晶パネルの検査工程では採用し難いものである。
【０００７】
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであり、液晶パネルや液晶セルの欠陥、特に真上からでは見えにくい欠陥や小さく見える欠陥等を確実に検出することができる被検査体の検査方法及びその装置を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、コスト的に安価な被検査体の検査方法及びその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するため、本発明に係る被検査体の検査方法は、被検査体を構成する一方の基板側から照明装置により照明し、前記被検査体の画面を前記被検査体を構成する他方の基板側より撮像手段により撮像することにより取り込まれる検査画像に基づいて前記被検査体の欠陥を検出する被検査体の検査方法において、
前記照明装置の照明方向を被検査体に対し垂直方向にして前記被検査体を検査する第１の検査工程と、
前記照明装置の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更して前記被検査体を検査する第２の検査工程とを含むことを特徴とする。
【０００９】
被検査体に対し斜め方向から照明装置の照明光を照射することにより、真上からでは見えにくい欠陥や小さく見える欠陥等が、真上からでも見えやすくなり、また実際の大きさに見えることになるため、欠陥を検出しやすくなり確実に検出することが可能となる。
したがって、第１の検査工程だけでは見逃しがちであった欠陥が、上述のように照明装置の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更することで見えやすくするなるため、第２の検査工程において欠陥を確実に検出することができ、検出精度が向上する。
【００１０】
また、本発明の被検査体の検査方法では、前記照明装置に集光板を使用して照明光を一定方向に集光することが好ましい。
これによって、平行な照明光とすることができるので、欠陥がより見えやすくなる。
【００１１】
また、本発明の被検査体の検査方法では、前記照明装置の光量を調整可能にすることが好ましい。
黒表示画面での白点欠陥、あるいは白表示画面での黒点欠陥のように欠陥の種類によって、欠陥が見えやすいように照明装置の光量を調整する必要があるためである。また、被検査体を斜め下方向から照明すると撮像手段に到達する光量が減少する場合もあるので、それを回避するために光量を調整する。
【００１２】
また、本発明の被検査体の検査方法では、前記照明装置の照明方向を被検査体に対し少なくとも正反対の２つの斜め方向とすることが好ましい。
照明方向が斜めの一方向からだけだと欠陥が見えにくいが、正反対の他方向から照明すると欠陥がよく見える場合があるからである。
【００１３】
また、本発明の被検査体の検査方法は、前記照明装置の照明方向が被検査体の視野方向を含むものとする。
これによって、被検査体の視野範囲における欠陥を確実に検出することが可能となる。
【００１４】
また、本発明の被検査体の検査方法は、被検査体に電圧を印加せずに検査をする非点灯検査と、電圧を印加して検査をする点灯検査とを含み、前記非点灯検査は前記第１の検査工程を含み、前記点灯検査は前記第１の検査工程と第２の検査工程とを含むものである。
このように構成することにより、検査工程が比較的に簡単になり、欠陥検出精度の向上とコスト低減が可能となる。
【００１５】
また、本発明の被検査体の検査方法は、前記第２の検査工程は、前記照明装置の照明方向を被検査体に対し一方の斜め方向に変更して検査する工程と、他方の正反対の斜め方向に変更して検査する工程とを含むものである。
上述のように、照明方向を正反対の２つの斜め方向からとすることで欠陥が見えやすくなるので、いずれかの照明方向に係る検査工程で欠陥を確実に検出することができる。
【００１６】
また、本発明の被検査体の検査方法は、前記第２の検査工程において、前記照明装置の照明方向を他方の正反対の斜め方向に変更して検査する工程は、照明方向を一方の斜め方向に変更して検査する工程において良品と判定された被検査体に対して行うものである。
これによって、斜めの一方向からの照明によって欠陥が検出された場合には他方向からの照明による検査は不要となるので、検査工程が簡単になる。
【００１７】
本発明に係る被検査体の検査装置は、被検査体を構成する一方の基板側に配置される照明装置と、前記被検査体を構成する他方の基板側に配置される撮像手段と、撮像手段により撮像された被検査体の画面の検査画像をもとに前記被検査体の欠陥検出のための画像処理を行う画像処理装置と、被検査体を駆動する駆動装置とを備え、前記照明装置の照明角度を変更する角度調整機構を有することを特徴とする。
このように照明装置の照明角度を変更する角度調整機構を有する構成であるので、撮像手段は１台でよく、そのため検査装置を安価にできるとともに、上述のように欠陥検出精度の向上が可能である。
【００１８】
また、本発明に係る被検査体の検査装置は、前記照明装置の光量を調整する照明調光装置を有するものである。
上述のように、照明装置の光量を調整することで欠陥が検出しやすくなる。
【００１９】
また、本発明に係る被検査体の検査装置は、前記照明装置の表面に平行光を生成する集光板を設けたものである。
集光板により平行光を被検査体の斜め方向から照射するので、小さい欠陥が実際の大きさと同等程度に引き伸ばされた形で検出することが可能となり、検出精度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態の一例を説明する。
図１は本発明の実施の形態における液晶表示体の検査装置の概略構成図、図２は図１の照明回転装置の概要図、図３は本発明の検査の対象である液晶表示体の説明図で、（ａ）は液晶パネル、（ｂ）は液晶セルの断面図である。
【００２１】
この検査装置は、被検査体の液晶パネル１の下方に照明手段としてフラット照明装置２を設置し、その液晶パネル１の真上に撮像手段としてモノクロのＣＣＤカメラ３を設置してなるものである。液晶パネル１は図示しないホルダーにより水平に保持されている。
【００２２】
フラット照明装置２は、照明回転装置４により水平位置から傾斜位置まで水平角度（照明角度）が変更可能に支持されている。例えば、図２に示すように、フラット照明装置２はそのケーシングが中央部においてベース５の支柱６上に設けた回転軸７を介して上下方向に回転自在に支持されており、支柱６の側面に設けたステッピングモータ８により回転軸７を例えば、歯車あるいはタイミングベルト等を用いた伝動機構（図示せず）を介して駆動するようになっている。ステッピングモータ８にはエンコーダ（図示せず）を設け、任意の回転角度に応じたパルス数をステッピングモータ８に与えることによりフラット照明装置２の傾斜角度を制御することができる。
【００２３】
被検査体の液晶パネル１は、ここでは上下のガラス板の間に液晶を密封してなる液晶セル１０の上下ガラス面にそれぞれ上偏光板１１と下偏光板１２を貼り付けたものを示している（図１、図３（ａ）参照）。しかし、本発明は被検査体としてこのような液晶パネル１に限定されるものではなく、液晶パネルの製造工程において上下の偏光板１１、１２を貼着する前の液晶セル１０を被検査体とすることもできる（図３（ｂ）参照）。
【００２４】
また、液晶パネル１には液晶パネル駆動装置１４がケーブル１５を介して接続され、液晶パネル１のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子あるいはＭＩＭ（Ｍｅｔａｌ−Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ−Ｍｅｔａｌ）素子を駆動して検査するようになっている。この液晶パネル駆動装置１４によって、液晶パネル１に電圧を印加して検査をする点灯検査と、電圧を印加せずに検査をする非点灯検査を行うことができる。
【００２５】
また、上記フラット照明装置２には照明調光装置１６が接続され、これによりフラット照明光の光量を調整できるようになっている。これは、欠陥の種類によって光量を調整する必要があること、斜め方向からの照明時にはＣＣＤカメラに到達する透過光の光量が少なくなるのでその光量を調整する必要があるためである。いずれも欠陥を見えやすくするためであり、例えば、液晶パネル１の黒表示画面に白点欠陥の場合は照明光の光量を多くして見えやすくする、白表示画面に黒点欠陥の場合は照明光の光量を少なくして見えやすくするといった具合に光量を調整する。
【００２６】
上記ＣＣＤカメラ３により撮像された液晶パネル１の画面の検査画像は画像処理装置１７に取り込まれ、後述するようにその検査画像をもとに画像処理を行うことにより液晶パネル１の欠陥を検出する。また、この画像処理装置１７と、上述の液晶パネル駆動装置１４および照明調光装置１６は通常、パソコンにより構成されており、液晶パネル１の検査を実施する。
【００２７】
次に、本実施の形態における液晶パネルの照明方法および検査方法について説明する。図４は本発明の照明方法を模式的に示す説明図、図５乃至図７は本発明の検査方法を実施するためのフローチャートで、図５は検査全体の概要を示すフローチャート、図６は図５の非点灯検査における詳細な手順を示すフローチャート、図７は図５の点灯検査における詳細な手順を示すフローチャートである。なお、図４に示すフラット照明装置２の表面には集光板９を貼り付けて、主に平行光が出射されるようにしている。
【００２８】
液晶パネル１の検査は、図５に示すように、最初に非点灯検査を行い（Ｓ１）、その後に点灯検査を行う（Ｓ２）。非点灯検査とは、液晶パネル１に電圧を印加しないで行う欠陥検査であり、液晶パネル１の種類により、電圧をかけていないとき白表示のモードとなるノーマリーホワイトと、電圧をかけていないとき黒表示のモードとなるノーマリーブラックとがある。また、点灯検査とは、液晶パネル１に電圧をかけて行う欠陥検査である。点灯検査では、例えば携帯電話機やプロジェクタの液晶パネルの場合、白表示、黒表示、グレイ表示、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラー表示での検査を行っている。
【００２９】
液晶パネル１の非点灯検査は、図６のフローチャートに従って実施する。まず、図４（ａ）に示すように、フラット照明装置２を水平にして液晶パネル１を照明する。すなわち、フラット照明装置２の照明方向を液晶パネル１に対して垂直方向にして液晶パネル１を照明する。このときの表示画面（例えば、パネル非通電での白表示画面）をＣＣＤカメラ３にて撮像し、その画像をＡ／Ｄ変換器によりアナログからデジタルの画像データに変換して取り込む（Ｓ１１）。
【００３０】
次に、取り込まれた画像（検査画像）を画像処理装置１７により、例えば２５６階調の濃淡画像として画像処理を行い、さらに欠陥を強調するために、例えばトップハット（Ｔｏｐｈａｔ）フィルタなどを用いてフィルタ処理を行う（Ｓ１２）。
【００３１】
続いて、フィルタ処理をした画像データに対して適正なしきい値を設定し、２値化処理を行う（Ｓ１３）。そして、しきい値以上のもの（欠陥）があるかどうかを判定する（Ｓ１４）。しきい値未満であれば、欠陥がない、つまり非点灯検査では良品と判定する（Ｓ１５）。
【００３２】
この良否判定処理（Ｓ１４）において、良品と判定されると（Ｓ１５）、上述したように次の点灯検査（Ｓ２）に移行する。逆に、不良品と判定されると、その液晶パネル１に対する検査をここで終了する（Ｓ３）。
【００３３】
以上のＳ１１からＳ１５までの処理が液晶パネル１の非点灯検査における第１の検査工程である。
【００３４】
次に、液晶パネル１の点灯検査は、図７のフローチャートに従って実施される。ここではまず、所定の検査パターンを設定して（Ｓ２１）、その検査パターンを液晶パネル１に表示させる（Ｓ２２）。照明は、非点灯検査の場合と同様に最初は図４（ａ）に示すように、フラット照明装置２を水平にして液晶パネル１を照明する。照明方向は液晶パネル１に対して垂直方向である。
【００３５】
ついで、検査パターンを表示した画面をＣＣＤカメラ３にて撮像し、その画像を上記同様にＡ／Ｄ変換器によりアナログからデジタルの画像データに変換して取り込む（Ｓ２３）。なお、検査パターンが複数ある場合には、検査パターン毎に画像を取り込む。
【００３６】
次に、画像処理装置１７により、上述のように、取り込み画像（検査画像）を２５６階調の濃淡画像として画像処理を行い、さらに欠陥を強調するためのフィルタ処理を行う（Ｓ２４）。
【００３７】
続いて、フィルタ処理をした画像データに対して適正なしきい値を設定し、２値化処理を行う（Ｓ２５）。そして、しきい値以上のもの（欠陥）があるかどうかを判定する（Ｓ２６）。しきい値未満であれば、欠陥がない、つまり点灯検査では良品と判定する（Ｓ２７）。
【００３８】
そして、良品と判定されれば、次に照明角度を変えて検査するルーチンに移行する（Ｓ２８）。また、良否判定（Ｓ２６）において不良品と判定されると、その液晶パネル１に対する検査をここで終了する（Ｓ３）。
【００３９】
以上のＳ２１からＳ２７までの処理が液晶パネル１の点灯検査における第１の検査工程である。
【００４０】
次に、照明角度を変えた検査では、まず図４（ｂ）に示すように、フラット照明装置２を同図において右上がり傾斜、すなわちフラット照明装置２の照明方向を液晶パネル１の視野方向を含む方向に斜めに傾ける（Ｓ２９）。なお、フラット照明装置２の水平方向の傾斜角度（水平角度）は３０゜以下が適当であり、その範囲内で角度を変更する。
【００４１】
その後、この斜め方向に照明したときの液晶パネル１の画面を上記と同様にＣＣＤカメラ３にて撮像してその画像を取り込み（Ｓ３０）、ついで画像処理およびフィルタ処理を行い（Ｓ３１）、さらにしきい値による２値化処理を行う（Ｓ３２）。そして、欠陥があるか否かの良品判定を行い（Ｓ３３）、不良品であれば検査を終了し（Ｓ３）、良品であれば（Ｓ３４）、照明角度を上記と反対方向に変えて検査するルーチンに移行する（Ｓ３５）。
【００４２】
以上のＳ２９からＳ３４までの処理が液晶パネル１の点灯検査における第２の検査工程である。
【００４３】
そして、今度は図４（ｃ）に示すように、フラット照明装置２を同図において左上がり傾斜に傾ける（Ｓ３６）。すなわち、フラット照明装置２の照明方向を液晶パネル１に対し上記の斜め方向と正反対の方向に傾ける。このときのフラット照明装置２の水平方向の傾斜角度（水平角度）も３０゜以下が適当でその範囲内で角度を変更する。
【００４４】
その後は、上記と同様に画像を取り込み（Ｓ３７）、画像処理およびフィルタ処理を行い（Ｓ３８）、さらにしきい値による２値化処理を行う（Ｓ３９）。そして、欠陥があるか否かの良品判定を行う。（Ｓ４０）。そして、この良品判定において、不良品と判定されれば検査を終了し（Ｓ３）、良品と判定されれば（Ｓ４１）、さらにその検査パターンでの検査を終了してよいか否かを判断する（Ｓ４２）。そして、全ての検査パターンでの検査が終了しない場合には、再び上記Ｓ２１に戻って次の検査パターンで同様の検査を行う（Ｓ４３）。
以上により、液晶パネル１の点灯検査が全て終了する。なお、上記Ｓ３６からＳ４２までの処理も液晶パネル１の点灯検査における第２の検査工程である。すなわち、この第２の検査工程は、フラット照明装置２の照明方向を液晶パネル１に対し一方の斜め方向にして検査する工程と、他方の正反対の斜め方向にして検査する工程とを含むものである。
このように、斜めの照明方向を少なくも正反対の２方向とすることにより、一方の斜め方向からではよく見えなかった欠陥が他方の斜め方向からの照明によって明瞭に見える場合があるからである。
【００４５】
図８は液晶パネル１を駆動させ黒表示画面にしての欠陥検出、すなわち黒画像での白点欠陥の場合を模式的に示す説明図である。また、図９は液晶パネル１を駆動させ白表示画面にしての欠陥検出、すなわち白画像での黒点欠陥の場合を模式的に示す説明図である。
【００４６】
図８、図９において、左図はフラット照明装置２を水平（傾斜角度０゜）にして平行な照明光を液晶パネル１に下方から垂直に当てた場合である。このとき例えば、液晶パネル１のブラックマトリックス（ＢＭ）１３の近傍に欠陥２０があった場合には、液晶パネル１の取り込み画面（検査画面）２１では、その欠陥２０は実際よりも小さく見える。
【００４７】
したがって、この検査画面２１を真上からＣＣＤカメラ３にて撮像し、その画像を上述のように画像処理して欠陥検出を行った場合、その欠陥２０は小さいため、しきい値未満となって欠陥無し、すなわち良品と判定される場合がある。
【００４８】
そこで、本実施の形態では、液晶パネル１に対する垂直照明時に、たとえ良品と判定された場合であっても、図８、図９の右図に示すように、フラット照明装置２を傾けて液晶パネル１を斜め方向から照明し、そのときの状態も検査することとしている。
【００４９】
フラット照明装置２を図８、図９の右図のように傾けた場合、平行照明光が上記欠陥２０に対し斜めに当たる結果、一部の透過光は幅の広がった平行な透過光として上ガラス基板を透過する。したがって、この欠陥２０を含む液晶パネル１の取り込み画面（検査画面）２１は、その欠陥２０が長く伸びて大きく見えることになる。つまり、液晶パネル１を斜め方向から見たときとほとんど同じような大きさに欠陥２０が見える。
【００５０】
したがって、この検査画面２１を真上からＣＣＤカメラ３にて撮像し、その画像を上述のように画像処理して欠陥検出を行った場合、その欠陥２０は実際の大きさと同等程度の大きさとなっているため、しきい値により欠陥あり、すなわち不良品と判定することが可能となる。
【００５１】
よって、従来は見逃しがちであった小さい欠陥を、斜め方向から照明光を当てることで確実に検出することが可能となり、検出精度が大きく向上することになる。
また、撮像手段としてのＣＣＤカメラ３も１台で済み、検査装置が安価にできる。
【００５２】
図１０はフラット照明装置２に使用する集光板９の一例を示すものである。フラット照明装置２は、均一な明るさの照明光を平面発光するものであれば何でもよい。特に、集光板９をフラット照明装置２の表面に取り付けることにより、照明光を一方向に集光させることができる。このような集光板９として、図１０のようなマイクロレンズアレイやライトコントロールフィルムなどを使用することができる。集光板９によりほぼ平行な照明光を生成することができるので、液晶パネル１の欠陥がより見えやすくなる（検出しやすくなる）。
【００５３】
また、フラット照明装置２を照明回転装置４を介して支柱６上に傾斜可能に支持する構成となっているが、さらに支柱６をベース５に対して回転可能にすることにより、照明方向を被検査体に対してあらゆる斜めの方向にすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態における液晶表示体の検査装置の概略構成図。
【図２】図１の照明回転装置の概要図。
【図３】本発明の検査の対象である液晶表示体の説明図。
【図４】本発明の実施の形態における照明方法を模式的に示す説明図。
【図５】本発明の実施の形態における検査方法の概要を示すフローチャート。
【図６】図５の非点灯検査における詳細な手順を示すフローチャート。
【図７】図５の点灯検査における詳細な手順を示すフローチャート。
【図８】黒画像での白点欠陥の場合を模式的に示す説明図。
【図９】白画像での黒点欠陥の場合を模式的に示す説明図。
【図１０】集光板の一例を示す説明図。
【符号の説明】
【００５５】
１ 液晶パネル、２ フラット照明装置、３ ＣＣＤカメラ、４ 照明回転装置、５ ベース、６ 支柱、７ 回転軸、８ ステッピングモ−タ、９ 集光板、１０ 液晶セル、１１ 上偏光板、１２ 下偏光板、１３ ブラックマトリックス、１４ 液晶パネル駆動装置、１５ ケーブル、１６ 照明調光装置、１７ 画像処理装置、２０ 欠陥、２１ 検査画面
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を構成する一方の基板側から照明装置により照明し、前記被検査体の画面を前記被検査体を構成する他方の基板側より撮像手段により撮像することにより取り込まれる検査画像に基づいて前記被検査体の欠陥を検出する被検査体の検査方法において、
前記照明装置の照明方向を被検査体に対し垂直方向にして前記被検査体を検査する第１の検査工程と、
前記照明装置の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更して前記被検査体を検査する第２の検査工程と、
を含むことを特徴とする被検査体の検査方法。
【請求項２】
前記照明装置に集光板を使用して照明光を一定方向に集光することを特徴とする請求項１記載の被検査体の検査方法。
【請求項３】
前記照明装置の光量を調整可能にすることを特徴とする請求項１または２記載の被検査体の検査方法。
【請求項４】
前記照明装置の照明方向を被検査体に対し少なくとも正反対の２つの斜め方向とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の被検査体の検査方法。
【請求項５】
前記照明装置の照明方向が被検査体の視野方向を含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の被検査体の検査方法。
【請求項６】
被検査体に電圧を印加せずに検査をする非点灯検査と、電圧を印加して検査をする点灯検査とを含み、
前記非点灯検査は前記第１の検査工程を含み、前記点灯検査は前記第１の検査工程と第２の検査工程とを含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の被検査体の検査方法。
【請求項７】
前記第２の検査工程は、前記照明装置の照明方向を被検査体に対し一方の斜め方向に変更して検査する工程と、他方の正反対の斜め方向に変更して検査する工程とを含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の被検査体の検査方法。
【請求項８】
前記第２の検査工程において、前記照明装置の照明方向を他方の正反対の斜め方向に変更して検査する工程は、照明方向を一方の斜め方向に変更して検査する工程において良品と判定された被検査体に対して行うことを特徴とする請求項７記載の被検査体の検査方法。
【請求項９】
被検査体を構成する一方の基板側に配置される照明装置と、前記被検査体を構成する他方の基板側に配置される撮像手段と、撮像手段により撮像された被検査体の画面の検査画像をもとに前記被検査体の欠陥検出のための画像処理を行う画像処理装置と、被検査体を駆動する駆動装置とを備え、
前記照明装置の照明角度を変更する角度調整機構を有することを特徴とする被検査体の検査装置。
【請求項１０】
前記照明装置の光量を調整する照明調光装置を有することを特徴とする請求項９記載の被検査体の検査装置。
【請求項１１】
前記照明装置の表面に平行光を生成する集光板を設けたことを特徴とする請求項９または１０記載の被検査体の検査装置。
【請求項１】
被検査体を構成する一方の基板側から照明装置により照明し、前記被検査体の画面を前記被検査体を構成する他方の基板側より撮像手段により撮像することにより取り込まれる検査画像に基づいて前記被検査体の欠陥を検出する被検査体の検査方法において、
前記照明装置の照明方向を被検査体に対し垂直方向にして前記被検査体を検査する第１の検査工程と、
前記照明装置の照明方向を被検査体に対し斜め方向に変更して前記被検査体を検査する第２の検査工程と、
を含むことを特徴とする被検査体の検査方法。
【請求項２】
前記照明装置に集光板を使用して照明光を一定方向に集光することを特徴とする請求項１記載の被検査体の検査方法。
【請求項３】
前記照明装置の光量を調整可能にすることを特徴とする請求項１または２記載の被検査体の検査方法。
【請求項４】
前記照明装置の照明方向を被検査体に対し少なくとも正反対の２つの斜め方向とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の被検査体の検査方法。
【請求項５】
前記照明装置の照明方向が被検査体の視野方向を含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の被検査体の検査方法。
【請求項６】
被検査体に電圧を印加せずに検査をする非点灯検査と、電圧を印加して検査をする点灯検査とを含み、
前記非点灯検査は前記第１の検査工程を含み、前記点灯検査は前記第１の検査工程と第２の検査工程とを含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の被検査体の検査方法。
【請求項７】
前記第２の検査工程は、前記照明装置の照明方向を被検査体に対し一方の斜め方向に変更して検査する工程と、他方の正反対の斜め方向に変更して検査する工程とを含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の被検査体の検査方法。
【請求項８】
前記第２の検査工程において、前記照明装置の照明方向を他方の正反対の斜め方向に変更して検査する工程は、照明方向を一方の斜め方向に変更して検査する工程において良品と判定された被検査体に対して行うことを特徴とする請求項７記載の被検査体の検査方法。
【請求項９】
被検査体を構成する一方の基板側に配置される照明装置と、前記被検査体を構成する他方の基板側に配置される撮像手段と、撮像手段により撮像された被検査体の画面の検査画像をもとに前記被検査体の欠陥検出のための画像処理を行う画像処理装置と、被検査体を駆動する駆動装置とを備え、
前記照明装置の照明角度を変更する角度調整機構を有することを特徴とする被検査体の検査装置。
【請求項１０】
前記照明装置の光量を調整する照明調光装置を有することを特徴とする請求項９記載の被検査体の検査装置。
【請求項１１】
前記照明装置の表面に平行光を生成する集光板を設けたことを特徴とする請求項９または１０記載の被検査体の検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００６−７８３１７（Ｐ２００６−７８３１７Ａ）
【公開日】平成１８年３月２３日（２００６．３．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−２６２２０７（Ｐ２００４−２６２２０７）
【出願日】平成１６年９月９日（２００４．９．９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年３月２３日（２００６．３．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年９月９日（２００４．９．９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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