【課題】群化した点欠陥を一群の欠陥として精度良く検出できる欠陥検出方法、欠陥検出プログラムおよび検査装置を提供すること。
【解決手段】点欠陥強調工程（ＳＴ２）において、撮像画像中の点欠陥候補を強調して検出しやすくしておいてから、領域検索工程（ＳＴ３）にて所定領域内の点欠陥候補ｄ個数を検出し、領域判定工程（ＳＴ４）にて領域が対象領域か否かを判定することで、撮像画像中に点欠陥候補がある程度以上に集まった（群化した）領域を対象領域として判定する。そして、群化状態算出工程（ＳＴ６）にて点欠陥候補の群化状態を算出してから、欠陥分類工程（ＳＴ７）にて群化状態が面欠陥候補であるかを判定し、欠陥検出工程（ＳＴ８）にて面欠陥検出用の閾値を用ることで、群化点欠陥を面欠陥として精度良く検出し、欠陥判定精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】粒子などのフィラーが存在するフィルムの中から、迅速かつ高精度な欠陥検査を可能にし、該欠陥検査の情報を記録若しくは添付したフィルム状製品を提供することにある。
【解決手段】光学的特性が異なる粒子などのフィラーが存在するフィルム状検査対象に対して、斜方照明と落射照明の２系統の検出光学系を備え、照明光の照射角および照明光の波長を選択することで、撮像される画像から欠陥とフィルム中に存在するフィラーの濃淡度の相違を検出し、これに基づいて欠陥を弁別し、さらに欠陥種、大きさ、欠陥の検出座標を検査結果として記録若しくは添付することで、フィルム状製品の品質管理を改善して付加価値を高める。 （もっと読む）

【課題】表示パネルの欠陥を高い検出感度で検出することができる画像解析方法および画像解析装置、検査装置を提供する。
【解決手段】液晶表示パネル検査装置１は、撮像画像に含まれる注目絵素の輝度値と、当該注目絵素に隣接する同色絵素の輝度値との差分値の絶対値を算出する差分絶対値演算部４１と、差分絶対値演算部４１によって算出された差分値の絶対値の平均値を、複数の同色絵素の配列方向に沿って算出する平均値演算部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】シミ欠陥を誤検出しないで高精度に検出できるシミ欠陥検出方法及び装置の提供。
【解決手段】本発明のシミ欠陥強調フィルタは、点対称位置でセットとされた２つの輝度比較画素の対象画素Ｏに対する輝度差の平均値などに基いて、輝度比較画素Ｓ１〜Ｓ３２で囲まれたシミ欠陥を強調する。ここで、パネル画像領域Ｒｐの内部および外部に当該フィルタが跨る場合を第２条件および第３条件により判断し、このような場合、セットの輝度比較画素のうち対象画素Ｏと同じ領域にある方の対象画素Ｏとの輝度差をシミ欠陥強調のための強調算出値とする。これにより、パネル画像領域Ｒｐ内外の輝度差に起因してシミ欠陥有りと誤検出することを防止できる。そして、このような複数の条件付けにより、パネル画像領域Ｒｐのみを撮像画像から抽出する処理などを不要にできるので、処理の簡略化、検査時間の短縮化が図られる。 （もっと読む）

【課題】塗布液の付与および基板の回転により形成された基板の膜上において回転軸を中心とする遠心方向に伸びる筋ムラの存在を精度よくかつ容易に確認する。
【解決手段】基板上の膜は、外部のスピンコータにおいて主面上にレジスト液を塗布するとともに基板を主面に垂直な回転軸を中心として回転することにより形成されており、ムラ検査装置では、基板の膜から得られる対象画像７１中において、基板の上面上にて回転軸を中心として設定される複数の遠心方向のそれぞれに対応する動径方向に並ぶ画素の値を積算することにより、複数の遠心方向に対応する複数の評価値が取得される。その結果、評価値を参照することにより、基板の膜上において回転軸を中心とする遠心方向に沿って伸びる筋ムラの存在を精度よくかつ容易に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】表示デバイスの表示欠陥検出工程においてシェーディング除去の精度を高め、表示欠陥を高精度に検出できるシェーディング補正方法、欠陥検出方法、欠陥検出装置、その制御方法プログラムを提供すること。
【解決手段】欠陥検出装置は、撮像画像中の部分画像が中間部画像であるか周辺部画像であるかのエリア情報を判定し（ＳＴ２１）、部分画像中の各画素ごとの輝度値が所定輝度範囲内にある適用画素か否かを判定し（ＳＴ２２）、中間部画像に対応した中間部画像用平滑フィルタと周辺部画像に対応した周辺部画像用平滑フィルタとからエリア情報に基づいて選択した平滑フィルタを部分画像の適用画素に適用する（ＳＴ２３）ことで、部分画像中の着目画素の背景輝度値を算出して背景画像を生成する。この背景画像と撮像画像との差分をとることで、撮像画像からシェーディングを適切に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】一様なパターンを有する複数の矩形領域が隙間を空けて縦横に整列して設定される基板上の複数の矩形領域に亘って伸びる筋ムラを容易に検出する。
【解決手段】ムラ検査装置の対象画像生成部６１では、基板を撮像して取得される多階調の元画像において基板上の矩形領域間の隙間に対応する領域をマスクして対象画像が準備され、筋ムラ要素特定部６３では対象画像を２値化した２値画像において長手方向における長さと長手方向に垂直な方向における幅との比が所定値以上となる複数の筋ムラ要素領域が複数の筋ムラ要素線分にてそれぞれ特定される。そして、筋ムラ検出部６４において、複数の筋ムラ要素線分のうち、長手方向（線分が伸びる方向）が同一であり、長手方向に配列され、かつ、隣接する矩形領域内に存在する２つの筋ムラ要素線分が検出されることにより、複数の矩形領域に亘って伸びる筋ムラを容易に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の傷、異物混入、クラックなどの不具合に関する検査を精度よく自動検査することができる画像検査方法およびその方法を用いた検査装置を提供する。
【解決手段】透過画像を得る第１ステップと、前記透過画像に２次微分フィルタを適用し、２次微分フィルタ画像として輝度変化の大きい部分を強調させる第２ステップと、前記２次微分フィルタ画像を所定のしきい値で２値化し、記憶させる第３ステップと、前記透過画像を別の所定のしきい値で２値化し、記憶させる第４ステップと、前記第３ステップで記憶された２値化した画像及び前記第４ステップで記憶された２値化した画像に対して２値特徴量計測を行う第５ステップと、前記２値特徴量から、被検査物２の良否判定を行う第６ステップとを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】パターン付きマスクの欠陥検査において、スキャッタリングバーなどのＯＰＣパターンに由来する微小な無視したい欠陥を除去する検査装置及び検査方法とその検査装置及び検査方法を用いたパターン基板の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の像と第２の像とを用いて、ＯＰＣパターンに対応するＯＰＣ領域をマスクするＯＰＣフィルタを生成するフィルタ作成部と、前記第１の像と、前記第２の像との比較結果に対して、高感度で欠陥候補を検出する高感度欠陥候補検出部と、前記第１の像と、前記第２の像との比較結果に対して、低感度で欠陥候補を検出する低感度欠陥候補検出部と、前記ＯＰＣフィルタを用いることによって、前記ＯＰＣ領域では、前記低感度欠陥候補検出部で検出された低感度欠陥候補を欠陥として判定する欠陥判定部とを備える検査装置。 （もっと読む）

【課題】研磨等によって生じた微小傷群に起因する光沢感むらのような塗装面不良（白ボケ）を自動的に、かつ官能評価と相関高く判定できる塗装面品質評価方法を提供する。
【解決手段】被検査塗装面を撮像し、得られた被検査塗装面画像に前処理を施した前処理後被検査塗装面画像の輝度ヒストグラムから第１の標準偏差σ１を算出する。また、前処理後被検査塗装面画像に対してラプラシアンフィルタリング処理を行って得られた画像の輝度ヒストグラムから第２の標準偏差σ２を算出し、両標準偏差σ１，σ２に基づいて被検査塗装面の塗装面品質を判定する。σ１は塗装面の所謂ムラ感、σ２は微小傷の多さを表していると考えられ、これらσ１，σ２を主成分とした塗装面品質判定によれば、微小傷群に起因する白ボケは客観的、自動的に判定可能となる。 （もっと読む）

【課題】輝度勾配を精度良く検出できる輝度勾配検出方法を提供すること。
【解決手段】対象画素における８つの検出方向の輝度勾配成分を各検出方向に対応する強調フィルタを用いて取得し、取得された各輝度勾配成分のうち絶対値が最大となる輝度勾配成分を対象画素の輝度勾配とし、強調フィルタは、対象画素に対応する１つの領域を座標中心とする縦３×横３の９つの領域を有し、座標中心の領域には重み係数２、座標中心の領域に対し検出方向側に隣接した１つの領域には重み係数−２、座標中心の領域に対し検出方向と直交する方向の両側に隣接した２つの領域には重み係数１、座標中心の領域に対し検出方向側に位置する３つの領域のうち、重み係数−１が設定されていない２つの領域には重み係数−Ｎ、９つの領域のうち重み係数２，−２，１，−１が設定されていない３つの領域には重み係数０がそれぞれ設定されている。 （もっと読む）

【課題】ウェーブレット変換のパラメータの設定が容易になる画像検査装置を提供する。
【解決手段】画像検査装置１００が備える制御部１１０は、ウェーブレットパラメータを用いて原画像データのウェーブレット変換を行なうウェーブレット変換部６２０と、ノイズ除去パラメータを用いてウェーブレット変換後のデータから原画像に含まれるノイズを除去するノイズ除去部６３０と、ノイズ除去後の第１のデータに対してウェーブレット逆変換を行なうウェーブレット逆変換部６４０と、ウェーブレット逆変換後のデータから欠陥候補領域を抽出する抽出部６５０と、抽出された領域を欠陥領域と他の領域とに分類する分類部６６０と、欠陥の抽出性能を評価する評価部６７０と、評価の結果に基づいてウェーブレットパラメータとノイズ除去パラメータとを変更する変更部６８０とを含む。 （もっと読む）

【課題】画像処理の時間の増大を防止できる画像処理アルゴリズム評価装置を提供する。
【解決手段】画像処理アルゴリズム評価装置１４００の画像処理アルゴリズム評価管理部１４１２は、画像データを目標画像として設定する目標画像設定部１４２１と、教示真欠陥の特徴量を算出する特徴量算出部１４２２と、算出結果と画像処理アルゴリズムとに基づいて画像処理アルゴリズムを決定する選択部１４２４と、画像処理アルゴリズムを用いて画像データに対して変換処理を行なう画像データ変換部１４２５と、欠陥候補領域を抽出する欠陥候補領域特徴量算出部１４２６と、各欠陥候補領域の種類を判定する種類判定部１４２７と、特徴量空間に欠陥候補のデータをプロットする特徴量マップ作成部１４２８と、画像処理アルゴリズムの評価値を算出する評価値算出部１４２９とを含む。 （もっと読む）

【課題】異なるパターンにおけるスジ・ムラの見た目の悪さを統一的に定量化できる画像品質定量評価方法を提供し、画像品質評価精度を向上させる。
【解決手段】被評価対象の画像を２次元の画像データとして取り込み、画像データを計算処理して画像品質を評価する画像品質定量評価方法であって、画像データから少なくとも一種類の評価用パラメータＰ(i,j)（i,jは正整数の指標）を設定し、評価用パラメータＰ(i,j)の画像全体に対する平均値Ｐ_AVを算出し、評価パラメータＰ(i,j)の画像各位置における平均値Ｐ_AVからのずれ量｜ΔＰ(i,j)｜をそれぞれ求め、ずれ量に関係した重み関数を設定し、ずれ量と重み関数との積算値を画像全体に対して求め、各積算値の画像全体に対する総和に基づき画像品質評価値を設定して画像品質を評価する。 （もっと読む）

【課題】エッジ勾配を精度良く検出できるエッジ勾配検出方法を提供すること。
【課題手段】エッジ勾配検出方法は、撮像画像において選択された対象画素と、この対象画素の周囲にかつ対象画素に隣接して配置された各第1比較画素との輝度変化率をそれぞれ求める第１エッジ勾配算出工程Ｓ９２と、撮像画像において選択された対象画素と、この対象画素の周囲にかつ対象画素から前記第１比較画素よりも離れて配置された各第２比較画素との輝度変化率をそれぞれ求める第２エッジ勾配算出工程Ｓ９３と、前記第１および第２エッジ勾配算出工程で算出された各輝度変化率のうち、絶対値が最大のものを対象画素のエッジ勾配値とするエッジ勾配合成工程Ｓ９６とを備える。対象画素に隣接する第１比較画素のエッジ勾配と、第２比較画素のエッジ勾配を求めて合成しているので、高周波成分まで含んだ様々な方向のエッジ成分を容易にかつ精度良く検出できる。 （もっと読む）

【課題】より短時間で内周壁面の欠陥の検査が可能な欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】略円柱状空間の軸方向に沿って当該円柱状空間内に挿入される検出パイプと制御装置とを備える。検出パイプの先端に受光用光ファイバの入射面を、円柱状空間の内周壁面に対向するように配置する。投光用光ファイバの出射面を受光用光ファイバの入射面と隣接するように且つ同一方向となるように配置する。制御装置は、投光用光ファイバの入射面に光を入力し、円柱状空間の軸方向に沿って挿入された検出パイプを、受光用光ファイバの入射面及び投光用光ファイバの出射面の各々から対向する円柱状空間の内周壁面までの距離を一定に保つように、円柱状空間の内周壁面の円周方向に沿って相対的に回転または軸方向に沿って相対的に往復させ、受光用光ファイバの出射面から出力される検出光に基づいて円柱状空間の内周壁面の欠陥を判定する。 （もっと読む）

【課題】円筒体の内面の溝幅を決定可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】投／受光部３０を有し且つ被検査物たる円筒体２の内部に挿入される検査部３備え、検査部３を円筒体２の軸線Ｃを中心に回転させると共に軸線方向に相対的に進退させ、投／受光部３０より円筒体２の内面に光Ｌを投光し、反射光を受光し、受光された光に基づいて内面に対応した二次元画像を生成する表面検査装置１において、その二次元画像を溝Ｇの長さ方向座標と溝Ｇの幅方向座標とで表し、長さ方向座標を固定し、幅方向座標に沿って移動しながら、受光量が特定の閾値を超えて変化する、溝Ｇの一側縁部に対応する一点ｇ１と溝Ｇの他側縁部に対応する他点ｇ２との幅方向座標を求め、一点の幅方向座標と他点の幅方向座標とから区間の溝幅を求めるアルゴリズムを有する溝幅決定手段４６を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】被検査物表面の微小サイズの欠陥が検査可能で且つ表面の荒れや汚れ等の影響を受けにくい表面検査装置を提供する。
【解決手段】光源２４から投光ファイバ２０を介して被検査物の内面に投光された光の反射光を受光ファイバ２１を介して受光し、その受光量に基づいて被検査物２の表面に対応した二次元画像を生成する表面検査装置１において、前記投光ファイバ２０の周囲に前記受光ファイバ２１を複数配置し、且つ前記受光ファイバ２１の径を前記投光ファイバ２０の径よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、色ムラの形状や大きさに関係なく高精度に色ムラを検査する色ムラ欠陥検査方法および装置を提供することである。
【解決手段】検査対象物を撮像して、輝度値を含む画素データを作成して、この輝度値から、所定の方向の輝度１次微分値を作成して、絶対値が最大の輝度１次微分値を選択して、１次微分画素データを作成する１次微分画素データ作成ステップと、１次微分画素データを２値化して、色ムラ境界を抽出して、色ムラ境界の１次微分画素データの方向情報を傾きとする線分を、色ムラ領域内に作成して、線分上の１次微分画素データに対応する画素データを取得する色ムラ領域画素データ取得ステップと、取得した画素データから、最大輝度値と最小輝度値と位置情報を選択して、輝度差と輝度変化率を算出して、検査基準値を用いて、これを検査する色ムラ検査ステップと、を含んだ手順でなされることを特徴とする色ムラ欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】特徴部分を人の視認する感覚に一致するように抽出することができる画像による外観検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物を撮影して得られたカラー画像について（Ｓ１）、色空間内で背景部分と特徴部分とを通る色分離軸を設定するとともに、色分離軸に各画素を投影したときの色分離軸上の位置を画素値に持つシングルチャンネル画像を生成する（Ｓ２）。次に、シングルチャンネル画像において、隣接する画素間の画素値の差が規定値以下になる画素からなる連結領域を生成する（Ｓ３）。その後、特徴部分の候補となる連結領域の内外の画素値の分布を用いて連結領域を統合することにより特徴判定領域を生成する（Ｓ４〜Ｓ６）。この特徴判定領域から得られる特徴量について分類することにより特徴部分を複数の肌トラブルの項目に種別に分類する（Ｓ７〜Ｓ８）。 （もっと読む）