【課題】モデル画像に応じて登録形状かつ登録色をもつ領域の最適な検出を実行できる画像処理装置を提供する。
【解決手段】画像処理部６は、モデル画像を構成するそれぞれの画素についての色相から色相ヒストグラムを算出する。制御部４は、色相ヒストグラム上において極大点をとる色相を特定し、登録色および背景色の明度差が最大となるような色フィルタを選択する。画像処理部６は、選択中されている色フィルタを用いて、撮像部２から取得した入力画像から濃淡画像を生成し、その濃淡画像と記憶部６ａから読出した登録形状、すなわちモデル画像の濃淡画像との相関値を算出する。制御部４は、画像処理部６から受けた相関値に基づいて、入力画像に登録形状かつ登録色をもつ領域が含まれるか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】 生産性を増大させることができる異方性導電フィルムの圧痕検査方法。
【解決手段】 異方性導電フィルムが圧着された部品の接続欠陥有無を判別する圧痕検査方法であって、ＴＡＢ、ＦＯＧ、チップの部品を異方性導電フィルムの接触力によって仮圧着しツールで本圧着させた部品素材を検査ステージに供給し導電フィルムの表面に第２カメラの焦点を合わせ、整列信号により部品素材の載せられた検査ステージを整列させＰＬＣ制御部の信号によって検査ステージを１次検査位置に移送させ部品素材の圧痕を第２カメラによってイメージとしてキャプチャし、検査ステージを２次検査位置にさらに移送させ、同時にキャプチャされた圧痕イメージをアルゴリズムによって検査し検査ステージを移送させた後、移送された位置が最後の検査位置でない場合圧痕イメージ検査を繰り返し、移送された位置が最後の検査位置である場合、圧痕イメージ検査を終了し部品素材を排出する。 （もっと読む）

【課題】デジタル画像における欠陥領域の有無を、短時間かつコンパクトな回路構成で判定する。
【解決手段】欠陥領域を検出する対象となる被検査画像を、複数のブロックに分割するブロック分割部５と、ブロック分割部５により分割された各ブロックについて、ブロック内に存在する画素の画素データを加算した値であるブロック加算値を算出するブロック加算値算出部６と、ブロック加算値の外れ値があるかを統計的処理により判定することで欠陥領域の有無を判定する統計処理部７および良否判定部８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】方向性を有する欠陥であっても、欠陥の方向性に依存することなく欠陥像を撮像できる微分干渉顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明による微分干渉顕微鏡は、試料の微分干渉像を撮像装置(11)により撮像し、その映像信号を画像処理装置に出力する。画像処理装置において、第１のシャーリング方向の第１の微分干渉像と第１のシャーリング方向と直交する第２のシャーリング方向の第２の微分干渉像とを画像合成する。画像合成に際し、第１の微分干渉像と第２の微分干渉像とを２乗和処理して画像合成を行う。２乗和処理により、画像の輝度情報の符号が反転するので、欠陥のエッジの周囲にそって明のリング状の画像部分が形成され、方向性の無い欠陥像が撮像される。 （もっと読む）

【課題】 繰り返しパターンを含む２つの検査画像の対応する画素同士のグレイレベル差を検出し、グレイレベル差が欠陥検出条件を満たすとき２つの検査画像のうちいずれかの画素が欠陥であると判定する画像欠陥検査において、様々な繰り返しパターンに対して、検査画像の各部に応じて欠陥検出条件の変更を容易に行うことを可能にする。
【解決手段】 画像欠陥検査装置１０を、検査画像を繰り返し周期の整数倍毎に分割した画素ブロックのいずれかについて、その各画素を複数グループに分類する分類部２１と、この分類結果をこの画素ブロック内における各画素のそれぞれのブロック内位置に対応して記憶する記憶部２２と、他の画素ブロック内の各画素についてのそれぞれの分類結果を、各画素のブロック内位置に対応して記憶部２２から読み出して決定する決定部２３と、を備えて構成し、各画素について決定した分類結果に応じて欠陥検出条件を変更する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物における欠陥の形状や各検査対象物に形成されたそれぞれ異なる研磨筋等によらず、検査対象物の欠陥を確実に検出すること。
【解決手段】 本発明に係る外観検査方法は、検査対象物２２を撮像して撮像画像Ｐ１を取得する工程と、軸Ｘ，Ｙ方向における検査対象物画像Ｐ１ａの平均輝度分布を算出する工程と、マスタ画像Ｐ２を平均輝度分布に基づいて生成する工程と、撮像画像Ｐ１とマスタ画像Ｐ２とから第１補正画像Ｐ３を生成する工程と、ソーベルフィルタにより第１補正画像Ｐ３における各画素の輝度値の変化量を算出してソーベル処理画像Ｐ４を生成する工程と、ソーベル処理画像Ｐ４と第１補正画像Ｐ３とから第２補正画像Ｐ５を生成する工程と、第２補正画像Ｐ５を２値化して連結領域を特定し、その連結領域の画素数と閾値とを対比する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ラビングスジ欠陥を高精度に検出できる表示パネルの検査方法および検査装置の提供。
【解決手段】 表示パネルの検査装置は、スジ欠陥強調手段３００と、前記スジ欠陥強調手段３００において強調された画像に基づいて、スジ欠陥とラビジングスジ欠陥とを分別する欠陥分別手段４００と、前記欠陥分別手段４００においてラビングスジ欠陥と分別された欠陥を評価するラビングスジ欠陥評価手段５００とを備える。欠陥分別手段４００は、スジ欠陥強調手段３００で強調された各スジ欠陥が、ほぼ直線状の欠陥であり、かつ、スジ欠陥の形成方向がそのパネルに対してラビング処理された方向にほぼ一致する場合にはラビングスジ欠陥と判別し、それ以外の場合にはスジ欠陥と判別する。このため、欠陥幅や長さ、間隔などが変動していても、それらの影響を受けることなくラビングスジ欠陥を確実に判別できる。 （もっと読む）

【課題】 ローラに付着してシート上にしわや凹凸状の欠陥を発生させる異物を確実かつ容易に検出可能な異物検出装置及び異物検出方法を提供する。
【解決手段】 異物検出装置（１０）は、ローラ（３）に光を照射する光源（７）と、ローラ（３）からの反射光を受光して当該ローラ（３）の画像を撮像する撮像手段（８）と、撮像手段（８）により撮像された撮像画像の輝度の変化を輝度データとして抽出する輝度データ抽出手段（１３）と、前記撮像画像の輝度データが予め設定された閾値内か否かを判定し、その閾値外の場合にローラ（３）に付着した異物と判定する判定手段（１４）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 酸化膜などの透明膜が存在する被検査対象に対して、回路パターンに起因するノイズを低減させることで、実害になる異物又は欠陥を高感度に検出可能とする。
【解決手段】 基板試料を載置してＸ-Ｙ-Ｚ-θの各方向へ任意に移動可能なステージ部と、回路パターンを斜方から照射する照明系と、照明された検査領域を上方および斜方から検出器上に結像する結像光学系とを有し、該照明系の照射により前記回路パターン上に発生する散乱光および回折光を集光する。更に、回路パターンの直線部分からの回折光を遮光するためにフーリエ変換面上に設けた空間フィルタを有する。更に、上記検出器で受光された上記照射された試料上からの散乱反射光を電気信号に変換し、該変換された電気信号を繰り返すチップ間で比較して不一致により試料上の異物として検査する。 （もっと読む）

【課題】 要処理画像データ量を格段に減少せしめ、下水道管等の内部欠陥の検出・判別をリアルタイムで行い得る管渠内部の欠陥・判別方法、装置を提供すること。
【解決手段】 ａ．管内走行装置に搭載され、魚眼レンズを装着した撮像装置で管内画像を取得するステップ ｂ．管継ぎ目部に注目してエッジ抽出を行った後、管継ぎ目部の管軸方向前後に亘る領域の画像切り出しを、予め用意したマスクによって関心領域外の画像をマスクした後に行うステップ ｃ．該切り出された画像を分割し、分割された各部の輝度変換を行い、平均画像と各部の個別画像との相関を演算算出し、一定の閾値以下の相関を示した画像箇所部に欠陥ありと判別するステップからなる管渠内部の欠陥・判別方法およびそのための装置。 （もっと読む）

【課題】 基板上の欠陥を検出するための画像処理フィルタの最適な組み合わせを、容易に特定することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】 本発明の表面検査装置１０において、ウエハ１１の欠陥を検出するために最適な画像処理フィルタの組み合わせを決定する組み合わせ決定部１８は、所定の欠陥情報を含んだウエハ１１の教師画像を記憶する教師画像記憶部と、メモリＭに記憶されている異なる複数の画像処理フィルタを任意の組み合わせで複数個生成する画像処理フィルタ群生成部と、教師画像記憶部に記憶されている教師画像と、画像処理フィルタ群生成部で生成された画像処理フィルタの組み合わせ情報に基づいた画像処理後の処理画像との類似度を算出する類似度算出部と、所定条件を満足したときに、類似度算出部により算出された類似度が最も高い画像処理フィルタの組み合わせを最適な画像処理フィルタの組み合わせとして特定する特定部とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】被検査面に存在する欠陥に対して照射光の回り込みを四方八方から生じさせるような照明を用いながらも欠陥の誤検出が抑制された表面検査技術を提供する。
【解決手段】複数の発光素子から構成された照明部による照射光によって照明された被検査面に対する撮像カメラ４の出力信号を評価して被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段６とからなる表面欠陥検査装置。欠陥評価手段が、出力信号から生成された画像データに対して輪郭強調処理を施した後平滑化処理を施す欠陥強調処理を少なくとも１回行う前処理部６０Ａと、この前処理部から出力された画像データから被検査面の明暗画像を生成する明暗画像生成部６０Ｂと、この明暗画像生成部から出力された明暗画像から欠陥を検出する欠陥決定部６０Ｃを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ウェハ上の多様な欠陥を高速、高感度に検出するパターン欠陥検査装置および方法を提供する。
【解決手段】 パターン欠陥検査装置において、複数の波長を出力可能な照明光源３から射出された光を、照明光学系４で線状に照明する。ウェハ１上の回路パターンや欠陥により回折、散乱された光は、結像光学系５でラインセンサ６に集光され、ディジタル信号に変換され、信号処理部７で欠陥が検出される。このとき、照明光学系４の光軸１０１と結像光学系５の光軸１０２でなす面と配線パターンの方向をほぼ平行にし、さらに、結像光学系５の光軸１０２とウェハ１とのなす角度を、パターンからの回折光が少なくなる角度に設定することにより、高感度に欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】大面積の全基板上において反射光強度を精度良く測定し、この反射光強度から透明感光性樹脂被膜の下層に存在する格子影響等の外乱要因を除去すると共に塗布ムラの可能性のある領域（ムラ候補領域）を精度良く推定し、透明感光性樹脂被膜の塗布ムラを効率的に検出する方法を提供すること。
【解決手段】透明樹脂の塗布方向及びこれに直交する方向に分割して多数の小領域とし、これら小領域の反射光強度を測定し、塗布方向又は塗布方向に直交する方向を包絡方向として、この包絡方向に沿って並んだ小領域の反射光強度を包絡処理してその包絡値を算出し、算出した包絡値から明側包絡画像データと暗側包絡画像データを生成し、該包絡画像データに対して、注目画素を取り囲む画素群を構成する各輝度値の平均値と前記注目画素の輝度値の差分を算出して塗布ムラを抽出する塗布ムラ検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】パターン欠陥を短時間で精度良く検出できるパターン検査方法を提供すること。
【解決手段】フォトマスクのパターンを撮像して得られたセンサデータと、パターンの設計データを展開して得られた参照データとを比較して、パターンの欠陥を検査するパターン検査方法において、設計データから画素単位の二値または多値の諧調データを生成し、その諧調データに複数の演算を逐次実行することで、諧調データ上におけるパターンの角部が丸められ、且つパターンの頂部および底部の傾きが調整された第１処理データを生成する工程と、第１処理データに１つのカーネルフィルタを使用してフィルタ演算を１回実行することで、パターンが位相シフトパターンであるときにセンサデータ上に形成されるアンダーシュートが表現された第２処理データを一括生成する工程と、第２処理データに複数の演算を逐次実行することで、参照データを生成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】波長が混在した塗膜に対して、需要者の嗜好性に原点を置いた新規で簡便な塗膜外観の評価方法を見出し、その評価方法により需要者満足度の高い塗装レベルとは何かを明らかにし、更に、需要者満足度の高い塗装を有する塗装物品、塗装物品の製造方法、塗膜外観の評価装置を提供する。
【解決手段】塗膜の表面うねりのうち、波長１ｍｍ〜１０ｍｍのうねりの振幅の大きさを選択的に測定し、この測定結果の大小によって前記塗膜の表面の塗膜外観を評価する塗膜外観の評価方法。 （もっと読む）

【課題】 限られたタクトタイムにおいても正確に判定できるようにすること。
【解決手段】 欠陥検査装置は、供試体の表面を撮像して原画像を取得し（ステップＡ１）、原画像に基づいて注目画素とその周辺画素の輝度値の平均値を算出し、算出した平均値と前記注目画素の輝度値とを入れ替えたフィルタ処理画像を作成し（ステップＡ２）、前記原画像の画素の輝度値から対応する前記フィルタ処理画像の画素の輝度値を減算した差分処理画像を作成し（ステップＡ３）、前記差分処理画像の画素の輝度値がしきい値以上の場合に当該画素の輝度値を１に入れ替えるとともに、前記差分処理画像の画素の輝度値がしきい値以上でない場合に当該画素の輝度値を０に入れ替えた２値化処理画像を作成し（ステップＡ４）、前記２値化処理画像に対して欠陥の有無を判定する（ステップＡ５、Ａ６）。 （もっと読む）

【課題】 光学パネルによって表示される画像内に存在するスジ状欠陥を検出するとともにスジ状欠陥の状態に応じたランク判定を行う光学パネル検査方法を提供する。
【解決手段】 液晶ライトバルブによる表示画像に存在するスジ状欠陥を検出するスジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）と、スジ状欠陥検出工程（ＳＴ１００）にて検出されたスジ状欠陥同士で連続性を有するかを判定する連続性判定工程（ＳＴ２００）と、連続性判定工程（ＳＴ２００）にて連続性を有すると判定されたスジ状欠陥を一連のスジ状欠陥とみなすとともに検出されたスジ状欠陥の定量的評価値に基づいて液晶ライトバルブ１１２のランク判定を行うランク判定工程（ＳＴ３００）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 正確性の高いしみ検査を行う
【解決手段】 （ａ）輝度データを準備する。（ｂ）前記輝度データの第１の方向に沿う輝度値から一群の１次微分値を求め、１次微分値から一群の２次微分値を求め、２次微分値に基づいて第１のデータを出力する。 （もっと読む）

【課題】フラットディスプレイパネルの塗布膜の表面形状を短時間で、かつ低コストに検査できるようにする。
【解決手段】光照射手段（光ファイバ２８）とフレネルレンズ３０と撮像手段（エリアセンサーカメラ２４）とを有する光学系３１を用いて、基板２１上に形成された塗布膜２２の表面形状の検査を行うものであり、光照射手段から放射されてフレネルレンズ３０を通過させた光を塗布膜２２に照射し、そのときの反射光を撮像手段で撮像し、この撮像により得られた画像の階調分布を解析して前記検査を行う際に、前記画像から光学系３１の特性によって生じる階調変化を除去するための画像処理を行う。 （もっと読む）