【課題】変形欠陥の捕捉が確実に行えるとともに、変形欠陥と異物欠陥など他の欠陥との判別が容易に行える欠陥検査方法および欠陥検査装置の提供。
【解決手段】検査対象物の表面を撮影して前記検査対象物の表面欠陥を検査する欠陥検査方法であって、前記表面から任意の焦点高さ離れた位置に焦点が合った状態で前記表面を撮影し、前記焦点高さにおける画像として記録する一次画像記録工程と、前記画像の検査すべき全ての部位に対して、当該部位の周囲に対する当該部位の濃淡を強調して数値化するフィルタ処理を行い、前記画像における欠陥候補部位を検出する一次画像フィルタ工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】透光性及び非透光性、いずれの検査対象物についてもその表面の異物をＳ／Ｎの低下なく、しかも高速に検出できる異物検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】長さ方向に搬送中の検査対象物１２の表面幅方向にレーザ光を繰り返し照射しつつ検査対象物表面からの散乱光を検出し、その検査対象物表面における異物４３の有無を検査する異物検査方法、装置において、光源５１から出射された横断面点状のレーザ光Ｌ３を光学レンズ１４により線状レーザ光Ｌ４とする。この線状レーザ光Ｌ４を、検査対象物１２の搬送方向アに沿う方向に向く線状レーザ光Ｌ５とし、この線状レーザ光Ｌ５を、搬送方向アに直交する方向に検査対象物全幅に亘って繰り返し走査（帯状に照射）させて検査対象面全域を光照射させるポリゴンミラー５２を設ける。レーザ光密度を低下させずに検査対象面全域の光照射を高速に行わせる。 （もっと読む）

【課題】検査対象の不良部分を簡易に、かつ高い精度で検出する検査装置。
【解決手段】銅箔検査装置１０は、ライト１２、ＣＣＤカメラ１４、ガイドローラ１６、及び制御部１８を含んで構成されている。
銅箔２０に光を照射するライト１２は、各ガイドローラ１６間の中心部に位置する銅箔２０の読取位置Ｏを照射する位置に設置されており、読取位置Ｏに光を照射する。ライト１２により照射されることにより読取位置Ｏで正反射された光は、矢印Ｐの方向に進行する。本実施の形態のＣＣＤカメラ１４は、矢印Ｐの方向とは数度異なる矢印Ｑの方向に垂直な面で光を受光するように設けられており、受光した光の強度に応じて画素毎に例えば８ビットの輝度信号に変換した画像データを制御部１８に出力する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の不良部分を簡易に、かつ高い精度で検出する検査装置。
【解決手段】銅箔検査装置１０は、ライト１２、ＣＣＤカメラ１４、ガイドローラ１６、及び制御部１８を含んで構成されている。
銅箔２０に光を照射するライト１２は、各ガイドローラ１６間の中心部に位置する銅箔２０の読取位置Ｏを照射する位置に設置されており、読取位置Ｏに光を照射する。ライト１２により照射されることにより読取位置Ｏで正反射された光は、矢印Ｐの方向に進行する。本実施の形態のＣＣＤカメラ１４は、矢印Ｐの方向とは数度異なる矢印Ｑの方向に垂直な面で光を受光するように設けられており、受光した光の強度に応じて画素毎に例えば８ビットの輝度信号に変換した画像データを制御部１８に出力する。 （もっと読む）

【課題】画像処理による自動検査の結果を官能検査の結果と一致させることができる検査用画像の作成方法を提供する。
【解決手段】液晶パネルを撮像して得られた画像から検査用画像を作成する検査用画像の作成方法であって、液晶パネルの撮像画像を縮小し、端部を折り返し、コントラストを強調して強調画像を作成し、この強調画像についてＸ方向投影画像を作成し、強調画像とＸ方向投影画像との第１の差画像を求め、この第１の差画像についてＹ方向投影画像を作成し、第１の差画像とＹ方向投影画像との第２の差画像を求め、この第２の差画像に対して、大きさが折り返した画像の幅の２倍以下である二次元フィルタを用いて平滑化処理を行って低周波画像を作成し、第２の差画像と低周波画像との第３の差画像を求める。この第３の差画像を検査用画像とする。 （もっと読む）

【課題】欠陥の評価を行うにあたり、波形ノイズ中の筋状欠陥を、筋の太さによらず、高速かつ高精度に検出すること
【解決手段】本発明は、対象物の撮像におけるプロファイルを得るプロファイル算出ステップ（ステップＳ１〜Ｓ２）と、前記プロファイルからノイズ除去幅パラメータにしたがって低周波成分を除去する低周波除去ステップ（ステップＳ３）とをコンピュータによって実行させることを特徴とする画像処理プログラムである。また、本発明は、対象物の撮像におけるプロファイルを得るプロファイル算出部と、前記プロファイル算出部で得た前記プロファイルからノイズ除去幅パラメータにしたがって低周波成分を除去する低周波除去部とを備える画像処理装置である。 （もっと読む）

【課題】
金属などの部材やそれらに金属皮膜を形成した表面で、光学的に全反射ないしはそれに近い状態の表面は、全反射による鏡面反射光が強く、表面欠陥の検出に有用なランダム反射光を検出することは困難である。このため従来技術では、表面欠陥検査の自動化は困難であった。
【解決手段】
本発明は、評価対象物とカメラを固定し，点光源の位置を変えて、または複数位置に配置した点光源を順次点灯することにより、複数枚の表面画像を計測する工程、金属表面反射モデルを用いて強い鏡面反射を削除し微小なランダム反射を抽出する工程、複素数離散ウェーブレット変換を用いてノイズ除去や欠陥鮮鋭化などを行う工程、パターンマッチングにより欠陥を検出する工程などの組み合わせにより、評価対象物の表面欠陥、特に金属皮膜が形成された鏡面状態の部材や部品の表面欠陥の自動検査装置とその検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ドリルの研磨や破棄のタイミングをバラツキなく判断することは難しい。
【解決手段】撮像部２０は、ドリルの刃先を回転軸に沿う方向に撮像する。測定部３４は、撮像部２０により撮像された画像内の刃先領域の形状情報を測定する。記憶部３６は、ドリルのライフサイクル上の研磨回数を反映させたステージごとに、そのドリルの刃先領域の形状情報の参照データを保持する。判定部３８は、測定部３４により測定された形状情報から、ドリルの刃先の状態を判定する。たとえば、測定部３４により測定された形状情報と、記憶部３６に保持されたステージごとの参照データを照合することにより、検査対象のドリルが該当するステージを特定する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面が平坦面でない場合にも表面欠陥の検出精度を高める。
【解決手段】周期的に変調された線状レーザ光の測定対象物２に対する照射位置を連続的にずらしながら、遅延積分型カメラ３０により測定対象物２からの反射光を撮像して光切断画像を出力し、測定対象物２の表面欠陥を検出する表面欠陥検査システムであって、カメラ３０で得られた光切断画像を順に配列することにより得られる縞画像の各位置における位相のずれを算出する位相算出部５０５と、位相算出部５０５で得られた位相のずれに基づいて位相のずれが不連続になっている位置を検出し、その検出した位置における位相のずれを繋ぐことにより位相のずれを連続化する位相連続化処理部５０６とを備え、位相連続化処理部５０６は、位相のずれを連続化する処理の後に、該連続化させた位相特性上における段差を検出して、その段差をなくす段差補正処理を更に施す。 （もっと読む）

【課題】認識すべき文字の一部が見えないような、想定される形態と異なる形態の文字についても、正確に認識できる文字認識装置、外観検査装置及び文字認識方法を提供する。
【解決手段】文字認識装置１は、少なくとも一つの文字列が表記された被検査物を撮影した検査画像を取得する画像取得手段２と、検査画像と文字パターン記憶手段３３から読み出された複数の文字パターンとの一致度を求めて、複数の文字パターンのうちの最も一致する文字パターンが表す文字を認識し、且つその認識された文字の検査画像中の位置を取得する文字認識手段３４と、認識された複数の文字の相対的な位置関係に基づいて文字列情報を取得する文字列情報取得手段３６と、文字列情報が被検査物上に表記される可能性のある文字列である場合、文字列情報は正しいと判定し、表記されるはずのない文字列である場合、文字列情報は誤りであると判定する判定手段３７を有する。 （もっと読む）

【課題】ディスク基板そのものがうねりを持つ状態や、局所的なうねりが生じた試料の表面の欠陥を高精度に検査できるようにした表面欠陥検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、基板表面を回転させかつ一軸方向に移動させながら斜方から照明し、その正反射光と散乱光を検出し、該検出した信号波形から、基板そのもののうねりや局所的なうねりの状態を判断し、うねりがある基板においては信号波形を分割し、該分割した範囲内でしきい値を設定し、該設定されたしきい値より高い信号を欠陥として出力或いは表示するように構成した。 （もっと読む）

【課題】測定対象物が横断面形状において両端部が低くなる或いは高くなる曲線を有する長丈材である場合にも、表面欠陥の検出精度を高める。
【解決手段】周期的に変調された線状レーザ光を測定対象物２の表面に照射するレーザ装置１０と、測定対象物２からの反射光を撮像する遅延積分型カメラ３０とを用いて、測定対象物２に対する線状レーザ光の照射位置を連続的にずらしながら、遅延積分型カメラ３０により測定対象物２からの反射光を撮像して光切断画像を出力し、測定対象物２の表面欠陥を検出する表面欠陥検査システムであって、測定対象物２を含んで撮像された輝度画像に基づいて、測定対象物２のエッジ位置を検出するエッジ位置検出５１１と、エッジ位置検出部５１１で検出されたエッジ位置に基づいて、遅延積分型カメラ３０で得られた画像にセンタリング処理を行うセンタリング処理部５０７とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検体画像データに重畳されたノイズを欠陥として誤検出することなく、被検体に存在する本来の欠陥のみを、高精度に検出する。
【解決手段】被検体ステージ１０１と、被検体ステージ１０１上の被検体に光を照射する照明光学部１０２と、被検体からの反射光を撮像する撮像カメラ１０３と、撮像された画像データを格納するフレームメモリ１１０と、画像データに画像処理を施すコンピュータ１１１を備えている。コンピュータ１１１は、被検体画像データに対し、輪郭強調処理を施して第１画像処理データを得るとともにローパスフィルタ処理を施して第２画像処理データを得る画像処理データ取得部と、第１画像処理データと第２画像処理データの差分画像データを得る差分画像データ算出部と、差分画像データにハイパスフィルタ処理を施すハイパスフィルタ処理部と、動的しきい値比較部と、欠陥有無判定部とを備えている。 （もっと読む）

【目的】レチクル厚のばらつきによる透過照明光の焦点ズレを容易に補正することにより、検出感度の高い欠陥検査を行うことが可能なレチクル欠陥検査装置およびレチクル欠陥検査方法を提供する。
【構成】パターンが形成された被測定試料に光を照射して得られるパターン画像を用いて被測定試料上の欠陥を検査するレチクル欠陥検査装置であって、被測定試料の一方の面に第１の検査光を照射する透過照明光学系と、被測定試料の他方の面に第２の検査光を照射する反射照明光学系と、第１の検査光の被測定試料への照射による透過光と、第２の検査光の被測定試料への照射による反射光とを同時に検出可能な検出光学系を有し、透過照明光学系が、被測定試料の厚さに起因する透過光の焦点ズレを補正する、焦点合わせ用レンズ駆動機構を備えることを特徴とするレチクル欠陥検査装置およびこれによるレチクル欠陥検査方法 （もっと読む）

【課題】表示応答ばらつきなどを動的（過渡的）に検知することで欠陥の検出を行う欠陥検出方法、欠陥検出装置、および欠陥検出プログラムを提供すること。
【解決手段】液晶パネルの表示領域全体の表示を切り替える際に要する表示切替時間を時分割して複数の検査画像Ｆ_０〜Ｆ_１３を取得し、これらの検査画像Ｆ_０〜Ｆ_１３に対して、略球状の三次元空間的フィルタ処理を行うことで、各画素間における応答のばらつきなどの過渡的に変化する欠陥の検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】撮像画像に基づいてパターンに接する異物を精度よく検出することができる異物検出方法および異物検出装置を提供すること。
【解決手段】異物検出方法は、撮像画像に対して検査対象パターンを検出するパターン検出フィルタを適用して、撮像画像におけるパターン部分を検出するパターン検出工程Ｓ２３と、パターン検出工程Ｓ２３で検出されたパターンのエッジ間の距離を検出するエッジ間距離検出工程Ｓ２５と、エッジ間距離検出工程Ｓ２５で検出したエッジ間距離の変化に基づいてパターンのエッジ部分の異物の有無を判定する異物判定工程Ｓ２６とを備える。パターン検出フィルタを用いてパターン部分を検出するため、基準画像を作成して比較する場合に比べて、様々なパターン部分を容易に検出できる。 （もっと読む）

【課題】微細な疵と大きな疵との双方を従来よりも精度良く検出できるようにする。
【解決手段】鋼板１の表面に形成された疵の形状を可及的に正確に表す画像信号を第３の２値化部２４及び孤立点除去部２５で生成し、相対的に小さな１つの疵領域を可及的に確実に１つの領域として表す画像信号を、第１の２値化部２６及び膨張部２７で生成し、相対的に大きな１つの疵領域を可及的に確実に１つの領域として表す画像信号を、低分解能化部２８、第２の２値化部２９、膨張部３０、及び伸張部３１で生成する。従って、第３の２値化部２４及び孤立点除去部２５で、本来１つの疵領域であるべきものが、複数の疵として検出されても、それら複数の疵が１つの疵領域に属するものであることを、第１の２値化部２６、膨張部２７、低分解能化部２８、第２の２値化部２９、膨張部３０、及び伸張部３１における検出結果により判別できる。 （もっと読む）

【課題】規定トルクが確保されているか否かを高い精度で判定することが可能なねじ良否判定方法及びねじ良否判定装置を提供する。
【解決手段】規定トルクを発生させることができるか否かに直接的に係るねじ長を、該ねじ長に比例するねじ部の山部の健全領域（ＯＫ領域）に置き換え、このねじ部の山部の健全領域をねじ部に照射したレーザ光の反射光強度に基き抽出して画像化し、抽出された健全領域の画像に基き、健全領域の面積とねじ部全体の面積とを比較し、健全領域が規定トルクを発生するのに必要な面積を確保していると判別した場合に、ねじ穴が良（ＯＫ）であると判定する。これにより、規定トルクが確保されているか否かを高い精度で判定することができる。 （もっと読む）

【課題】イメージセンサ画像の欠陥領域を強調することによって、精度よく欠陥領域を検出することが可能な欠陥検出装置および欠陥検出方法を実現する。
【解決手段】欠陥検出装置１は、欠陥領域を検出する対象となる検査対象画像の欠陥領域が、検査対象画像の他の領域に対して強調されるように、検査対象画像内の画素値を補正する画素値補正部１６と、画素値が補正された検査対象画像を複数のブロックに分割すると共に、各ブロック内に存在する画素の画素値を加算した値であるブロック加算値、またはブロック加算値を、各ブロック内に存在する画素数で割ることによって求めた値であるブロック平均値を求めるブロック分割処理部１７と、ブロック加算値またはブロック平均値の外れ値があるか否かを、統計処理部１８の統計処理により判定することで上記欠陥領域の有無を判定する良否判定部１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥判別のための比較器におけるしきい値を効率良く求める。
【解決手段】バンドパスフィルタ３０を通した受光信号をＡ／Ｄ変換部４１により、デジタルデータに変換する。演算制御部４２により、演算タイミング信号、演算期間信号、検査幅設定回路３２からの検査幅信号などに基づき、Ａ／Ｄ変換部４１でのＡ／Ｄ変換対象を検査領域内のみに特定し、一定期間この特定信号をＡ／Ｄ変換部４１に送る。ノイズ値演算部４３は、Ａ／Ｄ変換されたデジタルデータを演算処理して、平均値、最大ピーク値、最小ピーク値、標準偏差をノイズ値として求める。しきい値演算部４５は、ノイズ値に基づきしきい値を求める。しきい値はしきい値設定器３４により、比較器３３のしきい値として設定される。自動的にしきい値が設定されるため、欠陥検出条件の最適化を効率良く行うことができる。 （もっと読む）